非接触式oled在线光谱检测装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种检测装置,具体为一种非接触式OLED在线光谱检测装置，其特征在于腔体内设置对位载片架，OLED器件基片固定于顶部呈十字型的对位载片架上；基片下方设置光谱采集分析仪，光谱采集分析仪的荧光光谱采集探头安装于升降导轨上，荧光光谱采集探头与基片垂直；光源设备设置于光谱采集分析仪外侧，光源设备的光束经光栅单色仪倾斜照射于基片上。本装置减小占用空间，并可以提高工作效率，同时保证了高真空传递和测试，提高结果的可信度。
【专利说明】
非接触式OLED在线光谱检测装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种检测装置，具体为一种装置于OLED有机镀膜设备内部，专门用于检测未镀顶层电极的非接触式OLED在线光谱检测装置。
【背景技术】
[0002]在OLED(有机发光二极管)器件的多层有机膜蒸镀过程中，镀膜工艺中的膜厚和参杂率等关键因素的细微变化会造成器件发射光谱发生变化，在器件的大规模批量化生产时，这种光谱变化会导致产品的一致性变差，导致良品率降低。
[0003]膜厚和参杂率的波动存在较大的不可控性，其原因很多，包括电磁干扰造成的晶振信号波动、蒸发料结块造成的镀膜速率波动、坩祸口结料堵塞以及材料热应力释放导致的喷料等等诸多复杂原因。上述诸多因素都会导致镀膜工艺中膜厚和掺杂比例的波动和突变，最终导致器件光谱变化，产品一致性差，良率降低。
[0004]现有技术对于带有IC电路的不合格器件无法有效回收。原因在于:虽然器件的有机层可以使用无腐蚀性的有机溶液有效清除，但是OLED器件的顶层电极和封装薄膜无法有效清除，因为清除ITO(氧化铟锡)和镁银合金等形成的顶层电极和金属氧化物密封层需要酸碱腐蚀法，会破坏器件IC电路和电极，导致器件性能下降;而没有封装和顶电极器件无法正常通电发光，也就无从判断器件的发射光谱和色度是否达标。
[0005]由于现有的OLED器件发光原理都属于荧光或磷光的电致光发射，而这两类材料都可以实现光致发光，即使用光子能量高于材料禁带宽度的光能将电子推入高能带，当电子跃迀时发射能量与材料禁带宽度相对应的光子，产生特定波长的光谱，即光致光谱。光致光谱的产生不需要对器件施加电压，只需要特定波段的光源照射即可。因此，光致光谱测量法可以避免探针接触污染器件，并可以在没有顶电极的情况下获得器件的发射光谱。
[0006]目前未有一种利用光致光谱法测量OLED器件合格率的检测装置。
【发明内容】
[0007]为解决解决无封装无电极器件无法测量、有封装电极器件清洗回收困难这一矛盾，本专利提出一种利用光致光谱的激发原理的非接触式OLED在线光谱检测装置。本实用新型的非接触式OLED在线光谱检测装置，其特征在于内置于OLED镀膜设备的高真空腔体内，包括光源设备和光谱采集分析仪构成，其中:
[0008]腔体内设置对位载片架，OLED器件基片固定于顶部呈十字型的对位载片架上;基片下方设置光谱采集分析仪，光谱采集分析仪的荧光光谱采集探头安装于升降导轨上，荧光光谱采集探头与基片垂直;光源设备设置于光谱采集分析仪外侧，光源设备的光束经光栅单色仪倾斜照射于基片上。
[0009]所述的光源设备采用50-400nm的紫外光源设备。
[0010]作为优选，光源设备光束与OLED器件基片法线夹角为30?60°。
[0011]紫外光源产生的光线经过光栅单色仪后将不同波段的紫外光入射到顶发射OLED器件表面。光源设备和光栅单色仪可根据实际所使用的有机发光材料的吸收光谱进行替换。采集荧光光谱时，可通过升降导轨将荧光光谱采集探头上移至基片附近，可提高散射荧光的收集效果，测试完毕后可将探头下移，避免取放基片时被触碰。
[0012]该装置内置于OLED镀膜设备的高真空预对准腔室内，利用镀膜设备本身的基片对准机构完成本光谱检测装置的光路对准，不但可以节约制造成本，而且减小占用空间，并可以提高工作效率，同时保证了高真空传递和测试，提高结果的可信度。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的俯视图；
[0014]图2为本实用新型的侧视图；
[0015]其中，基片I，对位载片架2，光谱采集分析仪3，升降导轨4，光栅单色仪5，光源设备
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【具体实施方式】
[0016]实施例1:非接触式OLED在线光谱检测装置，其特征在于内置于OLED镀膜设备的高真空腔体内，包括光源设备6和光谱采集分析仪3构成，其中:腔体内设置对位载片架2，OLED器件基片I固定于顶部呈十字型的对位载片架2上;基片I下方设置光谱采集分析仪3，光谱采集分析仪3的荧光光谱采集探头安装于升降导轨4上，荧光光谱采集探头与基片I垂直;光源设备6设置于光谱采集分析仪3外侧，光源设备6的光束经光栅单色仪5倾斜照射于基片I上。所述的光源设备6采用50-400nm的紫外光源设备6，光源设备6光束与OLED器件基片I法线夹角为30?60°。
[0017]使用时荧光光谱采集探头下降，用机械手将基片I放置于对位载片架2上，进行基片I对准;基片I对准完成后，将荧光光谱探头上移至基片I附近，打开光源并调节光栅单色仪5将不同波段的紫外光照射在基片I表面;使用光谱采集探头收集荧光光谱信号，将信号输出至控制电脑;将采集到的光谱与标准光谱比对，超出标定范围的器件暂停工艺并发出报警信号。
【主权项】
1.非接触式OLED在线光谱检测装置，其特征在于内置于OLED镀膜设备的高真空腔体内，包括光源设备(6)和光谱采集分析仪(3)构成，其中: 腔体内设置对位载片架(2)，0LED器件基片(I)固定于顶部呈十字型的对位载片架(2)上;基片(I)下方设置光谱采集分析仪(3)，光谱采集分析仪(3)的荧光光谱采集探头安装于升降导轨(4)上，荧光光谱采集探头与基片(I)垂直;光源设备(6)设置于光谱采集分析仪(3)外侧，光源设备(6)的光束经光栅单色仪(5)倾斜照射于基片(I)上。2.如权利要求1所述的非接触式OLED在线光谱检测装置，其特征在于所述的光源设备(6)采用50-400nm的紫外光源设备。3.如权利要求1所述的非接触式OLED在线光谱检测装置，其特征在于光源设备(6)光束与OLED器件基片(I)法线夹角为30?60°。
【文档编号】G01N21/64GK205484059SQ201620232462
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年3月24日
【发明人】朱亚安, 段瑜, 孙浩, 王灿, 张燕, 宋立媛
【申请人】云南北方奥雷德光电科技股份有限公司