一种用于玻璃和硅片的测量治具的制作方法

本实用新型涉及治具技术领域，尤其是涉及一种用于玻璃和硅片的测量治具。

背景技术：

目前，在对玻璃、硅片进行测量时，一般要求采用三点支撑的方式，在实际使用中，一般会根据工件尺寸大小的不同制作多个支架，完成不同种类工件的测量，增加治具成本，同时反复的取不同的支架，不利于工作人员的操作。

技术实现要素：

本实用新型的一个目的在于提供一种用于玻璃和硅片的测量治具，以至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为了实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案；

本实用新型提供的用于玻璃和硅片的测量治具，包括基板和支柱；

所述基板的上表面上设置有人字形凸起，所述人字形凸起上设置有若干个插槽，所述支柱插装在所述插槽内，且所述支柱的自由端为圆弧形，所述支柱的直径和高度分别随玻璃或硅片的面积逐渐增大。

在上述技术方案中，进一步地，所述基板的下表面设置有平滑层。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述人字形凸起的上表面设置有平滑层。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述支柱包括圆柱形立柱和球头；所述圆柱形立柱的一端插入所述插槽内，另一端与所述球头相连接。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述支柱由硅胶材质一体成型制成。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述基板上还设置有若干个定位槽，所述定位槽内可拆卸地设置有定位挡柱。

在上述任一技术方案中，进一步地，若干个所述定位槽在所述基板上不规则分布，以用于对不同形状的玻璃或硅片通过所述定位挡柱的抵挡接触。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述定位槽的数量至少设置有两个，且所述定位挡柱与所述定位槽的数量相同。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述支柱的高度为5-16mm；和/或

所述支柱的直径为6-15mm。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述人字形凸起的两个支腿间的夹角范围为119°至121°。

采用上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型提供的用于玻璃和硅片的测量治具，所述基板的上表面上设置有人字形凸起，所述人字形凸起上设置有若干个插槽，所述支柱插装在所述插槽内，且所述支柱的自由端为圆弧形，所述支柱的直径和高度分别随玻璃或硅片的面积逐渐增大，可以通过使用不同大小的支柱，放置大小不同的玻璃或硅片，满足其测量要求，方便工人操作。

本实用新型提供的用于玻璃和硅片的测量治具，可以满足各类尺寸方形和圆形的玻璃或硅片工件的测量需求。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的用于玻璃和硅片的测量治具的立体结构示意图；

图2为图1所示的用于玻璃和硅片的测量治具的一视角结构示意图；

图3为图1所示的用于玻璃和硅片的测量治具的另一视角结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的用于玻璃和硅片的测量治具的一实施方式的示意图；

图5为本实用新型实施例提供的用于玻璃和硅片的测量治具的另一实施方式的示意图；

图6为本实用新型实施例提供的用于玻璃和硅片的测量治具的人字形凸起的夹角示意图。

附图标记：

10-基板；101-人字形凸起；102-定位槽；11-支柱；12-定位挡柱；

20-玻璃。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合具体的实施方式对本实用新型做进一步地解释说明。

图1为本实用新型实施例提供的用于玻璃和硅片的测量治具的立体结构示意图；图2为图1所示的用于玻璃和硅片的测量治具的一视角结构示意图；图3为图1所示的用于玻璃和硅片的测量治具的另一视角结构示意图；图4为本实用新型实施例提供的用于玻璃和硅片的测量治具的一实施方式的示意图；图5为本实用新型实施例提供的用于玻璃和硅片的测量治具的另一实施方式的示意图；图6为本实用新型实施例提供的用于玻璃和硅片的测量治具的人字形凸起的夹角示意图。

实施例一

可以针对玻璃或硅片，其中，圆形工件测量尺寸范围：直径范围为60-300mm；方形工件测量尺寸范围为；边长50-300mm。

如图1-图6所示，本实施例提供的用于玻璃和硅片的测量治具，包括基板10和支柱11；

所述基板10的上表面上设置有人字形凸起101，所述人字形凸起101上设置有若干个插槽，所述支柱11插装在所述插槽内，且所述支柱11的自由端为圆弧形，所述支柱11的直径和高度分别随玻璃20或硅片的面积逐渐增大。可以通过使用不同大小的支柱11，放置大小不同的玻璃20或硅片，满足其测量要求，方便工人操作。

在上述实施例的基础上，所述基板10的下表面设置有平滑层。

更进一步地，所述人字形凸起101的上表面设置有平滑层。

在该实施方式中，平滑层的可以通过对基板10的打磨处理形成，同时，其平整度的误差要求在±15μm以内。保证各自的平整度，提高测量时的精度。

在上述实施例的一个可选的实施方式中，所述支柱11包括圆柱形立柱和球头；所述圆柱形立柱的一端插入所述插槽内，另一端与所述球头相连接。

可选的，所述支柱11由硅胶材质一体成型制成。

在该实施方式中，通过硅胶材质精密加工一体成型制成支柱11，球头处于玻璃20或硅片接触对其进行支撑，避免划伤玻璃20或硅片，提高了产品的可靠性。

在上述任一实施方式的基础上，如图1、图4和图5所示，所述基板10上还设置有若干个定位槽102，所述定位槽102内可拆卸地设置有定位挡柱12。

更进一步地，若干个所述定位槽102在所述基板10上不规则分布，以用于对不同形状的玻璃20或硅片通过所述定位挡柱12的抵挡接触。

需要说明的是，所述定位槽102的数量至少设置有两个，且所述定位挡柱12与所述定位槽102的数量相同。

在该实施例中，可以针对不同玻璃20或硅片的面积对不同形状的玻璃20或硅片工件进行定位槽102位置的设定，以方便定位挡柱12对玻璃20或硅片边缘的抵挡，同时，定位挡柱12可以采用尼龙材质的软性材质精密加工而成，避免磕伤玻璃20边缘或硅片边缘。

在上述任一实施例的基础上，所述支柱11的高度为5-16mm；和/或

所述支柱11的直径为6-15mm。

在该实施方式中，可以根据不同的玻璃20面积，支柱11选择不同的直径和高度。

在上述任一实施例的基础上，如图6所示，所述人字形凸起101的两个支腿间的夹角范围为119°至121°。以保证三个支撑点的支撑角度，对玻璃20或硅片的支撑更加稳定。

在本实用新型的一个具体的实施方式中，如图1-图3、图5和图6所示，针对一个圆形玻璃20工件进行说明，圆形工件的直径为60mm，所述基板10的上表面上设置有人字形凸起101，所述人字形凸起101的两个支腿间的夹角为120°，所述基板10的下表面设置有平滑层，所述人字形凸起101的上表面设置有平滑层，平滑层的平整度的误差要求在±15μm以内所述人字形凸起101上设置有若干个插槽，所述支柱11插装在所述插槽内，且所述支柱11的自由端为圆弧形，所述支柱11包括圆柱形立柱和球头；所述圆柱形立柱的一端插入所述插槽内，另一端与所述球头相连接，所述支柱11由硅胶材质一体成型制成，所述支柱11的直径和高度分别随玻璃20或硅片的面积逐渐增大，所述支柱11的高度为6mm，所述支柱11的直径为8mm。可以通过使用不同大小的支柱11，放置大小不同的玻璃20或硅片，满足其测量要求，方便工人操作，所述基板10上还设置有若干个定位槽102，所述定位槽102内可拆卸地设置有定位挡柱12，所述定位槽102的数量有两个，且所述定位挡柱12与所述定位槽102的数量相同，以方便定位挡柱12对玻璃20边缘的抵挡，同时，定位挡柱12可以采用尼龙材质的软性材质精密加工而成，避免磕伤玻璃20边缘或硅片边缘。

在本实用新型的另一个具体的实施方式中，如图1-图3、图4和图6所示，针对一个方形玻璃20工件进行说明，方形形工件的边长为80mm，所述基板10的上表面上设置有人字形凸起101，所述人字形凸起101的两个支腿间的夹角为121°，所述基板10的下表面设置有平滑层，所述人字形凸起101的上表面设置有平滑层，平滑层的平整度的误差要求在±15μm以内所述人字形凸起101上设置有若干个插槽，所述支柱11插装在所述插槽内，且所述支柱11的自由端为圆弧形，所述支柱11包括圆柱形立柱和球头；所述圆柱形立柱的一端插入所述插槽内，另一端与所述球头相连接，所述支柱11由硅胶材质一体成型制成，所述支柱11的直径和高度分别随玻璃20或硅片的面积逐渐增大，所述支柱11的高度为8mm，所述支柱11的直径为10mm。可以通过使用不同大小的支柱11，放置大小不同的玻璃20或硅片，满足其测量要求，方便工人操作，所述基板10上还设置有若干个定位槽102，所述定位槽102内可拆卸地设置有定位挡柱12，所述定位槽102的数量有三个，且所述定位挡柱12与所述定位槽102的数量相同，以方便定位挡柱12对玻璃20边缘的抵挡，同时，定位挡柱12可以采用尼龙材质的软性材质精密加工而成，避免磕伤玻璃20边缘或硅片边缘。

在本实用新型的一个具体的实施方式中，如图1-图3、图5和图6所示，针对一个圆形玻璃20工件进行说明，圆形工件的直径为300mm，所述基板10的上表面上设置有人字形凸起101，所述人字形凸起101的两个支腿间的夹角为120°，所述基板10的下表面设置有平滑层，所述人字形凸起101的上表面设置有平滑层，平滑层的平整度的误差要求在±15μm以内所述人字形凸起101上设置有若干个插槽，所述支柱11插装在所述插槽内，且所述支柱11的自由端为圆弧形，所述支柱11包括圆柱形立柱和球头；所述圆柱形立柱的一端插入所述插槽内，另一端与所述球头相连接，所述支柱11由硅胶材质一体成型制成，所述支柱11的直径和高度分别随玻璃20或硅片的面积逐渐增大，所述支柱11的高度为16mm，所述支柱11的直径为15mm。可以通过使用不同大小的支柱11，放置大小不同的玻璃20或硅片，满足其测量要求，方便工人操作，所述基板10上还设置有若干个定位槽102，所述定位槽102内可拆卸地设置有定位挡柱12，所述定位槽102的数量有两个，且所述定位挡柱12与所述定位槽102的数量相同，以方便定位挡柱12对玻璃20边缘的抵挡，同时，定位挡柱12可以采用尼龙材质的软性材质精密加工而成，避免磕伤玻璃20边缘或硅片边缘。

具体而言，现有技术中，在对玻璃、硅片进行测量时，一般要求采用三点支撑的方式，在实际使用中，一般会根据工件尺寸大小的不同制作多个支架，完成不同种类工件的测量，增加治具成本，同时反复的取不同的支架，不利于工作人员的操作，而本实用新型提供的用于玻璃和硅片的测量治具，所述基板的上表面上设置有人字形凸起，所述人字形凸起上设置有若干个插槽，所述支柱插装在所述插槽内，且所述支柱的自由端为圆弧形，所述支柱的直径和高度分别随玻璃或硅片的面积逐渐增大，可以通过使用不同大小的支柱，放置大小不同的玻璃或硅片，满足其测量要求，方便工人操作。

本实用新型提供的用于玻璃和硅片的测量治具，可以满足各类尺寸方形和圆形的玻璃或硅片工件的测量需求。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本实用新型的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在上面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。