X射线分析装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种X射线分析装置，其包括：第1补偿机构(13A、13B)，该第1补偿机构(13A、13B)基于通过计数机构(10A、10B)所求得的计数率的总数，推测出通过计数机构(10A、10B)得到的能量谱中的波峰位置，并输出初始值，该初始值是用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的增益值；第2补偿机构(14A、14B)，该第2补偿机构(14A、14B)在通过计数机构(10A、10B)得到的能量谱中，在包括基准位置的规定的能量范围内检测波峰位置，输出动态增益补偿值，该动态增益补偿值是用于将该检测出的波峰位置与基准位置一致化的增益值。
【专利说明】X射线分析装置
[0001]相关申请
[0002]本申请要求申请日为2013年3月25日、申请号为日本特愿2013-061644的申请的优先权，通过参照其整体，将其作为本申请的一部分的内容而引用。
【技术领域】
[0003]本申请涉及一种对所谓波峰偏离进行补偿的X射线分析装置。
【背景技术】
[0004]目前，例如在波长色散型荧光X射线分析装置中，向试样照射一次X射线，通过分光元件对试样所发出的荧光X射线进行分光，通过检测器检测被分光的荧光X射线并产生脉冲。该脉冲的电压即波高值对应于荧光X射线的能量，具体来说普遍认为有比例关系。此夕卜，单位时间内的脉冲数与荧光X射线的强度相对应。因此，通过脉冲幅度分析器，筛选脉冲中的在规定电压范围(通过设定上限值和下限值来规定，称为窗口值)内的脉冲，其计数率(单位时间内的脉冲数)作为X射线强度由计数器等计数机构求得。
[0005]但是，众所周知，在例如使用比例计数管作为检测器的场合，当高强度的荧光X射线入射到检测器时，被送至脉冲幅度分析器的脉冲的电压即波高值例如在数秒内快速降低百分之几十，或者有时在此后的例如数十分钟内在几个百分比左右的范围内波动。该现象被称为波峰偏离、波高值的偏差等，如果发生波峰偏离，则会导致在和目标波长有偏差的不恰当的设定窗口值下进行测定，从而无法正确地进行分析(参见专利文献I?4)。在除了波长色散型荧光X射线分析装置以外的X射线分析装置中也会有该问题，另外，虽然有程度的差别，但是也可在使用比例计数管以外的检测器的场合发生(参见专利文献3、4)。
[0006]因此，作为用于补偿波峰偏离的第I现有技术中有以下的装置，在预备测定中，基于通过计数机构得到的X射线强度推测波峰位置，在正式测定中，将推测的波峰位置与相当于原本的波高值的基准位置一致化，从而改变检测器发出的脉冲的增益(参见专利文献
1、2)。在此，通过实验预先求出下述关系，即，计数机构所求得的X射线强度与能量谱中降低并稳定后的波峰位置的关系。此外，作为用于补偿波峰偏离的第2现有技术中有以下装置，通过计数机构获得能量谱，在包含基准位置的规定的能量范围中检测波峰位置，将该检测出的波峰位置与基准位置一致化，从而将检测器发出的脉冲的增益动态地(实时)变更(参照专利文献3、4)。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献I JP特开昭58-187885号公报
[0010]专利文献2 JP特开2005-9861号公报
[0011]专利文献3 JP特开平6-130155号公报
[0012]专利文献4 JP特公昭62-12475号公报
【发明内容】
[0013]发明要解决的课题
[0014]但是，为了使波峰偏离所导致的降低的波峰位置变得稳定，即使在较短的场合也需要数秒，故如果在稳定之前应用第I现有技术，推测波峰位置，基于波峰的变更补偿波峰位置，开始正式测定，则波峰位置从降低到稳定的期间，得到补偿的波峰位置高于相当于原本的波高值的基准位置，从而无法正确地进行分析。虽然如此，但是为了进行正确的分析，如果将正式测定的开始时刻推迟到波峰偏离所致的降低的波峰位置并且稳定时，即使时间较短也必须花费数秒时间，仅在分析上花费了很多时间。在波高峰值快速下降后的数十分钟内依然不稳定的场合，在短时间内进行正确的分析会变得更加困难。此外，由于通过计数机构所求得的X射线强度与能量谱中降低并稳定后的波峰位置的关系，在每个X射线分析装置中均有微小差别，故为了进行正确的分析，需要通过实验在各X射线分析装置中预先求出该关系。在更换各X射线分析装置中的检测器时，需要求得更换后的检测器的上述关系O
[0015]另一方面，作为第2现有技术，如果X射线强度发生快速的变化，则有观测不到波峰位置而无法正确地进行检测的风险，在该场合下，无法正确地分析。
[0016]因此，本发明的目的在于提供一种X射线分析装置，即使发生了波峰偏离，该X射线分析装置也能迅速且适当地进行补偿，能在短时间内做出正确的分析。
[0017]解决课题用的技术方案
[0018]为了达成该目的，本发明提供了一种X射线分析装置，其包括:检测器，该检测器产生与射入的X射线的能量相对应的波高的脉冲，所述脉冲以仅仅与前述X射线的强度相对应的数量来产生；高速AD转换器，该高速AD转换器将该检测器所产生的脉冲数字化；计数机构，该计数机构对于该高速AD转换器所发出的脉冲，分成多个连续的波高范围并求出计数率，由此，作为获得相对于波高的计数率的分布的能量谱，并基于该能量谱算出上述X射线的强度；波峰位置稳定化机构，该波峰位置稳定化机构对于上述高速AD转换器所发出的脉冲，将上述能量谱中的波峰位置稳定化。
[0019]而且，上述波峰位置稳定化机构包括:输入脉冲乘法器，该输入脉冲乘法器输入上述高速AD转换器发来的脉冲，改变增益并将该增益输出；第I补偿机构，该第I补偿机构基于通过上述计数机构所求得的计数率的总数，推测出上述能量谱中的波峰位置，并输出初始值，该初始值是用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的增益值；第2补偿机构，该第2补偿机构在通过上述计数机构得到的能量谱中，在包括上述基准位置的规定的能量范围内检测波峰位置，输出动态增益补偿值，该动态增益补偿值是用于将该检测出的波峰位置与上述基准位置一致化的增益值；增益加法器，该增益加法器输入上述初始值、上述动态补偿值，将两者相加并输出到上述输入脉冲乘法器。
[0020]在本发明中，具有作为技术机构的多通道分析器，并且，在波峰位置稳定化机构中包括:第I补偿机构，该第I补偿机构基于通过计数机构所求得的计数率的总数，推测出计数机构得到的能量谱中的波峰位置，并输出初始值，该初始值是用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的增益值；第2补偿机构，该第2补偿机构在通过计数机构得到的能量谱中，在包括上述基准位置的规定的能量范围内检测波峰位置，输出动态增益补偿值，该动态增益补偿值是用于将该检测出的波峰位置与上述基准位置一致化的增益值。即使发生波峰偏离，也可在极短的时间内输出初始值，并且加入动态补偿值，通过反馈而进行修正，由此，不必等待波峰偏离导致的降低的波峰位置变得稳定后再开始正式测定，也不会有下述情况:由于输出初始值导致在求得动态补偿值时丢失波峰位置，而无法正确地进行检测。因此，即使发生波峰偏离，也能迅速且适当地进行补偿，能在短时间内进行正确的分析。
[0021]在本发明中，上述波峰位置稳定化机构优选包括:零位置补偿机构，在通过上述计数机构得到的能量谱中，检测出零波峰位置，并输出用于将该检测出的零波峰位置与零基准位置一致化的零位置用增益值，所述零波峰位置是指，在包含与零波高相对应的零基准位置的规定的能量范围内，将在没有信号时的水平的频率设为峰值的位置；零位置加法器，该零位置加法器设置于上述高速AD转换器与上述输入脉冲乘法器之间，输入上述高速AD转换器发出的脉冲与上述零位置用增益值，将上述高速AD转换器发出的脉冲与上述零位置用增益值相加并输出至上述输入脉冲乘法器。在该场合，即使与零波高相对应的零位置的偏差也能被补偿，故能正确地进行分析。
[0022]在本发明中，所述检测器为流气式比例计数管的场合，所述波峰位置稳定化机构优选包括:测定上述检测器的温度的温度传感器和/或测定上述检测器的气压的压力传感器；气体密度补偿机构，该气体密度补偿机构基于上述温度传感器的测定温度和/或上述压力传感器的测定压力，推测上述能量谱中的波峰位置，输出用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的气体密度用增益系数；初始值乘法器，该初始值乘法器设置于上述第I补偿机构与上述增益加法器之间，输入上述初始值与上述气体密度用增益系数，将上述初始值与上述气体密度用增益系数相乘并输出至上述增益加法器。在该场合，即使作为流气式比例计数管的检测器的气体密度变化导致波峰位置偏差，即，检测器的温度和/或检测器的气压的变化所致的波峰位置偏差，由于不使用机械化的气体密度稳定化机构的状态下进行补偿且输出初始值，故在求出动态补偿值时能进一步避免波峰位置丢失，能正确地检测且能简便、进行更加正确的分析。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]通过参考附图的下述合适的实施方式的说明，可清楚地理解本发明。但是实施方式和附图仅仅是用于图示和说明，并非用于确定本发明的范围而使用。本发明的范围由附上的权利要求书确定。在附图中，多个附图中的同一部件号表不同一部分。
[0024]图1为表示作为本发明的一个实施方式的波长色散型荧光X射线分析装置的示意图；
[0025]图2为表示上述装置的波峰位置稳定化机构的方框图；
[0026]图3为表示通过上述装置得到的能量谱的一个例子的图。
【具体实施方式】
[0027]下面按照图示对本发明的一个实施方式的波长色散型荧光X射线分析装置进行说明。如图1所示，该装置具有检测机构18A、18B，该检测机构18A、18B分别检测应测定的荧光X射线等的二次X射线7A、7B的波长。检测机构18A、18B具有分光元件6A、6B ;检测器8A、8B ;高速AD转换器9A、9B ;计数机构10AU0B以及波峰位置稳定化机构11A、11B。S卩，该装置是波长色散型的、多元素同时分析型的荧光X射线分析装置。此外，在检测器8A、SB与高速AD转换器9A、9B之间可以设置前置放大器。
[0028]更加详细地，该装置包括:试样台2，该试样台2装载试样I ;X射线源4，该X射线源4是向试样I照射一次X射线3的X射线管；分光兀件6A、6B,该分光兀件6A、6B对试样I所产生的荧光X射线等的二次X射线5A、5B进行分光；检测器8A、8B，该检测器8A、8B为流气式比例计数管，其入射分光元件6A、6B所分光的二次X射线7A、7B，并产生与该X射线7A.7B的能量相对应的波高的脉冲，所述脉冲以仅仅与X射线7A、7B的强度相对应的数量来产生；高速AD转换器9A、9B，该高速AD转换器9A、9B将检测器8A、8B所产生的脉冲数字化。
[0029]该装置包括:计数机构10A、10B，该计数机构10AU0B为下述技术机构，也就是多通道分析器:对于高速AD转换器9A、9B所发出的脉冲，将其分成多个连续的波高范围并求出计数率，由此，获得了作为相对于波高的计数率的分布的能量谱(图3右侧)，基于该能量谱算出上述X射线7A、7B的强度；波峰位置稳定化机构11A、11B，该波峰位置稳定化机构IlAUlB对于高速AD转换器9A、9B所发出的脉冲，将上述能量谱中的波峰位置稳定化。
[0030]而且，举出与二次X射线7A相对应的波峰位置稳定化机构IlA的例子的话，则如图2所示，波峰位置稳定化机构IlA具有:输入脉冲乘法器12A、第I补偿机构13A、第2补偿机构14A以及增益加法器15A。输入脉冲乘法器12A输入高速AD转换器9A发来的脉冲，改变增益并将该增益输出。高速AD转换器9A发来的输入脉冲在本实施方式的装置中，途经后述的零位置加法器17A。
[0031]第I补偿机构13A通过所谓的预备测定，基于通过计数机构1A求得的计数率的总数，推测出上述能量谱中的波峰位置，并输出初始值，该初始值是用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的增益值。在此，通过计数机构1A求得的计数率的总数为入射到检测器8A的X射线7A的强度的总数，例如图3右侧所示的能量谱与横轴之间的面积，但预备测定中使用的能量谱并不限于这样的微分曲线，也可以使用所谓积分曲线。能量谱中的波峰位置是指作为能量谱中的最大值的波峰处的波高值能量谱中的最大值，例如图3右侧所示的Pa。基准位置是指:没有发生波峰偏离的场合的相当于原本的波高值的位置，在图3右侧中，基准位置Sa对应于波峰位置Pa。
[0032]关于波峰偏离，预先求出下述关系，S卩，计数机构1A所求得的计数率的总数(如上所述，基于微分曲线或积分曲线的能量谱)与能量谱中的波峰位置的关系。第I补偿机构13A由于存储该关系，故基于计数机构1A所求得的计数率的总数，能推测出能量谱中的波峰位置Pa，并输出初始值，该初始值是用于将该推测出的波峰位置Pa与基准位置Sa—致化的增益值。在此，在本发明中，由于初始值与后述的动态补偿值相加，从而通过反馈进行修正，故对于计数机构1A所求得的计数率的总数与能量谱中的位置的关系，即使不严谨地求出各X射线分析装置、各监测器的该关系，也能正确地进行分析。
[0033]在计数机构1A所求得的图3右侧的能量谱中，图2的第2补偿机构14A在包括基准位置Sa的规定的能量(波高)范围内检测波峰位置Pa，将动态增益补偿值实时输出，该动态增益补偿值是用于将该检测出的波峰位置Pa与基准位置Sa—致化的增益值。在此，作为波峰位置Pa的检测范围的规定的能量范围，按照与波峰位置Pa相对应的基准位置Sa来设定。此外，在检测波峰位置Pa时，通过检测出作为能量谱中最小值的波谷的位置Pb，可以检测出与波谷的位置关系为间接最大值的波峰的位置Pa。另外，虽然图中未示出，也可通过检测出能量谱中确实出现的一次X射线3的特性X射线的汤姆逊散射线的波峰位置，从而依据与该波峰位置的位置关系，间接地检测出作为测定对象的二次X射线7A的波峰位置Pa。
[0034]图2所示的增益加法器15A，输入第I补偿机构13A发出的初始值、第2补偿机构14A发出的动态补偿值，将两者相加并输出到输入脉冲乘法器12A。在此，从第I补偿机构13A得到的初始值，在本实施方式的装置中，途径后述的初始值乘法器22A，然后输入到增益加法器15A。输入脉冲乘法器12A基于被输入的增益值，通过变更高速AD转换器9A发出的脉冲的增益，将使波峰位置稳定化的输出脉冲发送至计数机构10A。计数机构1A从该输出脉冲获得了波峰位置稳定的能量谱，计算出基于该能量谱的二次X射线7A的强度。例如，在作为测定对象的二次X射线7A对应于图3右侧的峰值Pa的场合，当波峰位置Pa呈稳定的状态时，即，波峰位置Pa与基准位置Sa为一致的状态时，包括基准位置Sa的规定的能量(波高)范围中的，能量谱与横轴之间的面积为二次X射线7A的强度。
[0035]与二次X射线7B相对应的波峰位置稳定化机构IlB也具有:输入脉冲乘法器12B、第I补偿机构13B、第2补偿机构14B、增益加法器15B。
[0036]根据上述本实施方式的装置的基本构造，同时具备如上所述的第I补偿机构13A、13B以及第2补偿机构14A、14B,即使发生波峰偏离，也可在极短的时间内输出初始值，并且加入动态增益补偿值，通过反馈进行修正，由此，不必等待波峰偏离导致的降低的波峰位置变得稳定后再开始正式测定，也不会有下述情况，由于输出初始值导致在求得动态补偿值时丢失波峰位置，能进行正确的检测。因此，即使发生波峰偏离，也能迅速且适当地进行补偿，能在短时间内进行正确的分析。
[0037]在本实施方式中，波峰位置稳定化机构IlAUlB进一步具有零位置补偿机构16A、16B和零位置加法器17A、17B。如果举出与二次X射线7A相对应的位置稳定化机构IIA为例，在计数机构1A所获得的图3左侧的能量谱中，零位置补偿机构16A检测出了零波峰位置Pz，并输出用于将该检测出的零波峰位置Pz与零基准位置Sz —致化的零位置用增益值，该零波峰位置Pz是指，在包含与零波高相对应的零基准位置Sz的规定的能量(波高)范围内，将没有信号时的水平的频率设为峰值位置。图2的零位置加法器17A设置于高速AD转换器9A(图1)与输入脉冲乘法器12A之间，输入高速AD转换器9A发出的脉冲与零位置补偿机构16A发出的零位置用增益值，将高速AD转换器9A发出的脉冲与零位置用增益值相加，输出至输入脉冲乘法器12A。关于该零位置补偿的追加的构造，即使与零波高相对应的零位置发生偏差也能被补偿，故能正确地进行分析。
[0038]在本实施方式中，由于检测器8A、8B(图1)是流气式比例计数管，故波峰位置稳定化机构11A、11B进一步具有:温度传感器19A、19B，该温度传感器19A、19B测定检测器8A、SB的温度；压力传感器21，该压力传感器21测定检测器8A、8B的气压；气体密度补偿机构20A、20B，该气体密度补偿机构20A、20B基于温度传感器19A、19B的测定温度以及压力传感器21的测定压力，推测能量谱(图3右侧)中的波峰位置Pa，输出用于将该推测出的波峰位置Pa与基准位置Sa —致化的气体密度用增益系数；初始值乘法器22A、22B。初始值乘法器22A、22B设置于第I补偿机构13A、13B与增益加法器15A、15B之间，输入上述初期设定值与上述气体密度用增益系数，将上述初始值与上述气体密度用增益系数相乘并输出至增益加法器15A、15B。
[0039]此处，温度传感器19A、19B未在图1中示出，但是其被安装于检测器8A、8B或者检测器8A、8B的附近。压力传感器21也未在图1中示出，但是其被安装于检测器8A、8B的内部。不过，检测器8A、8B内的气压在能被视为与大气压相等的场合，作为检测器8A、8B的气压，应当测定大气压。也可在配置有检测器8A、8B的真空环境的分光室外部处的大气压环境中，设置压力传感器21。另外，关于作为流气式比例计数管的检测器8A、8B的气体密度变化所致的波峰位置的偏差，预先求出温度传感器19A、19B的测定温度、压力传感器21的测定压力与图3右侧所示的能量谱中的波峰位置Pa的关系，由于气体密度补偿机构20A、20B能存储该关系，故基于温度传感器19A、19B的测定温度、压力传感器21的测定压力，能推测能量谱中的波峰位置Pa。关于该气体密度补偿的追加的构造，即使作为流气式比例计数管的检测器8A、8B的气体密度变化导致波峰位置偏差，由于在不使用机械化的气体密度稳定化机构的状态下被补偿且输出初始值，故在求出动态补偿值时，能进一步避免丢失波峰位置，而能正确地检测且能简便、更加正确地分析。
[0040]在本实施方式的装置中，关于气体密度补偿的追加的构造，具有:测定检测器8A、8B的温度的温度传感器19A、19B与检测检测器8A、8B的气压的压力传感器21，基于温度传感器19A、19B的测定温度与压力传感器21的测定压力这两者，推测能量谱(图3右侧)中的波峰位置Pa，在本发明中，在检测器的温度和检测器的气压中的任意一者，由于其他的控制等原因而视为一定的场合，则在气体密度补偿的追加的构造中不需要测定该一者的传感器，仅仅基于另一者的传感器的测定值，推测出能量谱中的波峰位置即可。
[0041]另外，也可仅仅增加关于零位置补偿的追加构造与关于密度补偿的追加构造中的任意一者，作为追加构造。另外，虽然偏离了本发明的主题，但是也可想出下述应用例，即，从本实施方式的装置的基本构成中去除第I补偿机构，仅仅将关于密度补偿的追加构造作为追加构造。
[0042]在上述内容中，本实施方式的装置是以波长色散型的多元素同时分析型的荧光X射线分析装置来说明的，但是在本发明中，也可以为其它的X射线分析装置，例如波长色散型的扫描型荧光X射线分析装置、能量色散型的荧光X射线分析装置、X射线衍射装置等。另外，所使用的检测器除了具有关于气体密度补偿的追加构造的场合以外、除了流气式比例计数管以外的检测器，可列举出例如密闭型比例计数管、闪烁计数器、半导体检测器等。
[0043]如上所述，参照附图，对优选的实施例进行了说明，但如果是本领域的技术人员阅读本申请说明书，会在显然的范围内容易地想到各种变更和修改方式。因此，对于这样的变更和修改方式，被解释在根据权利要求书而确定的发明的范围内。
[0044]标号说明
[0045]标号7A、7B表不入射的X射线；
[0046]标号8A、8B表不检测器；
[0047]标号9A、9B表不高速AD转换器；
[0048]标号10A、10B表示计数机构；
[0049]标号11A、IIB表示波峰位置稳定化机构；
[0050]标号12A、12B表不输入脉冲乘法器；
[0051]标号13A、13B表示第I补偿机构；
[0052]标号14A、14B表示第2补偿机构；
[0053]标号15A、15B表不增益加法器；
[0054]标号16A、16B表示零位置补偿机构；
[0055]标号17A、17B表示零位置加法器；
[0056]标号19A、19B表不温度传感器；
[0057]标号20A、20B表不气体密度补偿机构；
[0058]标号21表不压力传感器；
[0059]标号22A、22B表示初始值乘法器；
[0060]标号Pa表示波峰位置；
[0061]标号Pz表不零波峰位置；
[0062]标号Sa表不基准位置；
[0063]标号Sz表不零基准位置。
【权利要求】
1.一种X射线分析装置，其包括: 检测器，该检测器产生与射入的X射线的能量相对应的波高的脉冲，所述脉冲以仅仅与前述X射线的强度相对应的数量来产生； 高速AD转换器，该高速AD转换器将该检测器所产生的脉冲数字化； 计数机构，该计数机构对于该高速AD转换器所发出的脉冲，分成多个连续的波高范围并求出计数率，由此，获得作为相对于波高的计数率的分布的能量谱，基于该能量谱算出上述X射线的强度； 波峰位置稳定化机构，该波峰位置稳定化机构对于上述高速AD转换器所发出的脉冲，将上述能量谱中的波峰位置稳定化， 其特征在于，所述波峰位置稳定化机构包括: 输入脉冲乘法器，该输入脉冲乘法器输入上述高速AD转换器发来的脉冲，改变增益并将该增益输出； 第I补偿机构，该第I补偿机构基于通过上述计数机构求得的计数率的总数，推测出上述能量谱中的波峰位置，并输出初始值，该初始值是用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的增益值； 第2补偿机构，该第2补偿机构在通过上述计数机构得到的能量谱中，在包括上述基准位置的规定的能量范围内检测波峰位置，输出动态增益补偿值，该动态增益补偿值是用于将该检测出的波峰位置与上述基准位置一致化的增益值； 增益加法器，该增益加法器输入上述初始值和上述动态补偿值，将两者相加并输出到上述输入脉冲乘法器。
2.根据权利要求1所述的X射线分析装置，其中，所述波峰位置稳定化机构包括: 零位置补偿机构，在通过上述计数机构得到的能量谱中，检测出零波峰位置，并输出用于将该检测出的零波峰位置与零基准位置一致化的零位置用增益值，所述零波峰位置是指，在包含与零波高相对应的零基准位置的规定的能量范围内，将没有信号时的水平的频率设为峰值的位置； 零位置加法器，该零位置加法器设置于上述高速AD转换器与上述输入脉冲乘法器之间，输入上述高速AD转换器发出的脉冲与上述零位置用增益值，将上述高速AD转换器发出的脉冲与上述零位置用增益值相加并输出至上述输入脉冲乘法器。
3.根据权利要求1或2所述的X射线分析装置，其中，所述检测器为流气式比例计数管，所述波峰位置稳定化机构包括: 测定上述检测器的温度的温度传感器和/或测定上述检测器的气压的压力传感器； 气体密度补偿机构，该气体密度补偿机构基于上述温度传感器的测定温度和/或上述压力传感器的测定压力，推测上述能量谱中的波峰位置，输出用于将该推测出的波峰位置与基准位置一致化的气体密度用增益系数； 初始值乘法器，该初始值乘法器设置于上述第I补偿机构与上述增益加法器之间，输入上述初始值与上述气体密度用增益系数，将上述初始值与上述气体密度用增益系数相乘并输出至上述增益加法器。
【文档编号】G01N23/223GK104076050SQ201410109755
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年3月24日 优先权日:2013年3月25日
【发明者】迫幸雄, 川久航介 申请人:株式会社理学