一种光学系统多角度像质检测装置及方法与流程

文档序号:15994647发布日期:2018-11-20 18:38阅读:来源:国知局
技术总结
本发明属于光学检测领域,具体涉及一种光学系统多角度像质检测装置及方法,装置包括干涉仪、干涉仪二维调整基座、干涉仪运动导轨、第一折转镜三维调整基座、第一光路折转反射镜、折转镜移动导轨、第二光路折转反射镜、第二折转镜三维调整基座、被检光学系统、被检设备三维调整基座、被检设备移动导轨、标准镜移动导轨、标准平面反射镜、标准镜三维调整基座以及检测装置支撑架,该装置及方法能够通过改变光路折转反射镜、被检光学系统以及标准平面反射镜的位置与角度,对被检光学系统与重力成任意角度状态下的像质以及任意视场内的像质进行检测。

技术研发人员:李响;柳鸣;李小明;张家齐;白杨杨;孟立新;张立中
受保护的技术使用者:长春理工大学
技术研发日:2018.07.03
技术公布日:2018.11.20

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