位敏测量装置的制造方法

文档序号:9185574阅读:405来源:国知局
位敏测量装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及探测技术领域,特别是涉及一种位敏测量装置。
【背景技术】
[0002]激光具有峰值功率强、脉宽窄等优点,随着激光器技术的不断发展,激光器在工业、医疗和科研等领域的应用越来越广泛,在其应用过程中,常常需要对激光的光束指向进行精确测量。
[0003]位敏测量装置是一种对入射到光敏面上的光点位置敏感的光电器件,其输出光点光斑的实际物理位置坐标。现有的位敏测量装置大多采用半导体敏感元件,将照射在光敏面上的光斑强度和位移量转换为电信号,以实现位置探测,结构复杂,对接收到的光斑强度和尺寸要求较高,从而对器件的性能要求较高。
【实用新型内容】
[0004]基于此,有必要提供一种结构简单的位敏测量装置。
[0005]—种位敏测量装置,用于探测光束的位置,用于探测光束的位置,包括成像屏组件和相机,所述相机设于所述成像屏组件的一端,所述成像屏组件远离所述相机的一端设有成像屏,所述成像屏包括成像挡板和滤光膜,所述滤光膜设于所述成像挡板靠近所述相机的一侧,所述成像挡板对可见光具有透光作用,所述滤光膜对小于所述光束所在波长的可见光有吸收作用,且所述相机与所述成像屏相对而设。
[0006]上述位敏测量装置,用于探测光束的位置,光束照射在所述成像屏上形成光斑,光斑经过滤光膜后,相机获取光斑的图像,通过图像处理及测量技术计算得到光束的实际二维物理位置。由于位敏测量装置采用相机直接获取光斑的图像,通过图像处理及测量技术计算得到光束的实际二维物理位置,从而使位敏测量装置结构简单;由于光斑经过滤光膜滤光,使得相机能够得到更加精确的光斑图像,从而提高位敏测量装置的测量精度。上述位敏测量装置结构简单、测量精度高,在工业生产中具有更加广泛的应用。
[0007]在其中一个实施例中,所述相机包括镜头,所述镜头朝向所述成像屏而设,所述镜头的光轴与所述成像屏垂直。
[0008]在其中一个实施例中,所述相机还包括滤光片,所述滤光片设于所述相机的镜头与所述成像屏组件之间,所述滤光片对所述光束具有透光作用。
[0009]在其中一个实施例中,所述位敏测量装置还包括相机基座,所述相机设于所述相机基座上。
[0010]在其中一个实施例中,所述成像屏组件包括外壳,所述外壳具有腔体,所述成像屏设于所述外壳的腔体内,所述腔体内所述相机与所述成像屏之间形成光路。
[0011]在其中一个实施例中,所述成像屏组件的尺寸可根据光束需要的测量范围进行调整。
[0012]在其中一个实施例中,所述成像挡板为对可见光具有透光作用的硬塑料板。
[0013]在其中一个实施例中,所述相机为工业相机。
[0014]在其中一个实施例中,所述滤光膜粘贴于所述成像挡板靠近所述相机的一侧。
[0015]在其中一个实施例中,所述光束为激光。
【附图说明】
[0016]图1为一实施方式的位敏测量装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]为了便于理解本实用新型,下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是,本实用新型可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。
[0018]需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0019]参照图1,一实施方式的位敏测量装置100,用于探测光束的位置,包括成像屏组件I1及相机120,相机120设于成像屏组件110的一端,成像屏组件110远离相机120的一端设有成像屏111,成像屏111包括成像挡板1112和滤光膜1114,滤光膜1114设于成像挡板1112靠近相机120的一侧,成像挡板1112对可见光具有透光作用,滤光膜1114对小于光束所在波长的可见光有吸收作用,且相机120与成像屏111相对而设。
[0020]上述位敏测量装置100,用于探测光束的位置,光束照射在所述成像屏111上形成光斑,光斑经过滤光膜1114后,相机120获取光斑的图像,通过图像处理及测量技术计算得到光束的实际二维物理位置。由于位敏测量装置100采用相机120直接获取光斑的图像,通过图像处理及测量技术计算得到光束的实际二维物理位置,从而使位敏测量装置100结构简单;由于光斑经过滤光膜1114滤光,使得相机120能得到更加精确的光斑图像,从而提高位敏测量装置100的测量精度。上述位敏测量装置100结构简单、测量精度高,在工业生产中具有更加广泛的应用。
[0021 ] 在其中一个实施例中,相机120包括镜头121,镜头121朝向成像屏111而设,且镜头121的光轴与成像屏111垂直,相机120的镜头121获取光斑的图像。
[0022]在其中一个实施例中,相机120还包括滤光片122,滤光片122设于相机120的镜头121与成像屏组件110之间,滤光片122对光束具有透光作用,滤光片122进一步提高相机120获取光束在成像屏111上形成的光斑图像的精准度。具体的,滤光片122设于相机120的镜头121附近或者与相机120贴合。
[0023]在其中一个实施例中,位敏测量装置100还包括相机基座123,相机120设于相机基座123上。
[0024]在其中一个实施例中,成像屏组件110包括外壳,外壳具有腔体,成像屏111设于外壳的腔体内。腔体内相机120与成像屏111之间形成光路,从而使成像屏111上形成的光斑能够被相机120获取。
[0025]在其中一个实施例中,成像屏组件110的尺寸可根据光束需要的测量范围进行调整。具体的,调整成像屏111的尺寸,使得成像屏111能够接收光斑的尺寸增加以满足光斑位置的大范围测量。相应的,为了使相机120获取更佳范围更大的光斑图像,也可以相应的增大相机120的镜头121与成像屏组件110之间。
[0026]在其中一个实施例中,成像挡板1112为对可见光具有透光作用的硬塑料板。
[0027]在其中一个实施例中,相机120为工业相机。具体的,相机120为高速相机。
[0028]在其中一个实施例中,滤光膜1114粘贴于成像挡板1112靠近相机120的一侧。
[0029]在其中一个实施例中,光束为激光。具体的,光束的波长为600nm。
[0030]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
[0031]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种位敏测量装置,其特征在于,用于探测光束的位置,包括成像屏组件和相机,所述相机设于所述成像屏组件的一端,所述成像屏组件远离所述相机的一端设有成像屏,所述成像屏包括成像挡板和滤光膜,所述滤光膜设于所述成像挡板靠近所述相机的一侧,所述成像挡板对可见光具有透光作用,所述滤光膜对小于所述光束所在波长的可见光有吸收作用,且所述相机与所述成像屏相对而设。2.根据权利要求1所述的位敏测量装置,其特征在于,所述相机包括镜头,所述镜头朝向所述成像屏而设,所述镜头的光轴与所述成像屏垂直。3.根据权利要求2所述的位敏测量装置,其特征在于,所述相机还包括滤光片,所述滤光片设于所述相机的镜头与所述成像屏组件之间,所述滤光片对所述光束具有透光作用。4.根据权利要求1所述的位敏测量装置,其特征在于,所述位敏测量装置还包括相机基座,所述相机设于所述相机基座上。5.根据权利要求1所述的位敏测量装置,其特征在于,所述成像屏组件包括外壳,所述外壳具有腔体,所述成像屏设于所述外壳的腔体内,所述腔体内所述相机与所述成像屏之间形成光路。6.根据权利要求1所述的位敏测量装置,其特征在于,所述成像屏组件的尺寸可根据光束需要的测量范围进行调整。7.根据权利要求1所述的位敏测量装置,其特征在于,所述成像挡板为对可见光具有透光作用的硬塑料板。8.根据权利要求1所述的位敏测量装置,其特征在于,所述相机为工业相机。9.根据权利要求1所述的位敏测量装置,其特征在于,所述滤光膜粘贴于所述成像挡板靠近所述相机的一侧。10.根据权利要求1所述的位敏测量装置,其特征在于,所述光束为激光。
【专利摘要】本实用新型涉及一种位敏测量装置,用于探测光束的位置,包括成像屏组件和相机,相机设于成像屏组件的一端,成像屏组件远离相机的一端设有成像屏,成像屏包括成像挡板和滤光膜,滤光膜设于成像挡板靠近相机的一侧,成像挡板对可见光具有透光作用,滤光膜对小于光束所在波长的可见光有吸收作用,且相机与成像屏相对而设。上述位敏测量装置,光束照射在成像屏上形成光斑,光斑经过滤光膜后,相机获取光斑的图像,通过图像处理及测量技术计算得到光束的实际二维物理位置。由于位敏测量装置采用相机直接获取光斑的图像,从而使位敏测量装置结构简单;由于光斑经过滤光膜滤光,使得相机得到更加精确的光斑图像,从而提高位敏测量装置的测量精度。
【IPC分类】G01B11/00
【公开号】CN204854624
【申请号】CN201520400999
【发明人】梁凯, 张小波, 高为民
【申请人】深圳市速普仪器有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年6月10日
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