单晶卧式反打定向仪的制作方法
【专利摘要】单晶卧式反打定向仪，包括机架、工作台、减速机、X射线发生器、光闸、闪烁探测器、转接板、旋转手轮、调整手轮。所述的减速机外设主动带轮和调整手轮，调整手轮与主动带轮同轴，减速机的输入轴装有从动带轮，转动调整手轮，主动带轮带动从动带轮使减速机输入轴旋转，输入轴旋转使减速机输出轴减速旋转。转接板与减速机输出轴固定连接，X射线发生器及光闸固装在转接板上，位置可通过旋转手轮改变。闪烁探测器连接支板可绕减速机输出轴手动调整位置。工作台安装在机架上，工作台可通过旋转手轮360°旋转。工作台的下方设置有变压器和稳压器向X射线发生器供电。本实用新型具有结构简单、使用方便、测量精度高等优点。
【专利说明】单晶卧式反打定向仪
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及X射线测量仪，特别是涉及应用X射线衍射原理，采用卧式结构及反打方式，用于各种单晶晶锭材料的单晶卧式反打定向仪。
【背景技术】
[0002]生长出来的各种直径单晶晶锭在加工成晶棒、晶片前，需要先精确地测定单晶晶体角度、再确定棒端面及参考边，再加工成晶片，要有与加工机机械相配套的定向仪，用来进行单晶晶锭材料的粘结定向，并提供产品要求的加工晶体原子面角度。传统的X射线定向仪，其测角仪的样品测量台台面狭小、承载能力不足、测量精度低，局限了单晶晶锭材料的应用规格范围，使之无法粘结定向体积(直径)较大的晶砣，无法满足各种规格单晶晶锭材料多角度粘结定向，测量范围小，测试及定向精度差，满足不了各种直径规格单晶生产的需要。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是，提供一种能够不同规格单晶晶锭材料多角度测量，减少因基准面累加而产生的测量误差，有效的提高被测晶体的测量精度，样品台可进行四方位调节和360°旋转定向，延长样品台的使用寿命，可放置大尺寸、大重量晶棒，方便测量的单晶卧式反打定向仪。
[0004]采用的技术方案是:
[0005]单晶卧式反打定向仪，包括机架、盖板、工作台、减速机、X射线发生器、光闸、闪烁探测器、转接板、旋转手轮、调整手轮。所述的减速机外设主动带轮和调整手轮，调整手轮与主动带轮同轴，减速机的输入轴装有从动带轮，主动带轮通过齿形带连接从动带轮，转动调整手轮，主动带轮带动从动带轮使减速机输入轴旋转，输入轴旋转使减速机输出轴减速旋转。所述转接板与减速机输出轴固定连接，X射线发生器及光闸固装在转接板上，位置可通过旋转手轮改变。所述闪烁探测器连接支板可绕减速机输出轴手动调整位置。所述工作台安装在机架及盖板上，工作台可通过旋转手轮360 °旋转。工作台的下方设置有变压器和稳压器向X射线发生器供电。
[0006]上述的工作台上装设有数显装置，减速机的输出轴后端安装有编码器，由机架内部安装电器控制。
[0007]本实用新型具有结构简单、使用方便、测量精度高等优点。
[0008]本实用新型与现有技术相比具有以下优点:
[0009]1、结构简单、使用方便、加工精度高等优点，解决了单晶晶锭只能定向一个角度的难题。
[0010]2、编码器与主轴(减速机输出轴)直联，消除了其它传动系统传动角度间隙误差，定向测量精度高。
[0011]3、可增加二维球面夹具体装置，采用四方位球面垫、螺杆调节，使夹具体的调节方便锁紧可靠。
[0012]4、工作台是将放在夹具体的待测单晶晶锭用夹具体在X光下进行四方位反复定向测量，工作台360°旋转，晶体的峰值都能达到测量精度，提高了晶体的测量定向精度。
[0013]5、本仪器电气控制装置为设定X光管电流大小，通过微安表确定晶体峰值精度，角度仪编码器和回转工作台联接的编码器与数显表X轴、Y轴直接联线，旋转手轮精确的测量定向角度和回转工作台旋转360°每个位置的峰值精度。据用户的需要即能定向正晶向，又能定向偏晶向。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]单晶卧式反打定向仪，包括机架1、盖板2、工作台15、减速机8、X射线发生器3、光闸4、闪烁探测器17、转接板5、旋转手轮6、调整手轮14。所述的减速机8外设主动带轮13和调整手轮14，调整手轮14与主动带轮13同轴，减速机8的输入轴10装有从动带轮11，主动带轮13通过齿形带12连接从动带轮11，转动调整手轮14，主动带轮13带动从动带轮11使减速机输入轴10旋转，输入轴旋转使减速机输出轴7减速旋转。所述转接板5与减速机输出轴7固定连接，X射线发生器3及光闸4固装在转接板5上，位置可通过旋转手轮6改变，X射线发生器3发生的X射线经光闸4照射到工作台上放置的单晶工件9上，经单晶工件9将按布拉格方程反射的X射线被闪烁探测器17接收。所述闪烁探测器17连接支板16可绕减速机输出轴手动调整位置。所述工作台15安装在机架I及盖板2上，工作台15可通过旋转手轮360°旋转，精确的测量定向角度和单晶工件9旋转360°的每个位置的峰值精度，据用户的需要即能定向单晶工件9的正晶向，又能定向偏晶向。工作台上装设有数显装置，减速机的输出轴后端安装有编码器，由机架内部安装电器控制。工作台15的下方设置有变压器和稳压器向X射线发生器供电，构成单晶卧式反打定向仪。
【权利要求】
1.单晶卧式反打定向仪，包括机架(I)、盖板(2)、工作台(15 )、减速机(8 )、X射线发生器(3)、光闸(4)、闪烁探测器(17)、转接板(5)、旋转手轮(6)、调整手轮(14)，其特征在于所述的减速机(8)外设主动带轮(13)和调整手轮(14)，调整手轮(14)与主动带轮(13)同轴，减速机(8 )的输入轴(10 )装有从动带轮(11)，主动带轮(13 )通过齿形带(12 )连接从动带轮(11)，转动调整手轮(14)，主动带轮(13)带动从动带轮(11)使减速机输入轴(10)旋转，输入轴旋转使减速机输出轴(7)减速旋转，所述转接板(5)与减速机输出轴(7)固定连接，X射线发生器(3)及光闸(4)固装在转接板(5)上，位置可通过旋转手轮(6)改变，所述闪烁探测器(17)连接支板(16)可绕减速机输出轴手动调整位置，所述工作台(15)安装在机架(I)及盖板(2 )上，工作台(15 )可通过旋转手轮360 °旋转，工作台的下方设置有变压器和稳压器向X射线发生器供电。
2.根据权利要求1所述的单晶卧式反打定向仪，其特征在于所述的工作台(15)上装设有数显装置，减速机的输出轴后端安装有编码器，由机架内部安装电器控制。
【文档编号】G01N23/207GK203798749SQ201420191911
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年4月21日 优先权日:2014年4月21日
【发明者】甄伟, 赵松彬 申请人:丹东新东方晶体仪器有限公司