一种移载机自动感测装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型为有关一种移载机自动感测装置，主要结构包括一晶圆容置体、一活动设置于该晶圆容置体一侧的启闭机构、至少一设于该启闭机构上供感测该启闭机构的角度的感测装置、及一信息连结该感测装置的资料处理装置，且该感测装置的角度感测范围为-15度至15度之间，又该感测装置为机械式角度传感器、电子式角度传感器、光学式角度传感器或液压式角度传感器其中之一者，可借由感测装置达到感测门板开合角度的实用进步性。
【专利说明】
一种移载机自动感测装置
技术领域
[0001]本实用新型为提供一种移载机自动感测装置，尤指一种可感测门板开闭机构的开合角度的移载机自动感测装置。
【背景技术】
[0002]按，晶舟盒为运送晶圆极为重要的载具，由于晶圆须在无尘及无污染的条件下进行运送，因此门板的密合极为重要，晶舟盒移载机由开闭机构做开门或关门动作，习用门板由于无法侦测其闭合的角度，导致门板盖合不完全，而让晶圆遭受污染，亦或晶舟盒移载机的开关门机构在运送过程中发生门板松脱情事却不自知，而造成产品损伤，所以需确认开闭机构的动作是否确实。
[0003]是以，要如何解决上述习用的问题与缺失，即为本实用新型的
【申请人】与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在者。
【实用新型内容】
[0004]故，本实用新型的
【申请人】有鉴于上述缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考量，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，始设计出此种可感测门板开闭机构的开合角度的移载机自动感测装置的实用新型专利者。
[0005]本实用新型的主要目的在于:为针对习用晶舟盒移载机所存在的无法感测门板开关门机构的开关角度的问题点加以突破，达到感测门板开关门机构的开关角度的实用进步性。
[0006]为达上述目的，本实用新型的解决方案是:
[0007]—种移载机自动感测装置，包含:
[0008]—晶圆容置体；
[0009]—活动设置于该晶圆容置体一侧的启闭机构；
[0010]至少一设于该启闭机构上的感测装置，供感测该启闭机构的角度。
[0011]进一步，该感测装置的角度感测范围为-15度至15度之间。
[0012]进一步，更包含一信息连结该感测装置的资料处理装置。
[0013]进一步，该感测装置为机械式角度传感器。
[0014]进一步，该感测装置为电子式角度传感器。
[0015]进一步，该感测装置为光学式角度传感器。
[0016]进一步，该感测装置为液压式角度传感器。
[0017]借由上述构件组构时，可借由资料处理装置记录并侦测感测装置的所有数据变化，且感测装置的灵敏度可达到0.1度，而侦测范围由15度至负15度之间，因此，当晶圆容置体的启闭机构做开关门动作时，可以借由感测装置连结资料处理装置得知启闭机构的开合角度，以避免因盖合不全而使晶圆遭受污染的情形发生。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型较佳实施例的实施示意图；
[0019]图2为本实用新型较佳实施例的侧面示意图；
[0020]图3为本实用新型较佳实施例的动作示意图。
[0021]【符号说明】
[0022]晶圆容置体I启闭机构 2
[0023]感测装置 3资料处理装置4。
【具体实施方式】
[0024]为达成上述目的及功效，本实用新型所采用的技术手段及构造，兹绘图就本实用新型较佳实施例详加说明其特征与功能如下，俾利完全了解。
[0025]请参阅图1及图2所示，为本实用新型较佳实施例的实施示意图及侧面示意图，由图中可清楚看出本实用新型包括:
[0026]一晶圆容置体I;
[0027 ] 一活动设置于该晶圆容置体I 一侧的启闭机构2;
[0028]至少一设于该启闭机构2上的感测装置3，供感测该启闭机构2的角度，且该感测装置3为机械式角度传感器、电子式角度传感器、光学式角度传感器或液压式角度传感器其中之一者;
[0029]一信息连结该感测装置3的资料处理装置4。
[0030]上述该感测装置3的角度感测范围为-15度至15度之间。
[0031]借由上述的说明，已可了解本技术的结构，而依据这个结构的对应配合，更达到可感测门板开关门机构的开合角度的优势，而详细的解说将于下述说明。
[0032]请同时配合参阅图1至图3所示，为本实用新型较佳实施例的实施示意图、侧面示意图及动作示意图，借由上述构件组构时，可由图中清楚看出，感测装置3装设于晶圆容置体I的启闭机构2上，且信息连结一资料处理装置4，因此可借由资料处理装置4记录并侦测感测装置3的所有数据变化，且感测装置3的灵敏度可达到0.1度，而侦测范围由15度至负15度之间，因此，当晶圆容置体I的启闭机构2做开关门动作时，可以借由感测装置3连结资料处理装置4得知启闭机构2的开合角度，以避免因盖合不全而使晶圆遭受污染的情形发生。
[0033]惟，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，非因此即局限本实用新型的专利范围，故举凡运用本实用新型说明书及图式内容所为的简易修饰及等效结构变化，均应同理包含于本实用新型的专利范围内，合予陈明。
【主权项】
1.一种移载机自动感测装置，其特征在于，包含: 一晶圆容置体； 一活动设置于该晶圆容置体一侧的启闭机构； 至少一供感测该启闭机构的角度的感测装置，设于该启闭机构上。2.如权利要求1所述的一种移载机自动感测装置，其特征在于:该感测装置的角度感测范围为-15度至15度之间。3.如权利要求1所述的一种移载机自动感测装置，其特征在于:更包含一信息连结该感测装置的资料处理装置。4.如权利要求1所述的一种移载机自动感测装置，其特征在于:该感测装置为机械式角度传感器。5.如权利要求1所述的一种移载机自动感测装置，其特征在于:该感测装置为电子式角度传感器。6.如权利要求1所述的一种移载机自动感测装置，其特征在于:该感测装置为光学式角度传感器。7.如权利要求1所述的一种移载机自动感测装置，其特征在于:该感测装置为液压式角度传感器。
【文档编号】G01B21/22GK205482895SQ201620103835
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年2月2日
【发明人】小松省二
【申请人】乐华科技股份有限公司