组装式探针卡的制作方法
【专利摘要】本发明是一种组装式探针卡，该探针卡包括一基板、多个悬臂、多支探针及多个压盖板，其中该基板呈片状；各该悬臂的后端可拆卸地被组装至该基板上，以使所述悬臂能被组装至该基板的一侧，各该悬臂的前端分别开设有一针槽；各该探针的后端可拆卸地被安装至各该针槽中，其前端则朝向远离该基板的一侧弯曲；各该压盖板可拆卸地被安装至邻近各该悬臂前端的位置，且能覆盖位于该针槽中的该探针，以使各该探针能被稳固地定位于各该针槽中。如此，由于该探针卡的各该组成元件间皆可拆卸地相互连接，故，当部分元件损坏时，能便利地更换该探针卡的个别元件，有效节省人力及时间等成本。
【专利说明】组装式探针卡
【技术领域】
[0001]本发明是一种组装式探针卡，尤指一种具有可拆卸的悬臂，且悬臂上安装有可拆卸的探针，而能够便利地进行元件更换及维修的一种探针卡。
【背景技术】
[0002]一般半导体晶圆上，晶片供以电性连接的电路接点往往依照晶片内的电路元件特性而有多种不同的设置分布，故执行晶圆级测试工程时，晶圆上不同位置所设置的电路元件即有不同的测试条件需求；因此测试用探针卡亦需有对应的电路布设以及对应的探针分布结构，以将不同电路元件所需的测试讯号藉由特定电性传输线路传送至电路元件以进行测试。实际应用上，探针卡供应商除了将探针卡电路板的电路走线专门布设为与晶片电路特定对应的专板结构，普遍更预先制作公板结构的电路板；亦即电路板平面上由外至内设置有多个焊点，依径向分布而区分有测试区、转接区及探针区的焊点，且探针区的焊点直接纵向导通与电路板下方所设置的探针电性连接，测试区与转接区的焊点之间为简单的径向走线设计，用以将测试区上供测试机台点触的焊点导通至转接区以作其他电性连接用；然后再依晶圆厂所提供晶片电路布设，于转接区与探针区的焊点之间另行配置导线结构，利用导线以跳线方式使转接区的焊点导通至探针区与探针电性连接。
[0003]请参阅图1所示,是常用的一探针卡I,该探针卡I包括一电路板10及一探针组11，其中电路板10上布设有电子电路，且其上设有多个焊点101，所述焊点101能与电子电路电性导通；该探针组11包括多支探针111及一固定座112，所述探针111与电路板10的组装方式，是将所有探针111的身部粘着于该固定座112上，以形成该探针组11，再将各该探针111的针尾焊接于该电路板10上的各该焊点101。因此，一旦将所述探针111的身部粘着于该固定座112后，若有需要供不同电路间距的晶片测试用，或者探针卡I使用过后需对各该探针111维修时，必须将所有探针111的针尾与其各自电性连接的焊点101进行回焊的工程，才得以将该探针111及该固定座112 —同自该电路板10上移除，以进行后续的维修或更换。此种回焊的维修方式不但耗费工时，且容易因回焊过程的作业疏失反而造成所述探针111的损毁，徒增维修工程的负担，且会造成探针卡I制作成本上不必要的支出。
[0004]由以上说明可知，由于公知探针卡I无法自由拆装调整，以至于在维修或更换上，造成人力及时间成本极大的负担，且很可能不慎使探针卡I受损，非常不理想。因此，如何设计出一种便于拆装调整的探针卡，即成为相关业者亟思解决的一重要问题。
【发明内容】
[0005]有鉴于公知探针卡因无法自由拆装调整而衍生的诸多问题，发明人乃根据其长年服务于相关产业的实务经验，加之以不断研究、测试及调整改良后，终于开发设计出一种组装式探针卡，期能藉由本发明，以举改善公知探针卡的诸多问题，并提升探针卡在使用上的便利性。
[0006]本发明的一目的，是提供一种组装式探针卡，该探针卡包括一基板、多个悬臂、多支探针及多个压盖板，其中该基板呈片状，且其中央开设有一贯穿孔；各该悬臂的后端能拆卸地组装至该基板的底侧，以使所述悬臂能分别组装至该基板的底侧，各该悬臂的前端朝向对应于该贯穿孔的方向延伸，且分别开设有一针槽；各该探针的后端能拆卸地安装至各该针槽中，各该探针的前端则朝向对应于该贯穿孔的方向延伸，且朝向远离该基板的一侧弯曲；各该压盖板能拆卸地安装至邻近各该悬臂前端的位置，且能覆盖位于该针槽中的该探针，以使各该探针能稳固地定位于各该针槽中。由于该探针卡的各该组成元件间皆是能拆卸地相互连接，故，当部分元件损坏时，能便利地更换该探针卡的个别元件，有效节省人力及时间等成本。
[0007]为便贵审查委员能对本发明的技术、结构特征及其目的有更进一步的认识与理解，现举实施例配合图式，详细说明如下:
【专利附图】
【附图说明】
[0008]以下附图仅旨在于对本发明做示意性说明和解释，并不限定本发明的范围。其中，
[0009]图1是公知探针卡的示意图；
[0010]图2是本发明较佳实施例的探针卡立体示意图；及
[0011]图3是本发明较佳实施例的探针卡剖面示意图。
[0012]主要元件标号说明:
[0013]2探针卡
[0014]20基板
[0015]201贯穿孔
[0016]21悬臂
[0017]211第一座体
[0018]212第二座体
[0019]22探针
[0020]23压盖板
[0021]24组装件
[0022]241组装部
[0023]242顶靠部
[0024]25左右调整件
[0025]26前后调整件
[0026]251、261 本体
[0027]252、262 调整杆
[0028]27高度调整件
[0029]T针槽
[0030]A组装孔
[0031]B左右调整孔
[0032]C前后调 整孔
[0033]X左右调整件容置槽
[0034]Y前后调整件容置槽[0035]Z高低调整件容置槽【具体实施方式】
[0036]为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照【专利附图】
【附图说明】本发明的【具体实施方式】。
[0037]本发明是一种组装式探针卡，请参阅图2所示，在本发明的一较佳实施例中，该探针卡2包括一基板20、多个悬臂21、多支探针22及多个压盖板23。其中，该基板20呈片状，且其中央开设有一贯穿孔201 ;各该悬臂21的后端可拆卸地被组装至该基板20的底侧，以使所述悬臂21能被组装至该基板20的底侧。请参阅图2及图3所示，在此一较佳实施例中，该探针卡2还包括一组装件24，且该悬臂21上开设有一组装孔A，该组装件24能穿过该组装孔A而被固定至该基板20，进而使该悬臂21与该基板20被相互组装为一体。更进一步言，在本实施例中，该组装件24包括一组装部241及一顶靠部242，该组装部241穿过该组装孔A而被固定至该基板20，且当该组装部241被组装并固定至该基板20上时，该顶靠部242能抵靠至该悬臂21的一侧，以使该悬臂21的另一侧能抵靠至该基板20的底侧。此外，在此一较佳实施例中，该组装孔A的孔径大于该组装部241的直径，且小于该顶靠部242的直径，以在该悬臂21被该组装件24组装至该基板20时，使该悬臂21能相对该基板20移动(该组装部241定位于该组装孔A内的不同位置)。在此特别一提，前述实施例仅是该悬臂21与该基板20相互组装的一种方式，但是，本发明并不以此为限，该悬臂21与该基板20亦可通过其他方式相互组装成一体，合先陈明。
[0038]承前所述，各该悬臂21的前端是朝向对应于该贯穿孔201的方向延伸，且分别开设有一针槽T，以使各该探针22的后端能够可拆卸地被安装至各该针槽T中。各该探针22的前端则朝向对应于该贯穿孔201的方向延伸，且朝向远离该基板20的一侧弯曲，进而能用于执行晶元检测。各该压盖板23可拆卸地被安装至邻近各该悬臂21前端的位置，且能覆盖位于该针槽T中的该探针22，以使各该探针22能被稳固地定位于各该针槽T中。在本实施例中，该悬臂21由一第一座体`211及一第二座体212相互组装结合而成，该第一座体211位于该悬臂21的后端，该第二座体212则位于该悬臂21的前端。该组装孔A开设于该第一座体211，该针槽T则开设于该第二座体212的前端，此外，该压盖板23同样地能组装至该第二座体212上，但是，该悬臂21的结构并不以此为限，业者在生产该探针卡2时，亦可将该悬臂21设计成一体成形的结构，合先叙明。
[0039]由以上说明可知，由于该探针卡2的各该组成元件间皆是可拆卸地相互连接，故，当部份元件损坏(如:各该探针22)时，能便利地更换该探针卡2的个别元件，有效节省人力及时间等成本，且能避免在操作的过程中，不慎毁损该探针卡2。
[0040]复请参阅图2及图3所示，在此一较佳实施例中，各该悬臂21还开设有一左右调整孔B及一前后调整孔C，该基板20则开设有一左右调整件容置槽X、一前后调整件容置槽Y及一高低调整件容置槽Z。其中，该左右调整孔B沿该悬臂21的纵向开设于该悬臂21上，而该左右调整件容置槽X则开设在该基板20上对应于该左右调整孔B的位置，且该左右调整件容置槽X的直径大于该左右调整孔B的宽度。该左右调整件容置槽X能供一左右调整件25容置于其中。该左右调整件25包括一本体251及一调整杆252，该本体251能于该左右调整件容置槽X中旋转；该调整杆252沿该本体251的轴向延伸而成，且位于偏离该本体251的轴心的位置，当该本体251被容置于该左右调整件容置槽X中时，该调整杆252能伸入至该左右调整孔B中，且当该本体251于该左右调整件容置槽X中旋转时，该调整杆252会推抵该悬臂21上对应于该左右调整孔B的内壁，以在该本体251被转动至不同角度时，能将该悬臂21朝左右推动至不同的角度。再者，该前后调整孔C沿该悬臂21的横向开设于该悬臂21上，该前后调整件容置槽Y开设在该基板20上对应于该前后调整孔C的位置，该前后调整件容置槽Y的直径大于该前后调整孔C的宽度，在本实施例中，该探针卡2还包括一前后调整件26,该前后调整件26同样地包括一本体261及一调整杆262,其在该前后调整孔C及该前后调整件容置槽Y中的具体作动方式大致与该左右调整件25同，在此不再赘述。此外，在本实施例中，该探针卡2还包括一高低调整件27，该高低调整件容置槽Z对应于该悬臂21上较该组装孔A邻近前端的位置，该高低调整件27容置于该高低调整件容置槽Z中，且能沿该高低调整件容置槽Z的轴向移动，以使该高低调整件27的一端能推抵该悬臂21的该另一侧(即，抵靠于该基板20底侧的一侧)，进而使该悬臂21的前端及该探针22能被调整为不同高度。在通过前述各该左右调整件25、前后调整件26或高低调整件27调整该探针22的角度时，操作者可由该贯穿孔201检视该探针的角度及位置。
[0041]综上所述，通过前述的结构设计，使用者仅需调整该左右调整件25、前后调整件26及高低调整件27，便能轻易地调整该探针22的角度，大大地提升了该探针卡2在使用上的便利性。
[0042]按，以上所述，仅为本发明的若干较佳实施例，但是，本发明的技术特征并不局限于此，凡相关【技术领域】的人士，在参酌本发明的技术内容后所能轻易思及的等效变化，均应不脱离本发明的保护范畴。
【权利要求】
1.一种组装式探针卡，其特征在于，所述组装式探针卡包括: 一基板，呈片状，且其中央开设有一贯穿孔； 多个悬臂，各所述悬臂的后端能拆卸地组装至所述基板的底侧，以使所述悬臂能分别组装至所述基板的底侧，各所述悬臂的前端朝向对应于所述贯穿孔的方向延伸，且分别开设有一针槽； 多支探针，各所述探针的后端能拆卸地安装至各所述针槽中，各所述探针的前端则朝向对应于所述贯穿孔的方向延伸，且朝向远离所述基板的一侧弯曲；及 多个压盖板，能拆卸地安装至邻近各所述悬臂前端的位置，且能覆盖位于所述针槽中的所述探针，以使各所述探针能稳固地定位于各所述针槽中。
2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡还包括: 一组装件，所述组装件包括一组装部及一顶靠部，当所述组装部组装并固定至所述基板的底侧上时，所述顶靠部能抵靠至所述悬臂的一侧，以使所述悬臂的另一侧能抵靠至所述基板的底侧。
3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述悬臂还开设有一组装孔，所述组装件的所述组装部穿过所述组装孔而固定至所述基板的底侧，所述组装孔的孔径大于所述组装部的直径，且小于所 述顶靠部的直径，以在所述悬臂被所述组装件组装至所述基板的底侧时，所述悬臂能相对所述基板移动。
4.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡还包括: 一左右调整孔，沿所述悬臂的纵向开设于所述悬臂上； 一左右调整件容置槽，开设在所述基板上对应于所述左右调整孔的位置，所述左右调整件容置槽的直径大于所述左右调整孔的宽度；及 一左右调整件，包括一本体及一调整杆，所述本体能容置于所述左右调整件容置槽中，且能于所述左右调整件容置槽中旋转，所述调整杆沿所述本体的轴向延伸而成，且位于偏离所述本体的轴心的位置，当所述本体容置于所述左右调整件容置槽中时，所述调整杆能伸入至所述左右调整孔中，且当所述本体于所述左右调整件容置槽中旋转时，所述调整杆会推抵所述悬臂上对应于所述左右调整孔的内壁，以在所述本体转动至不同角度时，所述调整杆能将所述悬臂朝左右推动至不同的角度。
5.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡还包括: 一前后调整孔，沿所述悬臂的横向开设于所述悬臂上； 一前后调整件容置槽，开设在所述基板上对应于所述前后调整孔的位置，所述前后调整件容置槽的直径大于所述前后调整孔的宽度；及 一前后调整件，包括一本体及一调整杆，所述本体能容置于所述前后调整件容置槽中，且能于所述前后调整件容置槽中旋转，所述调整杆沿所述本体的轴向延伸而成，且位于偏离所述本体的轴心的位置，当所述本体容置于所述前后调整件容置槽中时，所述调整杆能伸入至所述前后调整孔中，且当所述本体于所述前后调整件容置槽中旋转时，所述调整杆会推抵所述悬臂上对应于所述前后调整孔的内壁，以在所述本体转动至不同角度时，所述调整杆能将所述悬臂朝前后推动至不同的角度。
6.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡还包括: 一高低调整件容置槽，开设在所述基板上，且对应于所述悬臂上较所述组装孔邻近前端的位置?’及 一高低调整件，容置于所述高低调整件容置槽中，且能沿所述高低调整件容置槽的轴向移动，以使其一端能推抵所述悬臂的所述另一侧，进而使所述悬臂的前端及所述探针能被调整为不同高度。
7.如权利要求3、4、5或6所述的探针卡，其特征在于，所述悬臂还包括: 一第一座体，位于所述悬臂的后端，且所述组装孔开设于所述第一座体；及一第二座体，位于所述悬臂的前端，且能与所述第一座体相互组装成一体，所述针槽开设于所述第二座体的前端，且所述压盖板能组装至所述第二座体。
【文档编号】G01R1/073GK103777045SQ201410051772
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2014年2月14日 优先权日:2013年7月30日
【发明者】陈正泰, 李志宏, 陈志伟 申请人:豪勉科技股份有限公司