专利名称：用于电子诊断装置的通信接口数据库的制作方法
技术领域：
本发明一般涉及电子诊断或者数据获取装置。更具体地，本发明所改进的诊断装置中包括有，用于对各种型号或类别的、能够被测试的设备(“待测单元”或者UUT)进行制表的数据库方法和装置，其中对于每种类别的UUT设备，所述制表是将以下项目制成表格(1)每个诊断属性，其值能够由UUT传输；和(2)ID(例如物理信号线、物理地址或者逻辑地址)，以及诊断装置从UUT取得所述属性的值所需的其他通信接口参数。
背景技术：
诊断装置，也称为数据获取或者数据采集装置，通常被用于测试和调试各种类型的电子设备。诊断装置对待测电子设备(“待测单元”或者UUT)产生的电子数据的值进行监视。这个数据一般表示各种传感器测量值和/或UUT的操作条件，所有这些被总称为UUT的“诊断属性”、“可收集属性”或者简称为“属性”。维护人员分析属性数据以检修或者优化UUT的性能。
维护人员一般被指定测试和调试各种类型的这种电子设备。因为不同类型和型号的UUT设备在数据通信接口的数量和类型、数据接口输出的属性和诊断装置从UUT取得选定属性的值所需的ID(物理信号线、物理地址或者逻辑地址)等方面各不相同，因此它们一般具有不同的接口要求以便连接到诊断装置。事实上，甚至在相同型号设备的不同产品版本之间也可能具有不同的接口要求。
某些传统的诊断装置只能与范围狭窄的UUT设备型号接口。而另一些常规诊断装置是可编程的，以便它们能够与范围较广的UUT设备相连，但是这种编程必须是每次将诊断装置连接到不同型号的UUT之前，由维护人员人工输入。
因此，需要一种能够与范围广泛的UUT设备型号相连的诊断设备，而无须维护人员人工重新编程。
发明内容
本发明是一种诊断仪器或数据获取装置，其具有用于存储通信接口规格以及各种类别(型号和/或版本)的待测设备(“待测单元”或者UUT)输出的诊断属性其他特征的数据库(“属性数据库”)。所述属性数据库包括多个属性数据记录，每个记录包括至少一个标识UUT设备类别的第一字段和一个标识(例如通过名字或描述)诊断属性的第二字段，所述诊断属性的值是由所述类别的设备输出的。由UUT输出的属性值(即属性数据)可包括传感器测量值和操作条件。
在本发明的一个方面中，一个属性数据记录还包括标识ID(例如物理信号线、物理地址或者逻辑地址)的第三字段，其中所述ID使一个诊断装置能够根据所述记录的第一字段标识的UUT设备类别，取得出所述第二字段标识的属性的值。例如，所述ID可标识(a)UUT输出所述属性值的物理信号线或连接器引脚，(b)诊断装置必须发送给UUT以命令UUT输出所述属性值的逻辑或物理地址，或者(c)一个和所述属性值一起由UUT输出的、标识所述值表示哪个属性的逻辑或物理地址。
在本发明的第二个方面中，在所述数据库中标识的、至少一种类别的UUT设备包括多个通信接口，经由这些通信接口诊断装置能够取得属性数据，并且属性数据记录还包括一个字段，用以标识所述通信接口中的一个。
在本发明的第三个方面中，属性数据记录还包括一个字段，用以标识腔位置或者用于在一类属性中区分各个属性的其他配置参数。
在本发明的第四个方面中，属性数据记录还包括一个字段，其包含一个或多个转换参数(诸如比例因子)，用以将所述设备输出的电信号转换为由所述第二字段标识的属性值的测量物理单位。
在本发明的第五个方面中，一些或全部属性数据记录的第一字段是复合字段，其包括多个从属字段(子字段)，所述从属字段共同标识设备型号的范围、设备版本的范围或者设备修正日期的范围，其限定了所述第一字段标识的设备类别。
除了上述诊断装置之外，本发明的其他方面包括上述属性数据库、上面概括的在属性数据库中存储数据的方法、以及执行所述方法的数据处理装置。
图1是本发明的诊断装置的示意图，其被连接到传统的UUT，该UUT是一个具有6个处理腔的半导体制造主机。
图2是根据本发明一个优选实施例的、在一个属性数据库的属性记录中的字段的示意图。从属字段被示于其所属的复合字段之下。
图3是存储在三个属性记录中的值的示意图，属性记录表示典型的属性，该属性的ID在示例性UUT型号的不同版本中是不同的。
图4是两个属性记录的示意图，其能够表示出与图3的三个记录相同的信息。
图5是一个系统的示意图，在该系统中属性数据库远离诊断装置。
图6是一个流程图，示出了诊断装置使用存储在属性数据库中的信息从UUT取得属性数据的步骤。
图7是一个数据库表，其表示了具有图2所示字段的属性数据库。
图8是一个数据库表，其示出了图7的数据库被分成两个表。
具体实施例方式
传统的UUT和诊断装置在描述本发明的诊断装置和数据库之前，有必要首先描述一下UUT通常是如何与传统的诊断装置通信的。
虽然UUT(“待测单元”)能够是任何类型的电子设备，但是图1所示的示例性UUT 12类似于半导体制造设备“主机”或“平台”，其可从本发明的受让人Applied Materials，Inc.处购买到的Precision 5000型。所示的主机被设计成集成多达6个实施各种半导体制造工艺的处理腔21-26。例如，三个腔21、22、23可以是等离子体化学气相沉积(CVD)腔，一个腔24可以是加热腔，而两个腔25和26可以是等离子体蚀刻腔。
(实际的Precision 5000包括多种组件，诸如从主机之外的载体接收半导体芯片的加载锁定腔(loadlock chamber)和在腔之间传送晶片的晶片传送机器人，在此省略这些组件以简化说明。)UUT主机12的一个功能是为腔提供通信接口或通信总线31。每个腔具有一个连接到主机相应内部数据端口33的数据端口32。主机的内部数据端口33可全部被连接到公共通信通道31。主机包括计算机处理器(CPU)30，其控制在处理腔中实施的半导体制造工艺的顺序和操作条件，并且控制在主机的所有内部和外部数据端口之间的数据传输。主机能够通过其内部数据端口传输数据到腔，从而设置各种腔操作参数的值，诸如腔压力、底座温度和RF功率。
可为每个腔装配传感器或者测量仪器50，以测量腔中的操作条件，诸如气体压力，RF反射功率或者特定波长的光发射强度。主机可包括其他的内部数据端口52，以从测量仪器接收测量值、并发送用于控制测量仪器的命令。
UUT 12的诊断属性或者可收集属性(本文中将其简称为“属性”)包括在前两段中描述的所有操作条件和测量值。特别地，现将UUT 12的“属性”定义为操作条件和传感器测量值的集合，其值能够由UUT、腔21-26或者其他连接到UUT的装置，或者由连接到腔或UUT的测量仪器50输出。由UUT或者连接到UUT的任何腔或仪器输出的值被总称为“属性数据”。
UUT 12具有至少一个外部通信接口或者I/O(输入/输出)端口，UUT 12能够通过外部通信接口将属性数据传给外部设备，诸如工厂控制器计算机或者诊断装置10。主要的外部通信接口通常为数字接口14，诸如传统的RS-232串行口或者传统的以太网端口。UUT也可具有一个或多个模拟通信接口15，一般用于从产生模拟输出信号52的测量仪器50中输出测量值。
监视给定类型UUT的常规诊断装置10具有一个或多个通信接口(I/O端口)，这些接口与该类型UUT的外部通信接口兼容并且能够与之电连接。例如，为了连接所示例的UUT，诊断装置应该具有数字通信接口18和一个或多个模拟通信接口17，分别连接到UUT的数字接口14和模拟接口15。(为了便于说明，图1中的UUT包括有模拟接口，但实际购买的Precision 5000主机并不包括模拟接口)。
此外，某些处理腔和某些测量仪器可通过未连接到UUT的、数字或模拟通信接口54输出属性数据。为了接收这种属性数据，诊断装置10可包括额外的通信接口19，其连接到腔和测量仪器的通信接口54。
因为属性数据可由UUT、腔或者其他连接到UUT的装置，或者由连接到这种腔或UUT的测量仪器输出，所以本文使用术语“属性数据源”或“数据源”来表示能够输出属性数据的、直接或间接连接到UUT的任何装置。此外，本文所指的UUT输出的属性数据包括由直接或间接连接到UUT的任何属性数据源输出的属性数据。
UUT或其他属性数据源能够利用多种传统数字通信协议通过外部通信接口输出数字数据，这些数字通信协议一般可分为两类命令驱动协议和连续流协议。
在命令驱动协议中，数据源仅响应所接收的“读”命令，在其数字通信接口输出属性数据。特别地，诊断装置10只有通过向数据源的数字I/O接口14或54传输包括特定属性ID的“读”命令，才能够从数据源接收到该属性的值。该ID(也称为逻辑地址或者逻辑端口)是一个数字值，UUT(或其相关的属性数据源)通过该数字值唯一地识别出可输出的每个属性。之所以使用“逻辑”一词，其意是为了表示不必使该ID对应于任何物理地址或物理端口。
除了响应“读”命令，某些属性数据源也可通过数字I/O接口14或54响应“写”命令。例如，诊断装置或工厂控制器计算机能够向UUT发送命令，以改变处理腔的操作参数。
在用于输出数字数据的连续流通信协议中，UUT或者其他数据源通过其外部数字通信接口14或54输出连续的属性数据流。属性数据通常被格式化为周期性发送的帧，每帧数据均包括每个属性的当前值。在某些数据源装置中，每个属性仅仅是由其在帧中的顺序位置或者偏移量来标识的。在这种情况下，每个属性的ID或逻辑地址就是它的位置或偏移量。在其他的数据源中，帧可包括每个属性字段的相应ID字段。在ID字段中传输的ID值可以标识出其值在该相应属性字段中传输的属性。
在连续流协议的一个变体(通常将其称为“跟踪模式”协议)中，UUT或者其他的属性数据源仅仅以连续流格式输出某些属性的值。诊断装置通过向数据源发送“跟踪模式”命令，能够选择包括在“流”中的属性，其中所述数据源将识别所选定的属性。
采用称为SECS-2的公开的数据通信标准的半导体制造设备一般都能够利用命令驱动协议和跟踪模式协议输出属性数据。
无论UUT及其相关的属性数据源是否通过命令驱动协议、连续流协议或两者来传输数字属性数据，重要的是诊断装置10应知道，将与其一起使用的每种类别的UUT的每个诊断属性对应的ID。
如上所述，UUT或其相关的属性数据源也可具有一个或多个模拟通信接口15，用于从产生模拟输出信号形式的属性数据的测量仪器或传感器中输出测量值。每个模拟接口可具有一条或多条信号线，每条信号线能够传输一种不同属性的模拟值。在这种情况下，重要的是诊断装置应知道每个模拟接口的每条信号线对应于(也就是通过其传输)哪个属性。
各种主机型号的不同在于它们能够连接到的处理腔的数量。在能够连接多个腔21-26的主机12中，重要的是要识别一个给定属性值应用于哪个腔。因此，给定类别的诊断属性对于每个腔具有不同的ID。属性“类别”的一个例子是腔压力。通过不同的ID可区分出第一个腔21的腔压力和第二个腔22的腔压力。
各种处理腔型号具有不同类别的属性。例如，RF功率是等离子体腔的属性，而不是热沉积腔的属性；但加热灯功率通常是热沉积腔的属性，而不是等离子体腔的属性。作为另一个例子，某些等离子体腔具有两个RF功率源，其具有独立可控的功率和RF频率，而其他等离子体腔只有一个RF功率源。
各种主机型号也具有不同类别的属性，其与主机本身相关，但与某个处理腔无关，并且能够在主机的外部通信接口接收或发送。主机属性的一个例子是晶片传送机器人的位置。某些主机型号只有一个机器人，而另一些型号具有两个机器人，因此前一种主机型号不能接受控制第二个机器人位置的命令，也不能接受控制第二个机器人所处传送腔的压力的命令。
即使不同的UUT或主机型号具有公共属性，诸如腔压力和基座温度，通常也应为不同主机型号的公共属性分配不同的ID。例如，对于一个主机型号，1号处理腔中腔压力可能具有ID“12345”，而第二个主机型号对应的腔压力可能具有ID“ABC”。此外，在具有多个外部通信接口的UUT中，属性和接口之间的对应关系可以不同，也就是说，对于每个诊断属性而言，利用哪个接口和接口上的哪条信号线来传输该属性可以不同。
各个UUT在属性编码格式也有不同。例如，它们在将通过其外部通信接口传输的数字值转换成物理属性(诸如温度和压力)时所需的转换因子可不同。
由于在各种类别的UUT之间存在上述许多不同，因此传统诊断装置一般仅限于从诊断装置知道对其如何取得属性的、一种型号或少量几种型号的UUT中接收数据。
属性数据库本发明的诊断装置10给上述的传统诊断装置增加了本发明的数据库，该数据库包含通信接口规格，其使诊断装置10能够与许多不同类别(型号和/或版本)的UUT 12通信。该数据库包含一个表(本文将其称为“属性表”或“属性数据库”)，该表中储存有每个类别的UUT能够通过其外部通信接口输出的属性的一个列表。属性数据库为每个属性存储使得诊断装置能够取得该属性的值的ID。
除了包括属性数据库之外，本发明诊断装置的其他方面与传统诊断装置相同。如下文在题为“硬件实现”一节中所述的，该数据库可存储在任何传统的数据存储设备60上，数据存储设备60可位于诊断装置内或者被远程放置，并经由通信网络连接到诊断装置。
在图2所示的实施例中，属性数据库为UUT类别和属性的每种组合包含一个不同的数据库记录。也就是说，属性数据库包含UUT设备的每个类别(型号或版本)的不同记录组(也就是“集合”)，并且给定主机类别的记录集合包括能够被传输到该主机类别或者从该主机类别中接收的每个属性的不同记录。(下文在题为“版本范围”和“数据库规范化”的节次中将会描述减少所需记录数量的替换实施例。)如上所述，如果UUT是被设计成连接到各种类别的处理腔21-26和/或测量仪器的主机装置，那么诊断属性可包括由主机自身输出的属性、由可连接到该主机的各种类别的处理腔输出的属性、以及由连接到该主机或者其处理腔的各种仪器输出的属性，所有这些输出装置可被总称为“数据源装置”。
本文将存储在属性数据库中的每个记录称为“属性记录”。图2显示了优选包括在属性数据库中的数据字段。所示字段从左到右的顺序是任意的；字段可按照任何物理或时间顺序存储在每个数据库记录内。
在图2所示的实施例中，每个属性记录均包括所有字段。下文将题为“数据库规范化”一节中描述替换实施例，其使用多个相关的数据库表，以减少在属性数据库中输入冗余数据。
“UUT类别”字段每个属性记录的“UUT类别”字段标识该记录中余下字段所属的设备类别。属性数据库能够被用于存储关于许多不同的具有各种版本的UUT型号的信息。因此，在所述优选实施例中，“UUT类别”字段具有两个从属字段称为“型号”和“版本”。存储在“型号”字段中的值标识各个设备型号，而存储在“版本”字段中的值标识在“型号”字段中指定设备型号的特定版本。
在属性记录中的任何字段可以是存储单个值的简单字段或者存储多个值的“复合字段”。本文将“复合字段”定义为多个被称为“从属字段”或“子字段”的字段，其各自的值共同指定复合字段所表示参数的值。例如，在上一段中描述的“UUT类别”字段是复合字段。UUT类别通过在“型号”子字段中指定设备型号和在“版本”子字段中指定该型号的版本，从而被完整且唯一地标识。
从属字段本身可以是复合字段；即，从属字段可包括多个进一步的从属字段。例如，在下文“版本范围”一节中所述的“版本”字段可包括“版本，首”和“版本，尾”子字段，使得“版本”字段能够标识设备版本的范围而不是单个版本。
如下文在“数据库规范化”中所述的，给定复合字段的子字段能够存储在不同的相关数据库表中，但是为了便于进行说明，在此仅考虑同一复合字段的子字段。
“属性”字段“属性”字段包含诊断属性的名字，其ID和其他特征(例如物理单位和转换因子)由属性记录的其他字段描述。如上所述，UUT的诊断属性包括所有的传感器测量值及UUT和所有腔、测量仪器和其他直接或间接连接到UUT的装置的操作条件。属性数据库为“UUT类别”字段中标识的UUT类别能够输出的每个诊断属性包括一个单独的属性记录。
对于被设计成连接多个腔21-26的主机12这样的UUT类别，如图1所示，标识特定属性值应用于哪个腔是重要的。典型地，主机将分配不同的ID，以区分来自不同腔的相同属性。
由于仅当属性名字和腔位置都被指定时，与腔相关的属性才被唯一指定，所以对于腔相关属性，属性记录中的“属性”字段应该包括两个从属字段“属性名字”字段和“腔位置”字段，如图2所示。对于每个腔相关属性，数据库应为主机上的每个腔位置包括一个单独的记录。这使得属性数据库能够存储(在每个记录的“ID”字段中)由主机分配给与每个腔位置相关的每个属性的唯一ID。
相反，如果在“属性”字段指定的属性与主机本身相关，而不是与连接到主机的某个腔相关，那么“腔位置”字段就没有相关性，所以可以省略“腔位置”，或者可将该字段的值设为0或空。
例如，主机12的某种型号能够连接多达6个处理腔，如图1所示。假设每个腔中有一个被测属性是该腔中的压力。那么，属性名字“压力”就没有完整且唯一地标识单个诊断属性。相反，“压力”属性的完整标识不得不指定腔位置，诸如“腔1中的压力”、“腔2中的压力”等等。通常，主机分配6个不同的ID给诊断装置使用，以便为各自6个腔取得压力测量值。这些ID将以6个不同的数据库记录的形式被存储在数据库中，每个记录具有存储在“属性名字”字段中的相同名字“压力”，但是在“腔位置”字段中具有不同的值，即1到6中的一个，并且在“ID”字段中具有相应的6个ID之一。
在许多情况下，“属性”字段需要一个或多个附加子字段，因为属性名字和腔位置不足以唯一地确定取得属性所需的ID。图2举例说明一个可能的附加子字段是“腔型号”。如上文在“传统的UUT和诊断装置”一节中所述的，图1所示的主机UUT 12能够连接几种不同类型的腔，诸如等离子体CVD腔21-23、加热腔24和等离子蚀刻腔25、26。而且，给定的腔类型一般具有几种不同的型号。例如，AppliedMaterials，Inc.销售的等离子蚀刻腔的不同型号，型号名字为“MxP”，“MxP+”和“Super-e”。“腔型号”字段应该存储足够的信息，以标识腔类型和型号，诸如“MxP蚀刻”。
虽然某些类别的诊断属性由这些不同的腔类型和型号共享，但是不同的腔型号常常不分配相同的ID给指定的诊断属性。例如，取得阴极温度所需的ID对于在腔位置6连接到主机的型号MxP是“123”，对于在相同位置的型号“Super-e”腔是“456”。因此在这个例子中，需要三个子字段“属性名字”、“腔位置”和“腔型号”，以完整且唯一地标识诊断属性，诸如“在位置6的MxP蚀刻腔中的阴极温度”，其由属性记录表示，在属性记录中存储在相应字段中的值分别是“阴极温度”、“6”和“MxP蚀刻”。
图2将“腔型号”子字段标识为“腔型号或配置”，以指示表示UUT或腔配置的一个或多个其他参数可以代替这个字段中的腔型号。
对于只有单个永久处理腔的UUT类别(诸如离子注入机)，“属性”字段不需要包括任何子字段。如果是那样的话，“属性”字段应该执行和前述的“属性名字”子字段相同的功能，也就是它应该存储诊断属性的名字或描述，该诊断属性的特征是由属性记录的其他字段描述的。
可选地，每个属性记录还可包括“读/写”字段，如图2所示。这个字段可被用于存储逻辑“标志”，其指出在“属性”字段中指定的诊断属性是否(1)能够被读取(也就是被检索或收集)但是不能被诊断装置修改；(2)能够被读取和修改(也就是“写”)；或者(3)能够被修改但是不能读取。
“接口与协议”字段如图2所示，每个属性记录优选包括“接口与协议”字段。如果UUT具有一个以上的外部通信接口18，以至于不同的外部接口输出不同的诊断属性，那么存储在“接口与协议”字段中的值应该标识UUT的哪个物理接口输出“属性”字段中指定的诊断属性。同样，如果UUT能够具有其外部接口和UUT的外部接口分开的腔或仪器，那么“接口与协议”将标识这些接口中的哪一个输出“属性”字段中指定的属性。
“接口与协议”字段优选地应该标识模拟或数字硬件协议和可选的低级通信协议，UUT通过这些协议在指定接口输出属性数据。能够在不同的通信接口利用的硬件协议的例子是RS-232和以太网。不同的UUT可能利用的通信协议的例子是SECS、GEM和IP。“接口与协议”字段也可用于指定接口使用的电连接器类型，诸如DB-9、DB-25或RJ-45。本段中提到的所有硬件和通信协议均是公开的标准。
如果记录在数据库中的所有UUT类别利用相同的通信协议输出属性数据，并且没有UUT类别要求多于一个的外部通信接口来输出属性数据，那么可以在属性数据库中省略“接口与协议”字段。
在图2中用单个字段表示接口和协议的原因是，在指定接口使用的通信协议对于在该接口输出的所有诊断属性都是相同的。也就是UUT或其他数据源并不利用不同的协议经由同一接口输出不同的诊断属性。因此，不需要在各自独立的字段中分别指定接口和协议。
但是，在数据库结构的实际编程中，为前文所讨论的硬件和通信协议的每个级别将“接口与协议”字段分成子字段可能会更加方便。在关系数据库设计中，一种常规做法是定义“接口与协议”表，其对于每个协议级别具有单独的字段。“接口与协议”表能够通过“属性”表中的“接口与协议”字段与“属性”表关联，如图2所示。
“ID”字段“ID”字段包含ID，其使得诊断装置能够从由属性记录的“UUT类别”字段标识的UUT设备类别取得(也就是读取或收集)由“属性”字段标识的诊断属性的值。如前文所述，UUT通常为每个诊断属性分配一个唯一ID，其能够从给定的外部通信接口输出每个诊断属性。
ID的含义取决于UUT输出该诊断属性所用的通信接口和协议的类型和。如刚才讨论的，通信协议优选地在“接口与协议”字段中指定。
如果“接口与协议”字段指定一个模拟接口，其具有携带不同属性数据的多条信号线，那么“ID”字段就标识哪条信号线(例如电连接器上的引脚)携带指定的属性。
如果“接口与协议”字段指定一个使用命令驱动通信协议的数字接口，那么“ID”字段应该指定必须包括在从诊断装置发送到UUT的“读取”命令中的逻辑或物理地址，从而取得在“属性”字段中指定的属性。
如果“接口与协议”字段指定一个使用连续流通信协议的数字接口，那么“ID”字段应该指定由UUT传输的逻辑或物理地址，以标识该属性数据或者逻辑地址或偏移量，该逻辑地址或偏移量可在UUT定期输出的数据“帧”内标识出指定属性数据的位置。
硬件实现如上文所述，UUT 12具有至少一个外部通信接口14，其通过该接口输出属性数据。诊断装置10应该具有一个与UUT的外部通信接口14兼容并与之相连的通信接口18。所述诊断装置能够具有多个不同类型的通信接口，以允许连接到不同UUT类别的、不同类型的接口。
如果UUT 12是传统半导体制造工具或主机，那么它的外部通信接口14一般是符合公知RS-232串行通信标准的数字接口，并且可以响应半导体工业广泛采用的、公开的“SECS”通信协议中规定的命令来传输数据。监视这种半导体主机的诊断装置10通常包括通用目的“PC”计算机62，其运行公知的Windows、Macintosh或者Linux操作系统。或者，诊断装置10可包括专门用于监视半导体制造工具的计算机62，诸如由位于Adover，Massachusetts的MKS Instruments销售的、“BlueBox”型计算机。任一类型的计算机62通常具有RS-232串行端口18，其经由传统的串行电缆可连接到UUT的RS-232端口。传统的数据收集和分析软件可安装在计算机上。这种软件依照UUT使用的通信协议，诸如SECS协议，能够通过诊断装置的通信接口控制数据传输，从而从UUT取得所希望的属性数据。软件也能够将取得的属性数据呈现给维护人员，在传统的计算机存储设备60中存储或“记录”数据，在检测到在取得的属性数据中出现特定状态时报警，并且执行数据的统计分析。例如，具有这些功能的软件由MKS Instruments和位于San Carlos，California的Brookside Software公司销售。
在操作中，用户指示诊断装置从UUT取得确定的属性数据。指示的形式可以是手工键入的命令、按下按钮或者是用户存储在诊断装置中的计算机程序，该程序指定根据数据收集计划取得几个属性的顺序。这些都是前述可购买的数据收集软件和计算机硬件的常规特征。
为了实现本发明，可将上文所述的属性数据库添加到刚才所述的某种基于可编程计算机62的传统诊断装置10上。
属性数据库记录可被存储在任何传统的数据存储设备60上，诸如一个或多个计算机硬盘驱动器(HD)。属性数据库的逻辑结构，是本专利说明书中所述的记录和字段的形式，能够通过对安装在传统计算机62上的任何传统的数据库管理系统(DBMS)的直接编程实现。DBMS软件由各种软件公司销售，诸如Microsoft、IBM和Oracle公司。开放源代码的SQL DBMS软件也可公开获得。当然，数据存储设备能够通过任何传统的数据接口连接到计算机。
属性数据库和DBMS软件能够安装在诊断装置10内的数据存储设备60和计算机62上，如图1所示。DBMS软件和前面描述的数据收集和分析软件能够安装和同时运行在同一计算机62上。
更优选地，如图5所示，属性数据库和DBMS软件能够被安装在远距离的数据存储设备64和服务器计算机66上。诊断装置10能够经由传统的数据通信链路68诸如局域网、广域网或者通过电话的点对点链路连接到服务器计算机66。安装在服务器计算机66上DBMS软件优选地具有多用户服务器功能，以便在不同地点的许多诊断装置10能够同时访问数据库。
例如，其上安装属性数据库的数据存储设备64能够位于中央办公室，在此其能够被随时更新，以包括UUT的新型号和新版本。便携的诊断装置10能够被携带到遍布世界的客户点，以服务客户拥有的UUT。每个诊断装置能够通过通信链路68访问数据库。
如果属性数据库被安装在远距离的数据存储设备64和服务器计算机66上，如图5所示，那么每个诊断装置10应该包括计算机62，在计算机62中已经安装了传统的数据库客户软件。当诊断装置需要检索数据库记录，确定属性的ID或其他特征时，这种软件通常能够经由通信链路68发送请求到服务器计算机66。每个诊断装置10内的计算机62也应该包括前面描述的传统软件，用于与UUT通信，以取得属性数据。
操作在将诊断装置用于从给定类别的(型号和版本)UUT取得属性数据之前，应该将描述该UUT类别诊断属性的、前面所述的属性记录(图2)存储在属性数据库中。通常，UUT的制造商提供每个诊断属性的ID和其他特征，UUT能够传输这些特征。因此，诊断装置的用户能够从UUT制造商获得这些属性特征，并且根据上述的数据库结构在属性数据库中存储信息。优选地，UUT的制造商能够直接在数据库中存储信息(也就是构建或填充数据库)，从而用户不需要从制造商获取信息，将其重新格式化，存储在数据库中。
图6是一个流程图，显示了诊断装置10使用前文所述的属性数据库从UUT取得属性数据的步骤。这些步骤优选地通过所述诊断装置内的计算机62直接编程实现。实现以下步骤601-607的软件在此被称为属性查询(Attribute Look-up)软件。优选地，属性查询软件被安装在运行本文“硬件实现”一节中描述的传统数据收集和分析软件的、诊断装置10内的同一计算机62中。这个软件的全部可同时在该计算机上运行。
步骤601诊断装置必须识别它连接的是哪个类别(型号和版本)的UUT。某些传统的UUT能够响应由诊断装置发给UUT的数字通信接口14的命令标识自身。对于缺少这种功能的UUT，使用诊断装置的人负责识别UUT和提供这个信息给诊断装置，诸如通过键盘输入。如在前面的“属性数据库”和“UUT类别字段”小节中解释的，唯一地标识UUT类别所需的信息包括型号名称，而且如果不同的版本具有不同的属性特征，那么版本名称(例如，版本号码或版本日期)可能是唯一地标识UUT类别所必需的。
步骤602可选地，如果属性数据库被存储在远程服务器66上，那么诊断装置能够将所识别的UUT类别的所有属性记录(即“UUT类别”字段与步骤601中所识别的UUT类别匹配的所有属性记录)的副本，从服务器存储设备64发送到其本地存储设备60。这个可选的步骤602不需要在诊断装置的后续操作期间保持与远程服务器的连续通信链路68，因为这个通信链路只在步骤602期间需要。这个步骤是通过本地计算机62上的数据库客户软件发送查询到服务器计算机66上的DBMS服务器软件来完成的。
步骤603诊断装置必须识别维护人员选择从UUT取得的一个或多个属性。选定的属性可通过键盘输入手工标识，或者可在维护人员以前存储在诊断装置的计算机中的数据收集计划中指定。这个步骤可在步骤601之前、之后或者和步骤601同时执行。对于与连接到多腔UUT的腔关联的属性，属性的标识应该包括标识腔型号、腔位置和任何其他适用的腔配置参数，如在前面“属性字段”一节中解释的。
步骤604对于在步骤603中选定的每个属性，诊断装置查询属性数据库，以取得既对应于步骤601中识别的UUT类别又对应于选定属性的一个属性记录。如果执行了可选的步骤602，诊断装置就能够搜索步骤602中发送到其本地存储设备的属性记录，以找到一个其“属性”字段匹配选定属性的属性记录。否则，本地计算机62上的传统数据库客户软件应该向服务器计算机66上的DBMS服务器软件发送查询，以取得“UUT类别”字段与步骤601中识别的UUT类别相匹配、和“属性”字段与选定属性相匹配的一个属性记录。
步骤605对于在步骤604中取得的每个属性，诊断装置从记录的“ID”字段读取该属性的ID。如果这样的字段包括在属性记录中，那么诊断装置也从记录的“接口与协议”字段读取接口和协议信息，并且从记录的“读/写”字段读取读/写标志。
步骤606诊断装置现在使用来自步骤605的ID、接口信息和协议信息，从UUT的外部通信接口取得实际的属性数据。如果UUT和其关联的数据源总共有多于一个的外部通信接口，那么接口信息指定在这个步骤中诊断装置应该从哪个接口取得属性数据。协议信息指定UUT所需的取得方法；它一般是前面两节“传统的UUT和诊断装置”和“接口与协议字段”中描述的方法之一。
例如，如果UUT 12利用命令驱动协议输出该属性数据，那么诊断装置向UUT发送指定ID的“读”命令。作为另一个例子，如果如上所述，UUT在连续流协议中传输属性数据，那么诊断装置10利用所需属性的ID，在来自UUT的数据流中定位属性数据。或者，如果UUT在模拟接口输出指定的属性，那么诊断装置仅仅从“接口与协议”字段中指定的接口读取模拟信号。如果接口具有多条信号线，那么“ID”字段指定诊断装置应该从接口的哪条信号线读取模拟信号。
优选地，诊断装置的计算机62包括如在“硬件实现”中描述的常规数据收集软件。如果是这样，在步骤606中，属性查询软件优选地将在步骤605中获得的ID、接口信息和协议信息传给数据收集软件，该软件利用指定的通信协议从UUT取得属性数据。
步骤607如果属性记录包括“转换”字段或“比例因子”字段值，那么应用属性记录所指定的转换或比例因子。如果属性记录包括“物理单位”字段值，那么与属性数据一起存储该值。这些字段将在下面“转换物理单位”一节中介绍。
转换物理单位每个数据库记录还可包括“转换”字段，其包含一个或多个从属字段，每个从属字段存储转换参数，诸如比例因子，用于将UUT输出的模拟或数字电信号转换成由“属性”字段标识的属性值的测量的物理单位。“转换”字段的一个附加从属字段能够指定这种测量的物理单位，诸如“瓦特”、“摄氏度”、“托”或者“sccm”。
在由本发明的受让人销售的主机的许多型号中，主机输出的属性数据是N比特的二进制数字，其可能数值范围从0到2N-1，而0和2N-1的二进制值分别表示属性的最小物理值和最大物理值。对于这种属性，“转换”字段优选地由三个从属字段组成“最小”、“最大”和“单位”。存储在“最小”和“最大”字段中的数值是由二进制值分别为0和2N-1的属性数据表示的物理属性值。存储在“单位”字段中的值指定表示这种物理属性值的物理单位。
例如，假设主机输出的一个属性是在第三个腔的基座温度，假设温度测量范围是50℃到550℃。因此，主机应该输出从0到2N-1范围的二进制值，以表示在50℃到550℃范围的温度。因此，值“50”和“550”应该分别存储在数据库记录的“最小”和“最大”字段中，表示第三个腔里的基座温度，并且值“摄氏度”应该存储在那个记录的“单位”字段中。
版本范围如前面节次“属性数据库”和“UUT类别字段”中所述的，每个数据库记录的“UUT类别”字段标识出记录中其他字段所属的设备类别。一般地，UUT类别能够由设备型号、设备版本或者两者的组合来标识。也就是说，UUT的类别可包括各种设备型号，而UUT的每个型号可被生产成属性规格不同的各种版本或代(generation)。为了使数据库能够记录UUT的各种型号之间的不同以及每个型号的各种版本或代之间的不同，每个数据库记录的“UUT类别”字段是组合字段，其包括“型号”从属字段和“版本”从属字段。换句话说，主机设备的每个型号的每个版本被认为是不同的UUT类别。
存储在“版本”字段中标识版本或代的值可以是，例如版本号码或版本日期。UUT的指定型号的版本彼间不同在于它们的物理部件或者操作软件。如果版本的不同之处是UUT通过外部通信接口输出的诊断属性，或者是所传输属性的特征(例如各自的ID或与一个或多个属性关联的转换因子)，那么利用本发明的属性数据库跟踪这些不同之处是有用的。
即使诊断装置只连接到UUT设备的单个型号，本发明的属性数据库对于列出版本之间的不同是有用的。在这种情况下，就不需要“UUT类别”字段的“型号”子字段。换句话说，“UUT类别”字段就仅仅是“版本”字段。
返回更一般的例子，其中UUT类别由型号和版本限定，在一个实施例中，属性数据库包含每个UUT类别的不同的记录集，并且给定UUT类别的记录集包括能够由该型号和版本的UUT输出的每个诊断属性的不同记录。例如，如果主机设备的给定型号在其历史过程中经历了20个版本的软件和/或硬件变化，并且如果那个型号的每个版本具有30个属性，那么数据库将需要600个记录(20个版本×30个属性/版本)来为那个型号的所有版本存储属性规格。
通过使得每个属性记录的“版本”字段能够表示版本范围而不仅仅是单个版本，属性数据库的一个更优选实施例减少了所需的记录数量。特别是，如果指定诊断属性的接口要求和其他特征对于指定的UUT型号的版本范围保持相同，那么单个记录被存储在数据库中，以为那个范围内的所有版本描述诊断属性的特性，而不是为每个版本存储不同的记录。
图3示出了这个技术的实现，其中每个数据库记录中的“版本”字段是复合字段，其包括两个称为“版本，首”和“版本，尾”的从属字段，其内容分别标识在“型号”字段中标识的UUT型号的第一个和最后一个版本。在本发明的这个实施例中，我们将“UUT类别”限定为UUT的特定型号的一个或多个版本的范围。
例如，假设称为“Alpha”的主机型号在其历史过程中经历了20个版本。假设在Alpha主机的版本1-7中，属性“腔1中的压力”被分配到逻辑端口33；在版本8-16中，这个属性被分配新的逻辑端口44；在版本14-20中，这个属性被再次分配到逻辑端口33。如图3所示，这些修改能够由3个而不是20个数据库记录表示。
图4示出了一个替换实施例，其中“版本”字段能够指定多个不连续的版本，因此不能被限定为由第一个版本和最后版本界定的范围。在这个实施例中，“版本”字段能够包括任何数量的从属字段，每个从属字段标识记录应用的UUT型号的版本，所以从属字段共同标识UUT版本的集合。在上一段的例子中，Alpha的属性“腔1中的压力”能够仅仅由数据库中的两个记录表示一个记录用于版本1-7和18-20，第二记录用于版本8-17，如图4所示。第一个数据库记录具有“版本”字段，其由称为“1-版本，首”、“1-版本，尾”、“2-版本，首”和“2-版本，尾”的4个从属字段组成，其中存储各自的值“1”、“7”、“17”和“20”。
虽然版本通常是由版本号码标识的，但是非数字的名字也可被用于标识不同的版本。
或者，版本能够由日期而不是版本号码标识。例如，在图2所示的实施例中，属性数据记录的“版本”字段能够存储该属性数据记录应用到的UUT类别的发布日期，而不是版本号码。类似地，在图3所示的实施例中，“版本，首”和“版本，尾”字段能够存储该记录应用的UUT类别的第一个生产日期和最后的生产日期，从而表示出属性数据记录应用到在指定的第一个和最后一个生产日期之间生产的、该UUT类别的所有设备。
数据库规范化上文已详细地讨论了图2所描述的、属性数据库的记录中的字段。
在图7中以表的形式描述了相同的数据库结构。在图7和图8所示的数据库表中，字段名字的符号“AB”表示名为“A”的复合字段的名为“B”的子字段。
图8显示了如何通过将数据库分成两个表(“属性”表和“属性名字与腔配置”)来至少部分地对该数据库进行规范化。为了规范化数据库，其值很少或者从不独立于彼此改变的字段被集合成一个表。规范化的数据库通过消除主数据库表(即属性表)的记录中的冗余字段，减少了存储需求。
在每个数据库表中，列出的第一个字段是表的主键字段，这意味着表的每个记录在主键字段中存储不同的值。在属性表中，由于每个属性具有不同的ID，因而ID是主键字段，。
和主机相反，表示处理腔操作条件或者测量值的诊断属性，通常需要利用腔内或者连接到腔的测量仪器内的模拟数字转换器，从模拟测量值转成数字属性数据，。因此，转换参数(单位和比例因子)以及一个参数是否是“只读”或者“读/写”的，通常由腔型号和腔配置完全确定，与该腔连接到的UUT的型号和版本无关。逻辑上，转换参数也和给定处理腔安装在主机上的腔位置无关。因此，表示转换参数和读/写标志的数据库字段能够从属性表移到“子”表。
除了转换参数和读/写标志，包括在“子”表中的附加字段是唯一确定转换参数的值和读/写标志所必需的字段。这些附加字段是“属性名字”字段和“属性腔型号或配置”字段，如前段所解释的原因。这两个字段共同限定数据库表的主键字段。因此，子表被命名为“属性名字与腔配置”表。存储在表的每个记录的主键字段中的值可以是任意的索引号码，或者，可以通过连接那个记录的“属性名字”字段和“属性腔型号或配置”字段来形成。
创建“属性名字与腔配置”表的好处是，现在属性表只需要单个字段“属性名字与腔配置主键”即可取代以前所需要的6个字段“属性名字”、“属性腔型号或配置”、“读/写”、“转换单位”、“转换比例因子最小”和“转换比例因子最大”。这减少了数据库的存储需求。
权利要求
1.一种在数据库中存储信息以表征由不同类别设备输出的属性的方法，所述方法包括以下步骤提供一个数据库存储设备；在所述数据库存储设备中存储多个属性数据记录，其中存储每个属性数据记录的步骤包括在该记录中存储一个标识设备类别的第一字段，在该记录中存储一个标识属性的第二字段，该属性的值由该记录的第一字段标识的类别的设备输出，并且在该记录中存储一个第三字段，用以指定ID，该记录的第一字段标识的类别的设备将所述ID分配给该记录的第二字段标识的属性值。
2.根据权利要求1所述的方法，其中对于每个属性数据记录，存储在所述第三字段中的ID为存储在所述第一字段中的设备类别唯一地指定存储在所述第二字段中的属性。
3.根据权利要求1所述的方法，其中对于每个属性数据记录，存储在所述第三字段中的ID唯一地指定一个命令，存储在所述第一字段中的所述类别的设备响应该命令输出存储在所述第二字段中的属性。
4.根据权利要求1所述的方法，其中对于每个属性数据记录，存储在所述第三字段中的ID唯一地指定一个命令，以至于存储在所述第一字段中的所述类别的设备响应对所述命令的接收，以输出存储在所述第二字段中的属性。
5.根据权利要求1所述的方法，其中对于至少一个属性数据记录，存储所述第二字段的步骤还包括以下步骤存储一个第四字段，其标识出一个腔的位置，所述腔连接到所述第一字段标识的类别的设备。
6.根据权利要求1所述的方法，其中对于每个属性数据记录，所述第一字段标识至少一个设备型号。
7.根据权利要求1所述的方法，其中对于每个属性数据记录，所述第一字段标识至少一个设备版本。
8.根据权利要求1所述的方法，其中对于至少一个属性数据记录，存储所述第一字段的步骤包括存储一个标识设备型号的第一从属字段；和存储一个第二从属字段，其标识出所述第一从属字段中标识的设备型号的版本。
9.根据权利要求1所述的方法，其中对于至少一个属性数据记录，存储所述第一字段的步骤包括存储共同标识一个设备型号的版本范围的第一和第二从属字段。
10.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一和第二从属字段分别标识所述版本范围中的第一个版本和最后一个版本。
11.根据权利要求1所述的方法，其中对于至少一个属性数据记录，存储所述第一字段的步骤包括存储共同标识一个设备型号的修改日期范围的第一和第二从属字段。
12.根据权利要求11所述的方法，其中所述第一和第二从属字段分别标识出所述修改日期范围中的第一个修改日期和最后一个修改日期。
13.根据权利要求1所述的方法，其中存储多个属性数据库记录的步骤包括以下步骤在所述数据库存储器中存储一个包括所述第一字段的第一记录，其中所述第一记录的第一字段标识出一个第一设备类别，其包括一个第一设备型号；并且在所述数据库存储器中存储一个包括所述第一字段的第二记录，其中所述第二记录的第一字段标识出一个第二设备类别，其包括不同于所述第一设备型号的一个第二设备型号。
14.根据权利要求1所述的方法，其中存储多个属性数据库记录的步骤包括以下步骤在所述数据库存储器中存储一个包括所述第一字段的第一记录，其中所述第一记录的第一字段标识出一个第一设备类别，其包括一个第一设备型号的第一版本；并且在所述数据库存储器中存储一个包括所述第一字段的第二记录，其中所述第二记录的第一字段标识出一个第二设备类别，其包括所述第一设备型号的、不同于所述第一版本的第二版本。
15.根据权利要求1所述的方法，其中对于至少一个属性数据记录，在存储所述第一字段的步骤中标识的属性是正在半导体制造处理腔中实施的工艺的测量值。
16.根据权利要求1所述的方法，其中对于至少一个属性数据记录，在存储所述第一字段的步骤中标识的属性是正在半导体制造处理腔中实施的工艺的操作条件。
17.一种在数据库中存储信息以表征由不同类别设备输出的属性的方法，所述方法包括以下步骤提供一个数据库存储设备；在所述数据库存储设备中存储多个属性数据记录，其中存储每个属性数据记录的步骤包括在该记录中存储标识设备类别的第一字段，在该记录中存储标识属性的第二字段，该属性的值由该记录的第一字段标识的类别的设备输出，并且在该记录中存储一个第三字段，用以指定转换参数，其限定了所述第二字段标识的所述属性的值、到测量的物理单位的转换。
18.根据权利要求17所述的方法，其中对于至少一个属性数据记录，存储在所述第三字段的转换参数指定了测量的物理单位。
19.根据权利要求17所述的方法，其中对于至少一个属性数据记录，存储在所述第三字段的转换参数指定了比例因子。
20.根据权利要求17所述的方法，其中对于至少一个属性数据记录，存储在所述第三字段的转换参数指定了物理值的范围。
21.一种用于监视电子设备的诊断装置，其包括一个存储有多个数据记录的计算机可读数据存储设备，其中每个数据记录包括一个第一数据字段，其存储标识设备类别的数据；一个第二数据字段，其存储标识属性的数据，该属性的值由该记录的第一字段标识的类别的设备输出，和一个第三数据字段，其存储用于指定ID的数据，该记录的第一字段标识的所述那类设备将所述ID分配给该记录的第二字段标识的属性值；和一台计算机，其被连接以从所述数据存储设备中读取数据。
22.根据权利要求21所述的装置，还包括一个通信接口，其被连接以从所述数据记录的一个记录所标识出的设备类别中接收数据；其中所述计算机被连接，以从所述通信接口读取数据。
23.根据权利要求21所述的装置，其中对于每个属性数据记录，存储在所述第三字段中的ID为存储在所述第一字段中的设备类别唯一地指定存储在所述第二字段中的属性。
24.根据权利要求21所述的装置，其中对于每个属性数据记录，存储在所述第三字段中的ID唯一地指定一个命令，存储在所述第一字段中的所述类别的设备响应该命令输出存储在所述第二字段中的属性。
25.根据权利要求21所述的装置，其中对于每个属性数据记录，存储在所述第三字段中的ID唯一地指定一个命令，以至于存储在所述第一字段中的所述类别的设备响应对所述命令的接收，以输出存储在所述第二字段中的属性。
26.根据权利要求21所述的装置，其中至少一个属性数据记录还包括一个第四数据字段，其标识出一个腔的位置，所述腔连接到所述第一字段标识的类别的设备。
27.根据权利要求21所述的装置，其中对于每个属性数据记录，所述第一字段存储标识至少一个设备型号的数据。
28.根据权利要求21所述的装置，其中对于每个属性数据记录，所述第一字段存储标识至少一个设备版本的数据。
29.根据权利要求21所述的装置，其中对于至少一个属性数据记录，所述第一数据字段包括一个第一从属字段，其存储标识设备型号的数据；和一个第二从属字段，其存储标识所述第一从属字段标识的设备型号的版本。
30.根据权利要求21所述的装置，其中对于至少一个属性数据记录，所述第一数据字段包括第一和第二从属字段，其存储共同标识设备型号的版本范围的数据。
31.根据权利要求30所述的装置，其中存储在所述第一和第二从属字段中的数据分别标识所述版本范围的第一个版本和最后一个版本。
32.根据权利要求21所述的装置，其中对于至少一个属性数据记录，所述第一数据字段包括第一和第二从属字段，其存储共同标识设备型号的修改日期范围的数据。
33.根据权利要求32所述的装置，其中存储在所述第一和第二从属字段中的数据分别标识所述修改日期范围中的第一个修改日期和最后一个修改日期。
34.根据权利要求21所述的装置，其中存储在计算机可读数据存储设备中的多个属性数据库记录包括一个包括所述第一字段的第一记录，其中存储在所述第一记录的第一字段中的数据标识出一个第一设备类别，其包括一个第一设备型号；和一个包括所述第一字段的第二记录，其中存储在所述第二记录的第一字段中的数据标识出一个第二设备类别，其包括一个不同于所述第一设备型号的第二个设备型号。
35.根据权利要求21所述的装置，其中存储在计算机可读数据存储设备中的多个属性数据库记录包括一个包括所述第一字段的第一记录，其中存储在所述第一记录的第一字段中的数据标识出一个第一设备类别，其包括一个第一设备型号的第一版本；和一个包括所述第一字段的第二记录，其中存储在所述第二记录的第一字段中的数据标识出一个第二设备类别，其包括所述第一设备型号的、不同于所述第一版本的一个第二版本。
36.根据权利要求21所述的装置，其中对于至少一个属性数据记录，由存储在所述第一字段中的数据标识的属性是正在半导体制造处理腔中实施的工艺的测量值。
37.根据权利要求21所述的装置，其中对于至少一个属性数据记录，由存储在所述第一字段中的数据标识的属性是正在半导体制造处理腔中实施的工艺的操作条件。
38.一种用于监视电子设备的诊断装置，其包括一个存储有多个数据记录的计算机可读数据存储设备，其中每个数据记录包括一个第一数据字段，其存储标识设备类别的数据；一个第二数据字段，其存储标识属性的数据，该属性的值由该记录的第一字段标识的类别的设备输出，和一个第三数据字段，其存储指定转换参数的数据，该转换参数限定了所述第二字段标识的所述属性的值、到测量的物理单位的转换；和一台计算机，其被连接以从所述数据存储设备读取数据。
39.根据权利要求38所述的装置，其中对于至少一个属性数据记录，存储在所述第三字段的转换参数指定了测量的物理单位。
40.根据权利要求38所述的装置，其中对于至少一个属性数据记录，存储在所述第三字段的转换参数指定了比例因子。
41.根据权利要求38所述的装置，其中对于至少一个属性数据记录，存储在所述第三字段的转换参数指定了物理值的范围。
42.一种用于存储数据的数据存储介质，所述数据描述了至少一种类别的设备的一个或多个属性，所述数据存储介质包括一个存储有多个数据记录的计算机可读数据存储介质，其中每个数据记录包括一个第一数据字段，其存储标识设备类别的数据；一个第二数据字段，其存储标识属性的数据，该属性的值由该记录的第一字段标识的类别的设备输出，和一个第三数据字段，其存储指定ID的数据，该记录的第一字段标识的类别的设备将所述ID分配给该记录的第二字段标识的属性值。
43.一种用于存储数据的数据存储介质，所述数据描述了至少一个类别的设备的一个或多个属性，所述数据存储介质包括一个存储有多个数据记录的计算机可读数据存储介质，其中每个数据记录包括一个第一数据字段，其存储标识设备类别的数据；一个第二数据字段，其存储标识属性的数据，该属性的值由该记录的第一字段标识的类别的设备输出，和一个第三数据字段，其存储指定转换参数的数据，该转换参数限定了所述第二字段标识的所述属性的值、到测量的物理单位的转换。
44.一种计算机可读数据存储介质，其中存储了计算机可执行的指令，以便执行在数据存储设备中存储数据库记录的方法步骤，其中所述方法步骤包括在数据存储设备中存储多个属性数据记录的步骤；且所述存储每个属性数据记录的步骤包括在该记录中存储标识设备类别的第一字段，在该记录中存储标识属性的第二字段，该属性的值由该记录的第一字段标识的类别的设备输出，和在该记录中存储指定ID的第三数据字段，该记录的第一字段标识的类别的设备将所述ID分配给该记录的第二字段标识的属性值。
45.一种计算机可读数据存储介质，其中存储了计算机可执行的指令，以执行在数据存储设备中存储数据库记录的方法步骤，其中所述方法步骤包括在数据存储设备中存储多个属性数据记录的步骤；且所述存储每个属性数据记录的步骤包括在该记录中存储标识设备类别的第一字段，在该记录中存储标识属性的第二字段，该属性的值由该记录的第一字段标识的类别的设备输出，和在该记录中存储转换参数的数据，该转换参数限定了所述第二字段标识的所述属性的值、到测量的物理单位的转换。
全文摘要
一种诊断仪器或数据获取装置，其具有一个用于存储通信接口规格和诊断属性的其他特征(例如传感器测量值或者操作条件)的数据库，所述诊断属性由待测设备的各种类别(型号或版本)输出。所述数据库记录包括标识设备类别的第一字段；标识(例如通过名字或描述)诊断属性的第二字段，所述诊断属性的值是由那类设备输出的；以及第三字段。所述第三字段能够指定ID(例如物理信号线、物理地址或者逻辑地址)，所述ID使得诊断装置能够从所述记录的第一字段标识类别的UUT设备取得所述第二字段标识的属性的值。或者，所述第三字段能够标识传输诊断属性的通信接口。
文档编号G05B19/418GK1764878SQ200480008110
公开日2006年4月26日 申请日期2004年2月5日 优先权日2003年3月1日
发明者M·V·邓克尔 申请人:应用材料有限公司