物理量传感器、电子设备、以及移动体的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种能够防止可动体贴附于基板上的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明所涉及的物理量传感器包括：基板(10)；具备可动电极部(21、22)的；以能够围绕第一轴(Q)进行位移的方式对可动体(20)进行支承的支承部(30、32)；第一固定电极部(50)和第二固定电极部(52)，在以第一轴(Q)为界将可动体(20)划分为第一部分(20a)以及第二部分(20b)的情况下，第一固定电极部(50)以与第一部分(20a)对置的方式而被配置于基板(10)上，第二固定电极部(52)以与第二部分(20b)对置的方式而被配置于基板(10)上，在基板(10)上设置有，在第一固定电极部(50)与第二固定电极部(52)之间的电极间区域(14a)内对可动体(20)与基板(10)之间所产生的静电力进行抑制的保护部(60)。
【专利说明】物理量传感器、电子设备、以及移动体
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种物理量传感器、电子设备、以及移动体。
【背景技术】
[0002]近年来，例如，开发出了一种使用娃MEMS (Micro ElEctro MEchanical SystEms:微机电系统)技术来对加速度等物理量进行检测的物理量传感器。
[0003]物理量传感器例如具有:基板；固定电极部，其被固定于基板上；可动体，其具备相对于固定电极部而被对置配置的可动电极部，并且所述物理量传感器根据固定电极部与可动电极部之间的静电电容，而对加速度等的物理量进行检测。
[0004]在这种物理量传感器中，例如，在制造物理量传感器时，有时会在可动体和基板之间产生电位差，可动体由于静电力而被拉向基板侧，从而使可动体贴附于基板上。特别是，由于在用于密封可动体的盖体(盖)与基板进行阳极接合时，可动体与基板之间产生较大的电位差，因此将成为问题。
[0005]为了防止可动体贴附于基板上，例如在专利文献I中，公开了一种在固定电极与可动体(试验质量)接触之前，与屏蔽构件接触的物理量传感器。
[0006]然而，在专利文献I所公开的技术中，由于在两个固定电极之间的区域中露出了基板，因此存在通过该露出的区域与可动体之间的静电力，而使可动体贴附于基板上的情况。特别是，在专利文献I的物理量传感器中，由于基板所露出的区域与刚度较低的扭杆对置，因此存在可动体容易贴附于基板上的这类问题。
[0007]专利文献1:美国专利第7,121,141号说明书
【发明内容】
[0008]本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够防止可动体贴附于基板上的物理量传感器。此外，本发明的几个方式所涉及的目的之一还在于，提供一种包括上述物理量传感器的电子设备以及移动体。
[0009]本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的发明，并且能够作为以下的方式或应用例来实现。
[0010]应用例一
[0011]本应用例所涉及的物理量传感器，具有:基板；可动体，其具备可动电极部；支承部，其以能够围绕第一轴进行位移的方式对所述可动体进行支承；第一固定电极部和第二固定电极部，在以所述第一轴为界将所述可动体划分为第一部分以及第二部分的情况下，所述第一固定电极部以与所述第一部分对置的方式而被配置于所述基板上，所述第二固定电极部以与所述第二部分对置的方式而被配置于所述基板上；在所述基板上设置有保护部，所述保护部在所述第一固定电极部与所述第二固定电极部之间的电极间区域内对所述可动体与所述基板之间所产生的静电力进行抑制。
[0012]根据这种物理量传感器，能够对作用于可动体与基板之间的静电力进行抑制，从而防止可动体贴附于基板上的情况。
[0013]应用例二
[0014]在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，所述保护部被设置于所述基板上的在俯视观察时与所述支承部重叠的位置上。
[0015]根据这种物理量传感器，能够对作用于支承部与基板之间的静电力进行抑制，从而防止可动体贴附于基板上的情况。
[0016]应用例三
[0017]在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，即，所述保护部被设置于在俯视观察时与所述可动体重叠的位置上、且被设置于所述第一固定电极部、所述第二固定电极部、以及所述电极间区域的外侧处。
[0018]根据这种物理量传感器，能够对作用于可动体和基板之间的静电力进行抑制，从而防止可动体贴附于基板上的情况。
[0019]应用例四
[0020]在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，所述保护部为与所述可动体电连接的电极。
[0021]根据这种物理量传感器，能够对作用于可动体与基板之间的静电力进行抑制，从而防止可动体贴附于基板上的情况。
[0022]另外，在本发明所涉及的记载中，“电连接”这一书面语以如下方式使用，S卩，例如“与特定的部件(以下称为‘A部件’)‘电连接’的其他的特定的部件(以下称为‘B部件’)”等。在本发明所涉及的记载中，在该示例的这种情况下，包括A部件与B部件以直接连接方式电连接的情况、和A部件与B部件经由其他部件而电连接的情况下，使用“电连接”这一书面语。
[0023]应用例五
[0024]在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，所述保护部的所述电极被设置于在所述基板上所设置的槽部的内底面上。
[0025]根据这种物理量传感器，能够对作用于可动体与基板之间的静电力进行抑制，从而防止可动体贴附于基板上的情况。
[0026]应用例六
[0027]在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，在所述基板的所述电极与所述第一固定电极部之间的区域、以及所述基板的所述电极与所述第二固定电极部之间的区域内设置有槽部。
[0028]根据这种物理量传感器，能够对作用于可动体与基板之间的静电力进行抑制，从而防止可动体贴附于基板上的情况。
[0029]应用例七
[0030]在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，与所述第一固定电极部相邻的所述电极的数量和与所述第二固定电极部相邻的所述电极的数量相等。
[0031]根据这种物理量传感器，能够很容易地使在第一固定电极部与电极之间产生的寄生电容、与在第二固定电极部与电极之间产生的寄生电容相等。因此，能够使用差动检测方式，来消除在第一固定电极部中的寄生电容的影响与在第二固定电极部中的寄生电容的影响。
[0032]应用例八
[0033]在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，在所述电极、所述第一固定电极部、以及所述第二固定电极部中的至少一个上，设置有朝向所述可动体而突出的突起部。
[0034]根据这种物理量传感器，能够防止可动体贴附于基板上的情况。
[0035]应用例九
[0036]在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，所述保护部为槽部。
[0037]根据这种物理量传感器，能够对作用于可动体与基板之间的静电力进行抑制，从而防止可动体贴附于基板上的情况。
[0038]应用例十
[0039]本应用例所涉及的物理量传感器具有:基板；可动体，其具备可动电极部；支承部，其以能够围绕第一轴进行位移的方式对所述可动体进行支承；固定电极部，其以与所述可动电极部对置的方式而被配置于所述基板上；在所述基板上设置有保护部，所述保护部于在俯视观察时与所述支承部重叠的区域内对所述支承部与所述基板之间所产生的静电力进行抑制。
[0040]根据这种物理量传感器，能够对作用于支承部与基板之间的静电力进行抑制，从而防止可动体贴附于基板上。
[0041]应用例^^一
[0042]本应用例所涉及的电子设备包括本应用例中的任意一个应用例所涉及的物理量传感器。
[0043]根据这种电子设备，由于包括了本应用例中的任意一个应用例所涉及的物理量传感器，因此具有较高的可靠性。
[0044]应用例十二
[0045]本应用例所涉及的移动体包括本应用例中的任意一个应用例所涉及的物理量传感器。
[0046]根据这种移动体，由于包括了本应用例中的任意一个应用例所涉及的物理量传感器，因此具有较高的可靠性。
【专利附图】
【附图说明】
[0047]图1为模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。
[0048]图2为模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器的剖视图。
[0049]图3为模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器的制造工序的剖视图。
[0050]图4为模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器的制造工序的剖视图。
[0051]图5为模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器的制造工序的剖视图。
[0052]图6为模式化地表示第一实施方式的第一改变例所涉及的物理量传感器的俯视图。
[0053]图7为模式化地表示第一实施方式的第一改变例所涉及的物理量传感器的剖视图。
[0054]图8为模式化地表示第一实施方式的第二改变例所涉及的物理量传感器的俯视图。
[0055]图9为模式化地表示第一实施方式的第二改变例所涉及的物理量传感器的剖视图。
[0056]图10为模式化地表示第一实施方式的第三改变例所涉及的物理量传感器的俯视图。
[0057]图11为模式化地表示第一实施方式的第三改变例所涉及的物理量传感器的剖视图。
[0058]图12为模式化地表示第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。
[0059]图13为模式化地表示第二实施方式所涉及的物理量传感器的剖视图。
[0060]图14为模式化地表示第二实施方式的改变例所涉及的物理量传感器的俯视图。
[0061]图15为模式化地表示第二实施方式的改变例所涉及的物理量传感器的剖视图。
[0062]图16为模式化地表示第三实施方式所涉及的电子设备的立体图。
[0063]图17为模式化地表示第三实施方式所涉及的电子设备的立体图。
[0064]图18为模式化地表示第三实施方式所涉及的电子设备的立体图。
[0065]图19为模式化地表示第四实施方式所涉及的移动体的立体图。
【具体实施方式】
[0066]以下，使用附图对本发明的优选的实施方式进行详细说明。另外，在下文中说明的实施方式并非对权利要求中所记载的本发明的内容进行不当限定。此外，在下文中所说明的结构的全部内容不一定为本发明的必须结构要件。
[0067]1、第一实施方式
[0068]1.1.物理量传感器
[0069]首先，参照附图对第一实施方式所涉及的物理量传感器进行说明。图1为模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器100的俯视图。图2为模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器100的、图1中的I1-1I线剖视图。另外，为了便于说明，在图1中，省略了盖体70的图示。此外，在图1以及图2中，作为互相垂直三个轴，而图示了 X轴、Y轴、以及Z轴，即使在下文所示的各个图中也同样图示了 X轴、Y轴、以及Z轴。
[0070]如图1以及图2所示,物理量传感器100包括:基板10、可动体20、支承部30、固定部40、固定电极部50、52、保护部60、62、电极64、盖体70。在下文中，对于物理量传感器100为检测铅直方向(Z轴方向)上的加速度的加速度传感器(静电电容型MEMS加速度传感器)的示例进行说明。
[0071]基板10的材质为，例如玻璃等的绝缘材料。例如通过使基板10采用玻璃等的绝缘材料、使可动体20采用硅等的半导体材料，从而能够很容易地使两者电绝缘，并能够简化传感器结构。
[0072]在基板10上，形成有凹部12。在凹部12的上方处，隔着间隙而设置有可动体20、以及支承部30、32。在图1所示的示例中，凹部12的平面形状(从Z轴方向观察时的形状)为长方形。
[0073]基板10具有柱部16，所述柱部16被设置于凹部12的底面(对凹部12进行规定的基板10的面)14上。柱部16与底面14相比向上方(+Z轴方向)突出。柱部16的高度与凹部12的深度例如相等。在柱部16上，设置有用于向可动体20施加预定的电位的配线(未图示)。
[0074]可动体20能够围绕支承轴(第一轴)Q进行位移。具体而言，当施加有铅直方向(Z轴方向)上的加速度时，可动体20将以由支承部30、32决定的支承轴Q为旋转轴(摆动轴)而进行杠杆式摆动。支承轴Q例如与Y轴平行。可动体20的平面形状例如为长方形。可动体20的厚度(Z轴方向上的大小)例如是固定的。
[0075]可动体20具有第一杠杆片(第一部分)20a和第二杠杆片(第二部分)20b。第一杠杆片20a为，在俯视观察时，通过支承轴Q而被划分成的可动体20的两个部分中的一个部分(在图1中位于左侧的部分)。第二杠杆片20b为，在俯视观察时，通过支承轴Q而被划分成的可动体20的两个部分中的另一个部分(在图1中位于右侧的部分)。即，可动体20以支承轴Q为界而被划分为第一杠杆片20a以及第二杠杆片20b。
[0076]例如，在向可动体20施加了铅直方向上的加速度(例如重力加速度)的情况下，将分别在第一杠杆片20a与第二杠杆片20b上生成转矩(力矩)。在此，在第一杠杆片20a的转矩(例如逆时针方向的转矩)与第二杠杆片20b的转矩(例如顺时针方向的转矩)平衡的情况下，可动体20的倾斜度不会发生变化，从而无法对加速度进行检测。因此，可动体20被设计为，当施加了铅直方向上的加速度时，第一杠杆片20a的转矩与第二杠杆片20b的转矩不平衡，从而使可动体20产生预定的倾斜度。
[0077]在物理量传感器100中，通过将支承轴Q配置于从可动体20的中心(重心)偏离了的位置(通过使从支承轴Q到各个杠杆片20a、20b的顶端的距离不同)，从而使杠杆片20a、20b具有互不相同的质量。S卩，可动体20以支承轴Q为界,在一侧(第一杠杆片20a)与另一侧(第二杠杆片20b)质量有所不同。在图示的示例中,支承轴Q到第一杠杆片20a的端面24的距离大于从支承轴Q到第二杠杆片20b的端面25的距离。此外，第一杠杆片20a的厚度与第二杠杆片20b的厚度相等。因此，第一杠杆片20a的质量大于第二杠杆片20b的质量。如此，通过使杠杆片20a、20b具有互不相同的质量，从而能够在施加了铅直方向上的加速度时，使第一杠杆片20a的转矩与第二杠杆片20b的转矩不平衡。因此，能够在施加了铅直方向上的加速度时，使可动体20产生预定的倾斜度。
[0078]另外，虽然未图示，但也可以采用如下方式，即，通过将支承轴Q配置于可动体20的中心处，且使杠杆片20a、20b的厚度互不相同，从而使杠杆片20a、20b具有互不相同的质量。即使在这种情况下，也能够在施加了铅直方向上的加速度时，使可动体20产生预定的倾斜度。
[0079]可动体20以与基板10分离的方式而被设置。可动体20被设置于凹部12的上方处。在图示的示例中，在可动体20与基板10之间，设置有间隙。此外，可动体20通过支承部30、32而以与固定部40分离的方式被连接。由此，可动体20能够进行杠杆式摆动。
[0080]可动体20具备以支承轴Q为界而被设置的第一可动电极部21以及第二可动电极部22。第一可动电极部21被设置于第一杠杆片20a上。第二可动电极部22被设置于第二杠杆片20b上。
[0081]第一可动电极部21为，可动体20中的、在俯视观察时与第一固定电极部50重叠的部分。在第一可动电极部21与第一固定电极部50之间形成静电电容Cl。S卩,通过第一可动电极部21和第一固定电极部50而形成了静电电容Cl。
[0082]第二可动电极部22为，可动体20中的、在俯视观察时与第二固定电极部52重叠的部分。在第二可动电极部22与第二固定电极部52之间形成静电电容C2。S卩，通过第二可动电极部22和第二固定电极部52而形成了静电电容C2。在物理量传感器100中，通过以导电性材料(掺杂了杂质的硅)构成可动体20，从而设置可动电极部21、22。S卩，第一杠杆片20a作为第一可动电极部21而发挥功能，第二杠杆片20b作为第二可动电极部22而发挥功能。
[0083]静电电容Cl以及静电电容C2被构成为，例如，在图2所示的可动体20为水平状态下变为彼此相等。可动电极部21、22的位置根据可动体20的动作而发生变化。静电电容C1、C2根据该可动电极部21、22的位置而发生变化。在可动体20上，经由支承部30、32而被施加有预定的电位。
[0084]在可动体20上，形成有贯穿可动体20的狭缝部26。由此，能够降低可动体20进行摆动时的空气的影响(空气的阻力)。在图示的示例中，狭缝部26被设置了多个。
[0085]在可动体20上，设置有开口部28。在开口部28中，设置有支承部30、32以及固定部40。可动体20经由支承部30、32而与固定部40连接。
[0086]支承部30、32以能够围绕支承轴Q进行位移的方式对可动体20进行支承。支承部30、32作为扭转弹簧(扭簧)而发挥功能。由此，支承部30、32能够通过可动体20进行杠杆式摆动从而相对于在支承部30、32中产生的扭转变形而具有较强的复原力。
[0087]支承部30、32在俯视观察时，被配置于支承轴Q上。支承部30、32连接固定部40与可动体20。支承部30、32沿着支承轴Q而延伸。支承部30从固定部40起向+Y轴方向延伸。支承部32从固定部40起向-Y轴方向延伸。
[0088]固定部40被设置于开口部28中。固定部40在俯视观察时，被设置于支承轴Q上。固定部40与基板10的柱部16接合。在图示的示例中，固定部40的中央部与柱部16接合。
[0089]在固定部40的与基板10分离的部分上，设置有贯穿孔46。贯穿孔46在俯视观察时被配置于支承轴Q上。通过在固定部40中设置贯穿孔46，从而能够降低因基板10的热膨胀率与结构体2的热膨胀率之差而产生的应力、或安装时施加于装置上的应力等对支承部30,32的影响。
[0090]可动体20、支承部30、32、以及固定部40被设置为一体。可动体20、支承部30、32、以及固定部40，例如通过对一块基板(硅基板)进行图案形成从而被设置为一体。在图示的示例中，可动体20、支承部30、32、以及固定部40构成了一个结构体(硅结构体)2。结构体2的材质为，例如通过掺杂了磷、硼等的杂质而被赋予了导电性的硅。在基板10的材质为玻璃、结构体2的材质为娃的情况下,基板10与固定部40例如通过阳极接合而被接合。
[0091]在物理量传感器100中，结构体2通过一个固定部40而被固定于基板10上。SP，结构体2通过一点(一个固定部40)被固定在基板10上。因此，例如与结构体2通过两点(两个固定部40)而被固定在基板10上的情况(例如参照图12、13)相比，能够降低因基板10的热膨胀率与结构体2的热膨胀率之差而产生的应力、或安装时施加于装置上的应力等对支承部30、32的影响。
[0092]第一固定电极部50被设置于基板10上。第一固定电极部50以与第一可动电极部21对置的方式而被配置。第一可动电极部21隔着间隙而位于第一固定电极部50的上方。在将可动体20以支承轴Q为界而划分为第一杠杆片20a以及第二杠杆片20b的情况下，第一固定电极部50以与第一杠杆片20a对置的方式而被配置于基板10上。
[0093]第二固定电极部52被配置于基板10上。第二固定电极部52以与第二可动电极部22对置的方式而被配置。第二可动电极部22隔着间隙而位于第二固定电极部52的上方。在将可动体20以支承轴Q为界而划分为第一杠杆片20a及第二杠杆片20b的情况下，第二固定电极部52以与第二杠杆片20b对置的方式而被配置于基板10上。
[0094]第一固定电极部50的与可动体20对置的部分的面积、和第二固定电极部52的与可动体20对置的部分的面积相等。第一固定电极部50的平面形状与第二固定电极部52的平面形状，例如关于支承轴Q而互相对称。
[0095]第一固定电极部50被设置于保护部60与保护部62之间。S卩，与第一固定电极部50相邻的电极61的数量为两个。此外，第二固定电极部52被设置于保护部60与电极64之间。即，与第二固定电极部52相邻的电极61、64的数量为两个。如此，在物理量传感器100中，与第一固定电极部50相邻的电极61的数量、和与第二固定电极部52相邻的电极
61、64的数量相等。
[0096]另外，虽然未图示，但也可以在盖体70的、与第一可动电极部21对置的位置上设置有第一固定电极部50，在盖体70的、与第二可动电极部22对置的位置上设置有第二固定电极部52。
[0097]保护部60、62为，用于抑制作用于可动体20与基板10之间的静电力以及作用于支承部30、32与基板10之间的静电力的部件。在图示的示例中，保护部60、62为，与可动体20电连接的电极61。
[0098]保护部60在俯视观察时，被设置于基板10的第一固定电极部50与第二固定电极部52之间的区域(第一区域、电极间区域)14a内。在图示的示例中，基板10的区域14a在俯视观察时，包含与可动体20 (第一杠杆片20a以及第二杠杆片20b)重叠的区域、以及与支承部30、32重叠的区域(第二区域)。
[0099]构成保护部60的电极61以与可动体20以及支承部30、32对置的方式而被配置。即，构成保护部60的电极61在俯视观察时，与可动体20 (第一杠杆片20a以及第二杠杆片20b)以及支承部30、32重叠。可动体20 (第一杠杆片20a以及第二杠杆片20b)以及支承部30、32隔着间隙而位于构成保护部60的电极61上方。
[0100]保护部62为，在俯视观察时基板10的与第一杠杆片20a重叠的区域，且被设置于第一固定电极部50的-X轴方向上的区域14b内。保护部62位于基板10上的在俯视观察时与可动体20重叠的位置，且被设置于第一固定电极部50、第二固定电极部52、以及第一区域14a的外侧。保护部62位于基板10上的在俯视观察时与可动体20重叠的位置，且以避开第一固定电极部50、第二固定电极部52、以及第一区域14a的方式而被设置。构成保护部62的电极61以与第一杠杆片20a对置的方式而被配置。即，构成保护部62的电极61在俯视观察时，与第一杠杆片20a重叠。第一杠杆片20a隔着间隙而位于构成保护部62的电极61上方。
[0101]电极64被设置于第二固定电极部52的+X轴方向上的区域14C内。在图示的示例中，电极64被设置于不与可动体20重叠的区域内。在图示的示例中，基板10的区域14a、14b、14C为，凹部12的底面14的一部分。
[0102]构成保护部60的电极61，例如经由被设置于柱部16的表面上的配线(未图示)、固定部40、以及支承部30、32而与可动体20电连接。此外，构成保护部62的电极61以及电极64通过未图示的配线而与保护部60的电极61电连接。另外，也可以通过接合线(未图示)等来对可动体20与各电极61、64进行电连接。在物理量传感器100中，由于各个电极61与可动体20电连接，因此能够将各个电极61与可动体20设为等电位。由此，能够抑制作用于结构体2 (可动体20)与基板10之间的静电力。
[0103]构成固定电极部50、52、保护部60、62的电极61以及电极64的材质为，例如铝、金、IT0(IndIum Tin OxIdE:铟锡氧化物)等。构成固定电极部50、52、保护部60、62的电极61以及电极64的材质，优选为ITO等透明电极材料。其理由为，通过使用透明电极材料来作为构成固定电极部50、52、保护部60、62的电极61以及电极64的材质，从而在基板10为透明基板(玻璃基板)的情况下，能够很容易地目视确认存在于构成固定电极部50、52、保护部60、62的电极61及电极64上的异物等。
[0104]盖体70被设置于基板10上。盖体70与基板10接合。盖体70以及基板10形成了收纳可动体20的空腔72。空腔72例如为惰性气体(例如氮气)环境。盖体70的材质例如为硅。在盖体70的材质为硅、基板10的材质为玻璃的情况下，基板10与固定部40例如通过阳极接合而被接合。
[0105]接下来，对物理量传感器100的动作进行说明。
[0106]在物理量传感器100中，可动体20根据加速度、角速度等的物理量而围绕支承轴Q进行摆动。伴随于该可动体20的移动，第一可动电极部21与第一固定电极部50之间的距离、以及第二可动电极部22与第二固定电极部52之间的距离将发生变化。
[0107]具体而言，例如当铅直朝上(+Z轴方向)的加速度被施加于物理量传感器100上时，可动体20将向逆时针方向旋转，从而第一可动电极部21与第一固定电极部50之间的距离变小，第二可动电极部22与第二固定电极部52之间的距离变大。其结果为，静电电容Cl变大、静电电容C2变小。
[0108]此外，例如当铅直朝下(-Z轴方向)的加速度被施加于物理量传感器100上时，可动体20将向顺时针方向旋转，从而第一可动电极部21与第一固定电极部50之间的距离变大，第二可动电极部22与第二固定电极部52之间的距离变小。其结果为，静电电容Cl变小、静电电容C2变大。因此，能够根据静电电容Cl与静电电容C2之差(通过所谓的差动检测方式)，来对加速度或角速度等的朝向或大小等的物理量进行检测。
[0109]如上所述，物理量传感器100能够作为加速度传感器或陀螺传感器等的惯性传感器使用，具体而言，例如，能够作为用于对铅直方向(Z轴方向)上的加速度进行测定的静电电容型加速度传感器来使用。
[0110]物理量传感器100例如具有以下特征。
[0111]在物理量传感器100中，包括:基板10 ;可动体20，其具备可动电极部21、22 ;支承部30，其以能够围绕绕支承轴Q进行位移的方式对可动体20进行支承；第一固定电极部50和第二固定电极部52，在以支承轴Q为界而将可动体20划分为第一杠杆片20a以及第二杠杆片20b的情况下，所述第一固定电极部50以与第一杠杆片20a对置的方式而被配置于基板10上，所述第二固定电极部52以与第二杠杆片20b对置的方式而被配置于基板10上，在基板10上,于第一固定电极部50与第二固定电极部52之间的电极间区域14a内设置有保护部60，所述保护部60对在可动体20与基板10之间所产生的静电力进行抑制。由此，能够对作用于可动体20与基板10之间的静电力进行抑制，从而防止可动体20贴附于基板10上。因此，不会产生如下问题，即，例如在制造物理量传感器100时，在可动体20与基板10之间产生电位差，可动体20因静电力而被拉向基板10 —侧从而使可动体20贴附于基板10上的问题。
[0112]在物理量传感器100中，保护部60被设置于，基板10上的在俯视观察时与支承部30,32重叠的位置上。因此，能够可对作用于支承部30、32与基板10之间的静电力进行抑制，从而防止可动体20贴附于基板10上。
[0113]在物理量传感器100中，保护部62被设置于在俯视观察时与可动体20重叠的位置，且被设置于第一固定电极部50、第二固定电极部52、以及电极间区域14a的外侧的区域14b内。因此，能够对作用于可动体20与基板10之间的静电力进行抑制，从而防止可动体贴附于基板上。
[0114]在物理量传感器100中，保护部60、62为与可动体20电连接的电极61。因此，能够减小可动体20以及支承部30、32与电极61之间的电位差(或不产生电位差)。因此，能够对作用于可动体20及支承部30、32与基板10之间的静电力进行抑制，从而防止可动体20贴附于基板10上。
[0115]在物理量传感器100中，与第一固定电极部50相邻的电极61的数量、和与第二固定电极部52相邻的电极61、64的数量相等。因此，能够很容易地使在第一固定电极部50与电极61之间产生的寄生电容、与在第二固定电极部52与电极61、64之间产生的寄生电容相等。因此，使用差动检测方式，能够消除第一固定电极部50中的寄生电容的影响与第二固定电极部52中的寄生电容的影响。
[0116]1.2.物理量传感器的制造方法
[0117]接下来，参照附图，对第一实施方式所涉及的物理量传感器的制造方法进行说明。图3至图5为，模式化地表示第一实施方式所涉及的物理量传感器100的制造工序的剖视图。
[0118]如图3所示，例如对玻璃基板进行图案形成从而形成具有凹部12以及柱部16的基板10。玻璃基板的图案形成例如通过光刻以及蚀刻而被实施。
[0119]接下来，在凹部12的底面14上，形成构成固定电极部50、52、保护部60、62的电极61以及电极64。构成固定电极部50、52、保护部60、62的电极61以及电极64，在通过溅射法等而于底面14上使导电层成膜之后，通过利用光刻以及蚀刻来对该导电层进行图案形成而被形成。
[0120]如图4所示，在基板10上接合硅基板102。基板10与硅基板102的接合，例如通过阳极接合而被实施。
[0121]如图5所示，在例如通过研磨机对硅基板102进行研磨而使其薄膜化之后，进行图案形成,从而使可动体20、支承部30、32以及固定部40—体形成。图案形成通过光刻以及蚀刻(干蚀刻)而被实施，作为更加具体的蚀刻技术，能够使用博世(Bosch)法。
[0122]如图2所示，在基板10上接合盖体70，并将可动体20收纳于通过基板10以及盖体70而形成的空腔72中。基板10与盖体70的接合，例如通过阳极接合而被实施。通过在惰性气体环境下实施本工序，从而能够在空腔72中填充惰性气体。
[0123]在本工序中，在基板10上接合盖体70之时，在包括可动体20、支承部30、32、以及固定部40在内的结构体2与基板10之间，将产生较大的电位差。但是，通过保护部60、62从而能够抑制作用于可动体20以及支承部30、32与基板10之间的静电力。因此，能够防止可动体20贴附于基板10上。
[0124]通过以上的工序，能够制造出物理量传感器100。
[0125]1.3.改变例
[0126]接下来，参照附图，对第一实施方式所涉及的物理量传感器的改变例进行说明。在下文所示的各个改变例所涉及的物理量传感器200、300、400中，对于与上文所述的物理量传感器100的结构部件具有同样的功能的部件标记相同的符号，并省略其说明。
[0127](I)第一改变例
[0128]首先，对第一改变例进行说明。图6为模式化地表示第一改变例所涉及的物理量传感器200的俯视图。图7为模式化地表示第一改变例所涉及的物理量传感器200的、图6中的VI1-VII线剖视图。另外，为了便于说明，在图6中省略了盖体70的图示。
[0129]在上文所述的物理量传感器100的示例中，如图1以及图2所示，保护部60、62是由与可动体20电连接的电极61构成的。
[0130]相对于此，在物理量传感器200中，如图6以及图7所示，保护部60、62包括与可动体20电连接的电极61、和被设置于基板10上的槽部18。
[0131]在图示的示例中，保护部60由一个电极61和两个槽部18构成。在保护部60中，槽部18在俯视观察时被设置于如下区域内，即，基板10的第一固定电极部50与构成保护部60的电极61之间的区域、以及基板10的第二固定电极部52与构成保护部60的电极61之间的区域。
[0132]槽部18被设置于凹部12的底面14上。槽部18具有与凹部12的底面14相比、与可动体20之间的距离较大的底面(与可动体20对置的面、内底面)。通过设置槽18从而能够增大基板10与可动体20之间的距离。
[0133]在此，静电力的大小与距离的平方成反比。因此，通过设置槽部18从而能够抑制作用于基板10与可动体20之间的静电力。另外，槽部18的深度只要为基板10与可动体20不因静电力而贴合的深度即可，并未被特别限定。
[0134]在图示的示例中，保护部62由一个电极61和一个槽部18构成。在保护部62中，槽部18在俯视观察时，被设置于基板10的第一固定电极部50与构成保护部62的电极61之间的区域内。
[0135]在物理量传感器200中，保护部60包含电极61和槽部18,所述电极61被设置于第一区域14a内、且与可动体20电连接，所述槽部18在俯视观察时，被设置于基板10的构成保护部60的电极61与第一固定电极部50之间的区域内、以及基板10的构成保护部60的电极61与第二固定电极部52之间。由此，通过电极61以及槽部18来对作用于可动体20以及支承部30、32与基板10之间的静电力进行抑制，从而能够防止可动体20贴附于基板10上。
[0136]物理量传感器200的制造方法，除了追加通过在凹部12的底面14上蚀刻而形成槽部18的工序之外，均与上文所述的物理量传感器100的制造方法相同，因此省略其说明。
[0137]另外，虽然未图示，但也可以仅通过槽部18来构成保护部60。即，在图6以及图7中，也可以将构成保护部60的电极61作为槽部18。具体而言，将第一区域14a的整体(除柱部16之外)作为槽部18。即使在该情况下，也能够对作用于可动体20及支承部30、32与基板10之间的静电力进行抑制，从而防止可动体20贴附于基板10上。同样地，也可以仅通过槽部18来构成保护部62。
[0138]此外，虽然未图示，但也可以在槽部18的底面(内底面)上设置电极61。此外，也可以在第一区域14a的整体(除柱部16之外)上设置槽部18，并在该槽部18的内底面上设置电极61来作为保护部60。此外，同样地，也可以在第二区域14b的整体上设置槽部18，并在该槽部18的内底面上设置电极61来作为保护部62。即使在该情况下，也能够对作用于可动体20以及支承部30、32与基板10之间的静电力进行抑制，从而防止可动体20贴附于基板10上。
[0139](2)第二改变例
[0140]接下来，对第二改变例进行说明。图8为模式化地表示第二改变例所涉及的物理量传感器300的俯视图。图9为模式化地表示第二改变例所涉及的物理量传感器300的、图8中的IX-1X线剖视图。此外，为了便于说明，在图8中，省略了盖体70的图示。
[0141]在物理量传感器300中，如图8及图9所示，在固定电极部50、52以及电极61上分别设置有突起部65。
[0142]突起部65从各个电极50、52、61起向可动体20—侧突出。突起部65的形状为例如锤状。突起部65在俯视观察时，被设置于与可动体20重叠的区域内。突起部65的数量与位置并未被特别限定。在图示的示例中，突起部65被设置于基板10的底面14露出的区域(未形成有电极50、52、61的区域)的两侧处。
[0143]具体而言，在图示的示例中，突起部65被设置于第一固定电极部50以及第二固定电极部52的四角处、构成保护部60的电极61的四角处、构成保护部62的电极61的第一固定电极部50侧的端部处。
[0144]在物理量传感器300中，在电极61、第一固定电极部50、以及第二固定电极部52的至少一个上，设置有朝向可动体20而突出的突起部65。由此，能够防止可动体20贴附于基板10上。
[0145]物理量传感器300的制造方法，除了在形成凹部12时以在底面14上形成突起的方式而进行蚀刻并在该突起上使成为各个电极50、52、61的导电层成膜从而形成突起部65这点之外，均与上文所述的物理量传感器100的制造方法相同，因此省略其说明。
[0146](3)第三改变例
[0147]接下来，对第三改变例进行说明。图10为模式化地表示第三改变例所涉及的物理量传感器400的俯视图。图11为模式化地表示第三改变例所涉及的物理量传感器400的、图10中的X1-XI线剖视图。另外，为了便于说明，在图10中，省略了盖体70的图示。
[0148]在物理量传感器400中，如图10及图11所示，在可动体20上，设置有与基板10的、构成保护部60的电极61和第一固定电极部50之间的区域14d对置的狭缝部26。此夕卜，在可动体20上，设置有与基板10的、构成保护部60的电极61和第二固定电极部52之间的区域对置的狭缝部26。
[0149]在可动体20上，还设置有与基板10的、构成保护部62的电极61和第一固定电极部50之间的区域14f对置的狭缝部26。
[0150]在物理量传感器400中，在可动体20上，设置有与基板10露出的区域14d、14E、14f对置的狭缝部26。由此，能够对作用于可动体20与基板10之间的静电力进行抑制，从而防止可动体20贴附于基板10上。
[0151](4)第四改变例
[0152]接下来，对第四改变例进行说明。虽然未图示，但第四改变例所涉及的物理量传感器被构成为，包括上文所述的图6以及图7所示的槽部18、图8以及图9所示的突起部65、图10以及图11所示的狭缝部26。由此，能够可靠地防止可动体20贴附于基板10上。
[0153]2.第二实施方式
[0154]2.1.物理量传感器
[0155]接下来，参照附图，对第二实施方式所涉及的物理量传感器进行说明。图12为模式化地表示第二实施方式所涉及的物理量传感器500的俯视图。图13为模式化地表示第二实施方式所涉及的物理量传感器500的、图12中的XII1-XIII线剖视图。另外，为了便于说明，在图12中，省略了盖体70的图示。
[0156]以下，在第二实施方式所涉及的物理量传感器500中，对于具有与第一实施方式所涉及的物理量传感器100的结构部件相同的功能的部件标记相同的符号，并省略其说明。
[0157]如图12及图13所示，在物理量传感器500中，支承部30、32连接被设置于可动体20的周围的固定部40a、40b与可动体20，并且保护部60包括被设置于如下区域中的电极61，即，基板10的第一固定电极部50与第二固定电极部52之间的区域(第一区域、电极间区域)14a、以及在俯视观察时基板10的与支承部30重叠的区域(第二区域)14h、14i。
[0158]如图12所不,物理量传感器500具有被设置于可动体20周围的第一固定部40a以及第二固定部40b。在图示的示例中，固定部40a、40b被设置于基板10的框部19上。固定部40a、40b与框部19,例如通过阳极接合而被接合。第一固定部40a被设置于可动体20的+Y轴方向上，第二固定部40b被设置于可动体20的-Y轴方向上。g卩，可动体20被配置于第一固定部40a与第二固定部40b之间。
[0159]基板10的框部19以包围凹部12的方式而被设置。框部19的侧面为，对凹部12的侧面进行规定的面。框部19与固定部40a、40b，例如通过阳极接合而被接合。
[0160]支承部30连接第一固定部40a与可动体20。支承部30与可动体20的+Y轴方向侧的侧面连接。支承部32连接第二固定部40b与可动体20。支承部32与可动体20的-Y轴方向侧的侧面连接。
[0161]在物理量传感器500中，结构体2通过两个固定部40而被固定于基板10上。SP,结构体2相对于基板10而以两点(两个固定部40)被固定。
[0162]保护部60由被设置于基板10的区域14a以及基板10的区域14h、14i中的电极61构成。基板10的区域14h为，在俯视观察时与支承部30重叠的区域。基板10的区域14i为，在俯视观察时与支承部32重叠的区域。基板10的区域14h、14i为凹部12的底面14的一部分。虽然在图示的示例中，一个电极61以遍及基板10的区域14a、14h、14i的方式而被设置，但也可以在基板10的各个区域14a、14h、14i内分别设置电极61。
[0163]构成保护部60的电极61，例如也可以向凹部12的侧面以及框部19的上表面延伸并与固定部40a、40b电连接。由此，该电极61经由第一固定部40a、支承部30 (或第二固定部40b、支承部32)而与可动体20电连接。另外，也可以通过接合线(未图示)等而对各个电极61与可动体20进行电连接。
[0164]在物理量传感器500中，保护部60包括被设置于如下区域内的电极61，即，在俯视观察时，基板10的第一固定电极部50与第二固定电极部52之间的区域14a、以及基板10的与支承部30、32重叠的区域14h、14i。由此，能够对作用于可动体20以及支承部30、32与基板10之间的静电力进行抑制，从而防止可动体20贴附于基板10上。
[0165]物理量传感器500的制造方法，除了在基板10的区域14h、14i内形成电极61这一点、以及形成两个固定部40a、40b这一点外，均与上文所述的物理量传感器100的制造方法相同，因此省略其说明。
[0166]2.2.改变例
[0167]接下来，参照附图，对第二实施方式所涉及的物理量传感器的改变例进行说明。图14为模式化地表示第二实施方式的改变例所涉及的物理量传感器600的俯视图。图15为模式化地表示第二实施方式的改变例所涉及的物理量传感器600的、图14中的XV-XV线剖视图。另外，为了便于说明，在图14中，省略了盖体70的图示。
[0168]以下,在本改变例所物理量传感器600中，对于具有与上文所述的物理量传感器500的结构部件相同的功能的部件标记相同的符号，并省略其说明。
[0169]在上文所述的物理量传感器500的示例中，如图12及图13所示，保护部60被构成为，包括被设置于如下区域内的电极61，S卩，在俯视观察时，基板10的第一固定电极部50与第二固定电极部52之间的区域(第一区域)14a、以及基板10的与支承部30重叠的区域(第二区域)14h、14i。
[0170]相对于此,在物理量传感器600中，如图14及图15所示,保护部60包括槽部18和电极61,在俯视观察时,所述槽部18被设置于基板10的第一固定电极部50与第二固定电极部52之间的区域(第一区域、电极间区域)14a内，所述电极61被设置于与基板10的支承部30、32重叠的区域(第二区域)14h、14i内。电极61被电连接于可动体20。
[0171]在物理量传感器600中，能够通过电极61来对作用于支承部30、32与基板10之间的静电力进行抑制，且能够通过槽部18来对作用于可动体20与基板10之间的静电力进行抑制，从而防止可动体20贴附于基板10上。另外，虽然未图示，但也可以在槽部18的内底面上设置电极61。
[0172]3、第三实施方式
[0173]接下来，参照附图，对第三实施方式所涉及的电子设备进行说明。第三实施方式所涉及的电子设备包括本发明所涉及的物理量传感器。在下文中，作为本发明所涉及的物理量传感器而对包括物理量传感器100的电子设备进行说明。
[0174]图16为模式化地表示作为第三实施方式所涉及的电子设备的移动型(或者笔记本型)的个人计算机1100的立体图。
[0175]如图16所示，个人计算机1100由具备键盘1102的主体部1104和具有显示部1108的显示单元1106构成，并且显示单元1106经由铰链结构部而被支持为能够相对于主体部1104进行转动。
[0176]在这种个人计算机1100中，内置有物理量传感器100。
[0177]图17为模式化地表示作为第三实施方式所涉及的电子设备的便携式电话机(也包含PHS:个人手持式电话系统)1200的立体图。
[0178]如图17所示，便携式电话机1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，在操作按钮1202与听筒1204之间，配置有显示部1208。
[0179]这种便携式电话机1200中，内置有物理量传感器100。
[0180]图18为模式化地表示作为第三实施方式所涉及的电子设备的数码照相机1300的立体图。另外，在图18中，简单地图示了与外部设备的连接。
[0181]在此，通常的照相机通过被拍摄物体的光像而使氯化银照片胶卷感光，与此相对，数码照相机1300则通过CCD (ChargE CouplEd DEvIcE:电荷稱合装置)等的摄像元件而对被拍摄物体的光像进行光电变换从而生成摄像信号(图像信号)。
[0182]在数码照相机1300的壳体(机体)1302的背面上设置有显示部1310，并且成为了根据由CCD发出的摄像信号而进行显示的结构，显示部1310作为将被拍摄物体以电子图像显示的取景器而发挥功能。
[0183]此外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)，设置有包括光学透镜(摄像光学系统)与CXD等的受光单元1304。
[0184]当摄影者对被显示在显示部1310上的被拍摄物体图像进行确认，并按下快门按钮1306时，该时间点的CXD摄像信号将被传送并存储于存储器1308中。
[0185]此外，在数码照相机1300中，在壳体1302的侧面上设置有视频信号输出端子1312、和数据通信用输入输出端子1314。而且，分别根据需要，在视频信号输出端子1312上连接有电视监视器1430，在数据通信用的入出力端子1314上连接有个人计算机1440。并且，成为如下的构成，即，通过预定的操作而使存储于储存器1308中的摄像信号向电视监视器1430或个人计算机1440输出。
[0186]在这种数码照相机1300中，内置有物理量传感器100。
[0187]由于以上这种电子设备1100、1200、1300包含了能够防止可动体20贴附于基板10
上的物理量传感器100，因此能够具有较高的可靠性。
[0188]另外，具备了物理量传感器100的电子设备，除了能够应用于图16所示的个人计算机(移动个人计算机)、图17所示的便携式电话机、图16所示的数码照相机之外，还能够应用于如下的电子设备中，例如:喷墨式喷出装置(例如喷墨式打印机)、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、各种车辆导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括附带通信功能)、电子词典、台式电子计算机、电子游戏设备、头戴式显示器、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用电视监视器、电子双筒望远镜、POS终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量设备类(例如，车辆、飞机、火箭、船舶的计量设备类)、机器人或人体等的姿态控制、飞行模拟器等。
[0189]4.第四实施方式
[0190]接下来，参照附图，对第四实施方式所涉及的移动体进行说明。第四实施方式所涉及的移动体包含本发明所涉及的物理量传感器。在下文中，对作为本发明所涉及的物理量传感器的包含物理量传感器100的移动体进行说明。
[0191]图19为模式化地表示作为第四实施方式所涉及的移动体的汽车1500的立体图。
[0192]在汽车1500中，内置有物理量传感器100。具体而言，如图19所示，在汽车1500的车身1502上,搭载了电子控制单元(EQJ:ElEctronic Control Unit),所述电子控制单元内置了对汽车1500的加速度进行检测的物理量传感器100并对发动机的输出进行控制。此外，物理量传感器100还能够广泛地应用于其他的车体姿态控制单元、防抱死制动系统(ABS)、安全气囊、车胎压力监测系统(TPMS:TirE PrEssurE Monitoring SystEm)。
[0193]由于汽车1500包括能够防止可动体20贴附于基板10上的物理量传感器100，因此能够具有较高可靠性。
[0194]上文所述的实施方式以及改变例为一个示例，且并不限定这些示例。例如，也能够对各个实施方式以及各个改变例进行适当组合。
[0195]本发明包括与在实施方式中说明了的结构实质相同的结构(例如，功能、方法以及结果相同的结构、或目的以及效果相同的结构)。此外，本发明包括对在实施方式中说明了的结构的非本质部分进行置换的结构。此外，本发明包括与在实施方式中说明了的结构起到相同作用效果的结构或能够实现相同目的的结构。此外，本发明包括对在实施方式中说明了的结构附加公知技术的结构。
[0196]符号说明
[0197]2…结构体；10…基板;12...凹部；14…底面；14a、14b、14C、14d、14E、14f、14h、14i…区域；16…柱部；18…槽部；19…框部;20…可动体;20a…第一杠杆片；20b…第二杠杆片；21…第一可动电极部；22…第二可动电极部；24、25…端面；26…狭缝部；28…开口部；30、32…支承部；40...固定部；40a…第一固定部；40b…第二固定部；46...贯穿孔；50...第一固定电极部；52...第二固定电极部；60...保护部；61...电极；62...保护部；64...电极；65…突起部;70…盖体;72…空腔;100…物理量传感器;102…硅基板;200、300、400、500、600…物理量传感器;1100…电子设备;1100…个人计算机;1102…键盘;1104…主体部；1106…显示单元;1108…显示部;1200…便携式电话机；1202…操作按钮;1204…听筒；1206…话筒;1208…显不部;1300…数码照相机;1302…壳体;1304…受光单兀;1306…快门按钮；1308…存储器；1310…显不部；1312…视频信号输出端子；1314…输入输出端子；1430…电视监视器；1440…个人计算机;1500…汽车;1502…车身；1504…电子控制单元。
【权利要求】
1.一种物理量传感器，其特征在于，具有: 基板； 可动体，其具备可动电极部； 支承部，其以能够围绕第一轴进行位移的方式对所述可动体进行支承；第一固定电极部和第二固定电极部，在以所述第一轴为界将所述可动体划分为第一部分以及第二部分的情况下，所述第一固定电极部以与所述第一部分对置的方式而被配置于所述基板上，所述第二固定电极部以与所述第二部分对置的方式而被配置于所述基板上；在所述基板上设置有保护部，所述保护部在所述第一固定电极部与所述第二固定电极部之间的电极间区域内对所述可动体与所述基板之间所产生的静电力进行抑制。
2.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于， 所述保护部被设置于所述基板上的在俯视观察时与所述支承部重叠的位置上。
3.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于， 所述保护部被设置于在俯视观察时与所述可动体重叠的位置上、且被设置于所述第一固定电极部、所述第二固定电极部、以及所述电极间区域的外侧处。
4.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于， 所述保护部为与所述可动体电连接的电极。
5.如权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于， 所述保护部的所述电极被设置于在所述基板上所设置的槽部的内底面上。
6.如权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于， 在所述基板的所述电极与所述第一固定电极部之间的区域、以及所述基板的所述电极与所述第二固定电极部之间的区域内设置有槽部。
7.如权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于， 与所述第一固定电极部相邻的所述电极的数量和与所述第二固定电极部相邻的所述电极的数量相等。
8.如权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于， 在所述电极、所述第一固定电极部、以及所述第二固定电极部中的至少一个上，设置有朝向所述可动体而突出的突起部。
9.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于， 所述保护部为槽部。
10.一种物理量传感器，其特征在于，具有: 基板； 可动体，其具备可动电极部； 支承部，其以能够围绕第一轴进行位移的方式对所述可动体进行支承； 固定电极部，其以与所述可动电极部对置的方式而被配置于所述基板上； 在所述基板上设置有保护部，所述保护部于在俯视观察时与所述支承部重叠的区域内对所述支承部与所述基板之间所产生的静电力进行抑制。
11.一种电子设备，其特征在于， 包括权利要求1所述的物理量传感器。
12.—种移动体，其特征在于，包括权利要求1所述的物理量传感器。
【文档编号】G01P15/125GK104345175SQ201410384431
【公开日】2015年2月11日 申请日期:2014年8月6日 优先权日:2013年8月6日
【发明者】田中悟 申请人:精工爱普生株式会社