一种晶圆片表面洁净度检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆片表面洁净度检测装置。


背景技术：

2.半导体工艺中，光刻是一个至关重要的环节。晶圆片的表面经过光刻后会留有很多杂质和毛边，清洗步彻底、或则清洗过深和晶圆片清洗区域产生步对称偏移，都会造成晶圆片的良率降低，所以本实用新型旨在提供一种晶圆片表面洁净度检测装置以对清洗结束后的晶圆片进行检测。


技术实现要素：

3.实用新型目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本实用新型公开了一种晶圆片表面洁净度检测装置。
4.技术方案：一种晶圆片表面洁净度检测装置，包括检测组件、放置基台、顶料组件、转运机械手和用于进行整体控制的外部控制器，所述放置基台的内部剖设有中空槽，所述中空槽的上部四周成型有用于放置晶圆片的搭接台阶，所述顶料组件包括顶料驱动气缸和顶料板，所述顶料驱动气缸设置在放置基台的底部下方并与中空槽位置相对应，且所述顶料板与顶料驱动气缸的伸缩端固接，所述检测组件包括ccd高清相机和机架，所述机架固设在放置基台的后部，所述ccd高清相机固设在机架的最高位底部，所述转运机械手设置在放置机台的旁侧以将晶圆片进行搬运。
5.进一步的是，所述ccd高清相机的下部套设有环形光源。
6.进一步的是，所述顶升板的上表面设置有保护橡胶垫。
7.进一步的是，所述机架的顶部设置有与外部控制器电性连接的报警装置。
8.进一步的是，所述转运机械手包括旋转驱动气缸、旋转支撑臂、升降驱动气缸和气动吸盘，所述旋转驱动气缸设置在放置机台的旁侧，所述旋转支撑臂一端与旋转驱动气缸的输出端固接，所述升降驱动气缸固设在旋转支撑臂的另一端，所述气动吸盘与升降驱动气缸的伸缩轴固接。
9.本实用新型实现以下有益效果：
10.本实用新型能实现对清洗后的晶圆进行转运上料、检测以及转运下料，自动化程度较高，相较于现有技术中的人工检测工艺，工作效率大大提高，也降低了企业的生产成本。
附图说明
11.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并于说明书一起用于解释本公开的原理。
12.图1为本实用新型公开的整体侧视结构示意图。
13.图2为本实用新型公开的局部俯视结构示意图。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
15.实施例
16.参考图1-2，一种晶圆片表面洁净度检测装置，包括检测组件、放置基台10、顶料组件、转运机械手和用于进行整体控制的外部控制器160，放置基台的内部剖设有中空槽20，中空槽的上部四周成型有用于放置晶圆片的搭接台阶30，顶料组件包括顶料驱动气缸40和顶料板50，顶料驱动气缸设置在放置基台的底部下方并与中空槽位置相对应，且顶料板与顶料驱动气缸的伸缩端固接，检测组件包括ccd高清相机140和机架120，机架固设在放置基台的后部，ccd高清相机固设在机架的最高位底部，转运机械手设置在放置机台的旁侧以将晶圆片进行搬运。
17.在本实施例中，ccd高清相机的下部套设有环形光源150，以便ccd高清相机能清楚的对晶圆片进行检测。
18.在本实施例中，顶升板的上表面设置有保护橡胶垫60，以防止顶升板对晶圆片70损坏，较好的起到了对其保护的作用。
19.在本实施例中，机架的顶部设置有与外部控制器电性连接的报警装置130，若ccd高清相机检测到晶圆片表面的清洁度不合格时，外部控制器控制报警装置进行报警工作。
20.在本实施例中，转运机械手包括旋转驱动气缸80、旋转支撑臂90、升降驱动气缸100和气动吸盘110，旋转驱动气缸设置在放置机台的旁侧，旋转支撑臂一端与旋转驱动气缸的输出端固接，升降驱动气缸固设在旋转支撑臂的另一端，气动吸盘与升降驱动气缸的伸缩轴固接，在对晶圆片进行上料或者下料时，旋转驱动气缸相应的驱动选择支撑臂进行旋转，且升降驱动气缸驱动气动吸盘旋转，这时气动吸盘可将晶圆片进行上料至放置基台上或从放置基台上将检测结束的晶圆片进行下料。
21.本实用新型的操作原理为，转运机械手先将清洗结束的晶圆片从上料区180转运放置在放置基台上，这时ccd高清相机将对其表面进行快速检测，若ccd高清相机的检测到晶圆片表面洁净度不合格时，报警装置相应的发出报警信号，同时顶升驱动气缸将带动顶升板动作将晶圆片顶起，这时转运机械手则再将晶圆片相应的转运至合格区190或者是清洗区170。
22.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此来限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种晶圆片表面洁净度检测装置，其特征在于，包括检测组件、放置基台、顶料组件、转运机械手和用于进行整体控制的外部控制器，所述放置基台的内部剖设有中空槽，所述中空槽的上部四周成型有用于放置晶圆片的搭接台阶，所述顶料组件包括顶料驱动气缸和顶料板，所述顶料驱动气缸设置在放置基台的底部下方并与中空槽位置相对应，且所述顶料板与顶料驱动气缸的伸缩端固接，所述检测组件包括ccd高清相机和机架，所述机架固设在放置基台的后部，所述ccd高清相机固设在机架的最高位底部，所述转运机械手设置在放置机台的旁侧以将晶圆片进行搬运。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面洁净度检测装置，其特征在于，所述ccd高清相机的下部套设有环形光源。3.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面洁净度检测装置，其特征在于，所述顶升板的上表面设置有保护橡胶垫。4.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面洁净度检测装置，其特征在于，所述机架的顶部设置有与外部控制器电性连接的报警装置。5.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面洁净度检测装置，其特征在于，所述转运机械手包括旋转驱动气缸、旋转支撑臂、升降驱动气缸和气动吸盘，所述旋转驱动气缸设置在放置机台的旁侧，所述旋转支撑臂一端与旋转驱动气缸的输出端固接，所述升降驱动气缸固设在旋转支撑臂的另一端，所述气动吸盘与升降驱动气缸的伸缩轴固接。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆片表面洁净度检测装置，包括检测组件、放置基台、顶料组件、转运机械手和用于进行整体控制的外部控制器，放置基台的内部剖设有中空槽，中空槽的上部四周成型有用于放置晶圆片的搭接台阶，顶料组件包括顶料驱动气缸和顶料板，顶料驱动气缸设置在放置基台的底部下方并与中空槽位置相对应，且顶料板与顶料驱动气缸的伸缩端固接，检测组件包括CCD高清相机和机架，机架固设在放置基台的后部，CCD高清相机固设在机架的最高位底部，转运机械手设置在放置机台的旁侧，本实用新型能实现对清洗后的晶圆进行转运上料、检测以及转运下料，自动化程度较高，相较于现有技术中的人工检测工艺，工作效率大大提高，也降低了企业的生产成本。低了企业的生产成本。低了企业的生产成本。


技术研发人员：周志刚 王静强 徐福兴 黄锡钦 陈亮
受保护的技术使用者：昆山基侑电子科技有限公司
技术研发日：2021.05.21
技术公布日：2022/3/15