专利名称：一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置。
背景技术：
目前，普遍使用的聚焦激光束的方法是手动调整镜片的方法，在特殊情况下，环境不允许人为进行操作，而且手动调整效率较低，聚焦准确性不如自动检测。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种聚焦准确性高的激光外差干涉测量光束的自聚焦装置。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置，包括激光器，所述激光器的光束射出端设置有对角设置的第一分光棱镜、第二分光棱镜和第一直角棱镜、第二直接棱镜，所述第一分光棱镜和第二分光棱镜设置于同一对角线上，所述第一直角棱镜和第二直接棱镜设置于同一对角线上，所述第二分光棱镜连接有预置位电动镜头，从所述第二分光棱镜出射的测量激光束穿过预置位电动镜头到达被测物。作为上述技术方案的进一步优化，所述第一直角棱镜与第二分光棱镜之间设置有声光调制器。作为上述技术方案的进一步优化，所述第二分光棱镜连接有光电探测器，从所述第二分光棱镜出射的参考光束与从被测物反射回的测量光束混频后到达所述光电探测器。作为上述技术方案的进`一步优化，所述光电探测器和所述预置位电动镜头都与嵌入式装置连接。本实用新型的结构中，用带预置位功能的电动镜头作激光聚焦的光学元件，用光电传感器接收从所述第二分光棱镜出射的参考光束与从被测物反射回的测量光束混频后外差干涉激光束，用嵌入式装置监测光电传感器输出的电信号的强弱。因为聚焦完美时，从激光照射面反射回来的光线越多，探测器输出的电信号越强。根据接收到的信号的强弱，控制电动镜头的运动，直到电动镜头找到使光电信号变得最强的位置，最终达到激光聚焦的目的。本实用新型的有益效果主要表现为:用带预置位功能的电动镜头作激光聚焦的光学元件，用嵌入式装置作控制单元，满足人为操作不允许的环境下的聚焦要求，提高激光聚焦动作的效率和准确性。
图1是本实用新型一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置的结构示意图。
具体实施方式
[0011]
以下结合附图及实施例描述本实用新型具体实施方式
:如图1所示，作为本实用新型一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置的实施方式，其包括激光器，所述激光器的光束射出端设置有对角设置的第一分光棱镜1、第二分光棱镜2和第一直角棱镜3、第二直接棱镜4,所述第一分光棱镜I和第二分光棱镜2设置于同一对角线上，所述第一直角棱镜3和第二直接棱镜4设置于同一对角线上，从所述第二分光棱镜4出射的测量激光束穿过预置位电动镜头5。所述第一直角棱镜3与第二分光棱镜2之间设置有声光调制器7。从所述第二分光棱镜4出射的参考光束与从被测物反射回的测量光束混频后到达光电探测器6。所述光电探测器7和所述预置位电动镜头5都与嵌入式装置连接。本实用新型的结构中，其用带预置位功能的电动镜头作激光聚焦的光学元件，用光电传感器接收从所述第二分光棱镜出射的参考光束与从被测物反射回的测量光束混频后外差干涉激光束，用嵌入式装置监测光电传感器输出的电信号的强弱。因为聚焦完美时，从激光照射面反射回来的光线越多，探测器输出的电信号越强。根据接收到的信号的强弱，控制电动镜头的运动，直到电动镜头找到使光电信号变得最强的位置，最终达到激光聚焦的目的。本实施例在具体实施的的实施方式如下:测量激光束通过预置位电动镜头会聚于被测物体表面。首先，由嵌入式装置控制电动镜头的运动，使其镜片从一个极限位置运动到另一个极限位置，同时监测光电探测器输出的外差干涉信号的强弱，并记录下信号最强时镜片的位置。走完全程后，镜片再重新回到刚才记录的位置，达到聚焦激光束的目的。实际测量时，可以根据记录的位置做微调自聚焦，或者使镜片走全程寻找聚焦完美 的位置。上面结合附图对本实用新型优选实施方式作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化。不脱离本实用新型的构思和范围可以做出许多其他改变和改型。应当理解，本实用新型不限于特定的实施方式，本实用新型的范围由所附权利要求限定。
权利要求1.一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置，包括激光器，所述激光器的光束射出端设置有对角设置的第一分光棱镜、第二分光棱镜和第一直角棱镜、第二直接棱镜，所述第一分光棱镜和第二分光棱镜设置于同一对角线上，所述第一直角棱镜和第二直接棱镜设置于同一对角线上，所述第一直角棱镜与第二分光棱镜之间设置有声光调制器，所述第二分光棱镜连接有预置位电动镜头，从所述第二分光棱镜出射的测量激光束穿过预置位电动镜头到达被测物，从所述第二分光棱镜出射的参考光束与从被测物反射回的测量光束混频后到达所述光电探测器，其特征在于，所述光电探测器和所述预置位电动镜头连接有嵌入式装置 。
专利摘要本实用新型公开一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置，包括激光器，所述激光器的光束射出端设置有对角设置的第一分光棱镜、第二分光棱镜和第一直角棱镜、第二直角棱镜，所述第一分光棱镜和第二分光棱镜设置于同一对角线上，所述第一直角棱镜和第二直角棱镜设置于同一对角线上，从所述第二分光棱镜出射的测量激光束穿过预置位电动镜头。通过用带预置位功能的电动镜头作激光聚焦的光学元件，满足人为操作不允许的环境下的自聚焦要求，提高激光聚焦动作的效率和准确性。
文档编号G01J1/02GK203101711SQ20132004827
公开日2013年7月31日 申请日期2013年1月29日 优先权日2013年1月29日
发明者朱军平, 刘挺 申请人:苏州舜新仪器有限公司