一种用于ebsd测试的样品台的制作方法
【专利摘要】一种用于EBSD测试的样品台，它涉及一种试验器具，现有的EBSD样品台在测试过程中由于样品较重，用传统的粘胶方式固定不牢而出现样品在测试过程中容易移动甚至脱落，致使试验结果不准确甚至失败的问题，它包括基台、一个T型配合杆和一个顶丝；基台斜面与底面之间的夹角为70°，在基台斜面下部垂直于斜面方向上设有一横截面为正方形（尺寸为5mm×5mm）的长方体孔洞，在基台的横截面垂直于长方体孔洞方向上设有一螺纹孔，T型配合杆插入长方体孔洞后，将顶丝旋进螺纹孔以固定T型配合杆，装配完成后，将样品如图1所示放置在样品台上即可。本实用新型用于样品测试。
【专利说明】
一种用于EBSD测试的样品台
技术领域
[0001 ] 本发明涉及一种试验器具，具体涉及一种用于EBSD测试的样品台。
【背景技术】
[0002]在扫描电子显微镜(SEM)中，入射于样品上的电子束与样品作用产生几种不同效应，其中之一就是在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。从所有原子面上产生的衍射组成“衍射花样”，这可被看成是一张晶体中原子面间的角度关系图。20世纪90年代以来，装配在SEM上的电子背散射花样(Electron Back-scattering Patterns，简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射(Electron BackscatteredDiffract1n，简称EBSD )或取向成像显微技术(Orien tat 1n Imaging Microscopy，简称0頂)等。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射(给出结晶学的数据)。
[0003]EBSD是目前常用的材料表征手段，测试过程中样品在垂直方向倾斜70°，而且要求样品在水平方向不能倾斜。目前EBSD样品台固定样品是将样品用导电胶(或银胶)粘在样品台上，对于重量小的样品，只需要将样品水平方向尽量与探头平行即可。而对于较重的样品，由于是倾斜70°，用传统的样品固定方法，样品在测试过程中容易出现移动甚至脱落的现象，导致图像位置容易发生改变，背散射区域发生偏移，最终导致试验结果不准确甚至失败。
【发明内容】
[0004]本实用新型为解决现有的EBSD样品台在测试过程中由于样品较重，用传统的粘胶方式固定不牢而出现样品在测试过程中容易移动甚至脱落，致使试验结果不准确甚至失败的问题，进而提出的一种用于EBSD测试的样品台。
[0005]本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是:
[0006]一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于:它包括基台、一个T型配合杆和一个顶丝;基台斜面与底面之间的夹角为70°，在基台斜面下部垂直于斜面方向上设有一横截面为正方形(尺寸为5mm X 5mm)的长方体孔洞，在基台的横截面垂直于长方体孔洞方向上设有一螺纹孔，T型配合杆插入长方体孔洞后，将顶丝旋进螺纹孔以固定T型配合杆。
[0007]本实用新型具有以下有益效果:
[0008]—、可将较重试样稳固的固定在样品台上，不会出现试样移动，导致最终图像漂移;二、由于T型配合杆形状规则且接触样品的面为平面，很好的解决了传统胶粘方法难以控制样品水平度及垂直度的问题;三、由于是利用T型配合杆固定，解决了利用粘胶方法将样品粘在样品台上后必须静置一段时间等待胶水挥发，防止污染真空室的问题，节约了试验用时；四、利用T型配合杆固定，解决了样品背面残余粘胶污染试样的问题，可以重复利用此样品进行其他实验。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型使用时的立体不意图，图2是基台的主视图，图3是图2的俯视图，图4是图1的剖视图，图5是本T型配合杆的立体示意图，图6是顶丝的主视图。
【具体实施方式】
[0010]【具体实施方式】一:结合图1-图6说明，本实施方式是一种用于EBSD测试的样品台，包括基台1、一个T型配合杆2和一个顶丝3;基台斜面与底面之间的夹角为70°，在基台的斜面下部垂直于斜面方向上设有一横截面为正方形的长方体孔洞4，在基台的横截面垂直于长方体孔洞方向上设有一螺纹孔5，T型配合杆2插入长方体孔洞4后，将顶丝3旋进螺纹孔5以固定T型配合杆2。
[0011]【具体实施方式】二:结合图1-图3说明本实施方式，基台所设长方体孔洞4的正方形截面尺寸为5_X5mm，长度以不穿透基台为上限，其它与【具体实施方式】一相同。
[0012]【具体实施方式】三:结合图2和图3说明本实施方式，顶丝3为M5的内六角顶丝，使用时旋进基台I的螺纹孔4中以防止T型配合杆2和长方体孔洞4之间的相对运动，起固定作用，固定方式简单方便，其它与【具体实施方式】一或二相同。
[0013]【具体实施方式】四:结合图4和图5说明本实施方式，T型配合杆2的“I”部与“一”部均为截面是正方形的长方体，正方形尺寸为5mm X 5mm，“ | ”部长度小于长方体孔洞4的长度5_，配合插入基台I的长方体孔洞4使用，其它与【具体实施方式】三相同。
[0014]工作过程
[0015]结合图1-图6说明，使用时将T型配合杆2插入基台I的长方体孔洞4中，使T型配合杆的“一”部与基台I的斜面接触，将顶丝3旋入基台I的螺纹孔5内顶住T型配合杆2，将其固定，装配完成后，将样品如图1所示放置在样品台上即可。
【主权项】
1.一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于:它包括基台、一个T型配合杆和一个顶丝；基台斜面与底面之间的夹角为70°;在基台斜面下部垂直于斜面方向上设有一横截面为正方形的长方体孔洞;在基台的横截面垂直于长方体孔洞方向上设有一螺纹孔。2.根据权利要求1所述的一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于:基台(I)所设长方体孔洞(4)的截面正方形尺寸为5mmX5mm，长度以不穿透基台为上限。3.根据权利要求1所述的一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于:顶丝(3)为M5的内六角顶丝。
【文档编号】G01N23/203GK205607897SQ201620446615
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年5月17日
【发明人】唐翠, 曹国剑, 王月月, 刘晗
【申请人】哈尔滨理工大学