一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜，包括柜体，所述柜体内设置有检测电阻，所述检测电阻的一端通过线束与多晶硅硅棒相连接，且该检测电阻的另一端接地，所述检测电阻通过互感应线圈连接有互感器，所述互感器通过线束连接有检测电路。本实用新型的有益效果：将漏电参数记录上传给人机交互系统，避免了繁琐的测量，降低了人工成本；系统智能化，自动甄别漏电类型，并将存在隐患的问题以报警形式进行提示，如果该问题继续恶化并且达到了极限值，系统会切断电源以保护人身和设备的安全。因此在系统操作上大大的进行了简化；该设备可以辅助化工工艺人员查找工艺问题，补缺工艺漏洞，因此提高了生产效率。
【专利说明】
一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜。
【背景技术】
[0002]在采用西门子法进行还原多晶硅时，由于硅棒为带电体，炉体为金属物质，因此炉体要和硅棒进行绝缘。而在多晶硅生长的过程中，可能会接触到还原炉壁，从而使绝缘体上附着一层多晶硅粉末，由于多晶硅为半导体，电阻率会随着温度的升高急剧降低，因此对绝缘有破坏作用。而温度又决定了多晶硅生长快慢，直接影响到多晶硅生产厂商的经济利益，所述依靠传统的人工测量已经无法满足生产的需要。
[0003]因此，研制出一种检测速度快，检测精度高的接地检测柜，便成为业内人士亟需解决的问题。
【实用新型内容】
[0004]针对相关技术中的上述技术问题，本实用新型提出了一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜，解决了上述技术问题。
[0005]为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样实现的:
[0006]—种用于多晶硅还原系统的接地检测柜，包括柜体，所述柜体内设置有检测电阻，所述检测电阻的一端通过线束与多晶硅硅棒相连接，且该检测电阻的另一端接地，所述检测电阻通过互感应线圈连接有互感器，所述互感器通过线束连接有检测电路。
[0007]进一步地，所述检测电路通过线束连接人机交互系统。
[0008]本实用新型的有益效果:将漏电参数记录上传给人机交互系统，避免了繁琐的测量，降低了人工成本;系统智能化，自动甄别漏电类型，并将存在隐患的问题以报警形式进行提示，如果该问题继续恶化并且达到了极限值，系统会切断电源以保护人身和设备的安全。因此在系统操作上大大的进行了简化;该设备可以辅助化工工艺人员查找工艺问题，补缺工艺漏洞，因此提高了生产效率。
【附图说明】
[0009]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0010]图1是根据本实用新型实施例所述的用于多晶硅还原系统的接地检测柜的原理示意图；
[0011]图2是根据本实用新型实施例所述的用于多晶硅还原系统的接地检测柜的具体工作示意图。
[0012]图中:
[0013]1、检测电阻;2、互感器;3、检测电路;4、人机交互系统。
【具体实施方式】
[0014]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0015]如图1-2所示，一种用于多晶娃还原系统的接地检测柜，包括柜体，所述柜体内设置有检测电阻I，所述检测电阻I的一端通过线束与多晶硅硅棒相连接，且该检测电阻I的另一端接地，所述检测电阻I通过互感应线圈连接有互感器2，所述互感器2通过线束连接有检测电路3。
[0016]其中，所述检测电路3通过线束连接人机交互系统4。
[0017]为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下通过具体使用方式上对本实用新型的上述技术方案进行详细说明。
[0018]所述检测电阻I与多晶硅硅棒的N排电极电连接，当绝缘因附着多晶硅而电阻下降时，通过检测电阻I的电流会急剧变大，从而引起互感应线圈的电流变化，所述感应器将电流变化传输给检测电路，所述检测电路对电流变化进行分析，并将分析结果传送到人机交互系统，当多晶硅发生沉积引起电流变化时，所述人机交互系统将发出警报并通知工艺人员进行工艺的调整，当电流增长到极限值时，所述人机交互系统将立即断开还原炉的电源，保证人身和设备的安全，此外当还原炉在发生“断电”或“掉电”时，所述人机交互系统将进行报警，并封锁还原炉，防止因还原炉发生“断电”而检测不到漏电及碰壁故障，当报警或封锁后，报警值小于0.9倍报警值时将自动开始复位，封锁值小于0.9倍封锁值时可手动复位，所述检测柜还可以连接有工控机，所述工控机用于绘制漏电流数值曲线。
[0019]综上所述，借助于本实用新型的上述技术方案，可以将漏电参数记录上传给人机交互系统，从而避免了繁琐的测量，降低了人工成本;可以利用智能化系统，自动甄别漏电类型，并将存在隐患的问题以报警形式进行提示，如果该问题继续恶化并且达到了极限值，系统会切断电源以保护人身和设备的安全，从而简化了系统操作;可以辅助化工工艺人员查找工艺问题，补缺工艺漏洞，从而提高了生产效率。
[0020]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜，包括柜体，其特征在于，所述柜体内设置有检测电阻(1)，所述检测电阻(I)的一端通过线束与多晶硅硅棒相连接，且该检测电阻(I)的另一端接地，所述检测电阻(I)通过互感应线圈连接有互感器(2)，所述互感器(2)通过线束连接有检测电路(3)。2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜，其特征在于，所述检测电路(3)通过线束连接人机交互系统(4)。
【文档编号】G01R31/02GK205484644SQ201620275959
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年4月6日
【发明人】吴小鸣, 罗宇
【申请人】北京三义锦程电气科技有限责任公司