专利名称：辉光放电电流隔离取样器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及数据的采样技术，特别提供了一种辉光放电电流隔离取样器。
在辉光放电阴极溅射时，不同样品(基体不同)即使是电压和气压相同时，放电电流也不相同，因此记录辉光放电电流数值，而且要求精确是一个十分重要而且相当关键的环节。过去使用普通模拟指针式直流毫安表测量辉光放电电流有如下弊病1.仪表的精度低，给测量带来误差。2.人工读数给测量带来误差。3.频繁变化的辉光放电电流，人工读数及表指示跟不上电流变化而出现漏检情况，给分析带来不能够弥补损失。正是基于上述原因，需要用计算机来进行数据处理，与计算机的联接需要处理下述三个技术问题1.将2000伏特的直流辉光放电电源产生的辉光放电电流用计算机进行数据处理；2.将0-100毫安的直流辉光放电电流变为计算机要求的毫伏级电压信号。3.送入计算机的毫伏电压信号与辉光放电电流保持宽范围的线性。
本实用新型的目的在于提供一种使取样信号与辉光放电电流保持宽范围线性的辉光放电电流隔离取样器。
本实用新型提供了一种辉光放电电流隔离取样器，其特征在于由电阻R1构成的信号转换电路接放大器IC1，经电流扩展三极管G射级输出，再经电位器W2，接光电耦合器IC2，输出端接IC3放大器再经W3电位器取样输出。本实用新型具有良好的输出输入线性，与计算机联结可以精确地测量辉光放电电流，实现高压电流与计算机的隔离，
以下结合附图通过实施例详述本实用新型。
附
图1电气原理图实施例2000伏直流高压电源产生的辉光放电电流经过输出低电位端接的R1电阻进入输入放大级IC1，放大后的电压经过电流扩展三极管G，由射级输出经电位器W2进入光电耦合器IC2，由光敏三极管部分输出送入输出取样级IC3，经W3电位器取出计算机需要的毫伏电压送入计算机采样处理数据，参见附图1。
D1、D2为输入保护二极管，当输入电压超过1伏时，D1与D2二极管导通，使输入电压被箝位在二个二报被嵌位在两个二极管管压降之和的电压值上，D1为2AP9，D2为IN914。
C9为输入电压保护电容，因电容两端电压不能突变，所以一旦输入电压突然增高，C9的存在，使IC1的输入电压有一缓冲保护。
电位器功能W1输入电压调节电位器，当辉光放电电流为0-100毫安时，IC1的输入电压可以在＜1V(伏特)之内。
W2光电耦合器二极管输入电流调节，调节电流为1.5-7毫安时，保证输出电压与输入电压为宽范围线性。
W3输出电压调节电位器，调节W3使输入辉光放电电流为0-100毫安时，取出计算机要求的毫伏值电压。
W4输出级IC3增益调节电位器。
W5输出级IC3调零电位器。
W6光电耦合器的光敏三极管部分调零电位器。
该装置有两组各自独立的直流稳压电源，一组为+12伏电源供给IC1及G两部份电路电源，另一组为±15伏电源，供给IC2，IC3两部分电源，RD为电源过流保护，熔断器，K为电源开关。D3为电源给电指示发光二极管。
附图1.辉光放电电流隔离取样器电气原理图；2.辉光放电电流隔离取样器元器件表。
权利要求1.一种辉光放电电流隔离取样器，其特征在于由电阻R1构成的信号转换电路接放大器IC1，经电流扩展三极管G射级输出，再经电位器W2，接光电耦合器IC2，输出端接IC3放大器再经W3电位器取样输出。
2.按权利要求1所述辉光放电电流隔离取样器，其特征在于在放大器IC1前接入二个串联的嵌位二极管D1、D2。
专利摘要一种辉光放电电流隔离取样器,其特征在于:由电阻R
文档编号G01R19/165GK2285478SQ9623894
公开日1998年7月1日 申请日期1996年10月31日 优先权日1996年10月31日
发明者徐奂光 申请人:中国科学院金属研究所