一种超纯溶液在线取样箱的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种取样设备，尤其涉及一种能够保证被取样品的洁净度、且能回收取样过程中外溢液的超纯溶液在线取样箱，其包括空气压缩器、空气清洗器、取样瓶和洁净取样箱，所述空气压缩器、空气清洗器和洁净取样箱依次相互连接，所述洁净取样箱包括洁净空气缓冲层、取样层和排气排液层，所述洁净空气缓冲层与取样层之间设有具有通孔的栅板，所述取样层与排气排液层之间设有具有通孔的栅板，所述取样瓶设置于洁净取样箱内部的取样层上，所述取样瓶包括瓶盖，所述瓶盖上设有进酸管和排气管。本实用新型的超纯溶液在线取样箱通过空气清洗，避免了外界空气对样品的污染，且能够对溢出的样品进行收集和清洗取样箱内部。
【专利说明】一种超纯溶液在线取样箱
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种取样设备，具体涉及一种超纯溶液在线取样箱。
【背景技术】
[0002]高纯氢氟酸分子式HF，分子量20.01。为无色透明液体，相对密度1.15-1.18，沸点112.2°C,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应，生成各种盐类。腐蚀性极强，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇，难溶于其他有机溶剂。
[0003]高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用，主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀，是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一，还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。
[0004]目前，在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业，其它方面用量较少。由于高纯氢氟酸的毒性和强腐蚀性，一般取样设备都不适合高纯氢氟酸的取样。而且用一般容器取样时，容器会有一定量的空气，样品与空气接触会产生误差。
实用新型内容
[0005]为解决上述现有技术中存在的缺陷，本实用新型提供一种结构简单，能够保证被取样品的洁净度、且能回收取样过程中外溢液的超纯溶液在线取样箱。
[0006]本实用新型的技术方案为提供一种超纯溶液在线取样箱，包括空气压缩器、空气清洗器、取样瓶和洁净取样箱，所述空气压缩器、空气清洗器和洁净取样箱依次连接，所述洁净取样箱包括洁净空气缓冲层、取样层和排气排液层，所述洁净空气缓冲层与取样层之间设有具有通孔的栅板，所述取样层与排气排液层之间设有具有通孔的栅板，所述取样瓶设置于洁净取样箱内部的取样层上，所述取样瓶包括瓶盖，所述瓶盖上设有进酸管和排气管。
[0007]优选的，上述超纯溶液在线取样箱中，所述洁净取样箱上设有能提供纯净水的纯水管。
[0008]优选的，上述超纯溶液在线取样箱中，所述空气压缩器为高压钢瓶氮气或空气压缩机。
[0009]优选的，上述超纯溶液在线取样箱中，所述空气清洗器包括进气管和与进气管连接的容纳有纯净水的洗气箱。
[0010]优选的，上述超纯溶液在线取样箱中，所述空气清洗器还包括多个与进气管连接但直径比进气管小的进气小管。
[0011]优选的，上述超纯溶液在线取样箱中，所述洗气箱内容纳有占其体积60%的纯净水。
[0012]优选的，上述超纯溶液在线取样箱中，所述取样瓶的材质为PFA或F46。
[0013]本实用新型有益效果在于:本实用新型的超纯溶液在线取样箱通过空气清洗，避免了外界空气对样品的污染，且在洁净取样箱内部设有排气排液层，能够对溢出的样品进行收集，还连接有提供纯净水的纯水管便于清洗取样箱内部。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型的超纯溶液在线取样箱的结构示意图；
[0015]1、空气压缩器；2、空气清洗器；3、取样瓶；4、洁净取样箱；5、洁净空气缓冲层；6、取样层；7、排气排液层；8、栅板；9、进酸管；10、排气管；11、纯水管。
【具体实施方式】
[0016]为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
[0017]请参阅图1，本实用新型提供一种超纯溶液在线取样箱，包括空气压缩器1、空气清洗器2、取样瓶3和洁净取样箱4，所述空气压缩器1、空气清洗器2和洁净取样箱4依次相互连接，所述洁净取样箱4包括洁净空气缓冲层5、取样层6和排气排液层7，所述洁净空气缓冲层5与取样层6之间设有具有通孔的栅板8,所述取样层6与排气排液层7之间设有具有通孔的栅板8，所述取样瓶3设置于洁净取样箱4内部的取样层6上，所述取样瓶3包括瓶盖，所述瓶盖上设有进酸管9和排气管10。
[0018]使用本实用新型时，空气先经压缩后，把压缩后的空气通过水溶液的空气清洗器，经清洗后的空气以层流式的洁净空气通入到取样箱，并使取样箱保持一定的微正压。
[0019]在本实用新型的具体实施例中，上述的空气压缩器I可是以高压钢瓶氮气，也可以是小型空气压缩机。
[0020]在本实用新型的具体实施例中，上述的空气清洗器2又包括二个部份，其中一个是洗气管，洗气管是由大管中套有多根小管，主要是增加洗气表面积，使进去的空气能更好的洗净，另一个是洗气箱，洗气箱里主要装有容积60%的纯净水。
[0021]本实用新型的洁净取样箱4不宜过大，也不宜过小，大约尺寸为500*500*500 (长*宽*高cm)。其中空气缓冲层5主要是为了让洁净的空气通过缓冲层，经栅板8后能形成层流式的洁净空气，往取样箱吹去，使取样箱里的洁净气是不成乱流，保证取样箱中的洁净度。进酸管9不宜过大，取样箱外的管通过变径，变径后的小管伸入取样箱里。取样箱接纯水管11主要是为了好清洗和冲洗箱体内部与排出的废酸。取样层6与排液层通过栅板8隔开，这样既可以排气又可以把废酸直接排在栅板8上，通过纯水的冲洗，把废酸冲走。
[0022]在本实用新型的具体实施例中，上述取样瓶3分为二部分:瓶盖部分，瓶盖上安装有二根管，一根为进酸管9,另一根为排气管10 ;取样瓶3瓶身部份可是100mL、250mL、500mL、IOOOmL等超纯塑料材质(如PFA或F46等常见氟塑料)的试剂瓶。
[0023]本实用新型的超纯溶液在线取样箱廉价、简单；操作方便，安全可靠；无污染；完全满足超纯溶液取样方式。
[0024]本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的【技术领域】，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【权利要求】
1.一种超纯溶液在线取样箱，其特征在于，包括空气压缩器、空气清洗器、取样瓶和洁净取样箱，所述空气压缩器、空气清洗器和洁净取样箱依次连接，所述取样瓶设置于洁净取样箱内部的取样层上，所述取样瓶包括瓶盖，所述瓶盖上设有进酸管和排气管，所述洁净取样箱包括洁净空气缓冲层、取样层和排气排液层，所述洁净空气缓冲层与取样层之间设有具有通孔的栅板，所述取样层与排气排液层之间设有具有通孔的栅板。
2.根据权利要求1所述的超纯溶液在线取样箱，其特征在于，所述洁净取样箱连接有能提供纯净水的纯水管。
3.根据权利要求1所述的超纯溶液在线取样箱，其特征在于，所述空气压缩器为高压钢瓶氮气或空气压缩机。
4.根据权利要求1所述的超纯溶液在线取样箱，其特征在于，所述空气清洗器包括进气管和与进气管连接的容纳有纯净水的洗气箱。
5.根据权利要求4所述的超纯溶液在线取样箱，其特征在于，所述空气清洗器还包括多个与进气管连接，直径比进气管小的进气小管。
6.根据权利要求4所述的超纯溶液在线取样箱，其特征在于，所述洗气箱内容纳有占其体积60%的纯净水。
7.根据权利要求1所述的超纯溶液在线取样箱，其特征在于，所述取样瓶的材质为PFA或 F46。
【文档编号】G01N1/10GK203405348SQ201320436511
【公开日】2014年1月22日 申请日期:2013年7月22日 优先权日:2013年7月22日
【发明者】杜宏军, 万群平, 张超杰 申请人:福建省邵武市永晶化工有限公司