专利名称：电化学有毒气体传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于检测，诸如一氧化碳、氯气、氰化氢、硫化氢、二氧化氮和二氧化硫等各种有毒气体的电化学有毒气体传感器。
在典型的电化学气体传感器中，被测气体从空气中透过多孔透气膜扩散到工作电极上，在工作电极处发生化学反应。化学反应的类型、速度和效率受用于制造工作电极的材料、气体向工作电极的扩散速率以及工作电极相对于作为基准的另一电极的电位的控制。工作电极的电位一般借助于稳压电路来建立，但这未必是一种必需的工作方式。在反电极上，发生与工作电极上发生的化学反应互补的化学反应。工作电极和反电极之间的电流与被测气体的浓度成比例。一种电离导电的电解液与所有电极接触，维持传感器内的电荷平衡。在美国专利4，132，616;4，324，632;4，474，688号以及在欧洲专利申请0，496，527A1号上揭示和描述了这种电化学气体传感器。
图1示出了一种用于检测一氧化碳的已知的电化学气体传感器的分解视图。在装配这种传感器时，把一铂反电极2放在传感器壳4的内底部上。通常，反电极2包括如Gortex和Zitex牌号的多孔透气膜3。接着，把镀金集流环6放在传感器壳4内，使镀金环与反电极2的周边接触，并使突舌延伸穿过集流环6顶上的传感器壳4上的一个下通孔(未示)。然后把O形圈8放在传感器8内，并把主隔套10放在O形圈8的顶上。
这些零部件安装就位之后，把电绝缘的但多孔的隔片12放在主隔套10内，然后把虹吸器(Wick)14套在隔片12上。虹吸器最好是哑铃形的，并且是用已经处理成亲水性的多孔聚乙烯或聚丙烯制成的。然后把第二个O形圈16套在主隔套10上，把第二个镀金集流环18放在该O形圈16上，使其突舌延伸穿过传感器壳4的中通孔(未示)。接着，把有一中心孔22的铂基准电极20放在集流环18上，并使它们电接触。然后再把第三个O形圈套在基准电极20上，接着是放置垫圈26和一片或多片隔片28。隔片28与隔片12相似。
然后把第三个镀金集流环30放在该组件上，使其突舌延伸穿过传感器壳4的上通孔(未示)。把铂工作电极32放在集流环30上。工作电极32在结构上与反电极2相似，也包括Gortex或Zitex牌号的多孔透气膜片。工作电极32是面朝下置入，而反电极是面朝上。
传感器进气口组件34包括一个用于减少对流的挡板36，把传感器进气口组件34向下推压在上述叠层上，形成传感器壳4的顶部。通过把挡圈38装入传感器壳4上部的凹槽40内使整个传感器结构在一定压力下保持在传感器壳4内。然后，将从下、中和上通孔伸出的各集流环的突舌弯曲成与传感器壳4的外壁平行，并热封于其上。然后，在传感器壳4上突舌伸出通孔的周围区域用一种疏水性密封胶覆盖。在使密封胶干燥之后，通过传感器壳4底部附近的充注孔42向传感器内注入电离导电的含水硫酸电解液。然后用塞子把孔42封住。
这种结构的有毒气体传感器有几个缺点。由传感器使用大量零件以及装配传感器和进行加热密封和涂覆疏水性密封胶所需的劳动力所引起的高的制造成本是缺点之一。另外，集流环上的金之类的贵金属成本高，它需要用脆弱的叠层引线，这种引线不很耐用，而且必须加以保护，以免受到机械损伤，同时要保证可靠的外部电连接。即使采用了垫圈或O形圈和疏水性密封胶，在长期使用或暴露于高温之后，这种类型的传感器仍会渗漏电解液。一般采用的含水硫酸电解液的渗漏，不仅要降低传感器的性能特性，而且还会腐蚀和毁坏装有这种传感器的仪器。这种类型的传感器还有一个缺点，那就是其高度尺寸超过1英寸。
如图1所示且如上所述的有毒气体传感器不是采用气体渗透膜，因为已知材料对各种气体和蒸气的透气性太低，或者就是材料的惰性不足以经受典型的有毒气体检测环境。于是，许多有毒气体传感器只能使用如牌号为Gore-Tex或Zitex的多孔透气膜。这些多孔透气膜通常用PTFE(聚四氟乙烯)制成，它含有大量显微镜下可以看见的小孔，这些小孔的直径处于几微米的数量级。一般，这些孔大约占多孔透气膜的几何面积的60-70%。
虽然用多孔透气膜制成的电化学有毒气体传感器可以应用于许多场合，但一般认为其有几个缺点。例如，在多数情况下，多孔透气膜的孔度限制着可用的电解液的选择，可用在这种传感器中的主要是水溶性酸。甚至在用这类水溶性酸时，对传感器施加的压力差仍会使电解液通过多孔透气膜渗漏出来。
另外，随着温度和湿度的变化，水蒸气会通过多孔透气膜迅速蒸发。这就要求必须在传感器体内留下一相当大的空间，用作电解液容器。这就增加了传感器的复杂性，并使传感器超出了所希望的尺度。还会引起电解液PH值的变化，而PH值的变化会使传感器内的基准电极的电位变化。在仪器中使用这种传感器时，基准电极电位的偏移将引起零位偏移、工作幅宽偏移和温度补偿问题。而且，悬浮微粒、颗粒和高分子量的气体很容易穿过多孔透气膜上的微孔，引起传感器电极中毒。这种中毒现象会使传感器输出逐渐缓慢减弱，直至传感器达到化学上的无效而不能再用。
因此，客观上需要有一种没有这些缺点的电化学有毒气体传感器。
总地来说，本发明涉及的电化学气体传感器包含一壳体、一工作电极、一反电极、位于壳体内的一种电解液、将电解液保持在壳体内的多孔透气膜以及穿过壳体的用于每一电极的电接头，电接头包括有一沟槽的接线柱。最好本发明还有一基准电极。如果不使用独立的基准电极，也可以把反电极用作基准电极。
最好用有沟槽的非贵重金属柱用作接线柱，构成必要的从传感器外到传感器壳体内的各电极连接。如果传感器内是用硫酸之类的含水酸电解液，就尤其要用这种办法。传感器壳体最好用塑料制成，这样带沟槽的非贵重金属引柱可以模压嵌入其内。
本发明的有毒气体传感器也可以用气体渗透膜代替多孔透气膜作为被检测的有毒气体和电化学气体传感器的内置物之间的主分隔层。由于这种气体渗透膜上没有小孔，因此，在气体扩散通过膜材料之前，气体首先溶解在渗透膜的材料中。这不同于上述那种气体直接扩散通过膜上的孔的多孔透气膜。渗透膜可以直接置于传统的、一般包括一层多孔透气膜的工作电极上。在这种结构中，气体渗透膜可以与工作电极的多孔透气膜一起加热密封到传感器壳体的顶部上，或者，采用其他传统的如O形密封圈的方法沿壳体的圆周密封于壳体。在本发明的一个最佳实施例中，用第二个渗透膜密封传感器壳体的底部。
可以把用于形成工作电极的如铂等电催化材料直接涂覆在气体渗透膜上，或者靠近渗透膜。如果选择这种制造方法，可以完全省略多孔透气膜。另一种方法是，可以把渗透膜直接加热层压到在其一面上已经覆盖有电极材料的多孔透气膜上。
下面进行的对最佳实施例的详细描述将使本发明的其它详情、目的和优点变得更加明显。
各附图示出了本发明的几个最佳实施例，其中图1是一种现在已知的用于一氧化碳的电化学有毒气体传感器的分解图;
图2是本发明的电化学有毒气体传感器的一个实施例的分解图;
图3是沿图2中的线3-3取的传感器的俯视图;
图4是用于本发明的电化学有毒气体传感器的带沟槽的导电接线柱的一个最佳实施例;
图5是表1所示的数据的曲线图;
图6是表2所示的数据的曲线图;
图7是表4所示的数据的曲线图。
图2示出了本发明的电化学有毒气体传感器的一个最佳实施例，将它装配起来可用于检测一氧化碳。这一传感器有一壳体50，其最好用聚乙烯之类的塑料制成，其底上有一小孔52。在装配时，该小孔52用于充入电解液。传感器还有多个有沟槽的钛引柱54，最好是把它们模压嵌入塑料壳体50内。这些引柱54就是用于使壳体50内的电极和传感器外部电连接起来的导电接线柱。壳体50内设有一电极座架56。座架56最好用与壳体50相同的有弹性的塑制成，并且由4个舌板或称立柱58夹持在位，如图3所示。座架56之下的空间用作电解液容器。
在装配传感器过程中，把电极座架56插放到塑料壳体50内。把一根导电的惰性金属引线，例如厚度约为3密尔的铂箔短条(未示)，点焊到钛引柱54的端面上，然后，弯成垂直向上。把反电极60面朝上置于电极座架56上，把一个合适的第一铂箔引线弯回到反电极60上，并使其达到良好的电接触。然后把隔出62置于该组件上。接着，把铂基准电极64置于隔片62上，并将一合适的第二铂箔引线弯回到与这一电极接触。然后再把第二隔片66置于该组件上。该隔片66最好有向下延伸到电极座架56平面以下的突舌，以使电解液能从容器内虹吸进入电化学元件，把全部电极都以电解离子连接起来，不管传感器以任何方法放置都能如此。
接着，把剩余的铂箔引线弯回到第二隔片66上。一般，铂工作电极68是放在多孔透气膜70的下侧，然后把多孔透气膜70放在该组件上，这样，多孔透气膜70就暴露于大气，并且工作电极68与铂箔引线接触。然后把多孔透气膜70加热密封到塑料壳体50的顶面上。然后把壳体50上下倒过来，通过小孔52部分地加注含水硫酸之类的电解液。完后，最好用一片多孔材料盖在小孔52上，并加热密封到壳体50上。上述的电极和隔片与针对图1所描述的类似。
然后，本发明的传感器可以置于一外壳(未示)内，其用于通过压紧电化学元件来改善箔片引线与电极的电接触，降低对空气流动的敏感性，控制温度补偿要求，改善信号的线性和均匀性，以及调整输出灵敏度。外壳与图1所示的壳体4和进气口组件34类似，但尺寸较小。外壳上位于工作电极上方的一个或几个孔最好用一第二多孔透气膜覆盖，以防止液体进入传感器。由于其内用了多孔透气膜，传感器仍留有水蒸气和各种气体散发的通路。
预料，由于钛引柱54和聚乙烯壳体50之间没有化学键合力，时间一长，传感器内的钛引柱54将变成被覆盖上氧化物，而电解液又将浸润这一氧化层，并通过它渗漏到壳体50的外面。如果使用无沟槽的钛引柱，这种情况肯定会发生。然而，在实践中已经发现，本发明的气体传感器不存在电解液渗漏现象。这被认为是导电接线柱的沟槽内的钛表面氧化造成的。如果使用了例如有沟环槽的钛引柱的带环槽接线柱，在一段初始时间过后，电解液的爬漏速率逐渐下降或停止，这是很明显的。如图4所示，钛氧化层72可出现在引柱的上端，并沿长度方向在第一环槽74的颈底部停止漫延。如果把钛引柱54从聚乙烯壳体50内取出来，这一现象可以在显微镜下观察到。观察到的钛氧化层是从暴露于壳体内之电解液的引柱54顶端开始。钛氧化层延续到聚乙烯壳体50内，且随着引柱变细而延续到第一个环槽74。可以认为，氧化层的生成增加了引柱54的有效直径。在第一个环槽的颈底部由引柱直径增大施加的力显然，能使引柱54更紧贴聚乙烯壳体50，在传感器正常使用的情况下足以有效地阻止电解液通过第一环槽74的颈底部的任何进一步移动。在环槽74和76之间的区域内的引柱表面上，以及在第二个环槽76内没有观察到氧化层。
本发明的传感器很容易装配，其成本也比现在已知的传感器低很多。部分原因是由于减少了传感器所需的零件数，即没有O形密封圈、垫圈或疏水性密封胶，以及减少了装配传感器的劳动量。还因为本传感器仅需要较少的贵重金属零件和比较简单的集流环。
本发明还消除了将会通过图1所示的O形密封圈不可避免地产生的渗漏途径。如图2所示的传感器已经在达60℃的高温下经历了一段很长的时间，而且经受了0℃和50℃之间的反复温度冲击，但是没观察到任何电解液渗漏现象。
本发明的传感器不受采用三个电极的结构的限制，而是可以制成有两个、四个或四个以上电极的电化学传感器。而且，传感器壳体也不必一定是聚乙烯，但它应是能进行嵌件模制的，并且是与所选的电解液兼容的。在采用水溶性酸电解液的情况下，能满足这些要求的塑料包括Teflon、Halar和Tefzel商标的含氟聚合物。其它可以使用的塑料包括聚丙烯、尼龙、ABS和聚碳酸酯。
可以用于导电接线柱的其它材料包括那些能够形成韧性的氧化膜，且因而在水溶性电解液中不会明显腐蚀的非贵重金属或合金。这类中等贵重金属或惰性金属制成，如用金、钯、铂和铱制成。因为这些金属不活泼，而且不会形成使电解液在低电势下虹吸出传感器壳体的氧化层。然而，在足够高的氧化电势下，即使是贵重惰性金属也会以与中等贵重惰性金属同样的方式形成韧性氧化覆盖层。还可以采用以贵重金属电镀的中等贵重金属引柱。
尽管采用一个环槽显然是必要的且也可以了，但导电接线柱上最好有1个以上环槽。同样，在本发明的传感器中可以使用各种形状和尺寸的环槽。一般认为V形或U形环槽，或者两者之间的形状的环槽都能起作用。选择图4所示的环槽形状是为了在将引柱作为嵌件模制到壳体内后它们能把引柱机械地卡持在壳体内。
如果在图2所示的传感器中再设置一气体渗透膜，还可以获得其它优点。已经发现PTFE薄膜，例如厚度为1/4密尔的PTFE膜能提供足以用于感受有毒气体的气体渗透性。在一项试验中，是把一1/4密尔厚的PTFE膜置于图2所示的传感器多孔透气膜上。在渗透膜上放置一O形圈。然后在该组件外套装一外壳，压紧O形圈，使薄膜借助于O形圈达到周边气密。然后用廉价的稳压器将工作电极电压设置为0.00伏。在突气中放置十分钟之后，基电流稳定。用流量计把气体浓度调整到±10%的精度，然后测试传感器对一氧化碳的响应，得出的数据如表1。
表1ppmCo 传感器输出电流(空气中一氧化碳的百万分数) (μA)0 -0.02114 0.44206 0.84281 1.08468 1.54515 1.65562 1.77634 1.90687 2.10736 2.17
792 2.25858 2.45883 2.50851 2.701030 2.90图5标绘出了这些数据的曲线。这些数据表明，在实验误差内，在所研究的一氧化碳的整个浓度范围内传感器是线性的。传感器的电输出约为2.8毫微安每一氧化碳ppm。
在第二个实验中，对同一个传感器进行了控制得更好的一组实验，用一PAR＃63型稳压器将工作电极的电位相对于基准电极设置成0.000V。在保持流量为300cc/mm的同时，用一台精度为±2%的塞拉(Sierra)气体比例混合器把空气与一瓶5.14%的一氧化碳在空气中混合成各种浓度。获得的数据如表2所示表2一氧化碳百分浓度 传感器输出(空气中) (μA)0 -0.10.17 5.00.34 9.20.69 18.31.37 36.42.06 54.62.74 73.33.43 90.84.11 1094.45 122
4.80 1324.97 1365.14 142图6标绘出了这些数据的曲线。可以发现，在研究的整个浓度范围内传感器是呈线性的。传感器的电输出约为27微安每一氧化碳百分浓度，与表1的结果非常一致。
然后研究了传感器的输出与空气中Co为5.14%的气体的流量的函数关系，获得的数据如表3所示。
表3流量 传感器输出(cc/mm) (μA)0 -10 13220 13540 13780 138160 140300 143随着一氧化碳的消耗，在气体流量为0时传感器电输出缓慢倾斜。然而，气体流量从10到300cc/mm，电输出仅变化8%。
然后研究了在300cc/min的流量下传感器对浓度5.14%的一氧化碳的响应时间，得到的数据如表4所示。
表4时间(秒) 传感器输出(μA)0 -0.1
5 52.010 86.215 107.825 124.530 130.040 134.545 135.750 136.660 137.675 138.790 139.4120 139.4150 140.2180 141.6240 140.2360 139.2540 138.8660 138.8720 138.8780 138.9840 138.8图7标绘出了这些数据的曲线，这是一条定义明确的曲线，在25秒内达到了最终输出的90%，在45秒内达到了最终输出的97%。
制造了类似于上述传感器的另一台传感器，但区别是将1/4密尔厚的PTFE膜(亦即气体渗透膜)加热叠到乃是工作电极之一部分的膜上。这一工艺改变了PTFE的结晶结构，因而降低了其渗透性。因此，该传感器对一氧化碳的输出仅为0.75毫微安每ppm一氧化碳。该传感器也曾暴露于含有1.893ppm H2S的氮气。观察到了4.35毫安或2.3毫微安每ppm H2S的快速响应。
1/4密尔厚的PTFE膜是由CHEMAB公司供应的。这不是目前唯一可用的能满足电化学有毒气体传感器对足够的渗透性和化学稳定性的要求的气体渗透膜。例如CHEMPLAST供应的1/2密尔厚的PTFE材料和Dupont供应的1/2密尔厚的FEP.Teflon材料也可以使用。
气体渗透性更高的材料将会使输出增大。这将降低稳压器的复杂程度和/或降低对气体的检测极限。目前有可供使用的化学稳定性与含氟聚合物相当但气体渗透性比PTFE更高的材料。这种材料的例子是由Dupont公司制造的Teflon AF-1600和Teflon AF-2400。这些材料是全氟(2，2-二甲基-1，3-二氧杂环戊烯)和四氟乙烯的聚合物。Teflon AF-1600的可用膜厚为1，2和10密尔，其气体渗透性约比PTFE高两个数量级。还可以把硅聚合物氟化，得到把硅聚合物的高渗透性与氟化聚合物的化学惰性结合在一起的材料。
另一种其气体渗透性比PTFE高几个数量级同时又有适用于某些电化学气体检测场合的足够化学惰性的材料是硅和聚碳酸酯的共聚物。它是由膜料产品(Membrane Prodacts)公司制造并以MEM-213牌号销售，其膜厚度在1到10密尔之间。MEM-213还有可以靠微孔材料支承的超薄膜。
对于上述各种气体渗透膜，现在还没其对各种有毒气体的渗透性比较数据。然而，可以通过参考其对氧气的渗透性数据来掌握这些材料的相对气体渗透性。对氧的渗透性如下材料 氧渗透性(厘巴)PTFE 420
MEM-213 16，000Teflon AF-1600 34，000Teflon AF-2400 99，000可以看到，Teflon AF-1600和AF-2400的渗透性高得足以使采用这些材料之薄膜时的输出可与采用多孔透气膜时的输出相比。
在装置的电化学活化部分和被检测的气体之间有一气体渗透膜的有毒气体传感器一般比使用多孔透气膜的已知传感器更耐用和更坚固。由于采用气体渗透膜，传感器将更能经得住冲击、振动和撞击等环境应力而不会渗漏电解液。在与只用多孔透气膜的传感器相比，它们还能经受并工作于更宽的温度和压力范围。
在分别使用酸性、中性或碱性水溶性电解液，诸如含水乙酸、含水氯化钾或含水氢氧化钾时，就能用气体渗透膜代替多孔透气膜的优点，充分体现出来，以有机以及无机溶剂配制的非含水电解液也可用于气体渗透膜。相反，仅有多孔透气膜的传感器只有采用含水酸电解液才是方便的。如果把中性含水或有机电解液用于仅具有多孔透气膜的传感器，其承受环境压力的能力将显著地降低。在仅采用多孔透气膜的有毒气体传感器中使用含水碱性或无机电解液迄今从未获得成功。
在对仅有多孔透气膜的传感器采用含水电解质时，水蒸气与大气的交换率将为最小。在用水溶性小的低蒸气压无水电解液，水交换实际上将消失。这可使基准电极的电位稳定，显著降低校正频度，降低检测极限。
因为气体渗透膜能控制传感器的温度补偿要求，所以还能达到更低的检测极限，这一显著的改进是因为气体渗透膜的性能能在长时间内保持稳定。用仅有多孔透气膜的传感器，一直很难达到精确的温度补偿，这部分地是因为pH值的变化会使基准电极电位偏移。
采用气体渗透膜，传感电极中毒现象将大为减小，因为悬浮微粒、颗粒和高分子量气体不能再直接进入传感器的电化学活化部分。例如，海洋环境中盐雾大气的影响将大大减轻。这将减少校准频度，以及提高传感器的使用寿命。它还允许在制造工作电极和反电极时用较少量的电解催化剂。这将进一步降低成本，并能降低噪声电平。
可以预料，有气体渗透膜的传感器的制造将不会昂贵，这是因为其可以不再需要为保证全方位使用而需要的用于虹吸电解液的复杂的隔片结构。而且，由于水交换被大大减少，必须设置在一侧的盛放电解液的空腔或容器的尺寸可以减小，甚至取消。这就便于设计出体积显著比以前可能设计出的传感器更小的电化学有毒气体传感器。
尽管已经图示，尤其是结合附图描述了本发明的最佳实施例，但在下面的权利要求范围内本发明还可以以其它的方式来实施。
权利要求
1.一种电化学有毒气体传感器，其特征在于，包含一壳体；一工作电极；一反电极；一种在壳体内的电解液；一将电解液保持在壳体内的多孔透气膜；以及一种穿过壳体对各电极的电连接，各电极是相互电分离的，但又是通过电解液离子连接的；电连接包括具有一环槽的导电接线柱。
2.如权利要求1所述的电化学传感器，其特征在于，导电接线柱包括一用贵重惰性金属制成的带有环槽的引柱。
3.如权利要求1所述的电化学传感器，其特征在于，导电接线柱包括一用中等贵重惰性金属制成的带有环槽的引柱。
4.如权利要求3所述的电化学传感器，其特征在于，带环槽的引柱由包括钛、钽、锆及其合金的一组金属之一以及包含这些金属中之一种或几种的混合物制成。
5.如权利要求1所述的电化学传感器，其特征在于，进一步包含一用于将电解液保持在壳体内的气体渗透膜。
6.如权利要求1所述的电化学传感器，其特征在于，进一步包含一设置在工作电极和反电极之间的参考电极。
7.如权利要求6所述的电化学传感器，其特征在于，导电接线柱包含用贵重惰性金属制成的带环槽的引柱。
8.如权利要求6所述的电化学传感器，其特征在于，导电接线柱包含用中等贵重惰性金属制成的环凹槽的引柱。
9.如权利要求8所述的电化学传感器，其特征在于，带环槽的引柱由包括钛、钽、锆及其合金的一组金属之一以及包含这些金属中之一种或几种的混合物制成。
10.一种电化学有毒气体传感器，其特征在于，包含一壳体;一工作电极;一反电极;一种在壳体内的电解液;一种穿过壳体的对每一电极的电连接;和气体渗透膜，各电极是相互电分离的，但又是通过电解液离子连接的。
11.如权利要求10所述的电化学传感器，其特征在于，气体渗透膜包括一全氟(2，2二甲基-1，3-二氧杂环戊烯)和四氟乙烯共聚物的薄膜。
12.如权利要求10所述的电化学传感器，其特征在于，气体渗透膜包括一聚乙烯，或者聚四氟乙烯或氟化乙烯丙烯共聚物的薄膜。
13.如权利要求10所述的电化学传感器，其特征在于，气体渗透膜包括一氟化硅聚合物的薄膜。
14.如权利要求10所述的电化学传感器，其特征在于，气体渗透膜包括一硅和聚碳酸酯共聚物的薄膜。
15.如权利要求10所述的电化学传感器，其特征在于，工作电极包括一多孔透气膜，上述气体渗透膜放置成有毒气体在到达工作电极之前必须首先通过所述气体渗透膜。
16.如权利要求15所述的电化学传感器，其特征在于，工作电极放置成与气体渗透膜相邻。
17.如权利要求10所述的电化学传感器，其特征在于，工作电极被制造在气体渗透膜的内表面上。
18.如权利要求10所述的电化学传感器，其特征在于，电解液从包括含水酸性电解液、含水中性电解液和含水碱性电解液的这一组中选取。
19.如权利要求10所述的电化学传感器，其特征在于，电解液包含无水有机溶剂和盐。
20.如权利要求10所述的电化学传感器，其特征在于，电解液包含无水无机酸。
全文摘要
本发明描述了一种紧凑的用于检测有毒气体的电化学气体传感器，它采用一个带环槽的导电接线柱使传感器内的各个电极与传感器外面电连接。带有环槽的导电接线柱的采用显著地减少了制造传感器所需的零件数，并减少了电解液从传感器渗漏出来的可能性。另外，这种电化学有毒气体传感器可以采用气体渗透膜来代替多孔透气膜。
文档编号G01N27/49GK1113007SQ9410236
公开日1995年12月6日 申请日期1994年3月4日 优先权日1993年3月5日
发明者约瑟夫·D·乔尔森, 艾伦·A·施奈伯 申请人:矿井安全装置公司