用于真空开关管的真空度测量仪的磁场装置制造方法
【专利摘要】一种用于真空开关管的真空度测量仪的磁场装置，属于测量仪器设备领域,包括一个圆筒形的外包装体，中心位置处，轴向放置着待测真空开关管的空腔部分，所述空腔外围轴向放置着圆筒形永久磁钢，该圆筒形永久磁钢顶部沿内径边缘设有硅橡胶环，其外包有一层非磁性金属材料套筒。所述测量仪器的磁场装置，具有合理组合的磁铁结构，获得了有利于磁控放电的磁场分布，扩展了真空度测试仪的测量范围，提高了测量仪的关键技术指标，这是以往采用电磁线圈结构难以获得的。
【专利说明】用于真空开关管的真空度测量仪的磁场装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于测量仪器设备领域，特别涉及到用于真空开关管中真空度测量仪的磁场装置。
【背景技术】
[0002]自从真空开关管问世以来，电气工程领域逐步推广并普及了真空开关的应用，当前我国在真空电子器件行业，真空开关管的制造已成为取代衰落的CRT行业兴起的又一龙头产业。在真空开关管的生产和使用过程中其内部真空度测量是产品制造过程中的关键技术之一。测量方法通常采用高真空冷阴极磁控放电的测量模式。在已有技术中，早期测量仪提供的磁场是采用电感线圈通过电容器对其放电获得的电磁场，为了获得准确的真空度测量数据，近期，国外则多改进为采用大电流稳流电源通过电感线圈获得稳定的电磁场，目前日本东芝、德国西门子、美国伊顿均采用此法。
[0003]这种通过电磁线圈实现真空度测量的装置中，为获取真空度测量所需的强磁场不但需要功率较大的稳流电源还要考虑线圈的散热问题，总体结构臃肿庞大，为此我们尝试着采用永磁结构的磁场取代线圈电磁场，永磁磁场装置的结构最为简约，它以最小的使用空间获得测量区域较为理想分布的较强磁场，不但克服了电磁线圈使用中的弊病还有利于扩展测量仪的量测范围。
【发明内容】
[0004]本实用新型需要解决的技术问题是，针对以往采用电磁线圈的真空度测量装置中所需功率较大的稳流电源总体结构庞大、笨重，为了克服这些不足之处，重新设计了真空开关管真空度测量仪，用永久磁铁，取代电磁线圈，为真空度测量提供了最佳恒定的工作磁场，省略了电磁线圈所需的千瓦级大功率直流稳流电源，也免除了电磁线圈的散热问题。
[0005]本实用新型的目的，是提供一种用于真空开关管的真空度测量仪的磁场装置，这种装置结构中，永久磁铁以最简约的结构，最小的使用空间为测量提供所需的磁场分布和磁场强度。
[0006]本实用新型所采用的技术方案为，一种用于真空开关管的真空度测量仪的磁场装置，包括一个圆筒形的外包装体，中心位置处，轴向放置着待测真空开关管的空腔部分，其特征在于，所述空腔外围轴向放置着一个或者多个圆筒形永久磁钢，该圆筒形永久磁钢顶部沿内径边缘设有硅橡胶环，其外包有一层无磁性不锈钢套筒。
[0007]本实用新型的有益效果是，所述测量仪器的磁场装置，具有合理组合的磁铁结构，获得了有利于磁控放电的磁场分布，扩展了真空度测试仪的测量范围，提高了测量仪的关键技术指标，使测量范围扩展到10_6Pa数量级，这是以往采用电磁线圈结构难以获得的。该磁铁结构内的磁钢数量可以是一个或者多个。图1是利用一个永久磁钢作为磁场结构的真空开关管真空度测量系统，图2是利用两一个永久磁钢作为磁场结构的真空开关管真空度测量系统。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1利用一个永久磁钢作为磁场结构的真空开关管真空度测量系统；
[0009]图2利用两个永久磁钢作为磁场结构的真空开关管真空度测量系统。
【具体实施方式】
[0010]参照图1，图中1为置于磁钢顶部的硅橡胶环，2为环形永久磁钢外的无磁不锈钢套筒；3为圆筒形永久磁钢，中心的空间区域为真空开关管4。
[0011]参照图2，图中1为置于磁钢顶部的硅橡胶环，2为环形永久磁钢外的无磁不锈钢套筒；3为圆筒形永久磁钢①，4为中心空间区域的真空开关管，5为上夹板，6为磁钢①和磁钢②之间的极靴片，7为圆筒形永久磁钢②，圆筒形外包装体外侧分别对称地设有紧固螺栓8和紧固螺母9，最下部为下夹板10。
【权利要求】
1.一种用于真空开关管的真空度测量仪的磁场装置，包括一个圆筒形的外包装体，中心位置处，轴向放置着待测真空开关管的空腔部分，其特征在于，所述待测真空开关管的空腔外围轴向放置着一个或者多个圆筒形永久磁钢，该圆筒形永久磁钢顶部沿内径边缘设有硅橡胶环，其外包有一层非磁金属材料套筒。
【文档编号】G01L21/34GK204154444SQ201420377011
【公开日】2015年2月11日 申请日期:2014年7月9日 优先权日:2014年7月9日
【发明者】闫铁昌, 张学军, 刘兴仪, 杨坤, 谭景国, 张吉峰 申请人:北京真空电子技术总公司