专利名称：多腔体设备选取腔体的方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体制造工艺中的多腔体设备选取腔体菜单的方法。
背景技术：
随着半导体制造技术的发展，越来越多的半导体制造企业在CIM (Computer Integrated Manufacturing ， 计算机集成制造)禾口 EAP (Equipment Automation Program,设备自动化控制程序)方面的建设非 常重视，通过建设计算机控制的自动化系统，不仅提高了生产制造的整体 效率，同时也大大降低了因人为操作错误而造成的经济损失。
生产设备的自动化控制是整个CIM系统中非常重要的组成部分，而针 对多腔体设备EAP如何根据各腔体(Chamber)的实际状况、以及菜单 (Sequence)的要求来选择正确的腔体进行晶片(Wafer)加工，对提高生 产效率和设备利用率就显得非常重要。
一般多腔体设备有三种腔体选取规则，请参阅图1并详细说明如下 (l)在当前菜单下，多腔体设备的各个腔体具有相同的工艺处理能力， 那么选取状态正常的腔体即可。请参阅图1 (a)，设备包括三个腔体1、 2 和3，每个腔体都具有相同的工艺处理能力，也可认为多腔体设备在当前菜 单下不具有成对的关键腔体。在选取腔体时，若腔体1状态正常(图中以 二进制数l表示)、腔体2和3状态异常(图中以二进制数0表示)，则选取腔体1 。
(2) 在当前菜单下，多腔体设备中有关键腔体，那么至少要在关键腔
体中选取一个。请参阅图l (b)，设备包括四个腔体l、 2、 3和4，其中腔 体3和4为关键腔体。有关键腔体意味着腔体3和4至少要有一个的状态 正常才可以进行工艺加工，而腔体1和2无关紧要因此未图示。在选取腔 体时，若腔体3状态正常、腔体4状态异常，则选取腔体3。
(3) 在当前菜单下，多腔体设备中有多对成对腔体，那么至少要在每 对成对腔体中选取一个。请参阅图1 (c)，设备包括四个腔体l、 2、 3和4， 其中腔体1和3为一对成对腔体，腔体2和4为一对成对腔体。有多对成 对腔体意味着每对成对腔体中至少要有一个腔体的状态正常才可以进行工 艺加工。在选取腔体时，若腔体l状态正常、腔体2、 3和4状态异常，则 不能进行工艺加工；若腔体l、 2和3状态正常、腔体4状态异常，则选取 腔体123。
如果在当前菜单下，多腔体设备仅有一对成对腔体，视作该多腔体设 备具有两个关键腔体。上述多腔体设备选取腔体的三种规则，其逻辑关系 并不复杂，在EAP系统中实现的难度也不是很大。通常EAP系统有两种不 同的处理方法
方法一由EAP系统自动选择正确的菜单，菜单里的各腔体如何选取 由人工事先设定；
方法二由EAP系统自动选择正确的菜单，菜单里的各腔体如何选取 是由EAP系统根据腔体的当前状态自动选取的；方法二自然要比方法一好，能够避免由人工操作带来的失误。方法二 最常见的实施方案就是根据腔体的当前状态和腔体选取规则制定映射表，
然后EAP系统根据实际情况查询映射表，从而选择腔体进行晶片加工。这
种做法非常教条，没有通用性，并且仅能适用于腔体数量少且关系不复杂 的情况，不能随意的扩展。因此在半导体制造过程中设计出具有一定通用 程度的腔体选取方法十分必要。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种多腔体设备选取腔体菜单的方法。
为解决上述技术问题，本发明多腔体设备选取腔体的方法包括如下步
骤
第一步，将多腔体设备的当前状态以二进制数表示，二进制数的每一 位分别表示一个腔体的当前状态是否正常；
第二步，将多腔体设备在当前菜单中的腔体选取规则以一个或多个二 进制数表示；
第三步，将第一步与第二步得到的二进制数进行逻辑运算，运算结果 是二进制数，二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否被选 取。
本发明将多腔体设备选取腔体的方法转换为二进制数的逻辑运算，可 以方便地借助EAP系统实现。该方法一方面可实现多腔体设备在当前菜单 及当前腔体状况下对腔体的自动、智能选取，另一方面又具有良好的扩展性，可以扩展到腔体数目不受限制的设备或者具有多对成对的关键腔体等 复杂情况。
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明 图1是多腔体设备选取腔体的三种规则的示意图； 图2是本发明多腔体设备选取腔体的方法流程图3是本发明以二进制数表示多腔体设备的腔体选取规则的示意图。
具体实施例方式
请参阅图2，本发明多腔体设备选取腔体的方法包括如下步骤 第一步，将多腔体设备的当前状态以二进制数表示。二进制数的某一
位是1表示该腔体的当前状态正常，二进制数的某一位是0表示该腔体的
当前状态异常。
第二步，将多腔体设备在当前菜单中的腔体选取规则以一个或多个二 进制数表示。
第二步包括三种情况，第一种情况是多腔体设备在当前菜单中的所有 腔体具有相同的工艺处理能力，其腔体选取规则以一个二进制数表示，二 进制数的每一位均为1。
第二种情况是多腔体设备在当前菜单中具有关键腔体，其腔体选取规 则以一个二进制数表示。二进制数的某一位是1表示该腔体在当前菜单中 是关键腔体，二进制数的某一位是0表示该腔体在当前菜单中不是关键腔 体。第三种情况是多腔体设备在当前菜单中具有多对成对腔体，其腔体选 取规则以多个二进制数表示，每个二进制数分别表示一对成对腔体。某个 二进制数的某一位是1表示该腔体在当前菜单中是该二进制数所表示的成 对腔体，某个二进制数的某一位是0表示该腔体在当前菜单中不是该二进 制数所表示的成对腔体。
第三步，将第一步与第二步得到的二进制数进行逻辑运算，运算结果 是二进制数。二进制数的某一位是1表示该腔体为多腔体设备在当前菜单 中所选取，二进制数的某一位是0表示该腔体在当前菜单中不为多腔体设 备在当前菜单中所选取。 ，
第三步包括两种情况，第一种情况是第二步仅得到一个二进制数，这 种情况下将第一步得到的一个二进制数和第二歩得到的一个二进制数进行 逻辑与运算，得到运算结果。
第二种情况是第二步得到多个二进制数，这种情况下将第一步得到的 一个二进制数和第二步得到的多个二进制数分别进行逻辑与运算，运算后 得到的多个二进制数之间再进行逻辑或运算，得到运算结果。
上面所述的第二步的第三种情况，多腔体设备在当前菜单中具有多对 成对腔体时，表示其腔体选取规则的多个二进制数的个数，与成对腔体的 对数相同。
上面所述的二进制数的位数优选均等于多腔体设备所具有的腔体个数 上面所述的二进制数的每一位分别表示一个腔体，为方便起见，通常 将二进制数从高位到低位分别表示多腔体设备的序号从高到低的腔体。请参阅图3 ，这是本发明中多腔体设备的腔体选取规则的示意图。其中，
设备METAL-Ol在任何菜单(*表示任何菜单)中所有腔体都具有相同的工 艺处理能力。设备METAL-04在以FM0开头的任何菜单(FMO^表示以FM0开 头的任何菜单)中腔体1和2均为关键腔体(l表示为关键腔体，0表示不 是关键腔体)。设备WPLUG-01在任何菜单中腔体1和2为一对成对腔体(1 表示为成对腔体，O表示不是成对腔体)，腔体3和4为一对成对腔体。
下面兹举一例对本发明所述方法进行具体说明，根据图3所示的腔体 选取规则，求解设备METAL-06在菜单FM010下应选取的腔体，己知设备 METAL-06当前各腔体的实际情况是腔体1、 3和4状态正常，腔体2状态异 常。
根据本发明所述方法，第一步，该设备的当前状态表示为二进制数 1101。 二进制数从左到右依次表示腔体4、 3、 2和1， 二进制数的某一位是 1表示该腔体的当前状态正常，二进制数的某一位是0表示该腔体的当前状 态异常。
第二步，根据图3所示，设备METAL-06在进行以FMO开头的菜单时， 腔体2和4为关键腔体，那么该设备在FM010菜单下的腔体选择规则表示 为二进制数1010。 二进制数从左到右依次表示腔体4、 3、 2和1， 二进制 数的某一位是1表示该腔体在FM010菜单下为关键腔体，二进制数的某一 位是0表示该腔体在F1010菜单下不是关键腔体。
第三步，将第一步得到的二进制数1101和第二步得到的二进制数1010 进行認D (逻辑与)运算，得到的结果为二进制数1000，从左到右依次表示腔体4、 3、 2和1， 二进制数的某一位是1表示该腔体在当前状态及菜单 中被选取，二进制数的某一位是0表示该腔体在当前状态及菜单中未被选 取。
最终，根据本发明所述方法，设备METAL-06根据菜单FM010以及当前 各腔体的实际状态选取腔体4进行工艺加工。
下面再举一例对本发明所述方法进行具体说明，根据图3所示的腔体 选取规则，求解设备WPLUG-01在菜单EN001下应选取的腔体，已知设备 WPLUG-01当前各腔体的实际情况是腔体1、 2和3状态正常，腔体4状态异 常。
根据本发明所述方法，第一步，设备WPLUG-Ol的当前状态表示为二进 制数Olll。
第二步，根据图3所示，设备WPLUG-Ol在进行任何菜单时，腔体l和 2为一对成对腔体，腔体3和4为一对成对腔体。那么该设备在EN001菜单 下的腔体选择规则表示为二个二进制数0011和1100。 二进制数0011表示 腔体1和2为一对成对腔体，二进制数1100表示腔体3和4为一对成对腔 体。二进制数从左到右依次表示腔体4、 3、 2和1， 二进制数的某一位是l 表示该腔体在EN001菜单下为该二进制数所表示的成对腔体，二进制数的 某一位是0表示该腔体在EN001菜单下不是该二进制数所表示的成对腔体。
第三步，将第一步得到的二进制数Olll和第二步得到的二个二进制数 0011和1100分别进行AND(逻辑与)运算，得到二个二进制数0011和0100。 二进制数0011和0100之间再进行OR (逻辑或)运算，运算结果为二进制数Olll。运算结果0111从左到右依次表示腔体4、 3、 2和1， 二进制数的 某一位是1表示该腔体在当前状态及菜单中被选取，二进制数的某一位是0 表示该腔体在当前状态及菜单中未被选取。
最终，根据本发明所述方法，设备WPLUG-Ol根据菜单ENOOl以及当前 各腔体的实际状态选取腔体l、 2和3进行工艺加工。
通过上述方法将多腔体设备选取腔体转换为二进制数的逻辑运算，不 仅可以方便地在设备自动化程序中实现，而且具有极佳的扩展性。面对多 腔体设备所具有的腔体数目不断增加，或者多腔体设备的腔体选取规则曰 益复杂的情况下，传统的査询映射表的方法已经很难适应，而本发明所述 方法可以进行多层次的扩充和延伸，适应未来发展的需要。
权利要求
1. 一种多腔体设备选取腔体的方法，其特征是该方法包括如下步骤第一步，将多腔体设备的当前状态以二进制数表示，二进制数的每一位分别表示一个腔体的当前状态是否正常；第二步，将多腔体设备在当前菜单中的腔体选取规则以一个或多个二进制数表示；第三步，将第一步与第二步得到的二进制数进行逻辑运算，运算结果是二进制数，二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否被选取。
2. 根据权利要求1所述的多腔体设备选取腔体的方法，其特征是该 方法的第二步包括如下三种情况多腔体设备在当前菜单中的所有腔体具有相同的工艺处理能力时，其 腔体选取规则以一个二进制数表示，二进制数的每一位均为1;多腔体设备在当前菜单中具有关键腔体时，其腔体选取规则以一个二 进制数表示，二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否为关键腔体；多腔体设备在当前菜单中具有多对成对腔体时，其腔体选取规则以多 个二进制数表示，每个二进制数分别表示一对成对腔体，二进制数的每一 位分别表示一个腔体在当前菜单中是否为该二进制数所表示的一对成对腔 体。
3. 根据权利要求1所述的多腔体设备选取腔体的方法，其特征是该 方法的第三步包括如下两种情况第二步仅得到一个二进制数时，将第一步和第二步得到的二进制数进 行逻辑与运算，得到运算结果；第二步得到多个二进制数时，将第一步得到的二进制数和第二步得到 的多个二进制数分别进行逻辑与运算，运算后得到的多个二进制数之间再 进行逻辑或运算，得到运算结果。
4. 根据权利要求2所述的多腔体设备选取腔体的方法，其特征是该 方法的第二步中，多腔体设备在当前菜单中具有多对成对腔体时，表示其 腔体选取规则的多个二进制数的个数，与成对腔体的对数相同。
5. 根据权利要求1至4的任何一项所述的多腔体设备选取腔体的方法， 其特征是所述二进制数的位数等于多腔体设备所具有的腔体个数。
全文摘要
本发明公开了一种多腔体设备选取腔体的方法，该方法包括如下步骤第一步，将多腔体设备的当前状态以二进制数表示，二进制数的每一位分别表示一个腔体的当前状态是否正常。第二步，将多腔体设备在当前菜单中的腔体选取规则以一个或多个二进制数表示。第三步，将第一步与第二步得到的二进制数进行逻辑运算，运算结果是二进制数，二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否被选取。本发明通过数字化的方法来实现多腔体设备选取腔体，不仅可实现EAP系统对腔体的自动选取，还保证了方案的无限扩展性和灵活性。
文档编号G05B19/04GK101430547SQ20071009420
公开日2009年5月13日 申请日期2007年11月6日 优先权日2007年11月6日
发明者檀国节 申请人:上海华虹Nec电子有限公司