等厚干涉仪扩展光源的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种干涉仪尤其是等厚干涉仪中的光源或扩展光源，属于干涉仪配套设备领域。
【背景技术】
[0002]干涉图样的亮度除与所用光源的辐射强度/功率有关外，还在很大程度上取决于有效利用光源的几何尺寸，而光源的几何尺寸大小会对各类干涉图样的对比度有着不同的影响。对于平行平板产生的等倾干涉，无论多么宽的光源尺寸，其干涉图样都有很好的对比度；而杨氏双缝干涉只能在限制狭缝宽度的情况下才能看清干涉图样；由楔形板产生的等厚干涉图样则介于以上两种情况之间。传统的如干涉中的光源在光阑直径变化时，干涉条纹的对比对较差。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0004]本实用新型提供了一种等厚干涉仪扩展光源，主要包括激光发射器、光阑和准直透镜，所述光阑设置在激光发射器和准直透镜之间，光阑与准直透镜的距离为准直透镜的焦距，光阑设置在准直透镜的前焦平面上。
[0005]优选的，上述光阑为圆孔光阑。
[0006]优选的，上述激光发射器发射的光源经过光阑和准直透镜后变成与光轴成不同夹角的平行光束。
[0007]优选的，上述激光发射器为均勾激光发射器。
[0008]优选的，上述光阑的小孔中心与准直透镜的中心都处在激光发射器的激光光轴上。
[0009]本实用新型提供的等厚干涉仪扩展光源运用了环形光源技术，可进行波纹抑制，消除了因干涉腔内存在细小颗粒所引起的寄生条纹，提高了干涉仪的测量精度。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型结构示意图。
[0011]附图标记:1_激光发射器；2_光阑；3_准直透镜；4_光源点S ;5_光阑中央点S。。
【具体实施方式】
[0012]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0013]本实用新型提供的等厚干涉仪扩展光源，主要包括激光发射器1、光阑2和准直透镜3，光阑2设置在激光发射器1和准直透镜3之间，光阑2与准直透镜3的距离为准直透镜3的焦距，光阑2设置在准直透镜3的前焦平面上。光阑2为圆孔光阑。激光发射器1发射的光源经过光阑2和准直透镜3后变成与光轴成不同夹角的平行光束。激光发射器1为均匀激光发射器。光阑2的小孔中心与准直透镜3的中心都处在激光发射器1的激光光轴上。
[0014]当激光发射器1发出的光源为被均匀照明的直径为D的光阑2的圆形光阑孔时，光阑孔上的不同光源点S4经过准直透镜3后就变成与光轴成不同夹角Θ的平行光束，如图1所示。若准直透镜3焦距为f，光阑2中央点为&5，则Θ = SS0/f ο不同Θ角的平行光束经干涉仪被分成两束相干光后，到达干涉场同一点的光程差各不相同，所以各自形成的干涉条纹便彼此错位而不重合，所有干涉条纹的强度叠加，就形成了视场上所见到的合干涉条纹。当光阑2的直径D较小时，干涉条纹的对比度较好。随着光阑2开孔增大，合干涉条纹的对比度就逐渐下降。当光阑2的直径D达到一定程度时，对比度趋近于零。
[0015]本实用新型提供的等厚干涉仪扩展光源运用了环形光源技术，可进行波纹抑制，消除了因干涉腔内存在细小颗粒所引起的寄生条纹，提高了干涉仪的测量精度。
[0016]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种等厚干涉仪扩展光源，其特征在于:所述扩展光源主要包括激光发射器(1)、光阑(2)和准直透镜(3)，所述光阑(2)设置在激光发射器(1)和准直透镜(3)之间，光阑(2)与准直透镜(3)的距离为准直透镜(3)的焦距，光阑(2)设置在准直透镜(3)的前焦平面上；所述光阑(2)为圆孔光阑；所述激光发射器(1)发射的光源经过光阑(2)和准直透镜(3)后变成与光轴成不同夹角的平行光束；所述激光发射器(1)为均匀激光发射器；所述光阑(2)的小孔中心与准直透镜(3)的中心都处在激光发射器(1)的激光光轴上。
【专利摘要】本实用新型涉及一种等厚干涉仪扩展光源，主要包括激光发射器(1)、光阑(2)和准直透镜(3)，所述光阑(2)设置在激光发射器(1)和准直透镜(3)之间，光阑(2)与准直透镜(3)的距离为准直透镜(3)的焦距，光阑(2)设置在准直透镜(3)的前焦平面上。光阑(2)为圆孔光阑。激光发射器(1)发射的光源经过光阑(2)和准直透镜(3)后变成与光轴成不同夹角的平行光束。本实用新型提供的等厚干涉仪扩展光源运用了环形光源技术，可进行波纹抑制，消除了因干涉腔内存在细小颗粒所引起的寄生条纹，提高了干涉仪的测量精度。
【IPC分类】G01B9/02
【公开号】CN205066679
【申请号】CN201520271270
【发明人】林永东
【申请人】林永东
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年4月27日