一种防水性能好的单晶硅压力变送器的制作方法

文档序号:23852897发布日期:2021-02-05 14:41阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种防水性能好的单晶硅压力变送器,包括与管路系统连接的连接座,所述连接座两端通过法兰与管路系统连接,所述连接座上安装有连接管路且连接管路端部延伸至连接座的内部,其特征在于:所述连接管路内部设置有进行压力感应的感应管件,所述连接管路远离连接座的端部安装有压力感应室,所述压力感应室的内部设置有与感应管件连通的膜片组件。2.根据权利要求1所述的一种防水性能好的单晶硅压力变送器,其特征在于:所述连接管路包括插接于连接座上的安装管,所述安装管内部与连接座内部连通,所述安装管由与压力感应室固定连接的上管和与连接座固定连接的下管组成,所述上管和下管之间通过连接法兰可拆卸安装,所述下管底端内壁上固设有中部有通孔的挡板。3.根据权利要求1所述的一种防水性能好的单晶硅压力变送器,其特征在于:所述感应管件包括感应管和位于感应管内部可升降的活塞,所述感应管外壁与上管和下管的内壁密封贴合,所述感应管顶端延伸至压力感应室的内部,所述感应管底端贴合有中部设有通孔的密封胶圈,所述感应管内腔顶端固设有多个下弹性膜片。4.根据权利要求2或3所述的一种防水性能好的单晶硅压力变送器,其特征在于:所述密封胶圈底部与挡板相贴合。5.根据权利要求3所述的一种防水性能好的单晶硅压力变送器,其特征在于:所述膜片组件包括固定于压力感应室底部的膜片管,所述膜片管套设于感应管顶端的外部,所述膜片管顶端密封设置有上弹性膜片,所述上弹性膜片顶部设置有固定于压力感应室内壁上的单晶硅片,所述单晶硅片与上弹性膜片之间的间距设置为1mm。6.根据权利要求5所述的一种防水性能好的单晶硅压力变送器,其特征在于:所述膜片管、上弹性膜片、位于上方的下弹性膜片和感应管顶端之间的空间构成空腔,所述空腔内部填充有密封液。7.根据权利要求1所述的一种防水性能好的单晶硅压力变送器,其特征在于:所述压力感应室顶部设置有显示屏和泄压阀。
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