适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于质谱仪领域，具体涉及一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪。
【背景技术】
[0002]氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。传统检漏仪不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，以解决上述方案中存在的不足。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为:
[0005]一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。
[0006]所述的质谱管上标准漏率棒与预抽阀之间设有吸枪口。
[0007]所述的前级真空压力泵与前级泵之间设有检漏阀。
[0008]本实用新型检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图；
[0010]1-检漏口 ；2_检漏口压力阀；3_标准漏率棒4_质谱管；5_预抽阀；6_前级泵；7-前级真空压力泵；8分子泵；9_质谱仪。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步地说明。
[0012]如图1所示，一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，主要由检漏口 1、检漏口压力阀2、标准漏率棒3、质谱管4、预抽阀5、前级泵6、前级真空压力泵7、分子泵8和质谱仪9组成，所述的检漏口 I设置在质谱管4顶端、质谱管4右侧壁上端设有检漏口压力阀2、质谱管4上检漏口压力阀2下设有标准漏率棒3，前级泵6连接质谱管4，前级泵6上设有预抽阀5，前级真空压力泵7连接前级泵6，分子泵8连接前级真空压力泵7，质谱仪9连接分子泵8 ;所述的质谱管4上标准漏率棒3与预抽阀5之间设有吸枪口 ；所述的前级真空压力泵7与前级泵6之间设有检漏阀。
【主权项】
1.一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，其特征在于:所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。
2.根据权利要求1所述的适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，其特征在于:所述的质谱管上标准漏率棒与预抽阀之间设有吸枪口。
3.根据权利要求1所述的适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，其特征在于:所述的前级真空压力泵与前级泵之间设有检漏阀。
【专利摘要】本实用新型公开了一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。本实用新型检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
【IPC分类】G01M3-20
【公开号】CN204405271
【申请号】CN201520097303
【发明人】相鹏
【申请人】相鹏
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2015年2月11日