一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构的制作方法

1.本实用新型涉及传感器领域，具体是一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构。


背景技术：

2.压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。
3.溅射薄膜压力传感器是压力传感器的一种，介质通过溅射薄膜压力传感器基座螺纹柱上的进液口进入溅射薄膜压力传感器腔室，形成一定压力，溅射薄膜压力传感器敏感元件感受到压力产生一定的变形量，通过相应的电路系统转换成电压/电流信号输出。
4.现有的溅射薄膜压力传感器敏感元件直接焊接到一体基座上，空间利用率低，会导致传感器整体外观较大，且敏感元件焊接后无保护，在以后生产工序中会增大受到创伤的几率。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，包括基座六方、基座螺纹柱和传感器敏感元件，所述传感器敏感元件固定安装于基座螺纹柱顶部，所述基座螺纹柱顶部设置有与传感器敏感元件配合的限位柱；所述基座螺纹柱包括螺纹安装段，螺纹安装段底部开设有o型圈槽；所述基座六方固定安装于基座螺纹柱顶部。
8.作为本实用新型进一步的方案：所述传感器敏感元件与基座螺纹柱采用激光焊接的方式连接。
9.作为本实用新型再进一步的方案：所述螺纹安装段底部o型圈槽设置有内外两圈。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述基座螺纹柱与基座六方采用激光焊接的方式连接。
11.作为本实用新型再进一步的方案：还包括传感器壳体，所述传感器壳体固定安装于基座六方顶部。
12.作为本实用新型再进一步的方案：所述传感器壳体与基座六方采用激光焊接的方式连接。
13.作为本实用新型再进一步的方案：所述传感器壳体上端设置有螺纹连接段。
14.相较于现有技术，本实用新型的有益效果如下：
15.1、通过改变一体基座为分体式基座，将基座螺纹柱与基座六方分成两个元器件，安装更方便；传感器敏感元件藏于基座六方内，可以节省空间，缩小传感器体积，适应更多的工作环境；且可以更大限度的对传感器敏感元件进行保护，避免后续工序种对传感器敏
感元造成不必要的磕碰；
16.2、传感器壳体的螺纹连接段可以随要求改变尺寸、大小、螺纹等，使用于更多的接插件，从而适用于更多的工作环境；
17.3、基座螺纹柱上带有限位柱，可以更加方便的对传感器敏感元件进行定位和激光焊接；
18.4、基座螺纹柱的螺纹安装段底部开设有o型圈槽，可以更方便的安装o型圈进行密封。
附图说明
19.图1为本实用新型实施例的结构示意图。
20.图2为本实用新型实施例的主视结构示意图。
21.图3为本实用新型实施例在a-a方向的剖面结构示意图。
22.图4为本实用新型实施例中传感器壳体的结构示意图。
23.图5为本实用新型实施例中基座六方的结构示意图。
24.图6为本实用新型实施例中基座螺纹柱的结构示意图。
25.图7为本实用新型实施例中基座螺纹柱在另一方向的结构示意图。
26.图8为本实用新型实施例中传感器敏感元件的结构示意图。
27.图9为本实用新型实施例中基座六方与基座螺纹柱连接后结构示意图。
28.附图标记注释：1-传感器壳体、11-螺纹连接段、2-基座六方、3-基座螺纹柱、31-螺纹安装段、32-限位柱、33-o型圈槽、4-传感器敏感元件。
具体实施方式
29.以下实施例会结合附图对本实用新型进行详述，在附图或说明中，相似或相同的部分使用相同的标号，并且在实际应用中，各部件的形状、厚度或高度可扩大或缩小。本实用新型所列举的各实施例仅用以说明本实用新型，并非用以限制本实用新型的范围。对本实用新型所作的任何显而易知的修饰或变更都不脱离本实用新型的精神与范围。
30.实施例
31.请参阅图1～9，本实用新型实施例中，一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，包括传感器壳体1、基座六方2、基座螺纹柱3和传感器敏感元件4，所述传感器敏感元件 4固定安装于基座螺纹柱3顶部，优选地，所述传感器敏感元件4与基座螺纹柱3采用激光焊接的方式连接，进一步地，所述基座螺纹柱3顶部设置有与传感器敏感元件4配合的限位柱32，传感器敏感元件4安装于基座螺纹柱3顶部时正好套在限位柱32上，方便对传感器敏感元件4进行定位，可以更好的辅助激光焊接。
32.所述基座螺纹柱3包括螺纹安装段31，螺纹安装段31底部开设有o型圈槽33，方便安装o型圈，当基座螺纹柱3连接时通过o型圈进行密封，优选地，所述螺纹安装段31 底部o型圈槽33设置有内外两圈，密封效果更好。
33.所述基座六方2固定安装于基座螺纹柱3顶部，优选地，所述基座螺纹柱3与基座六方2采用激光焊接的方式连接，通过改变一体基座为分体式基座，将基座螺纹柱3与基座六方2分成两个元器件，安装更方便，传感器敏感元件4安装于基座螺纹柱3顶部且藏于基座六
方2内，可以节省空间，缩小传感器体积，适应更多的工作环境，且可以更大限度的对传感器敏感元件4进行保护，避免后续工序对传感器敏感元件4造成不必要的磕碰。
34.所述传感器壳体1固定安装于基座六方2顶部，优选地，所述传感器壳体1与基座六方2采用激光焊接的方式连接，传感器壳体1在配备完毕相应电路板等电路元件后再进行安装连接(此专利因为公开的是一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装机构，故省略电路板等相关电路元件)，进一步地，所述传感器壳体1上端设置有螺纹连接段11，螺纹连接段11随要求改变尺寸、大小、螺纹等，适用于更多的接插件，从而适用于更多的工作环境。
35.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
36.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。


技术特征：
1.一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，包括基座六方(2)、基座螺纹柱(3)和传感器敏感元件(4)，所述传感器敏感元件(4)固定安装于基座螺纹柱(3)顶部，所述基座螺纹柱(3)顶部设置有与传感器敏感元件(4)配合的限位柱(32)；所述基座螺纹柱(3)包括螺纹安装段(31)，螺纹安装段(31)底部开设有o型圈槽(33)；所述基座六方(2)固定安装于基座螺纹柱(3)顶部。2.根据权利要求1所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，所述传感器敏感元件(4)与基座螺纹柱(3)采用激光焊接的方式连接。3.根据权利要求1所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，所述螺纹安装段(31)底部o型圈槽(33)设置有内外两圈。4.根据权利要求2所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，所述基座螺纹柱(3)与基座六方(2)采用激光焊接的方式连接。5.根据权利要求1-4任一所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，还包括传感器壳体(1)，所述传感器壳体(1)固定安装于基座六方(2)顶部。6.根据权利要求5所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，所述传感器壳体(1)与基座六方(2)采用激光焊接的方式连接。7.根据权利要求5所述的溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，其特征在于，所述传感器壳体(1)上端设置有螺纹连接段(11)。

技术总结
本实用新型公开了一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，涉及传感器领域，包括基座六方、基座螺纹柱和传感器敏感元件，所述传感器敏感元件固定安装于基座螺纹柱顶部，所述基座螺纹柱顶部设置有与传感器敏感元件配合的限位柱；所述基座螺纹柱包括螺纹安装段，螺纹安装段底部开设有O型圈槽；所述基座六方固定安装于基座螺纹柱顶部。本实用新型通过改变一体基座为分体式基座，将基座螺纹柱与基座六方分成两个元器件，安装更方便；传感器敏感元件藏于基座六方内，可以节省空间，缩小传感器体积，适应更多的工作环境；且可以更大限度的对传感器敏感元件进行保护，避免后续工序中对传感器敏感元造成不必要的磕碰。传感器敏感元造成不必要的磕碰。传感器敏感元造成不必要的磕碰。


技术研发人员：崔雪岩 孙启萌 刘丽娜
受保护的技术使用者：山东伟航敏芯电子科技有限公司
技术研发日：2022.04.27
技术公布日：2022/8/4