压力传送器的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及压力传送器，特别是涉及较佳地适合于在放射线环境、高温环境下使 用的压力传送器。
【背景技术】
[0002] 压力传送器利用填充于导压路内的封入液将由隔膜承受的流体的压力传递到压 力传感器，向外部传送由压力传感器检测到的电信号，有测量绝对压力的压力传送器和测 量压差的压力传送器。
[0003] 该些压力传送器被用于W原子能设备为首的石油精制设备、化学设备等的处理流 体的各种测量，从确保设备的安全和确保制品的质量的点出发，例如要求±1%的精度。可 是，在长期的使用中，处理流体所含有的氨（氨原子、氨分子、氨离子）的一部分透过隔膜， 成为气泡而积存在导压路中。由此，导压路内部的压力上升，压力传递特性劣化，因此难W 保持测量精度。
[0004] 因此，W往W来，抑制透过隔膜而侵入到压力传送器的内部的氨的影响的各种技 术被提出。例如，在下述专利文献1中公开了 W下的技术，即，通过在隔膜中的、与封入液接 触的一面形成氨吸藏合金膜，使氨吸藏合金膜捕获透过了隔膜的氨，根据该样的技术，能够 抑制封入液中的气泡的产生而维持压力传递特性。
[0005] 专利文献1 ;日本特开2005 - 114453号公报
[0006] 可是，上述的W往技术是用于降低从压力传送器的外部透过了隔膜的氨的影响的 技术，没有考虑在压力传送器的内部所产生的气体、和透过隔膜侵入到内部的氨。目P，在放 射线环境、高温环境等特殊环境下，被填充在压力传送器的导压路内的封入液因放射线和 热而分解，产生氨、碳化氨类的气体。由于所产生的气体一旦超过封入液的溶解度就会气泡 化，所W即使该样压力传送器中的压力传递特性也会劣化。
【发明内容】
[0007] 因此，本发明的目的在于，提供一种能够可靠地抑制导压路内的气泡的产生，由此 能够长期维持压力传递特性的压力传送器。
[0008] 用于解决课题的手段
[0009] 为了达到该样的目的的本发明的压力传送器具备：管状的导压路；封入液，被填 充在上述导压路内；受压隔膜，在闭塞上述导压路的一方的开口的状态下被设置，承受测量 流体的压力；W及压力传感器，在被暴露于上述封入液的状态下设于上述导压路的另一方 的开口，上述封入液是含有苯基的娃油，该压力传送器具有设于上述导压路的内部的氨吸 藏材料。
[0010] 发明的效果
[0011] 根据如W上那样的结构的本发明的压力传送器，抑制由于导压路内的封入液的分 解而造成的气体的产生，并且通过封入液中的氨被氨吸藏材料吸藏，也抑制气体的产生，因 此，能够谋求导压路内部的压力的稳定化，能够长期维持压力传递特性。
【附图说明】
[0012] 图1是表示第1实施方式的压力传送器的结构的图。
[0013] 图2是说明基于氨吸藏材料的氨吸藏的图。
[0014] 图3是表示导压路中的氨吸藏材料的配置例的图。
[0015] 图4是说明伽马射线对封入液的照射试验的图。
[0016] 图5是表示伽马射线的累计福射剂量和封入液中的气体产生量的关系的曲线图。
[0017] 图6是说明基于伽马射线的照射的封入液的分解和基于氨吸藏材料的氨吸藏的 图。
[0018] 图7是表示第2实施方式的压力传送器的结构的图。
[0019] 图8是表示受压隔膜中的氨透过防止层的配置例的图。
[0020] 图9是表示第3实施方式的压力传送器的结构的图。
[0021] 图10是表示第4实施方式的压力传送器的结构的图。
[0022] 图11是表示原子能设备中的压差传送器的应用例的图。
【具体实施方式】
[0023] W下，基于附图，按照W下所示的顺序说明本发明的实施方式。
[0024] 1.第1实施方式（压差测量用的压力传送器）
[00巧]2.第2实施方式（设有氨透过防止层的压差测量用的压力传送器）
[0026] 3.第3实施方式（绝对压力测量用的压力传送器）
[0027] 4.第4实施方式（具备中间隔膜的压力传送器）
[002引 5.第5实施方式（原子能设备中的压力传送器的应用例）
[002引《第1实施方式》
[0030] (压差测量用的压力传送器）
[0031] 图1是表示第1实施方式的压力传送器的结构的图。该图所示的压力传送器1用 于W各种设备中的处理流体为测量流体的压力测量，测量2点间（高压侧和低压侧）的压 力差。
[0032] <压力传送器1的结构>
[0033] 该压力传送器1具备；与高压侧的测量流体印对应地设置的导压路11 及与比 该测量流体印靠低压侧的测量流体F1对应地设置的导压路11'。在上述一对导压路11、 11'的内部填充有封入液L。各导压路ll、ir的一方的开口分别由受压隔膜13、13'闭塞。 此外，该压力传送器1具备；共同地设于各导压路ii、ir的另一方的开口的1个压力传感 器15 及相对于该压力传感器15并列设置的1个中也隔膜17。并且，特别是本第1实 施方式的压力传送器1特征性的结构在于，封入液L由含有苯基的娃油构成、W及在导压路 ii、ir的内部设有氨吸藏材料。
[0034] W下，按照导压路封入液U受压隔膜13、13'、压力传感器15、中也隔膜 17、氨吸藏材料的顺序说明设于压力传送器1的各构成要素的详情。
[003引[导压路ii、ir]
[0036] 导压路ll、ir在各自的一方的开口部分具备扩大了开口径的受压室llaUla'。 由该受压室llaUla'扩大的导压路ll、ir的开口部分分别由受压隔膜13、13'闭塞。各 受压室llaUla' W不会妨碍基于受压隔膜13、13'的受压的动作的内部形状形成。
[0037] 此外，导压路ll、ir在与由受压隔膜13、13'闭塞的一侧相反侧的另一方的开口 部分，具备扩大了其开口径的过大压的放压室nb、nb'。在导压路中其开口径被扩 大了的形状的放压室1化、1化'夹持1个中也隔膜17地被配置，成为由该中也隔膜17分断 的状态。各放压室nb、ub' W不会妨碍基于中也隔膜17的受压的动作的内部形状形成。
[0038] 另外，导压路ii、ir具有分支的路径，成为在该分支了的导压路ii、ir的前端侧 的开口设有压力传感器15的结构。在该里，例如与高压侧的测量流体印对应地设置的导 压路11具有从放压室Ub的壁部分支的路径。另一方面，与低压侧的测量流体F1对应地 设置的导压路11'具有在放压室Ub'的近前分支的路径。
[0039] 在导压路ll、ir中，该些分支了的路径的前端侧的开口夹持1个压力传感器15 地被配置，成为导压路Ii、ir被该压力传感器15分断了的状态。
[0040] [封入液L]
[0041] 封入液L被装入像W上那样被闭塞的一对导压路11、1 r内，被填充到包括受压室 llaUla'、放压室nb、Ub'和分支的压力传感器15的部分在内的导压路ll、ir内。被填 充在上述一对导压路ii、ir内的封入液L也可W是同一种类。该封入液L是含有苯基的 娃油，具体而言是下述构造式（1)所示的苯甲基娃油。苯基是具有结合力高的二重结合构 造的基。
[004引化学式1
[0043]
【主权项】
1. 一种压力传送器，其特征在于， 该压力传送器具备： 管状的导压路； 封入液，被填充在上述导压路内； 受压隔膜，在闭塞上述导压路的一方的开口的状态下被设置，承受测量流体的压力；以 及 压力传感器，在被暴露于上述封入液的状态下设于上述导压路的另一方的开口， 上述封入液是含有苯基的硅油， 该压力传送器具有设于上述导压路的内部的氢吸藏材料。
2. 根据权利要求1所述的压力传送器，其特征在于， 上述硅油是苯甲基硅油。
3. 根据权利要求1所述的压力传送器，其特征在于， 上述氢吸藏材料吸藏氢和在上述导压路内产生了的碳化氢中的氢原子。
4. 根据权利要求1所述的压力传送器，其特征在于， 上述氢吸藏材料沿着上述导压路的配设方向被配置。
5. 根据权利要求4所述的压力传送器，其特征在于， 上述氢吸藏材料被混合在上述封入液中。
6. 根据权利要求4所述的压力传送器，其特征在于， 上述氢吸藏材料被设于上述导压路的内壁。
7. 根据权利要求4所述的压力传送器，其特征在于， 上述氢吸藏材料被敷设在上述导压路内。
8. 根据权利要求1所述的压力传送器，其特征在于， 上述氢吸藏材料是钯、镁、钒、钛、锰、锆、镍、铌、钴、钙、或它们的合金。
9. 根据权利要求1所述的压力传送器，其特征在于， 在上述受压隔膜上设有氢透过防止层。
10. 根据权利要求9所述的压力传送器，其特征在于， 上述氢透过防止层被设为上述受压隔膜的上述导压路侧的表面层或该受压隔膜的中 间层。
11. 根据权利要求9所述的压力传送器，其特征在于， 上述氢透过防止层由氢吸藏材料或氢遮断材料构成。
12. 根据权利要求9所述的压力传送器，其特征在于， 上述氢透过防止层由金、银、铜、白金、铝、铬、钛或它们的合金构成。
13. 根据权利要求1所述的压力传送器，其特征在于， 被填充上述封入液并且一方的开口被上述受压隔膜闭塞的一对上述导压路，在从两面 侧夹持上述压力传感器的状态下被配置。
14. 根据权利要求13所述的压力传送器，其特征在于， 该压力传送器具有相对于上述一对导压路与上述压力传感器并列地被夹持的中心隔 膜，在该中心隔膜上设有上述氢吸藏材料。
15. 根据权利要求1所述的压力传送器，其特征在于， 上述导压路具备被串联连接的多个管体部分、和设于该各管体部分的连接部的中间隔 膜， 在上述中间隔膜上设有上述氢吸藏材料。
【专利摘要】本发明提供能够可靠地抑制导压路内的气泡的产生，由此能够长期维持压力传递特性的压力传送器。压力传送器(1)具备：管状的导压路(11、11’)；被填充在导压路(11、11’)内的封入液(L)；在闭塞导压路(11、11’)的一方的开口的状态下被设置，承受测量流体(Fh、Fl)的压力的受压隔膜(13、13’)；以及在被暴露于封入液(L)的状态下设于导压路(11、11’)的另一方的开口的压力传感器(15)，封入液(L)是含有苯基的硅油，压力传送器(1)还具有设于导压路(11、11’)的内部的氢吸藏材料。
【IPC分类】G01L7-08
【公开号】CN104568285
【申请号】CN201410551141
【发明人】有田节男, 桑名谅, 马场淳史, 伏见笃, 新间大辅, 花见英树, 原勋, 伊藤崇
【申请人】株式会社日立制作所
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年10月17日
【公告号】EP2863198A2, EP2863198A3, US20150107365