专利名称：湿敏三极管元件的制作方法
技术领域：
本实用新型提供一种湿敏三极管，属电子功能敏感元件。
目前的薄膜湿敏元件产品均是在薄片型陶瓷或塑料片上印制好电极，然后涂覆感湿膜，再引出二条信号线便形成元件产品，或者再将上述产品二次组装在二电极或四电极(带加热清洗)的管座上，且大部分采用垂直立面式焊接安装。因此，产品的抗震性不强，影响了长期稳定性。同时，由于没有屏蔽电极，使元件的抗干扰信号的能力降低。又由于上述产品的信号电极线一般采用制板印刷或制板蒸镀工艺，均匀性比光刻电极工艺差，因而元件的一致性、互换性受到影响。
本实用新型的目的在于针对上述元件产品的不足而提供一种新结构的湿敏三极管元件。
以下结合附图
对本实用新型作详细说明。
附图为本实用新型的结构示意图。
参照附图。由二信号引脚加屏蔽引脚及管座〔1〕、基片〔2〕、光刻电极〔3〕、敏感膜〔4〕及孔罩〔5〕构成湿敏三极管元件。该新型元件具有半导体三极管的外观近似，但不同于半导体三极管的功能。它是一种与已知的二电极、四电极型湿敏元件不同的新型湿敏功能元件。该新型元件管座〔1〕与基片〔2〕粘接成一体；基片〔2〕通过集成电路工艺在其上面光刻电极线〔3〕；敏感膜〔4〕获取的敏感信号通过与电极线〔3〕相连导的两信号引脚传递；另一引脚形成对干扰信号的屏蔽接地；配上孔罩〔5〕便构成了实用美观的新型湿敏三极管。
本实用新型中，由于敏感片与管座牢固地粘接成一体，呈卧置状，因而增加了元件的抗震性，能提高元件的长期稳定性，由于采用集成电路工艺光刻电极，使得元件的一致性、互换性能够提高；屏蔽极能提高元件信号的灵敏度及抗干扰信号的能力，提高可靠性；孔罩增加美观、保护敏感膜，并且不影响元件的性能。该种新型结构还适用于温度、热敏、气敏等其他敏感膜的元件制造。
权利要求1.一种湿敏三极管元件，包括三电极引脚以及管座[1]、基片[2]、光刻电极[3]、敏感膜[4]及孔罩[5]，其特征在于基片[2]与管座[1]粘连成一体呈卧式置放，电极[3]为集成电路工艺光刻电极。
2.根据权利要求1所述湿敏三极管元件，其特征在于管座〔1〕采用金属材料制作，基片〔2〕采用硅片、陶瓷或玻璃制作。
3.根据权利要求1所述湿敏三极管元件，其特征在于敏感膜〔4〕不仅限于湿敏膜，而且适用于温度、气体等敏感膜元件制造。
专利摘要一种对湿度敏感的三极管，属电子功能敏感元件。它是将晶体管工艺、集成电路工艺、敏感膜工艺相结合封装后组成。其特点是采用了整体卧置式基座和屏蔽极，以及光刻信号电极线，从而抑制了现有湿敏元件垂直立面式组装的不稳定性，并且保证了抗干扰信号的能力和敏感信号的可靠性，同时提高了元件产品的一致性和外表美观性，使产品具有市场竞争力。
文档编号G01N27/00GK2105770SQ9122094
公开日1992年5月27日 申请日期1991年10月5日 优先权日1991年10月5日
发明者赵惕平 申请人:赵惕平