一种光学元件表面质量检测装置及其检测平台的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种光学元件表面质量检测装置及其检测平台，其中光学元件表面质量检测平台包括用于固定连接在显微镜本体上的连接底座，所述连接底座上转动装配有转台，所述转台的转动轴线沿上下方向延伸，所述转台上设有用于放置待检测的光学元件的安装结构，所述安装结构具有用于对所述光学元件支撑的支撑面。利用可旋转的检测平台保证被测元件始终在显微镜物镜的视场范围内，达到快速检测元件的刻度等表面质量和指标的目的，避免对光学元件产生划伤的问题。
【专利说明】
一种光学元件表面质量检测装置及其检测平台
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种光学元件表面质量检测装置及其检平台。
【背景技术】
[0002]光学分划板表面质量和刻线的检测方法是:通过显微镜观察和检测光学分划板、分度盘、电子掩膜板表面刻线质量以及刻线指标。由于显微镜物镜的视场范围小，想要检测整个光学分划板等元件的表面质量，传统的方式是反复移动光学分划板或载物平台使得被测表面在显微镜的视场范围之内。频繁的移动光学分划板、分度盘，可能会对分划板或分度盘产生划伤光学分划板表面。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种光学元件表面质量检测平台，以解决在检测时频繁的移动光学元件可能会对其表面产生划伤的技术问题。同时本实用新型还提供一种使用该检测平台的检测装置。
[0004]为了实现以上目的，本实用新型中光学元件表面质量检测平台的技术方案如下:光学元件表面质量检测平台，包括用于固定连接在显微镜本体上的连接底座，所述连接底座上转动装配有转台，所述转台的转动轴线沿上下方向延伸，所述转台上设有用于放置待检测的光学元件的安装结构，所述安装结构具有用于对所述光学元件支撑的支撑面。
[0005]所述连接底座上设有下通光孔，所述转台上环设有上通光孔，所述显微镜本体上的光源可以依次通过下通光孔、上通光孔照射在安装在转台上的待检测的光学元件上，所述上通光孔包括两个独立的、相对设置的弧形孔。
[0006]所述转台通过转轴转动装配在连接底座上，所述转轴的上端面低于所述转台的支撑面。
[0007]所述转台上设有上下贯通的、上大下小的阶梯孔，所述转轴为上大下小的阶梯轴，所述转轴插装在所述阶梯孔内。
[0008]所述安装结构为设于转台上的安装槽，所述安装槽的槽底壁形成所述的支撑面。
[0009]本实用新型光学元件表面质量检测装置的技术方案如下:光学元件表面质量检测装置，包括显微镜本体，显微镜本体包括载物台，载物台下方设有光源，载物台上设有检测平台，所述检测平台包括固定连接在载物台上的连接底座，所述连接底座上转动装配有转台，所述转台的转动轴线沿上下方向延伸，所述转台上设有用于放置待检测的光学元件的安装结构，所述安装结构具有用于对所述光学元件支撑的支撑面。
[0010]所述连接底座上设有下通光孔，所述转台上环设有上通光孔，所述光源可以依次通过下通光孔、上通光孔照射在安装在转台上的待检测的光学元件上，所述上通光孔包括两个独立的、相对设置的弧形孔。
[0011]所述转台通过转轴转动装配在连接底座上，所述转轴的上端面低于所述转台的支撑面。
[0012]所述转台上设有上下贯通的、上大下小的阶梯孔，所述转轴为上大下小的阶梯轴，所述转轴插装在所述阶梯孔内。
[0013]所述安装结构为设于转台上的安装槽，所述安装槽的槽底壁形成所述的支撑面。
[0014]本实用新型的有益效果:在使用时，将光学元件表面质量检测平台放置在显微镜的载物台上和显微镜物镜视场范围内，将被测光学元件放置在该平台上，利用可旋转的检测平台保证被测元件始终在显微镜物镜的视场范围内，达到快速检测元件的刻度等表面质量和指标的目的，避免对光学元件产生划伤的问题。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型光学元件表面质量检测装置中的检测平台的结构示意图；
[0016]图2是图1的A-A剖视图；
[0017]图3是本实用新型光学元件表面质量检测装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]本实用新型光学元件表面质量检测装置的实施例:如图1-3所示，光学元件表面质量检测装置包括显微镜本体I，显微镜本体包括物镜5、目镜、载物台，载物台下方设有光源
7。载物台上设有检测平台，检测平台包括固定连接在载物台上的连接底座2，连接底座2上转动装配有转台3，转台3的转动轴线沿上下方向延伸，转台3上设有用于放置待检测的光学元件的安装结构，安装结构具有用于对光学元件支撑的支撑面。安装结构为设于转台上的安装槽6，安装槽的槽底壁形成上述支撑面。在本实施例中，以分划板4作为待检测的光学元件。
[0019]为了使得显微镜更能观察到分划板上的刻线，连接底座2上设有下通光孔，转台3上环设有上通光孔8，光源可以依次通过下通光孔、上通光孔照射在安装在转台上的分划板上，上通光孔包括两个独立的、相对设置的弧形孔。在转台3转动的过程中的大部分行程内，下通光孔是可以与上通光孔连通的，光源7发射的光经过反射可以透过该两个上下通光孔射向分划板4，并进入显微镜的物镜5中，进而可以通过目镜观察到。
[0020]转台3通过转轴10转动装配在连接底座2上，转台上设有上下贯通的、上大下小的阶梯孔11，转轴10为上大下小的阶梯轴，转轴10插装在阶梯孔11内。进一步地，为了防止转轴划伤分划板表面，转轴的上端面低于转台的支撑面。
[0021]在使用的时候，将待检测的分划板放置在安装槽内，可事先在安装槽内放置玻璃纸，以保护分划板。转轴带动转台旋转，使得转台上的上通光孔一直处于显微镜的物镜视野范围内。通过显微镜的目镜观察到放在装置该区域上划板的刻线质量以及刻线宽度，通过转动转台检测下一个部分光学分划板的质量和刻线宽度等，以此检查到整个光学分划板的质量。在整个检查过程中，光学分划板只是间接的转动，避免划伤被测光学元件表面。缩短检测光学分划板的检测时间，提高整个检验工作效率。同时，可以拓宽显微镜测试平台测量时的移动方式，由原来沿水平和垂直方向移动，增加一种360°旋转的检测移动方式。
[0022]本实用新型光学元件表面质量检测装置也可用于检测分度盘等光学元件。
[0023]在其它实施例中，安装结构也可不是安装槽，可在转台上设置支撑的凸台，三个、四个或其它数量的多个，各凸台处于同一圆周上，各凸台上设有台阶结构，各台阶面处于同一平面上用于形成上述实施例中的支撑面。
[0024]在其它实施例中，可以在连接底座上固定设置上下延伸的固定轴，转台上设置旋转装配孔，转台转动装配在该固定轴上。
[0025]本实用新型光学元件表面质量检测平台的实施例，光学元件表面质量检测平台即与上述实施例中的检测平台结构相同，与显微镜配套使用，【具体实施方式】不再详述。
【主权项】
1.光学元件表面质量检测平台，其特征在于:包括用于固定连接在显微镜本体上的连接底座，所述连接底座上转动装配有转台，所述转台的转动轴线沿上下方向延伸，所述转台上设有用于放置待检测的光学元件的安装结构，所述安装结构具有用于对所述光学元件支撑的支撑面。2.根据权利要求1所述的光学元件表面质量检测平台，其特征在于:所述连接底座上设有下通光孔，所述转台上环设有上通光孔，所述显微镜本体上的光源可以依次通过下通光孔、上通光孔照射在安装在转台上的待检测的光学元件上，所述上通光孔包括两个独立的、相对设置的弧形孔。3.根据权利要求1所述的光学元件表面质量检测平台，其特征在于:所述转台通过转轴转动装配在连接底座上，所述转轴的上端面低于所述转台的支撑面。4.根据权利要求3所述的光学元件表面质量检测平台，其特征在于:所述转台上设有上下贯通的、上大下小的阶梯孔，所述转轴为上大下小的阶梯轴，所述转轴插装在所述阶梯孔内。5.根据权利要求1至4任意一项所述的光学元件表面质量检测平台，其特征在于:所述安装结构为设于转台上的安装槽，所述安装槽的槽底壁形成所述的支撑面。6.光学元件表面质量检测装置，包括显微镜本体，显微镜本体包括载物台，载物台下方设有光源，其特征在于:载物台上设有检测平台，所述检测平台包括固定连接在载物台上的连接底座，所述连接底座上转动装配有转台，所述转台的转动轴线沿上下方向延伸，所述转台上设有用于放置待检测的光学元件的安装结构，所述安装结构具有用于对所述光学元件支撑的支撑面。7.根据权利要求6所述的光学元件表面质量检测装置，其特征在于:所述连接底座上设有下通光孔，所述转台上环设有上通光孔，所述光源可以依次通过下通光孔、上通光孔照射在安装在转台上的待检测的光学元件上，所述上通光孔包括两个独立的、相对设置的弧形孔。8.根据权利要求6所述的光学元件表面质量检测装置，其特征在于:所述转台通过转轴转动装配在连接底座上，所述转轴的上端面低于所述转台的支撑面。9.根据权利要求8所述的光学元件表面质量检测装置，其特征在于:所述转台上设有上下贯通的、上大下小的阶梯孔，所述转轴为上大下小的阶梯轴，所述转轴插装在所述阶梯孔内。10.根据权利要求6至9任意一项所述的光学元件表面质量检测装置，其特征在于:所述安装结构为设于转台上的安装槽，所述安装槽的槽底壁形成所述的支撑面。
【文档编号】G01N21/88GK205426806SQ201520987387
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2015年12月2日
【发明人】李真雄, 张佳, 展亚伦
【申请人】中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所