石英挠性摆片下垂量检测工装的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种石英挠性摆片下垂量检测工装，基座顶面固设有垫块；工具显微镜底座与垫块的顶面靠齐；工具显微镜的工作台通过至少一个弹簧支撑组件支撑在基座顶面上，螺杆上套装有调整螺母，而调整螺母支撑在基座顶面上，且螺杆下部与基座上的定位孔滑动配合；石英挠性摆片安装组件包括L形板和石英挠性摆片安装盘，其中L形板的下竖直段与工具显微镜的工作台固定；石英挠性摆片安装盘为上大、下小的两段式阶梯轴结构，其中心孔为上大、下小的两段式阶梯孔，而石英挠性摆片安装盘的小径段嵌入L形板上水平段的通孔中。本实用新型能方便、精确地测量石英挠性摆片中间摆两个面的下垂量，进而计算出石英挠性摆片的对称度。
【专利说明】
石英挠性摆片下垂量检测工装
技术领域
[0001] 本实用新型属于石英挠性摆片生产制造领域，尤其涉及一种用于检测石英挠性摆 片下垂量的检测工装。
【背景技术】
[0002] 石英挠性摆片是石英挠性加速度计的核心器件，而石英挠性加速度计最易损坏的 地方就是石英挠性摆片的挠性梁，该挠性梁的厚度极薄，且挠性梁是由石英脆性材料腐蚀 而成，容易断裂。另外，石英挠性摆片平放时其中间摆在自身重力作用下离开平衡位置的最 大距离被称为下垂量，而石英挠性摆片正、反面摆放时测出的下垂量相减被称为石英挠性 摆片的对称度，且下垂量和对称度决定石英挠性摆片的质量，它也是影响石英挠性加速度 计量程、灵敏度的关键指标，为此我们需要设计一款检测工装检测石英挠性摆片的下垂量， 并计算出对称度。 【实用新型内容】
[0003] 本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种高精度、操作方便，且不会破坏石 英挠性摆片的下垂量检测工装。
[0004] 本实用新型的技术方案如下：一种石英挠性摆片下垂量检测工装，其特征在于:包 括基座（1)、工具显微镜(3)和石英挠性摆片安装组件(G)，其中基座（1)顶面为平面，该基座 顶面固设有一个垫块(2);所述工具显微镜(3)倒置，其底座(3a)与垫块(2)的顶面靠齐，而 工具显微镜（3)的垂直测量头（3b)朝上，工具显微镜（3)的水平测量头(3c)在侧面;所述工 具显微镜(3)的工作台（3d)通过至少一个弹簧支撑组件(Z)支撑在所述基座（1)顶面上，该 工具显微镜的支撑臂(3e)与螺杆(4)顶面接触，该螺杆上套装有调整螺母(5)，而调整螺母 支撑在所述基座（1)顶面上，且螺杆(4)下部与基座（1)上的定位孔(la)滑动配合；
[0005] 所述石英挠性摆片安装组件(G)包括L形板(6)和石英挠性摆片安装盘(7)，其中L 形板(6)的竖直段位于其水平段下方，其下竖直段与所述工具显微镜(3)的工作台（3d)贴合 并固定，该L形板的上水平段开有一个上、下贯通的通孔;所述石英挠性摆片安装盘(7)为上 大、下小的两段式阶梯轴结构，其中心孔为上大、下小的两段式阶梯孔，而石英挠性摆片安 装盘(7)的小径段嵌入所述L形板上水平段的通孔中；所述石英挠性摆片安装盘(7)大径段 的定位孔与定位销(8)紧配合;该定位销竖直固定在所述L形板(6)的上水平段上，且石英挠 性摆片安装盘(7)的上表面对应定位销(8)处沿径向设有用于对齐中间摆的刻度凹槽(7a)。
[0006] 现在结合本案中所采用的石英挠性摆片来具体说明检测过程，具体如下：
[0007] 步骤a:检查水平测量头(3c)的读数是否为1.912±0.002;
[0008] 步骤b:打开工具显微镜(3)的照明灯，将石英挠性摆片安装盘(7)对准定位销(8) 放在L形板(6)上；
[0009] 步骤c:调节焦距和垂直测量头（3d)，直到工具显微镜（3)的水平线与石英挠性摆 片安装盘(7)的底面水平线重合，读取并记录垂直测量头(3d)的读数，该读数的范围应为a =6.944±0.005mm，若超过此范围，需重新调试校准；
[0010] 步骤d:取下石英挠性摆片安装盘(7)，将石英挠性摆片放入石英挠性摆片安装盘 (7)中，调整石英挠性摆片的方向，保证石英挠性摆片放平，并与石英挠性摆片安装盘(7)贝占 合，且石英挠性摆片上的三角形记号点与石英挠性摆片安装盘(7)的刻度凹槽(7a)对齐；
[0011] 步骤e:将石英挠性摆片安装盘(7)放到L形板(6)上，并与定位销(8)紧配合；
[0012] 步骤f:调节焦距和垂直测量头（3d)，直到视线清晰地观察到工具显微镜（3)的中 水平线与石英挠性摆片的最低点相切，读取垂直测量头读数，记录为b(mm)，计算石英挠性 摆片的偏摆量A X = b-a+0.5(mm);
[0013]步骤g:将石英挠性摆片安装盘(7)取下，将石英挠性摆片翻转180°后，再放入石英 挠性摆片安装盘(7)中，调整石英挠性摆片的方向，保证石英挠性摆片放平，并与石英挠性 摆片安装盘(7)贴合，且石英挠性摆片上的三角形记号点与石英挠性摆片安装盘(7)的刻度 凹槽(7a)对齐；
[0014] 步骤h:重复步骤e-f?，完成对石英挠性摆片另外一个方向下垂量的检测；
[0015] 步骤k:同一个石英挠性摆片，两个方向的偏摆量值A X:(石英挠性摆片接线面朝 上）与A X2(石英挠性摆片接线面朝下）满足以下要求时判定石英挠性摆片为合格品，否则 为不合格品： 1 < AXj < 1 Mjnm)
[0016] ' i < AX, < 1 Minin') |AXj - AXt| < 0.04(.mm)
[0017] 需要说明的是，检测其他尺寸的石英挠性摆片时，上述具体的检测数值会相应地 发生变化。
[0018] 采用以上技术方案，本实用新型能方便、精确地测量石英挠性摆片中间摆两个面 的下垂量，进而计算出石英挠性摆片的对称度，从而精确地判定石英挠性摆片的质量是否 合格，从而保证大规模生产的顺利进行。
[0019] 作为优化设计，所述弹簧支撑组件(Z)的数目为两个，这两个弹簧支撑组件摆动在 所述工作台（3d)的两端，这样就能可靠、平衡地支撑工具显微镜(3)的工作台（3d)，从而使 工作台（3d)在自然状态下不会下掉。
[0020] 在本案中，所述弹簧支撑组件(Z)包括弹簧座(9)和导向套（12)，其中弹簧座(9)竖 直固定在所述基座（1)顶面上，该弹簧座内竖直安装有一根弹簧（10)，而弹簧（10)套装在支 撑短轴（11)下部外面，且弹簧上端与该支撑短轴上的环形限位凸台（11a)接触;所述导向套
[12] 固定在弹簧座(9)上方，且导向套（12)的中心孔与所述支撑短轴（11)上部滑动配合。
[0021] 采用以上结构，可让支撑短轴（11)在弹簧（10)作用下自由升降，从而很好地支撑 工具显微镜(3)的工作台（3d)。
[0022] 作为优选，所述螺杆(4)和支撑短轴（11)的上端均为球头端。
[0023] 有益效果:本实用新型能方便、精确地测量石英挠性摆片中间摆两个面的下垂量， 且不会破坏石英挠性摆片，进而计算出石英挠性摆片的对称度，从而精确地判定石英挠性 摆片的质量是否合格，从而保证大规模生产的顺利进行。
【附图说明】
[0024]图1为本实用新型的轴测图。
[0025]图2为本实用新型的主视图。
[0026] 图3为图2中石英挠性摆片安装组件的轴测图。
[0027] 图4为图2中石英挠性摆片安装组件的主视图。
[0028] 图5为图1中弹簧支撑组件的剖视放大图。
【具体实施方式】
[0029] 下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：
[0030] 如图1-5所示，一种石英挠性摆片下垂量检测工装，主要由基座1、垫块2、工具显微 镜3、螺杆4、调整螺母5、石英挠性摆片安装组件G和弹簧支撑组件Z构成。其中，基座1顶面为 大平面，该基座1的顶面固设有一个垫块2。工具显微镜3为外购件，并倒置，工具显微镜3的 底座3a与垫块2的顶面靠齐。工具显微镜3的垂直测量头3b朝上，工具显微镜3的水平测量头 3c在侧面。工具显微镜3的工作台3d通过至少一个弹簧支撑组件Z支撑在基座1顶面上。在本 案中，弹簧支撑组件Z的数目为两个，这两个弹簧支撑组件摆动在工作台3d的两端。
[0031]工具显微镜3的支撑臂3e与螺杆4顶面接触，该螺杆上套装有调整螺母5,而调整螺 母5支撑在基座1顶面上，且螺杆4下部与基座1上的定位孔la滑动配合。使用时，可通过调整 调整螺母5来调整工具显微镜3,从而使工具显微镜3的支撑臂3e与螺杆4顶面紧密接触，从 而达到调平的目的。弹簧支撑组件Z包括弹簧座9和导向套12,其中：弹簧座9竖直固定在基 座1顶面上，该弹簧座9内竖直安装有一根弹簧10。弹簧10套装在支撑短轴11下部外面，且弹 簧上端与该支撑短轴上的环形限位凸台11a接触。导向套12固定在弹簧座9上方，且导向套 12的中心孔与支撑短轴11上部滑动配合。作为优选，螺杆4和支撑短轴11的上端均为球头 端。
[0032] 如图1-5所示，石英挠性摆片安装组件G包括L形板6和石英挠性摆片安装盘7,其中 L形板6的竖直段位于其水平段下方，L形板6的下竖直段与所述工具显微镜3的工作台3d贴 合并固定，该L形板的上水平段开有一个上、下贯通的通孔。石英挠性摆片安装盘7为上大、 下小的两段式阶梯轴结构，石英挠性摆片安装盘7的中心孔为上大、下小的两段式阶梯孔， 而石英挠性摆片安装盘7的小径段嵌入L形板上水平段的通孔中。石英挠性摆片安装盘7大 径段的定位孔与定位销8紧配合，该定位销8竖直固定在L形板6的上水平段上，且石英挠性 摆片安装盘7的上表面对应定位销8处沿径向设有用于对齐中间摆的刻度凹槽7a。
[0033] 以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不以本实用新型为限制，凡在本 实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型 的保护范围之内。
【主权项】
1. 一种石英挠性摆片下垂量检测工装，其特征在于:包括基座（I)、工具显微镜(3)和石 英挠性摆片安装组件(G)，其中基座（1)顶面为平面，该基座顶面固设有一个垫块(2);所述 工具显微镜（3)倒置，其底座（3a)与垫块(2)的顶面靠齐，而工具显微镜（3)的垂直测量头 (3b)朝上，工具显微镜（3)的水平测量头(3c)在侧面;所述工具显微镜（3)的工作台（3d)通 过至少一个弹簧支撑组件(Z)支撑在所述基座（1)顶面上，该工具显微镜的支撑臂(3e)与螺 杆(4)顶面接触，该螺杆上套装有调整螺母(5)，而调整螺母支撑在所述基座（1)顶面上，且 螺杆(4)下部与基座（1)上的定位孔(Ia)滑动配合； 所述石英挠性摆片安装组件(G)包括L形板(6)和石英挠性摆片安装盘(7)，其中L形板 (6) 的竖直段位于其水平段下方，其下竖直段与所述工具显微镜(3)的工作台（3d)贴合并固 定，该L形板的上水平段开有一个上、下贯通的通孔;所述石英挠性摆片安装盘(7)为上大、 下小的两段式阶梯轴结构，其中心孔为上大、下小的两段式阶梯孔，而石英挠性摆片安装盘 (7) 的小径段嵌入所述L形板上水平段的通孔中；所述石英挠性摆片安装盘(7)大径段的定 位孔与定位销(8)紧配合;该定位销竖直固定在所述L形板(6)的上水平段上，且石英挠性摆 片安装盘(7)的上表面对应定位销(8)处沿径向设有用于对齐中间摆的刻度凹槽(7a)。2. 根据权利要求1所述的石英挠性摆片下垂量检测工装，其特征在于:所述弹簧支撑组 件(Z)的数目为两个，这两个弹簧支撑组件摆动在所述工作台（3d)的两端。3. 根据权利要求1所述的石英挠性摆片下垂量检测工装，其特征在于:所述弹簧支撑组 件(Z)包括弹簧座(9)和导向套（12)，其中弹簧座(9)竖直固定在所述基座（1)顶面上，该弹 簧座内竖直安装有一根弹簧（10)，而弹簧（10)套装在支撑短轴（11)下部外面，且弹簧上端 与该支撑短轴上的环形限位凸台（Ila)接触;所述导向套（12)固定在弹簧座(9)上方，且导 向套(12)的中心孔与所述支撑短轴(11)上部滑动配合。4. 根据权利要求1或3所述的石英挠性摆片下垂量检测工装，其特征在于:所述螺杆(4) 和支撑短轴(11)的上端均为球头端。
【文档编号】G01B11/16GK205505986SQ201620228087
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年3月23日
【发明人】邓云, 赵娟
【申请人】重庆天箭惯性科技有限公司