一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及M0CVD外延片测温仪探头位置调节的技术领域，尤其是指一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置。
【背景技术】
[0002]业内习知，现有M0CVD设备外延片测温仪探头的安装位置是固定的，如果托盘所放置的晶圆片的位置和数量发生变化，由于探头位置固定，则探头极有可能因测量不到外延片上的的正确位置而导致测量数据不准确，从而影响对M0CVD反应腔室的实际监控。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于克服现有技术的不足与缺点，提供一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，能有效实现对测温仪安装位置的无级精确调节。
[0004]为实现上述目的，本发明所提供的技术方案为:一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，包括有探测口法兰盖、探头安装座、探头调节架、探头调节螺杆、螺杆安装板，其中，所述探测口法兰盖安装在用于生长外延片的M0CVD反应腔室的顶部，处于该M0CVD反应腔室内部托盘的上方，所述探测口法兰盖上开有观察窗，供测温仪探头能够在不同位置都可探测到托盘上晶圆片的情况，所述探头安装座滑动安装在探测口法兰盖上，并可在观察窗的长度方向上自由滑动，所述测温仪探头垂直安装在该探头安装座的探头安装位处，能透过观察窗探测到托盘上相应晶圆片的情况，并能够随探头安装座一起滑动，所述探头调节架上贯通有带内螺纹的通孔，该通孔上的内螺纹与探头调节螺杆相适配，所述探头调节架与探头安装座固定相连，能随该探头安装座一起滑动，所述螺杆安装板竖直安装在探测口法兰盖上，所述探头调节螺杆的一端横穿该螺杆安装板后伸进上述探头调节架的通孔中，与该探头调节架构成螺母丝杆机构，且所述探头调节螺杆上装配有配合螺杆安装板用的限位件，用于限制该探头调节螺杆在调节时轴向移动，通过旋转所述探头调节螺杆，能使得所述探头安装座及装于该探头安装座上的测温仪探头在观察窗的长度方向上一起滑动，进而实现对测温仪探头位置的无级可调。
[0005]所述探头安装座上设置有螺钉安装孔，能够采用螺钉通过该螺钉安装孔将探头安装座固定在探测口法兰盖上。
[0006]所述限位件为卡簧，该卡簧装于探头调节螺杆上的环形凹槽处，通过卡簧与螺杆安装板的配合限位，能避免探头调节螺杆在调节时轴向移动。
[0007]所述探头安装座横跨于观察窗的上方。
[0008]所述观察窗为长矩形结构。
[0009]本发明与现有技术相比，具有如下优点与有益效果:
[0010]本发明能够无级精调探头位置，并可固定测温仪探头，从而适应托盘放置不同数量晶圆片和变更晶圆片放置位置的需求，很好地克服了现有M0CVD设备因测温仪探头安装位置固定而导致的无法适应托盘内晶圆片数量和位置变化的问题。
【附图说明】
[0011]图1为本发明所述无级可调装置的安装示意图。
[0012]图2为本发明所述无级可调装置安装在MOCVD反应腔室上后的整体剖视图。
[0013]图3为本发明所述无级可调装置安装后的俯视图。
[0014]图4为图3的A局部放大图。
[0015]图5为图3的B局部放大图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。
[0017]如图1至图5所示，本实施例所述的用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，包括有探测口法兰盖1、探头安装座2、探头调节架3、探头调节螺杆4、螺杆安装板5，其中，所述探测口法兰盖I安装在用于生长外延片的MOCVD反应腔室6的顶部，处于该MOCVD反应腔室内部托盘7的上方，所述探测口法兰盖I上开有长矩形结构的观察窗8，以供测温仪探头9能够在不同位置都可探测到托盘7上晶圆片10的情况，所述探头安装座2滑动安装在探测口法兰盖I上，并横跨于观察窗8的上方，可在观察窗8的长度方向上自由滑动，所述测温仪探头9垂直安装在该探头安装座2的探头安装位处，该探头安装位位于观察窗8的正上方，测温仪探头9能透过观察窗8探测到托盘7上相应晶圆片10的情况，并能够随探头安装座2 —起滑动，所述探头调节架3上贯通有带内螺纹的通孔，且该通孔上的内螺纹与探头调节螺杆4相适配，所述探头调节架3与探头安装座2固定相连，能随该探头安装座2 —起滑动，所述螺杆安装板5竖直安装在探测口法兰盖上1，所述探头调节螺杆4的一端横穿该螺杆安装板5后伸进上述探头调节架3的通孔中，与该探头调节架3构成螺母丝杆机构，且所述探头调节螺杆4上开有环形凹槽，环形凹槽上装有配合螺杆安装板5用的限位件11 (具体为卡簧)，通过卡簧与螺杆安装板5的配合限位，能避免探头调节螺杆4在调节时轴向移动。通过旋转所述探头调节螺杆4，能使得所述探头安装座2及装于该探头安装座2上的测温仪探头9在观察窗8的长度方向上一起滑动，进而实现对测温仪探头位置的无级可调。
[0018]此外，所述探头安装座2上还设置有螺钉安装孔，当调节所述测温仪探头9至合适的位置后，能够用螺钉通过该螺钉安装孔将探头安装座2固定在探测口法兰盖I上，以保持位置，保证测温仪探头9反馈温度的准确性。
[0019]在采用以上方案后，本发明能够无级精调探头位置，并可固定测温仪探头，从而适应托盘放置不同数量晶圆片和变更晶圆片放置位置的需求，很好地克服了现有MOCVD设备因测温仪探头安装位置固定而导致的无法适应托盘内晶圆片数量和位置变化的问题，值得推广。
[0020]以上所述之实施例子只为本发明之较佳实施例，并非以此限制本发明的实施范围，故凡依本发明之形状、原理所作的变化，均应涵盖在本发明的保护范围内。
【主权项】
1.一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，其特征在于:包括有探测口法兰盖、探头安装座、探头调节架、探头调节螺杆、螺杆安装板，其中，所述探测口法兰盖安装在用于生长外延片的MOCVD反应腔室的顶部，处于该MOCVD反应腔室内部托盘的上方，所述探测口法兰盖上开有观察窗，供测温仪探头能够在不同位置都可探测到托盘上晶圆片的情况，所述探头安装座滑动安装在探测口法兰盖上，并可在观察窗的长度方向上自由滑动，所述测温仪探头垂直安装在该探头安装座的探头安装位处，能透过观察窗探测到托盘上相应晶圆片的情况，并能够随探头安装座一起滑动，所述探头调节架上贯通有带内螺纹的通孔，该通孔上的内螺纹与探头调节螺杆相适配，所述探头调节架与探头安装座固定相连，能随该探头安装座一起滑动，所述螺杆安装板竖直安装在探测口法兰盖上，所述探头调节螺杆的一端横穿该螺杆安装板后伸进上述探头调节架的通孔中，与该探头调节架构成螺母丝杆机构，且所述探头调节螺杆上装配有配合螺杆安装板用的限位件，用于限制该探头调节螺杆在调节时轴向移动，通过旋转所述探头调节螺杆，能使得所述探头安装座及装于该探头安装座上的测温仪探头在观察窗的长度方向上一起滑动，进而实现对测温仪探头位置的无级可调。2.根据权利要求1所述的一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，其特征在于:所述探头安装座上设置有螺钉安装孔，能够采用螺钉通过该螺钉安装孔将探头安装座固定在探测口法兰盖上。3.根据权利要求1所述的一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，其特征在于:所述限位件为卡簧，该卡簧装于探头调节螺杆上的环形凹槽处，通过卡簧与螺杆安装板的配合限位，能避免探头调节螺杆在调节时轴向移动。4.根据权利要求1或2所述的一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，其特征在于:所述探头安装座横跨于观察窗的上方。5.根据权利要求1所述的一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，其特征在于:所述观察窗为长矩形结构。
【专利摘要】本发明公开了一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，包括探测口法兰盖、探头安装座、探头调节架、探头调节螺杆、螺杆安装板，探测口法兰盖装在MOCVD反应腔室顶部，探测口法兰盖上开有观察窗，探头安装座滑动安装在探测口法兰盖上，可在观察窗的长度方向上自由滑动，测温仪探头垂直装在探头安装座上，探头调节架上贯通有带内螺纹的通孔，通孔上的内螺纹与探头调节螺杆相适配，探头调节架与探头安装座固定相连，螺杆安装板竖直装在探测口法兰盖上，探头调节螺杆的一端横穿螺杆安装板后伸进探头调节架的通孔中，与探头调节架构成螺母丝杆机构。本发明能有效实现对测温仪安装位置的无级精确调节。
【IPC分类】G01K1/14
【公开号】CN105352615
【申请号】CN201510799241
【发明人】刘向平, 杨翠柏, 方聪, 张杨, 张露, 靳恺, 王雷
【申请人】中山德华芯片技术有限公司
【公开日】2016年2月24日
【申请日】2015年11月19日