专利名称：带传感器的连接部件的制作方法
技术领域：
本发明涉及适合在集成化流体控制装置中使用的连接部件，该集成化流体控制装置用于半导体制造装置等、并以在维修保养时可单独将流体控制仪器从上方取出的方式组装。
背景技术：
半导体制造装置中使用的流体控制装置是，将质量流量控制器或开关阀等流体控制仪器设置成多列，并在规定部位通过仪器连接机构将相邻列的流体控制仪器的流路连接而构成的。对于这种流体控制装置，近年来，将多个流体控制仪器设置在上层，并由设置在下层的块状连接部件将这些流体控制仪器连接起来，由此使集成化技术有所发展(专利文献1以及专利文献2)。
图4表示专利文献1所述的集成化流体控制装置，该流体控制装置的一个线路C是由多个上层部件以及多个下层部件构成，作为上层部件，设置有止回阀11、压力调节器16、压力传感器12、倒V字形通路块20、断路开放器13、质量流量控制器14、开关阀15、倒V字形通路块20以及过滤器17，并且，作为下层部件，左起依次设置有与止回阀11连接且安装有入口连接器31的L字形通路块连接器32、连通止回阀11和压力调节器16的V字形通路块连接器33、连通压力调节器16和压力传感器12的V字形通路块连接器33、连通压力传感器12和倒V字形通路块20的V字形通路块连接器33、连通倒V字形通路块20和断路开放器13的V字形通路块连接器33、连通断路开放器13和质量流量控制器14的V字形通路块连接器33、连通质量流量控制器14和开关阀15的V字形通路块连接器33、连通开关阀15和倒V字形通路块20的V字形通路块连接器33、连通倒V字形通路块20和过滤器17的V字形通路块连接器33、与过滤器17连接且安装有出口连接器34的L字形通路块连接器32。作为下层部件的各种连接部件31、32、33、34载置在一个细长的副基板3上，并且，作为上层部件的各种流体控制仪器11、16、12、20、13、14、15、20、17以跨在这些下层部件31、32、33、34上的方式安装，由此形成一条线路C，与该线路C类似结构的多条线路并列设置在主基板2上，并且，各线路C的断路开放器13之间通过由三个I字形的通路块连接器51以及将I字形的通路块连接器51彼此之间连接起来的管52形成的通路连接机构50进行连接，由此形成集成化流体控制装置。
在专利文献2中提出了以下方案，在此省略图示，即，通过将在专利文献1中相分离的压力调节器16和压力传感器12安装在一个块状主体上来形成新的流体控制仪器。
专利文献1日本特开2001-254900号公报专利文献2日本特开平11-118054号公报对于这种集成化流体控制装置，人们期望其能进一步小型化，专利文献2的装置在小型化方面虽好于专利文献1的装置，但由于需要另外的块状主体，因此具有零件数量增加的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种这样的连接部件，其能够抑制零件数量的增加，并且，可使集成化流体控制装置进一步实现小型化。
本发明的带传感器的连接部件具有通路块及设置在通路块上的传感器，在通路块上形成有将相邻的流体控制仪器的下端开口之间连接起来的通路。
流体控制仪器例如是压力调节器、开关阀、通路块、过滤器等，压力调节器和开关阀或通路块之间，例如由该带传感器的连接部件连接。
通路块的形状是长方体或大致长方体，通路具有与流体控制仪器的下端开口连通的上端开口。
作为传感器可以使用压力传感器、温度传感器、流量传感器等各种传感器。
传感器优选设置在通路块的侧面。流体控制仪器设置在通路块的上表面，并且，通路块的下表面安装固定在基板的上表面。以通路块内的流体的流动方向为基准的情况下，传感器可设置在通路块的上游侧的侧面，另外，也可设置在通路块的下游侧的侧面。此外，也可设置在与流动方向平行的侧面。带传感器的连接部件与其他连接部件一起形成流体的流动方向是朝着一个方向的一条线路，通过并列设置这些线路进而构成流体控制装置。在这种结构的情况下，为了尽量减少流体控制装置的所占空间，优选将传感器设置在通路块的上游侧的侧面以及/或通路块的下游侧的侧面。
传感器可设置在与流体的流动方向垂直的侧面。
在传感器上可设置能够非接触地读取、写入信息的RFID电子标签。在做这种设置的情况下，优选采用写入有与单个产品相关的信息的RFID电子标签，在组装时，能够在该RFID电子标签里以追加的方式写入与组装相关的信息。
RFID(Radio Frequency IDentification射频识别)电子标签是将用于存储数据的存储器(IC芯片)和用于接收无线信号的天线一体化的部件。在将RFID电子标签设置在传感器上时，只需将RFID电子标签粘贴在传感器或通路块上就可以。另外，对传感器而言，将用于得到压力、温度等数据的传感器部分、存储来自传感器或外部的信息的IC芯片以及通信用的天线一体化地组装入一个块状保持部件内，通过这样的构成，可使传感器成为具有RFID电子标签功能的传感器。
通过将RFID电子标签安装在带传感器的连接部件上，在带传感器的连接部件以单个产品出厂时，可在写入与单个产品相关的信息(产品号或代码、生产日期、生产批号、检查结果等)的状态下出厂，收货方通过读取该信息可简单地得到与单个产品相关的信息，另外，在进行组装等的情况下，以追加的方式写入与组装相关的信息(所使用的流体名、线路名称、组装记录、检查记录等)，在组装结束后可得到从产品的出厂到被组装的所有的信息(追踪能力)。
另外，向RFID电子标签写入的内容除了上述记载的内容以外，RFID电子标签可保存所有其他的相关信息，RFID标签的设置位置可设置在不影响组装等的任何位置。
而且，由于RFID电子标签具有写入的功能(一体化)，除了写入来自外部的信息以外，也可定期将传感器发出的信息(压力、温度等的测定结果等)写入至RFID标签，然后从外部将其读取，这样来自传感器的信息也可得到确认。
并且，不分别形成传感器和RFID标签，而是将其作为一体化的传感器电路安装在连接部件上，这样，来自传感器的输出可写入RFID电子标签并被保存，在需要时从外部进行读取。
传感器是压力传感器，在通路块上可形成将相邻的流体控制仪器的下端开口之间连接起来的V字形或U字形连接通路及从连接通路分支并与压力传感器连通的分支通路。在现有的流体控制装置中，压力传感器被当作一个设置在上层的流体控制仪器来使用，但在本发明中，通过将其安装在设置于下层的连接部件上，因此，无需设置压力传感器用的空间，带压力传感器的流体控制装置的设置空间可得到减少。
本发明的流体控制装置具有多个流体控制仪器和多个块状连接部件，在多个块状连接部件上形成有将相邻的流体控制仪器的下端开口之间连接起来的通路，其中至少一个连接部件为所述的带传感器的连接部件。
根据本发明的带传感器的连接部件，可通过用该带传感器的连接部件替换现有的连接部件，使具有多个流体控制仪器以及多个连接部件且包含作为流体控制仪器的传感器的流体控制装置小型化。
图1是本发明的带传感器的连接部件的一个实施方式的侧视图。
图2是图1的局部放大图。
图3是使用本发明的带传感器的连接部件的流体控制装置的侧视图。
图4是现有的流体控制装置的侧视图。
符号说明10 带传感器的连接部件16、20 流体控制仪器41 通路块41a 连接通路41b 分支通路42 压力传感器(传感器)具体实施方式
以下参照附图就本发明的实施方式进行说明。
在以下的说明中，关于上下、左右，是将图的上下称作上下、左右称作左右，但该上下、左右的说法只是为了方便说明，有时也有将上下作为左右进行使用的情况。
图1和图2是表示本发明的带传感器的连接部件10安装在流体控制仪器16上的状态，图3是表示使用本发明的带传感器的连接部件10的流体控制装置的一条线路C。
在图1和图2中，在作为流体控制仪器的压力调节器16的下侧设置块状连接器33和连接部件10，其中块状连接器33用于与左侧邻接的流体控制仪器(省略图示)连接，连接部件10用于与右侧邻接的流体控制仪器20连接。
块状连接器33是现有的连接器，在其长方体块状主体33a上形成有V字形通路33b。
右边的连接部件10是本发明的带传感器的连接部件，具有通路块41和设置在通路块41的左侧面的传感器42，该通路块41上形成有将左右相邻的流体控制仪器16、20的下端开口之间连接起来的连接通路41a。
传感器42是具有隔膜42a的压力传感器，在通路块41上形成有将左右相邻的流体控制仪器16、20的下端开口之间连接起来的V字形连接通路41a和从连接通路41a的下端部分支并向左侧延伸与压力传感器42相连通的分支通路41b。通路块41是在块状连接器33的基础上，通过另外加工分支通路41b和压力传感器安装用凹部41c而形成的，由此可抑制零件数量的增加。
压力调节器16内的流路方向如箭头所示从左至右，右边的带传感器的连接部件10通过压力传感器42监控压力调节器16的出口侧的压力。
在图3中，流体控制装置的一条线路C由多个上层部件以及多个下层部件形成，作为上层部件，设置有止回阀11、压力调节器16、倒V字形通路块20、断路开放器13、质量流量控制器14、开关阀15、倒V字形通路块20以及过滤器17，并且，作为下层部件，左起依次设置有与止回阀11连接且安装有入口连接器31的L字形通路块连接器32、连通止回阀11和压力调节器16的V字形通路块连接器33、连通压力调节器16和倒V字形通路块20的带传感器的连接部件10、连通倒V字形通路块20和断路开放器13的V字形通路块连接器33、连通断路开放器13和质量流量控制器14的V字形通路块连接器33、连通质量流量控制器14和开关阀15的V字形通路块连接器33、连通开关阀15和倒V字形通路块20的V字形通路块连接器33、连通倒V字形通路块20和过滤器17的V字形通路块连接器33、与过滤器17连接且安装有出口连接器34的L字形通路块连接器32。并且，作为下层部件的各种连接部件31、32、33、10、34载置在一个细长的副基板3上，同时，作为上层部件的各种流体控制仪器11、16、20、13、14、15、20、17以跨在这些下层部件31、32、33、10、34上的方式安装，由此形成一条线路C，与该线路C类似结构的多条线路并列设置在主基板2上，并且，各线路C的断路开放器13之间通过由三个I字形的通路块连接器51以及将I字形的通路块连接器51彼此之间连接起来的管52形成的通路连接机构50进行连接，由此形成集成化流体控制装置。
比较图3和图4可以容易地看出，在图3中完全省略了图4中所示的用于设置压力传感器12的空间，缩短了左右的长度，可得到极为小型化的流体控制装置。另外，作为新零件的带传感器的连接部件10的通路块41可在块状连接器33的基础上，另外加工形成，故零件数量以及加工的时间、劳力的增加都能得到极力控制。
另外，在上述中，带传感器的连接部件10只设置在压力调节器16的右侧，但压力调节器16的左侧的连接部件33也可用作为带传感器的连接部件10，不仅监控压力调节器16的出口侧的压力，而且也监控入口侧的压力，并且，也可在将压力调节器16以外的部位，例如可将连通倒V字形通路块20与断路开放器13的V字形通路块连接器33用作为该带传感器的连接部件10取代。另外，传感器42不局限于压力传感器。另外，带传感器的连接部件10的连接通路41a也可不是V字形而是U字形的。此外，虽然省略了图示，但传感器42上设置有可非接触地读取、写入信息的RFID电子标签，另外，在RFID电子标签里可写入与单个产品相关的信息，以追加的方式在组装时写入与组装相关的信息。
生产上的利用可能性通过将本发明的带传感器的连接部件置换现有的连接部件，可抑制具有多个流体控制仪器以及多个连接部件的流体控制装置的零件数量的增加，同时，可使包含有传感器的流体控制装置小型化，因此，本发明的带传感器的连接部件可容易地应用于集成了流体控制仪器的装置上。
权利要求
1.一种带传感器的连接部件，具有通路块及设置在通路块上的传感器，在通路块上形成有将相邻的流体控制仪器的下端开口之间连接起来的通路。
2.如权利要求1所述的带传感器的连接部件，其特征在于，传感器设置在通路块的侧面。
3.如权利要求1所述的带传感器的连接部件，其特征在于，传感器设置在与流体的流动方向垂直的侧面。
4.如权利要求1所述的带传感器的连接部件，其特征在于，在传感器上设置可非接触地读取、写入信息的RFID电子标签。
5.如权利要求4所述的带传感器的连接部件，其特征在于，RFID电子标签里写入有与单个产品相关的信息，在进行组装时，能以追加的方式在RFID电子标签里写入与组装相关的信息。
6.如权利要求1所述的带传感器的连接部件，其特征在于，传感器是压力传感器，在通路块上形成有将相邻的流体控制仪器的下端开口之间连接起来的V字形或U字形连接通路及从连接通路分支并与压力传感器连通的分支通路。
7.一种流体控制装置，具有多个流体控制仪器和多个块状连接部件，在多个块状连接部件上形成有将相邻的流体控制仪器的下端开口之间连接起来的通路，其中至少一个连接部件为权利要求1中所述的带传感器的连接部件。
8.如权利要求7所述的流体控制装置，其特征在于，传感器设置在通路块的侧面。
9.如权利要求7所述的流体控制装置，其特征在于，传感器设置在与流体的流动方向垂直的侧面。
10.如权利要求7所述的流体控制装置，其特征在于，在传感器上设置可非接触地读取、写入信息的RFID电子标签。
11.如权利要求10所述的流体控制装置，其特征在于，RFID电子标签里写入有与单个产品相关的信息，在进行组装时，能以追加的方式在RFID电子标签里写入与组装相关的信息。
12.如权利要求7所述的流体控制装置，其特征在于，传感器是压力传感器，在通路块上形成有将相邻的流体控制仪器的下端开口之间连接起来的V字形或U字形连接通路及从连接通路分支并与压力传感器连通的分支通路。
全文摘要
本发明提供一种集成化流体控制装置的连接部件，该连接部件能够抑制零件数量的增加，并且，可进一步实现集成化流体控制装置的小型化。带传感器的连接部件(10)具有形成连接相邻的流体控制仪器(16、20)的下端开口之间的V字形通路(41a)的通路块(41)，和设置在通路块(41)侧面的压力传感器(42)。在通路块(41)上形成从V字形通路(41a)分支并通向压力传感器(42)的分支通路(41b)。
文档编号G05D7/00GK101018970SQ20058003106
公开日2007年8月15日 申请日期2005年8月26日 优先权日2004年9月16日
发明者筱原努, 山路道雄, 田中林明, 小艾睦典, 峰一郎, 德田伊知郎, 坪田宪士 申请人:株式会社富士金