一种激光测试装置及激光剥离装置的制作方法

1.本实用新型属于激光测试技术领域，尤其涉及一种激光测试装置及激光剥离装置。


背景技术：

2.在当前光电显示领域，柔性显示技术正迅猛发展，柔性显示器件在生产的过程中，需要对在柔性器件进行剥离，传统剥离工艺采用聚集的激光束的焦平面的激光对柔性器件及玻璃载板照射，在激光束照射之前需要对激光束的均一性测试，以确定激光束是否能够在不损伤器件的前提下，将柔性器件与玻璃载板分离。
3.传统的激光束均一性测试器件邻近聚焦透镜设置，当激光透过聚焦透镜时，测试器件位于激光中段位置，故测试器件测试的是激光中段的激光的均一性，但是激光中端的能量与激光焦平面的能量存在一定的差异，如此测试器件的测试数据容易出现数据失真的问题，对制程良率造成很大影响。


技术实现要素：

4.本实用新型实施例的主要目的在于提出一种激光测试装置及激光剥离装置，旨在对以上激光测试件对激光束的测试不准确的缺陷进行了改善，通过在聚焦透镜的焦平面上设置反光镜及电荷耦合器件，准确测试透过聚焦透镜的激光束的性能。
5.本实用新型解决上述技术问题的技术方案是，提供一种激光测试装置，用于测试源光器的激光束的性能，所述激光测试装置包括：
6.聚焦透镜，所述聚焦透镜设在所述源光器的出光方向上；
7.反光镜，所述反光镜设在所述聚焦透镜远离所述源光器的一侧，并位于所述聚焦透镜远离所述源光器的焦点上，所述聚焦透镜远离所述源光器的焦点所在的平面为焦平面；
8.电荷耦合器件，所述电荷耦合器件位于所述焦平面上，所述反光镜倾斜设在所述聚焦透镜远离所述源光器的焦点位置，使所述源光器发射的激光束反射在所述电荷耦合器件上。
9.进一步地，所述激光测试装置还包括：机架，所述聚焦透镜设在所述机架上；所述机架在所述聚焦透镜远离所述源光器的一侧设有扫描平台，所述扫描平台可移动地设在所述机架上；所述反光镜与所述电荷耦合器件间隔设在所述扫描平台。
10.进一步地，所述激光测试装置还包括激光功率计，所述激光功率计设在所述电荷耦合器件上，并与所述电荷耦合器件电连接。
11.进一步地，所述激光测试装置还包括密封镜片，所述密封镜片设在所述聚焦透镜和所述反光镜之间。
12.进一步地，所述激光测试装置还包括激光盒，所述激光盒设在所述聚焦透镜和所述反光镜之间。
13.进一步地，所述激光盒远离所述聚焦透镜的一侧设有至少一激光截取镜片，所述激光截取镜片可移动设在所述激光盒上，形成有所述聚焦透镜的主光轴的避让区域。
14.进一步地，所述激光盒上设有两个所述激光截取镜片，两个所述激光截取镜片间隔设置以形成所述聚焦透镜的主光轴的避让区域。
15.进一步地，所述聚焦透镜为凸透镜。
16.本实用新型还提出了一种激光剥离装置，所述激光剥离装置包括：
17.源光器，所述源光器用于发射激光束；
18.如上所述的激光测试装置，所述激光测试装置设在所述源光器的激光发射方向上；
19.加工台，所述加工台位于所述聚焦透镜的焦平面上。
20.进一步地，所述加工台上设有线型导轨，所述反光镜及所述电荷耦合器件设在所述线型导轨上；所述线型导轨上设有待加工位，所述待加工位与所述电荷耦合器件并列设置。
21.本实用新型实施例提供一种激光测试装置及激光剥离装置，通过在聚焦透镜的焦点位置上设置反光镜，所述聚焦透镜透射的激光通过反光镜反射到设在焦平面的电荷耦合器件上，实时检测焦平面的激光能量的均一性及激光的尺寸值，降低激光剥离制程的风险，提升激光剥离制程段的产品良率。
附图说明
22.图1为本实用新型所述激光测试装置的结构示意图；
23.图2为本实用新型所述激光测试装置的光路示意图；
24.图3为本实用新型所述激光剥离装置的光路示意图。
25.附图标号说明：
26.标号名称标号名称100激光测试装置41激光功率计11聚焦透镜51密封镜片12扫描平台61激光盒21反光镜62激光截取镜片31电荷耦合器件71源光器
具体实施方式
27.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)
仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
30.另外，在本实用新型中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
31.如图1
‑
图2所示，一种激光测试装置，用于测试源光器的激光束的性能，所述激光测试装置100包括：
32.聚焦透镜11，所述聚焦透镜11设在所述源光器的出光方向上；
33.反光镜21，所述反光镜21设在所述聚焦透镜11远离所述源光器的一侧，并位于所述聚焦透镜11远离所述源光器的焦点上，所述聚焦透镜11远离所述源光器的焦点所在的平面为焦平面；
34.电荷耦合器件31，所述电荷耦合器件31位于所述焦平面上，所述反光镜 21倾斜设在所述聚焦透镜11远离所述源光器的焦点位置，使所述源光器发射的激光束反射在所述电荷耦合器件31上。
35.需要说明的是，本实施例中，传统的激光测试器件设在测试结构的激光中段的位置，激光测试件测试的是激光中段的均一性；而对柔性器件进行剥离时，采用的是焦平面的激光进行；由于激光中段与激光焦平面的能量不同，故激光中段的激光的均一性与焦平面激光的均一性有差别，如此激光测试器件检测的数据会出现数据失真的问题，对制程良率造成很大影响。本实用新型提出了一种激光测试装置100，通过在聚焦透镜11的焦点位置上设置反光镜 21，所述聚焦透镜11透射的激光通过反光镜21反射到设在所述焦平面的电荷耦合器件31上，实时检测焦平面的激光能量的均一性及激光的尺寸值，降低激光剥离制程的风险，提升激光剥离制程段的产品良率。
36.具体地，所述聚焦透镜11设在所述源光器的出光方向上，所述源光器发射的激光束经过聚焦透镜11的聚焦，朝向设置在所述聚焦透镜11远离所述源光器一侧的所述反光镜21照射，由于所述反光镜21位于所述聚焦透镜11远离所述源光器的焦点上，能够将激光束中心的部分激光反射到设在所述焦平面上的所述电荷耦合器件31，通过所述电荷耦合器件31对反射的激光束进行能量均一性的检测及尺寸值的检测，检测出激光束31是否符合激光剥离技术的标准，提高激光剥离制程段的产品良率。所述反光镜21在焦平面上的投影与带加工产品的长度相同或大于产品的长度，以使得所述反光镜21能够将用于剥离产品的激光束全部反射到所述电荷耦合器件31上，所述电荷耦合器件31 能够对用于剥离产品的激光束进行能量的检测，以使用于剥离产品的激光束能够得到全面的检测，提升激光剥离段的产品良率，如果所述反光镜21在焦平面上的投影大小与用于剥离产品的激光束大小相同时，所述电荷耦合器件 31能够更精确地接收到用于剥离产品的激光束，准确检测该激光束的性能，提高激光剥离制程段的产品良率。所述焦平面为过聚焦透镜11的第一焦点(前焦点或物方焦点)且垂直于系统主光轴的平面称第一焦平面，又称前焦面或物方焦面。
37.进一步地，如图1所示，所述激光测试装置100还包括机架，所述聚焦透镜11设在所
述机架上；所述机架在所述聚焦透镜11远离所述源光器的一侧设有扫描平台12，所述扫描平台12可移动地设在所述机架上；所述反光镜21与所述电荷耦合器件31间隔设在所述扫描平台12。
38.需要说明的是，本实施例中，所述激光测试装置100还包括机架，所述聚焦透镜11设在所述机架上；所述扫描平台12也设在所述机架上；所述反光镜 21与所述电荷耦合器件31间隔设在所述扫描平台12上，通过移动所述扫描平台12在所述机架上位置，用于将所述反光镜21的中心点调节到所述聚焦透镜 11的焦点上，以使所述反光镜21能够反射主光轴周围的激光束到所述电荷耦合器件31上，使所述电荷耦合器件31能够准确检测以主光轴为中心的激光束的性能。
39.在一种可实施的方式中，所述反光镜21与所述电荷耦合器件31分别设在所述扫描平台12上，且分别与所述扫描平台12可移动连接；通过移动所述反光镜21，将所述反光镜21的中心与所述聚焦透镜11的焦点对应；通过移动所述电荷耦合器件31，以调节所述电荷耦合器件31与所述反光镜21的距离，以完成不同位置距离的测试，更全面地检测激光束的性能。
40.进一步地，如图1所示，所述激光测试装置100还包括激光功率计41，所述激光功率计41设在所述电荷耦合器件31上，并与所述电荷耦合器件31电连接。
41.需要说明的是，本实施例中，所述激光功率计41设在所述电荷耦合器件 31上，并与所述电荷耦合器件31电连接，将所述电荷耦合器件31采集及检测的激光能量和尺寸的数据传输到终端电脑进行计算，并以图表的形式展示激光束的能量分布和尺寸，便于使用者观察检测的数据。
42.进一步地，如图1所示，所述激光测试装置100还包括密封镜片51，所述密封镜片51设在所述聚焦透镜11和所述反光镜21之间。
43.需要说明的是，本实施例中，所述激光测试装置100还包括密封镜片51，所述密封镜片51设在所述聚焦透镜11和所述反光镜21之间，所述密封镜片51 靠近所述聚焦透镜11设置，对所述聚焦透镜11透射的激光束进行密封，在反光镜21与所述聚焦透镜11之间形成密封空间，以透射出特定预设形态的激光束到反光镜21上。
44.进一步地，如图1所示，所述激光测试装置100还包括激光盒61，所述激光盒61设在所述聚焦透镜11和所述反光镜21之间。
45.需要说明的是，本实施例中，所述激光测试装置100还包括激光盒61，所述激光盒61设在所述聚焦透镜11和所述反光镜21之间，所述激光盒61位于所述聚焦透镜11和所述反光镜21之间的中间位置，在所述密封镜片51远离所述聚焦透镜11的一侧，所述激光盒61的底部设有狭缝，用于透过特定大小的激光束。
46.进一步地，如图1所示，所述激光盒61远离所述聚焦透镜11的一侧设有至少一激光截取镜片62，所述激光截取镜片62可移动设在所述激光盒61上，形成有所述聚焦透镜11的主光轴的避让区域。
47.需要说明的是，本实施例中，所述激光截取镜片62可移动设在所述激光盒61上，用于遮挡经过所述聚焦透镜11透射的激光束；所述激光截取镜片62 与所述激光盒61形成避让区域，所述避让区域用于所述聚焦透镜11的主光轴的透射；通过所述激光截取镜片62在所述激光盒61上的移动，变换遮挡的位置，以改变避让区域的大小，以准确检测通过避让区
域的激光束的性能。
48.进一步地，如图1所示，所述激光盒61上设有两个所述激光截取镜片62，两个所述激光截取镜片62间隔设置以形成所述聚焦透镜11的主光轴的避让区域。
49.需要说明的是，本实施例中，所述激光盒61上设有两个所述激光截取镜片62，两个所述激光截取镜片62分别可移动设置在所述激光盒61上，分别移动两个所述激光截取镜片62，以变换避让区域的大小(即透过所述激光盒61 的激光束的大小)；准确检测特定激光束的性能。
50.进一步地，所述聚焦透镜11为凸透镜。
51.需要说明的是，本实施例中，所述聚焦透镜11为凸透镜，激光束通过凸透镜进行聚焦。
52.本实用新型还提出了一种激光剥离装置，如图3所示，所述激光剥离装置包括：
53.源光器71，所述源光器71用于发射激光束；
54.如上所述的激光测试装置100，所述激光测试装置100设在所述源光器71 的激光发射方向上；
55.加工台，所述加工台位于所述聚焦透镜11的焦平面上。
56.需要说明的是，本实施例中，所述激光测试装置100设在所述源光器71的激光发射方向上；所述源光器71发射的激光束通过所述激光测试装置100的检测，且在不需要检测时，将所述反光镜21及所述电荷耦合器件31移出激光束照射位置，将代加工件移动至激光束照射位置，即可对待加工件进行激光剥离处理。所述加工台用于放置待加工件。所述加工台可与所述扫描平台12一体设置，所述反光镜21与所述电荷耦合器件31设在所述加工台上，移出所述反光镜21与所述电荷耦合器件31时，同时将待加工件移动至激光束照射位置，对待加工件进行剥离。
57.具体地，所述源光器71与所述激光测试装置100之间还设有衰减器、光学整形镜片组，将所述源光器71发射的激光进行调整后进入所述激光测试装置 100。
58.进一步地，所述加工台上设有线型导轨，所述反光镜21及所述电荷耦合器件31设在所述线型导轨上；所述线型导轨上设有待加工位，所述待加工位与所述电荷耦合器件31并列设置。
59.需要说明的是，本实施例中，所述加工台上设有线型导轨，所述线型导轨用于移动待加工件、反光镜21与所述电荷耦合器件31；所述待加工位与所述电荷耦合器件31并列设置，在移动所述反光镜21与所述电荷耦合器件31时，能够同时移动待加工位，将待加工位上的待加工件移动至激光束照射位置，对待加工件进行剥离。
60.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。