专利名称：加速度检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及加速度检测装置，特别是涉及检测与各方向相对应的加速度的加速度检测装置。
美国专利第5 365 799号，美国专利第5 571 972号，日本特开平10-132 845号公报，日本特开平10-153 614号公报等中示出了加速度检测装置。这些加速度检测装置具有在中央部设置重锤的膜片，支撑膜片的外周部的金属的基座，固定于膜片的与设置重锤的表面相反一侧的表面上的加速度敏感元件。这种加速度检测装置，加速度敏感元件根据作用在重锤上的加速度，输出与膜片的变形相对应的加速度信号，借此检测规定方向的加速度。特别是美国专利第5 571 972号中，示出了重锤、膜片和基座构成为整体成形的单体单元的加速度检测装置。重锤、膜片和基座直接安装于测定设备的壳体或电子设备上。
可是，在现有的加速度检测装置中，把重锤、膜片和基座相对于测定设备的壳体或电子设备安装于正确的位置是很难的。此外，这样的安装很麻烦。
本发明的目的在于，提供一种能够把重锤、膜片和基座相对于测定设备的壳体或电子设备配置于正确的位置的加速度检测装置。
本发明的另一个目的在于，提供一种能够简单地把重锤、膜片和基座安装于测定设备的壳体或电子设备的加速度检测装置。
本发明的另一个目的在于，提供一种能够防止由于噪声的影响而在输出中产生误差的加速度检测装置。
本发明的加速度检测装置，具有重锤；在中央部设置重锤的膜片；支撑膜片的外周部的基座；固定于膜片的与设置重锤的表面相反一侧的表面上，根据作用在重锤上的加速度，输出与膜片的变形相对应的加速度信号的加速度敏感元件；以及收容这些各部分的绝缘树脂壳体。再者，这里所说的加速度检测装置，可以是仅检测一轴(X轴)方向的加速度的一轴加速度检测装置，检测二轴(X轴，Y轴)方向的加速度的二轴加速度检测装置，检测三轴(X轴，Y轴，Z轴)方向的加速度的三轴加速度检测装置中的某一种。在本发明中，由金属材料整体成形重锤、膜片和基座。而且，把单体单元作为嵌件整体成形绝缘树脂壳体。
如果像本发明这样，把单体单元作为嵌件整体成形绝缘树脂壳体，则可以把想要的形状的绝缘树脂壳体简单地整体成形于重锤、膜片和基座(单体单元)。因此如果把绝缘树脂壳体安装于测定设备的壳体或电子设备，则可以把单体单元相对于测定设备的壳体或电子设备配置于正确的位置。此外，可以简单地把重锤、膜片和基座安装于测定设备的壳体或电子设备。
本发明的加速度检测装置可以构成为，绝缘树脂壳体具有收容加速度敏感元件的凹部，把连接于加速度敏感元件的多个端子配件的接地端子电连接于基座。在此一场合，设置封住绝缘树脂壳体的凹部的金属的盖构件，最好是在此一盖构件上，整体地设置接触片，其在盖构件固定于绝缘树脂壳体以便封住凹部的状态下，能具有弹簧性地推靠基座。
这样一来，盖构件经由接触片、基座和接地端子接地。借此，封住绝缘树脂壳体的凹部的金属的盖构件起到电磁波等噪声的屏蔽构件的作用，可以防止噪声侵入加速度敏感元件。特别是由于把接触片具有弹簧性地推靠于基座，所以可以在盖构件安装的同时，就完成盖构件与基座的电连接，而且基座与接触片的接触很可靠。
本发明的更具体的加速度检测装置，具有在压电陶瓷基片的一方的表面上形成了加速度检测用的检测用电极图形和多个电极，在另一方的表面上形成了与前述检测用电极图形对置的对置电极图形的加速度敏感元件；膜片，前述加速度敏感元件经由粘接剂层连接于其一方的表面上；固定于前述膜片的另一方的表面的中心部的重锤；具有能够位移地收容前述重锤的收容空间并且支撑前述膜片的外周部的金属基座；收容前述膜片、前述基座和前述加速度敏感元件，具有收容前述加速度敏感元件的凹部的绝缘树脂壳体；以及连接于前述加速度敏感元件的前述多个电极的多个端子配件。前述多个端子配件，具有电连接于前述基座的接地端子；前述基座电连接于前述多个端子配件的前述接地端子。前述重锤、前述膜片和前述基座，被构成为由金属材料整体成形的单体单元；前述绝缘树脂壳体，以前述单体单元为嵌件来整体成形。在包围前述绝缘树脂壳体的前述凹部的侧壁部上，形成使前述基座的一部分露出的窗部；设置封住前述绝缘树脂壳体的前述凹部的金属盖构件。在前述盖构件上，整体地设置接触片，其在前述盖构件固定于前述绝缘树脂壳体以便封住前述凹部的状态下，能经由前述窗部具有弹簧性地推靠前述基座。
图1是本发明的实施例的加速度检测装置的概略剖视图。
图2A是本发明的实施例的加速度检测装置中所用的单体单元的仰视图。图2B是沿图2A的B-B线截取的剖视图。
图3是本发明的实施例的加速度检测装置中所用的加速度敏感元件的俯视图。
图4A～图4C是以单体单元为嵌件而树脂注射成形的绝缘树脂壳体的俯视图，侧视局部剖切剖视图，主视半剖切剖视图。
图5A和图5B是本发明的实施例的加速度检测装置中所用的端子单元的俯视图和侧视图。
图6A和图6B是安装于绝缘树脂壳体的盖构件的仰视图(从膜片一侧观看的图)和侧视图。
下面，参照
本发明的实施例。如图1中所示，此一加速度检测装置，具有膜片1，重锤3，基座5，以及固定于膜片1的与安装了重锤3的表面一侧相反一侧的表面上的加速度敏感元件7。再者，在本图中，为了容易理解，把加速度敏感元件7一部分的厚度夸张地画出。而且，这些各构件被收容于绝缘树脂壳体9，在此一绝缘树脂壳体9上，安装着具有与加速度敏感元件7内的输出电极OZ、OE0…相连接的端子配件25…的两个端子单元11、11，和金属的盖构件6。
膜片1、重锤3和基座5，如图1、图2A和图2B中所示，作为由黄铜组成的金属材料整体成形的单体单元10来构成。膜片1具有圆板形状，具有约0.1mm的厚度。重锤3具有圆柱形状，与膜片1成一体，使其轴线的延长部分通过膜片1的中心。基座5具有圆筒形状，支撑着膜片1的外周部。此外，在基座5的外周部上，沿着圆周方向形成有连续的V字槽5a。在本实施例中，准备黄铜组成的圆柱形金属材料，对此一圆柱形金属材料施行切削加工形成环形空洞部C以便切削出重锤3，并在外周部上施行切削加工形成V字槽5a从而形成单体单元10。
在此一例子中，作为加速度敏感元件7，使用如图1和图3中所示在压电陶瓷基片7a的表面上形成有三轴加速度的检测用电极图形E1，在背面形成有与检测用电极图形E1的主要部分对置的环形的对置电极图形E0而构成的压电型三轴加速度敏感元件。压电陶瓷基片7a的背面和对置电极图形E0用环氧类粘接剂接合于膜片1的表面，使得加速度敏感元件7安装于膜片1。对置电极图形E0的膜片1一侧的表面具有凸凹，对置电极图形E0与膜片1接合成，在此一凸凹的凹部与膜片1之间填充粘接剂，凸部与膜片1接触。因此，成为对置电极图形E0经由膜片1与基座5电连接。压电陶瓷基片7a，轮廓形状成方形，与电极相对应的部分被施以极化处理，以便内部一受应力就产生自发极化电荷。有关极化处理在下文中详细说明。
如图3中所示，压电陶瓷基片7a，具有与重锤对置区8A和第1应力发生区8B和第2应力发生区8C。重锤对置区8A，在压电陶瓷基片7a的中心部具有圆形的形状。在与此一重锤对置区8A相对应的部分上，布置着重锤3。
第1应力发生区8B，具有包围重锤对置区8A的环形的形状。加速度一沿着与压电陶瓷基片7a平行的方向作用于重锤3，第1应力发生区8B就以重锤3的重心为中心点对称地变形成不同的状态(拉伸应力增加状态，压缩应力增加状态)，此外，加速度一沿着与压电陶瓷基片7a正交的方向作用于重锤3，第1应力发生区8B的各部分就变形成相同状态。
第2应力发生区8C，具有包围第1应力发生区8B的环形的形状。加速度一沿着与压电陶瓷基片7a正交的方向作用于重锤3，第2应力发生区8C的各部分就变形成与第1应力发生区8B不同的状态。可是，第2应力发生区8C，与第1应力发生区8B相比，仅产生极其微小的应力。
形成于压电陶瓷基片7a的的表面和背面的检测用电极图形E1和对置电极图形E0，全都通过丝网印刷来形成。膜片1一根据作用于重锤1的加速度而变形，检测用电极图形E1与对置电极图形E0之间所产生的自发极化电荷就因压电陶瓷基片7a的挠曲而变化，加在重锤1上的三轴(X轴、Y轴、Z轴)方向的加速度作为电流或电压的变化被测定。再者，这里所说的X轴、Y轴、Z轴是沿着相互正交的方向延伸的轴。X轴沿着假想直线XL的方向延伸，Y轴沿着假想直线YL的方向延伸，Z轴沿着与压电陶瓷基片7a的表面方向正交的方向延伸。检测用电极图形E1具有X轴方向检测电极图形13，Y轴方向检测电极图形15和Z轴方向检测电极图形17。
X轴方向检测电极图形13，具有两个X轴方向检测电极EX1、EX2和X轴输出电极OX由连接线L1、L2串联连接的结构。X轴方向检测电极EX1和EX2，被形成为大部分位于与第1应力发生区8B相对应的表面上，沿着第1应力发生区8B的内周的边缘部分则进入重锤对置区8A内。X轴输出电极OX具有几乎正方形的形状，被形成为位于处于第2应力发生区8C的外侧的压电陶瓷基片7a的边缘部分。
Y轴方向检测电极图形15，具有两个Y轴方向检测电极EY1、EY2和Y轴输出电极OY由连接线L3～L5串联连接的结构。Y轴方向检测电极EY1和EY2也具有与X轴方向检测电极EX1和EX2同样的形状，被形成为大部分位于与第1应力发生区8B相对应的表面上，沿着第1应力发生区8B的内周的边缘部分则进入重锤对置区8A内。此外，Y轴方向检测电极EY1和EY2在假想Y轴直线YL上隔着重锤对置区8A对称地配置，该直线与电极EX1和EX2排列的假想直线XL正交并与压电陶瓷基片7a的表面平行地延伸。由于假想Y轴直线YL与假想X轴直线XL相互正交，所以成为X轴方向检测电极EX1、Y轴方向检测电极EY1、X轴方向检测电极EX2和Y轴方向检测电极EY2分别隔着90度的间隔来配置。Y轴输出电极OY与X轴输出电极OX同样具有几乎正方形的形状，被形成为位于处于第2应力发生区8C的外侧的压电陶瓷基片7a的边缘部分。
Z轴方向检测电极图形17，具有Z轴方向检测电极EZ1、Z轴方向检测电极EZ2、Z轴方向检测电极EZ3、Z轴方向检测电极EZ4、Z轴输出电极OZ，按此顺序由连接线L6～L9串联连接的结构。四个Z轴方向检测电极EZ1～EZ4，具有接近矩形的形状。Z轴方向检测电极EZ1～EZ4也与X轴方向检测电极EX1和EX2同样被形成为大部分位于与第1应力发生区8B相对应的表面上，沿着第1应力发生区8B的内周的边缘部分则进入重锤对置区8A内。此外Z轴方向检测电极EZ1～EZ4，分别配置于X轴方向检测电极EX2与Y轴方向检测电极EY1之间、Y轴方向检测电极EY1与X轴方向检测电极EX1之间、X轴方向检测电极EX1与Y轴方向检测电极EY2之间、Y轴方向检测电极EY2与X轴方向检测电极EX2之间的各中央部分。因而，成为Z轴方向检测电极EZ1～EZ4，分别隔着90度的间隔来配置。此外，通过这样的配置，X轴方向检测电极EX1、EX2，Y轴方向检测电极FY1、EY2和Z轴方向检测电极EZ1～EZ4，在压电陶瓷基片7a的与第1应力发生区8B相对应的表面上形成包围重锤对置区8A的环形队列。Z轴输出电极OZ也与X轴输出电极OX同样具有几乎正方形的形状，被形成为位于处于第2应力发生区8C的外侧的压电陶瓷基片7a的边缘部分，与X轴输出电极OX和Y轴输出电极OY并列。
在压电陶瓷基片7a的与输出电极OX、OY、OZ排列的边缘部分对称地布置的边缘部分上，与输出电极OX、OY、OZ平行地并列形成三个接地电极OE0…。接地电极OE0，经由贯穿压电陶瓷基片7a的通孔导电部和连接线(未画出)与对置电极图形E0相连接。再者，也可以用导电性粘接剂把接地电极OE0与基座5积极地连接起来。此外，这样一来成为加速度敏感元件7中所包含的输出电极，被配置成分成OX、OY、OZ、与OE0…两组。再者，虽然在此一例子中，把位于压电陶瓷基片7a的外周缘部的三个电极全都做成接地电极OE0…，但是也可以把三个电极中的至少一个做成接地电极OE0，把其余电极弄成仅用来连接端子的虚设电极。
对压电陶瓷基片7a的与X轴方向检测电极EX1、EX2相对应的各部分，施行极化处理，以便当在各部分上产生同种类的应力时，在位于重锤对置区8A的一侧的X轴方向检测电极EX1与位于另一侧的X轴方向检测电极EX2中分别出现极性相反的自发极化电荷。
此外，对压电陶瓷基片7a的与Y轴方向检测电极EY1、EY2相对应的各部分，也与压电陶瓷基片7a的与X轴方向检测电极EX1、EX2相对应的各部分同样地施行极化处理，以便当在各部分上产生同种类的应力时，在位于重锤对置区8A的一侧的Y轴方向检测电极EY1与位于另一侧的Y轴方向检测电极EY2中分别出现极性相反的自发极化电荷。
此外，对压电陶瓷基片7a的与Z轴方向检测电极EZ1～EZ2相对应的各部分，施行极化处理，以便当在各部分上产生同种类的应力时，在所有Z轴方向检测电极EZ1～EZ4中出现极性相同的自发极化电荷。
在本实施例中，在用银糊丝网印刷加速度检测用电极EX1～EZ4和对置电极图形E0之后对它们进行烧制，然后在对置的各电极间施加直流电压，借此对压电陶瓷基片7a进行极化处理。此外，用银糊丝网印刷连接线L1～L9，从而形成加速度检测用电极图形E1。
图4A～图4C示出以单体单元10为嵌件来树脂注射成形的绝缘树脂壳体9。再者，图4B和图4C示出安装了盖构件6的状态的图，图4A示出未安装盖构件6的状态的图。从图4A可以看出，绝缘树脂壳体9的轮廓几乎呈方形，在膜片1所在的一侧具有凹部9a。因此，绝缘树脂壳体9具有侧壁部9j以便包围凹部9a。再者，侧壁部9j具有由下文述及的槽部分19a、19b和窗部9i的一部分构成的缺口形部分，由靠这些缺口形部分所分割的三个侧壁部分构成。膜片1在此一凹部9a的底面9a1处露出。在凹部9a的下侧所形成的单体单元收容部9b的内部，形成有进入在单体单元10的基座5的外周部上形成的V字槽5a的突起部9b1。此外，形成有突起部9b2以便与膜片1相反侧的基座5的端面5b相接触。在本例子中，因为通过以单体单元10为嵌件注射成形来整体成形绝缘树脂壳体9，故突起部9b1和9b2起防止脱落的作用。此外，在凹部9a的底面9a1上，整体形成构成压电陶瓷基片7a的定位部的四个定位用突起9c…，和五个盖构件放置用肋9d～9h。定位用突起9c…，在把压电陶瓷基片7a配置于绝缘树脂壳体9的凹部9a内之际，与压电陶瓷基片7a的邻接的两边相接触，实现使膜片1的中心或重锤的中心与压电陶瓷基片7a的中心一致的作用。在本例子中，把定位用突起9c…配置成各有两个定位用突起9c分别与压电陶瓷基片7a的正交的两边7a1、7a1(参照图3)相接触。盖构件放置用肋9d～9h，被形成为从底面9a1突出的高度尺寸超过定位用突起9c…的从底面9a1突出的高度尺寸。而且，盖构件6放置在盖构件放置用肋9d～9h的表面上。盖构件放置用肋9d～9h中，四个盖构件放置用肋9d～9g被形成为在底面9a1的四角处分别连接于侧壁部9j和底面9a1，一个盖构件放置用肋9h被形成为在盖构件放置用肋9g与9d之间分别连接于侧壁部9j和底面9a1。
此外，在绝缘树脂壳体9的底面9a1一侧的一部分和与该一部分相连接的侧壁部9j的部分上，形成使基座5的外周面的一部分(露出部分)5c露出的窗部9i。
如图4A～图4C中所示，在绝缘树脂壳体9的隔着单体单元10对置的一对侧壁部上，形成分别配合固定如图5A和图5B中所示的端子单元11、11的端子支撑体21的支撑体配合槽19、19。因为先说明端子单元11的结构就容易理解支撑体配合槽19的结构，故先说明端子单元11的结构。端子单元11具有以三个端子配件23～27为嵌件来嵌入成形的端子支撑体21。端子配件23～27弯曲成倒L字形，一方的端部23a～27a在图5的纸面上看沿着横向延伸，而另一方的端部23b～27b在图5的纸面上看沿着向下的方向延伸。这些端子配件23～27的中央部23c～27c被形成为比两端部要宽，在中央部上形成成形树脂进入的通孔23d～27d。端子支撑体21，具有以端子配件23～27为中心端部23a～27a位于延伸方向的第1部分21a，和沿着与端部23a～27a延伸的方向相反的方向延伸的第2部分21b。在第1部分21a上，整体地设置着在其宽度方向的两侧向下侧(向端子配件23～27的另一方的端部23b～27b的延伸方向)延伸的一对腕部21c、21c。在一对腕部21c、21c与第1部分21a的侧面之间，形成允许一对腕部21c、21c向第1部分21a的侧面变形的间隙。而且在一对腕部21c、21c的前端部整体地设有钩状的啮合部21d、21d。啮合部21d、21d的啮合面21e、21e向外侧即离开第1部分21a的方向延伸。此外端子支撑体21的第2部分21b，越过端子配件23～27的一方的端部23a～27a向上方(与端子配件23～27的另一方的端部23b～27b延伸的方向相反的方向)延伸。而且从第2部分21b的上方的端部的两侧面，分别向宽度方向即三个端子配件23～27排列的方向突出一对突出部21f、21f。
在绝缘树脂壳体9上形成的支撑体配合槽19、19，可以分别配合前述端子单元11、11的端子支撑体21，而且具有即使从外部施加力端子支撑体21也不脱落的形状。具体地说，支撑体配合槽19，向重锤3的中心的延伸方向或绝缘树脂壳体9的厚度方向(图4A中与纸面正交的方向)和重锤3的径向外侧或与绝缘树脂壳体9的侧壁部的侧面正交的方向开口。而且支撑体配合槽19，具有端子单元11的端子支撑体21的第1部分21a所配合的第1槽部分19a和端子支撑体21的第2部分21b所配合的第2槽部分19b。第1槽部分19a的主要部分的宽度尺寸W1，比在整体地设置在端子单元11的端子支撑体21的第1部分21a上的一对腕部21c、21c上未施加力的状态下的包含一对腕部21c、21c的第1部分21a的宽度方向的尺寸W3(参照图5)要小，具有当一对腕部21c、21c相互接近时包含一对腕部21c、21c的第1部分21a可以配合的尺寸。此外第2槽部分19b的主要部分的宽度尺寸W2，具有端子单元11的端子支撑体21的第2部分21b可以配合的尺寸。此外如图4B中所示第1槽部分19a，在与凹部9a相反的一侧的端部处宽度尺寸变大。结果，在第1槽部分19a上，形成了形成与整体地设置在端子支撑体21的第1部分21a上的一对腕部21c、21c的啮合部21d的啮合面21e相啮合的啮合面19c、19c的一对阶梯部。此外第2槽部分19b也在凹部9a一侧的部分处，宽度尺寸变大，结果在凹部9a一侧上形成了形成与设置在端子支撑体21的第2部分21b上的一对突出部21f、21f相啮合的啮合面19d、19d的一对阶梯部。通过一对突出部21f、21f与啮合面19d、19d的啮合，阻止了端子单元11被超过需要地推入支撑体配合槽19内。
在此一例子中，由整体地设置在端子支撑体21的第1部分21a上的一对腕部21c、21c的啮合部21d与设置在第1槽部分19a上的形成啮合面19c、19c的阶梯部(被啮合部)构成第1啮合结构，此外由整体地设置在端子支撑体21的第2部分21b上的一对突出部21f、21f(啮合部)与设置在第2槽部分19b上的形成啮合面19d、19d的一对阶梯部(被啮合部)构成第2啮合结构。借助于这些第1和第2啮合结构，实现配合于支撑体配合槽19中的端子支撑体21的脱落防止。
端子支撑体21配合固定于两个支撑体配合槽19中的端子单元11之中，一方的端子单元的端子配件23～27的端部23a～27a，用焊锡或导电性粘接剂分别连接于一方的组的输出电极OX、OY、OZ，另一方的端子单元的端子配件23～27的端部23a～27a，用焊锡或导电性粘接剂分别连接于另一方的组的接地电极OE0…。在本例子中，连接于接地电极OE0…的另一方的端子单元的端子配件23～27构成接地端子。如前所述，对置电极图形E0，分别与基座5和接地电极OE0…电连接。因此成为，另一方的端子单元的接地端子23～27与基座5电连接。
如果像上述例子这样，采用用配合结构把端子单元11固定于绝缘树脂壳体9的结构，则虽然零件数增加，但是与以单体单元10和端子配件23～27为嵌件来嵌入成形绝缘树脂壳体的场合相比，由于不仅绝缘树脂壳体的金属模变得简单了，而且可以降低绝缘树脂壳体的制造成本，所以可以降低加速度检测装置的价格。此外由于在上述例子中，使用相同结构的端子单元11，所以零件的种类减少，从而可以降低加速度检测装置的价格。
此外，这样一来，如果把两个端子单元11分别配合于两个支撑体配合槽19、19，则可以把端子单元11简单地安装于绝缘树脂壳体9的外壁部。此外，借助于两个端子单元11可以把加速度检测装置稳定地支撑于电路基板等。
图6(A)和(B)，示出安装于绝缘树脂壳体9的盖构件6。盖构件6，由屏蔽电磁波等噪声的不锈钢等金属形成，由主体部6a，和整体地设置在此一主体部6a上的接触片6b构成。主体部6a几乎呈矩形，以便封住绝缘树脂壳体9的凹部9a，整个覆盖加速度敏感元件7。在主体部6a的四个边的侧面6c…与绝缘树脂壳体9的侧壁部9j的内壁面相接触的状态下，背面6a1的边缘部放置在盖构件放置用肋9d～9h上(参照图4A和图4B)。接触片6b，由从主体部6a的一边的中央部向与主体部6a的板面成直角的方向延伸的第1直线形部分6b1，从第1直线形部分6b1与主体部6a的表面平行地向该主体部6a的中心部一侧延伸的第2直线形部分6b2，以及从第2直线形部分6b2向主体部6a一侧延伸的半圆弧形接触部6b3构成。在盖构件6固定于绝缘树脂壳体9以便封住凹部9a的状态下，接触片6b被配置在窗部9i内，以便接触部6b3与基座5的接触部5c相接触。此外，第2直线形部分6b2形成为这样的尺寸，使得在盖构件6被固定的状态下，主体部6a与第1直线形部分6b1的角度稍微超过90度的角度，第1直线形部分6b1稍微弯曲。因此，接触片6b经由窗部9i具有弹簧性地推靠于基座5。借此，盖构件6成为经由基座5与接地端子23～27电连接。而且，借助于盖构件6的主体部6a可以防止电磁波等噪声侵入加速度敏感元件7。此外，在本例子中，由于把主体部6a制成主体部6a的侧面6c…与绝缘树脂壳体9的侧壁部9j的内壁严密配合的尺寸，所以通过把主体部6a强行推入绝缘树脂壳体9的凹部9a内，可以简单地把盖构件6安装于绝缘树脂壳体9。再者，也可以用粘接剂把盖构件放置肋9d～9h与主体部6a的外周部接合起来，把两者的接合做得更加可靠。
再者，虽然上述例子用压电型加速度敏感元件作为加速度敏感元件，但是本发明当然也适用于使用半导体型加速度敏感元件或静电容型加速度敏感元件等其他类型的加速度敏感元件的场合。
权利要求
1.一种加速度检测装置，其特征在于，具有重锤，在中央部设置前述重锤的膜片，支撑前述膜片的外周部的基座，固定于前述膜片的与设置前述重锤的表面相反的表面上，根据作用在前述重锤上的加速度，输出与前述膜片的变形相对应的加速度信号的加速度敏感元件，以及收容前述各部分的绝缘树脂壳体，前述重锤、前述膜片和前述基座，被构成为由金属材料整体成形的单体单元，前述绝缘树脂壳体，以前述单体单元为嵌件来整体成形。
2.权利要求1中所述的加速度检测装置，其特征在于，前述金属材料由圆柱形金属材料组成，对前述圆柱形金属材料施行切削加工来成形前述单体单元。
3.权利要求1中所述的加速度检测装置，其特征在于，前述加速度敏感元件具有包括接地电极在内的多个电极，前述加速度检测装置，还具有连接于前述加速度敏感元件的前述多个电极的端子配件。
4.权利要求3中所述的加速度检测装置，其特征在于，前述多个端子配件分为两个组，分别构成前述两个组的多个端子配件，分别固定于绝缘树脂制的端子支撑体而构成两个端子单元，在前述绝缘树脂壳体的外壁上，形成配合固定前述两个端子单元的前述端子支撑体的两个支撑体配合槽，前述两个端子单元分别配合于前述两个支撑体配合槽。
5.权利要求4中所述的加速度检测装置，其中前述两个端子单元具有相同的形状尺寸，前述加速度敏感元件的前述多个电极，分成两个组地配置在可以与配合于前述两个支撑体配合槽的前述两个端子单元所支撑的前述多个端子配件相接触的位置。
6.权利要求5中所述的加速度检测装置，其中前述端子支撑体经由啮合结构固定于前述绝缘树脂壳体，前述啮合结构，由设置在前述端子支撑体上的至少一个啮合部和设置在前述绝缘树脂壳体上，前述至少一个啮合部所啮合的至少一个被啮合部组成，以便允许前述端子支撑体向前述支撑体配合槽的插入，但是阻止配合在前述支撑体配合槽中的前述端子支撑体从前述支撑体配合槽脱落。
7.权利要求6中所述的加速度检测装置，其中在前述端子支撑体上设置一对钩状啮合部，前述绝缘树脂壳体的被啮合部，由具有前述一对钩状啮合部的啮合面所接触的面的阶梯部组成。
8.权利要求3中所述的加速度检测装置，其特征在于，前述绝缘树脂壳体具有收容前述加速度敏感元件的凹部，前述多个端子配件，具有电连接于前述基座的接地端子，设置封住前述绝缘树脂壳体的前述凹部的金属盖构件，在前述盖构件上，整体地设置接触片，其在前述盖构件固定于前述绝缘树脂壳体以便封住前述凹部的状态下，能具有弹簧性地推靠前述基座。
9.权利要求2中所述的加速度检测装置，其中在前述绝缘树脂壳体上整体地形成定位部，其整体地设置在前述膜片的周围并与前述压电陶瓷基片的外周部相接触，实现前述膜片和前述压电陶瓷基片的定位。
10.一种加速度检测装置，其特征在于，具有在压电陶瓷基片的一方的表面上形成了加速度检测用的检测用电极图形和多个电极，在另一方的表面上形成与前述检测用电极图形对置的对置电极图形的加速度敏感元件，前述加速度敏感元件经由粘接剂层连接于一方的表面上的膜片，固定于前述膜片的另一方的表面的中心部的重锤，具有能够位移地收容前述重锤的收容空间并且支撑前述膜片的外周部的金属基座，收容前述膜片、前述基座和前述加速度敏感元件，具有收容前述加速度敏感元件的凹部的绝缘树脂壳体，以及连接于前述加速度敏感元件的前述多个电极的多个端子配件，前述多个端子配件，具有电连接于前述基座的接地端子，前述基座电连接于前述多个端子配件的前述接地端子，前述重锤、前述膜片和前述基座，被构成为由金属材料整体成形的单体单元，前述绝缘树脂壳体，以前述单体单元为嵌件来整体成形，在包围前述绝缘树脂壳体的前述凹部的侧壁部上，形成使前述基座的一部分露出的窗部，设置封住前述绝缘树脂壳体的前述凹部的金属盖构件，在前述盖构件上，整体地设置接触片，其在前述盖构件固定于前述绝缘树脂壳体以便封住前述凹部的状态下，能经由前述窗部具有弹簧性地推靠前述基座。
全文摘要
重锤3、膜片1和基座5构成为由金属材料整体成形的单体单元10。以单体单元10为嵌件来整体成形绝缘树脂壳体9。在包围绝缘树脂壳体9的凹部9a的侧壁9j上,形成使基座5的一部分5c露出的窗部9i。把封住凹部9a的金属盖构件6安装于壳体9。在盖构件6上,整体地设置接触片6b,其在盖构件6固定于壳体9以便封住凹部9a的状态下,能经由窗部9i具有弹簧性地推靠基座5。基座5电连接于端子配件的接地端子。
文档编号G01P15/18GK1245896SQ99110698
公开日2000年3月1日 申请日期1999年7月27日 优先权日1998年7月27日
发明者广濑茂, 安藤正人, 中沟佳幸, 有仓健, 泽井努 申请人:北陆电气工业株式会社