一种可调平的光学检测承载台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于光学检测技术领域，具体涉及一种可调平的光学检测承载台。
【背景技术】
[0002]目前在高精度的自动化光学检测过程中，光学系统架均设在承载台之上，例如申请号为201210429660.2的专利中公开一种用于光学检测的调整平台，其采用刚性结构进行支撑，但是由于光学系统的灵敏度比较高，采用刚性结构进行支撑时，对周围环境产生的震动没有缓冲作用，而且也无法减缓光学系统本身在运动过程中产生的震动，使得检测结果精确度低。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的就是为了解决上述【背景技术】存在的不足，提供一种结构简单、能够减缓震动的可调平的光学检测承载台。
[0004]本实用新型采用的技术方案是:一种可调平的光学检测承载台，包括工作台和位于工作台下方的底座，所述底座上安装有多个气囊和与多个气囊连接的水平调节阀，所述工作台通过多个气囊支撑于底座上，所述水平调节阀通过控制多个气囊内的气体容量调节工作台的平整度。
[0005]进一步地，所述多个气囊包括呈方形布置的第一气囊、第二气囊、第三气囊和第四气囊，所述水平调节阀包括第一水平调节阀、第二水平调节阀和第三水平调节阀，所述第一水平调节阀通过管道与第一气囊和第二气囊连通，所述第二水平调节阀通过管道与第三气囊，所述第三水平调节阀通过管道与第四气囊连通。
[0006]进一步地，所述第一气囊与第二气囊之间的距离小于第二气囊与第三气囊之间的距离。
[0007]更进一步地，所述水平调节阀上设有调节螺杆、杠杆、连接端口、进气口和排气口，所述调节螺杆安装于杠杆一端，调节螺杆顶部与工作台底面接触，所述杠杆另一端连接可通断连接端口与排气口之间通道的开关，所述连接端口与气囊的进出气孔连通。
[0008]本实用新型的工作台利用具有弹性的气囊进行支撑，结构简单、成本低，光学系统安放于工作台上，在工作时通过气囊可以对周围环境产生的震动有缓冲作用，也能减缓光学系统本身的运动部件在运动过程中产生的震动，有效提高光学检测的精度。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。
[0010]图2为图1中Al向截面图。
[0011]图3为图1中A2向截面图。
[0012]图4为本实用新型水平调节阀的示意图。
[0013]图中:1-工作台；2_第一气囊；3_第二气囊；4_第三气囊；5_第四气囊；6-进出气孔；7-管道；8-第一水平调节阀；9-第二水平调节阀；10_第三水平调节阀；11_底座；12-调节螺杆；13_杠杆；14-连接端口 ； 15-进气口 ； 16-排气口。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明，便于清楚地了解本实用新型，但它们不对本实用新型构成限定。
[0015]如图1-4所示，本实用新型包括工作台I和位于工作台I下方的钢结构的底座11，底座11上安装有多个气囊和与多个气囊连接的水平调节阀，工作台通过多个气囊支撑于底座上，水平调节阀通过控制多个气囊内的气体容量调节工作台的平整度。
[0016]上述方案中，多个气囊包括呈长方形布置的第一气囊2、第二气囊3、第三气囊4和第四气囊5，第一气囊2与第二气囊3之间的距离小于第二气囊3与第三气囊4之间的距离，即第一气囊2与第二气囊3之间、第三气囊4与第四气囊5之间分别形成长方形的短边，第一气囊2与第四气囊5之间、第二气囊3与第三气囊4之间分别形成方形的长边。水平调节阀包括第一平调节阀8、第二水平调节阀9和第三水平调节阀10，短边一侧的第一气囊2与第二气囊3共用第一水平调节阀8，另外两个气囊分别连接一个水平调节阀，即第一水平调节阀8通过管道7同时与第一气囊2和第二气囊3连通，第二水平调节阀9通过管道与第三气囊4连通，第三水平调节阀10通过管道与第四气囊5连通。优选的将第一水平调节阀8设置在远离第三气囊4和第四气囊5的一侧，第二水平调节阀9和第三水平调节阀10分别设置在第三气囊4和第四气囊5相对的外侧，三个水平调节阀之间间隔距离尽量大，以形成较大的三角形，便于调节工作台。四个气囊采用三个水平调节阀进行控制，不仅可以降低成本，而且方便调节工作台平整度。
[0017]上述方案中，水平调节阀上设有调节螺杆12、杠杆13、连接端口 14、进气口 15和排气口 16，调节螺杆12安装于杠杆13 —端，调节螺杆12顶部与工作台I底面接触，杠杆13另一端连接可通断连接端口 14与排气口 16之间通道的开关，连接端口 14与气囊的进出气孔6连通，进气口 15连接气源，为气囊充气。
[0018]本实用新型工作台I利用具有弹性的气囊进行支撑，结构简单、成本低，光学系统安放于工作台上，在工作时通过气囊可以对周围环境产生的震动有缓冲作用，也能减缓光学系统本身的运动部件在运动过程中产生的震动，有效提高光学检测的精度。当工作台的台面不平整时，首先通过第二水平调节阀9调节第三气囊4的高度，确定需要的高度后，固定第二水平调节阀9的调整螺杆12，然后通过调节第三水平调节阀10调整第四气囊5的高度，最后调节第一水平调节阀8改变第一气囊2和第二气囊3的高度，实现工作台台面平整度的调节。
[0019]本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
【主权项】
1.一种可调平的光学检测承载台，包括工作台(I)和位于工作台(I)下方的底座(11)，其特征在于:所述底座(11)上安装有多个气囊和与多个气囊连接的水平调节阀，所述工作台通过多个气囊支撑于底座上，所述水平调节阀通过控制多个气囊内的气体容量调节工作台的平整度。
2.根据权利要求1所述的一种可调平的光学检测承载台，其特征在于:所述多个气囊包括呈方形布置的第一气囊(2)、第二气囊(3)、第三气囊(4)和第四气囊(5)，所述水平调节阀包括第一水平调节阀(8)、第二水平调节阀(9)和第三水平调节阀(10)，所述第一水平调节阀(8)通过管道与第一气囊(2)和第二气囊(3)连通，所述第二水平调节阀(9)通过管道与第三气囊(4)，所述第三水平调节阀(10)通过管道与第四气囊(5)连通。
3.根据权利要求2所述的一种可调平的光学检测承载台，其特征在于:所述第一气囊(2)与第二气囊(3)之间的距离小于第二气囊(3)与第三气囊(4)之间的距离。
4.根据权利要求1所述的一种可调平的光学检测承载台，其特征在于:所述水平调节阀上设有调节螺杆(12)、杠杆(13)、连接端口(14)、进气口(15)和排气口(16)，所述调节螺杆(12)安装于杠杆(13) —端，调节螺杆(13)顶部与工作台(I)底面接触，所述杠杆(13)另一端连接可通断连接端口与排气口之间通道的开关，所述连接端口(14)与气囊的进出气孔(6)连通。
【专利摘要】本实用新型属于光学检测技术领域，具体涉及一种可调平的光学检测承载台。它包括工作台和位于工作台下方的底座，所述底座上安装有多个气囊和与多个气囊连接的水平调节阀，所述工作台通过多个气囊支撑于底座上，所述水平调节阀通过控制多个气囊内的气体容量调节工作台的平整度。本实用新型的工作台利用具有弹性的气囊进行支撑，结构简单、成本低，光学系统安放于工作台上，在工作时通过气囊可以对周围环境产生的震动有缓冲作用，也能减缓光学系统本身的运动部件在运动过程中产生的震动，有效提高光学检测的精度。
【IPC分类】G01D11-00
【公开号】CN204514338
【申请号】CN201520043150
【发明人】孙继忠, 叶衍孜
【申请人】苏州精濑光电有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年1月22日