电子能谱仪双向转移装置的制作方法

文档序号:6096300阅读:396来源:国知局
专利名称:电子能谱仪双向转移装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种表面分析测试装置。
电子能谱仪是表面分析的重要工具,已在催化、电化、微电子学和材料科学等学科中获得广泛的应用。在多相催化领域,电子能谱仪用于检测化学状态。为了表征各个反应过程中催化剂的真实状态,必须将反映该状态的样品转移到电子能谱仪中进行测试。但是已有的装置只能应用于对电化学表面进行表征,局限于对大气环境杂质不太敏感的表面成膜等惰性和较稳定的体系,较少涉及固/液界面与固/气界面结构与反应性能关联研究。
事实上,通过电化学方法可方便地制备一些高性能表面,不仅具有较高电化学催化活性,而且是较好的异相催化剂表面,同时应用XPS等表征,具有明确化学微环境的表面,往往有特殊的电化学性能。
本实用新型的目的在于提供一种能在表面化学环境、电子结构等微观层次上关联固/液和固/气界面的结构和性能,实现两种界面环境之间双向、无污染快速转移的电子能谱仪双向转移装置。
表实用新型包括箱体、电子能谱仪进样门、电子能谱仪进样室端面固定器、电解池、观察窗、操作手套窗、进样门、进气阀、出气阀、真空泵接口、真空计接口、电源插座等。观察窗和操作手套窗固定在箱体的正面。电子能谱仪进样门固定在箱体的内侧面,电子能谱仪进样室端面固定器设在相应的外侧面,电解池置于箱体内,进样门、进气阀、出气阀、真空泵接口、真空计接口和电源插座置于箱体的侧面。
电子能谱仪进样室端面固定器包括端面法兰盘、固定法兰盘和拉杆,端面法兰盘固定在箱体的外侧面,固定法兰盘由拉杆与端面法兰盘连接。
本实用新型可使电子能谱仪能在表面化学环境、电子结构等微观层次上关联固/液和固/气界面的结构和性能,成功地实现了两种界面环境之间的双向、无污染快速转移。当样品制备完毕,就可在氮气保护下迅速从电子能谱仪进样门把样品转移进电子能谱仪的快速进样室,接而再转移到制备室,最后转移到分析室进行测定分析。例如在高电位铂的氧化态发生了化学位移,也就是准现场观察到结合能位移。并且本装置在氮气保护下,转移时间从已有的半小时缩短到几分钟。


图1为本实用新型的正面立体外观示意图。
图2为本实用新型的背面立体外观示意图。
图3为本实用新型的内部立体示意图。
以下结合附图对本实用新型做进一步的说明。
如图1~3所示,本实用新型由箱体(1)、电子能谱仪进样门(2)、电子能谱仪进样室端面固定器(3)、电解池(4)和其它配件组成。箱体(1)正面的上斜面(11’)上设一对观察窗(5,6),箱体正面还设操作手套窗(7),它包括法兰盘(71)、窗盖(72)和操作手套。电子能谱仪进样门(2)固定在箱体的背部内侧面,其相应的外侧面设电子能谱仪进样室端面固定器(3),它包括端面法兰盘(31)、固定法兰盘(32)和拉杆(33),其中端面法兰盘(31)固定在箱体的背面,固定法兰盘(32)通过拉杆(33)与端面法兰盘(31)连接。电解池(4)置于箱体(1)内的底部,进样门(8)位于箱体的右侧面,高纯氮进气阀(9)、出气阀(10)、真空泵接口(11)、真空计接口(12)和电源插座(13)置于箱体的左侧面。
本实用新型的电子能谱仪进样室端面固定器接于电子能谱仪快速进样室的端面上,靠拉杆和法兰盘将其锁紧,以保证所需的真空度。
权利要求1.电子能谱仪双向转移装置,其特征在于包括箱体、电子能谱仪进样门、电子能谱仪进样室端面固定器、电解池、观察窗、操作手套窗、进样门、进气阀、出气阀、真空泵接口、真空计接口和电源插座,观察窗和操作手套窗置于箱体的正面,电子能谱仪进样门设在箱体的内侧面,电子能谱仪进样室端面固定器设在相应的外侧面,电解池置于箱体内,进样门、进气阀、出气阀、真空泵接口、真空计接口和电源插座置于箱体的侧面。
2.如权利要求1所述的电子能谱仪双向转移装置,其特征在于电子能谱仪进样室端面固定器包括端面法兰盘、固定法兰盘和拉杆,端面法兰盘固定在箱体的外侧面,固定法兰盘由拉杆与端面法兰盘连接。
专利摘要本实用新型涉及一种表面分析测试装置,主要包括箱体、谱仪进样门与进样室端面固定器、电解池,箱体的正面设观察窗和操作手套窗,谱仪进样门和进样室端面固定器分别设于箱体的内外侧面,电解池置于箱内,在箱体的侧面还设进样门、进出气阀、真空泵与真空计接口。它可使电子能谱仪能在表面化学环境、电子结构等微观层次上关联固/液和固/气界面的结构和性能,实现两种界面环境之间的双向、无污染快速转移。
文档编号G01N27/416GK2227337SQ95205459
公开日1996年5月15日 申请日期1995年3月8日 优先权日1995年3月8日
发明者陈宝珠, 陈珍培, 王水菊, 徐富春, 孙世刚 申请人:厦门大学
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