稳态汤生实验装置的抽气系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及稳态汤生实验装置的抽气系统，包括真空室以及与所述真空室相连的机械泵，所述机械泵通过扩散泵与所述真空室相连，所述扩散泵通过阀门与所述真空室的第一接口相连，且所述真空室的第二接口与复合真空计相连。本实用新型使所述真空室内保持高的真空率，接口漏率低，满足了稳态汤生实验要求的高真空度的要求。
【专利说明】
稳态汤生实验装置的抽气系统
技术领域
[0001]本实用新型涉及稳态汤生实验装置的技术领域，尤其是指一种针对SF6替代气体研究手段的稳态汤生实验装置的抽气系统。【背景技术】
[0002]六氟化硫(SF6)气体以其优良的绝缘性能和灭弧性能而广泛应用于高压电力设备中，但SF6气体属于高温室效应气体，于1997年签订的《京都议定书》中已将SF6列为禁止使用的高温室效应气体，寻找绝缘性能与SF6相当或更高而温室效应指数低的新气体一直是国内研究的热门课题。特高压以及全球能源互联大发展，增加了 GIS(六氟化硫封闭式组合电器)和GIL(气体绝缘管道母线)对SF6气体的需求量，更进一步推动了 SF6替代气体的研究需求。稳态汤生实验方法和实验设备简单，对测量回路的技术要求不高，采用合适的数据处理方法，运用计算机便可拟合出放电参数，这对于预测绝缘气体的放电特性和耐电强度是一种简便易行的方法，因此稳态汤生实验是SF6替代气体的重要研究手段。
[0003]稳态汤生实验装置的要求是具有高真空度的电离腔体和高精度的测量系统，它主要是由电离腔体、真空系统、抽气系统、充气系统、高稳定度的直流电压源、稳定的光源系统和测量系统组成，稳态汤生实验所用气体的纯度直接影响所测得的参数的准确性，因此要保证被测量气体的纯度，必须要求腔体具有一定的真空度。现有技术中通常采用真空栗来使腔体内保持真空，虽然实现了抽真空的目的，但是不能满足腔体内的高真空度。【实用新型内容】
[0004]为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中不能满足腔体内高真空度的问题从而提供一种回路简单且能保证稳态汤生实验要求的高真空度的稳态汤生实验装置的抽气系统。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型的一种稳态汤生实验装置的抽气系统，包括真空室以及与所述真空室相连的机械栗，所述机械栗通过扩散栗与所述真空室相连，所述扩散栗通过阀门与所述真空室的第一接口相连，且所述真空室的第二接口与复合真空计相连。
[0006]在本实用新型的一个实施例中，所述真空室的第二接口还与核质谱检漏仪相连。
[0007]在本实用新型的一个实施例中，所述第一接口和所述第二接口的漏率均小于所述核质谱检漏仪最小量程。
[0008]在本实用新型的一个实施例中，所述第一接口和所述第二接口的漏率均小于所述核质谱检漏仪最小量程。
[0009]本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点:
[0010]本实用新型所述稳态汤生实验装置的抽气系统，不但实验设备连接简单，实验装置安装方便，且可使所述真空室内保持高的真空率，接口漏率低，满足了稳态汤生实验要求的高真空度的要求。【附图说明】
[0011]为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
[0012]图1是本实用新型所述稳态汤生实验装置的抽气系统的连接示意图。【具体实施方式】
[0013]请参考图1所示，本实施例提供一种稳态汤生实验装置的抽气系统，包括真空室11 以及与所述真空室11相连的机械栗12,所述机械栗12通过扩散栗13与所述真空室11相连， 所述扩散栗13通过高真空阀14与所述真空室11的第一接口相连，且所述真空室11的第二接口与复合真空计15相连。
[0014]上述是本实用新型所述的核心技术领域，本实用新型所述稳态汤生实验装置的抽气系统，包括真空室11以及与所述真空室11相连的机械栗12,通过所述机械栗12对所述真空室11进行粗抽;所述机械栗12通过扩散栗13与所述真空室11相连，所述扩散栗13通过高真空阀14与所述真空室11的第一接口相连，待所述扩散栗13正常工作后(即油蒸汽射流正常喷射)，对所述真空室11进行抽气，从而可以使所述真空室11内保持高的真空率，满足了稳态汤生实验要求的高真空度的要求;所述真空室11的第二接口与复合真空计14相连，通过所述复合真空计15测量所述真空室11的真空度，从而有利于实时监测所述真空室11的真空度，并可使所述真空室11保持气压恒定，进而有效提高稳态汤生实验用气体的纯度。
[0015]所述述真空室11的第二接口还与核质谱检漏仪16相连，通过所述核质谱检漏仪16 可以检测各个接口的漏率，从而有效保证所述真空室11始终维持高的真空度。具体地，采用喷吹法检测各个接口的漏率，包括检测所述真空室11的第一接口和所述真空室11的第二接口的漏率，且所述真空室11的第一接口和所述真空室11的第二接口的漏率均小于所述核质谱检漏仪16最小量程，从而有利于保持所述真空室11内的高真空度。
[0016]所述真空室11的第二接口还与充气瓶连接口 17相连，通过充气瓶连接口 17可以向具有高真空度的所述真空室11内输入气体，有利于提高稳态汤生实验用气体的纯度。
[0017]本实用新型所述抽气系统的启动和停止运转时按照下述步骤进行:
[0018]步骤S1:接通所述扩散栗13的冷却水，调整水温继电器的温度设定值，然后开动所述机械栗12对所述真空室11进行粗抽;其中启动所述机械栗12前，要检查栗的油位是否合乎要求，所述高真空阀14及前级阀是否关闭。
[0019]步骤S2:当所述真空室11内的压力降到lOOPa之后，可打开前级管道阀并给所述扩散栗13加热器通电；如果所述扩散栗13已经处于真空封闭状态，则可同时加热所述扩散栗 13。
[0020]步骤S3:当所述真空室11抽至5 Pa左右时开启所述扩散栗13,经过半小时左右，所述真空室11的压强达到l(T2Pa，此时打开所述核质谱检漏仪16,采用喷吹法检测各个接口的漏率，各个接口漏率均小于仪器最小量程l(T1()Pa ? nf3/s。[〇〇21] 步骤S4:当所述真空室11抽到l(T4Pa后，关闭所述高真空阀14,切断所述扩散栗13 加热电源，切断所述扩散栗13电源，并关闭所述复合真空计15。
[0022]步骤S5:半个小时或1小时后，等所述扩散栗13降温后，关掉所述机械栗12,关掉所述扩散栗13的冷却水。
[0023]值得注意的是:在真空系统停止工作时，如无特殊要求，应将系统各元件保持在真空状态下封存，但所述机械栗12内应通大气。
[0024]显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
【主权项】
1.一种稳态汤生实验装置的抽气系统，包括真空室以及与所述真空室相连的机械栗， 其特征在于:所述机械栗通过扩散栗与所述真空室相连，所述扩散栗通过阀门与所述真空 室的第一接口相连，且所述真空室的第二接口与复合真空计相连。2.根据权利要求1所述的稳态汤生实验装置的抽气系统，其特征在于:所述真空室的 第二接口还与核质谱检漏仪相连。3.根据权利要求2所述的稳态汤生实验装置的抽气系统，其特征在于:所述第一接口和 所述第二接口的漏率均小于所述核质谱检漏仪最小量程。4.根据权利要求1所述的稳态汤生实验装置的抽气系统，其特征在于:所述真空室的第 二接口还与充气瓶连接口相连。
【文档编号】G01N33/00GK205581080SQ201620389219
【公开日】2016年9月14日
【申请日】2016年4月29日
【发明人】张刘春, 肖登明, 李中新, 殷禹
【申请人】中国电力科学研究院, 国家电网公司, 上海交通大学