专利名称：一种pecvd设备中央计算机集成控制系统的制作方法
技术领域：
一种PECVD设备中央计算机集成控制系统技术领域[0001]本实用新型涉及PECVD设备，尤其是涉及一种PECVD设备中央计算机集成控制系统。
背景技术：
[0002]如今，PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ,等离子体增强化学气相沉积法)设备通常都设有工控机，通过工控机来控制PECVD设备的工作。但是，由于各工控机通常都相互独立工作，各工控机的工艺文件的上传、下载等需要分别进行，使用非常不方便。实用新型内容[0003]本实用新型为了解决现有技术PECVD设备的各工控机通常都相互独立工作，各工控机的工艺文件的上传、下载等需要分别进行，使用非常不方便的技术问题，提供了一种 PECVD设备中央计算机集成控制系统。[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为设计一种PECVD设备中央计算机集成控制系统，包括PECVD设备和设于PECVD设备内的若干台工控机，所述PECVD设备中央计算机集成控制系统还包括通过网线与所述各工控机相连的交换机和通过网线与所述交换机相连且与所述各工控机构成局域网的服务器。[0005]所述PECVD设备为一台，所述服务器为所述若干台工控机中的一台。[0006]所述PECVD设备为至少两台，所述交换机包括若干与所述PECVD设备一一对应的子交换机和与所述子交换机分别相连的主交换机，所述各PECVD设备对应的工控机分别与所述PECVD设备对应的子交换机相连，所述服务器为计算机，所述主交换机与所述计算机相连。[0007]本实用新型通过将PECVD设备的各工控机通过交换机和网线组成局域网，以通过局域网实现工艺文件的上传下载及石墨舟使用次数的统计工作，方便工艺人员调整工艺数据，使用非常方便。同时，还可对石墨舟清洗时机的判断起到良好的辅助作用。
[0008]下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中[0009]图1是本实用新型PECVD设备中央计算机集成控制系统的原理图；[0010]图2是本实用新型PECVD设备中央计算机集成控制系统的实施例一原理图；[0011]图3是本实用新型PECVD设备中央计算机集成控制系统的实施例二原理图。
具体实施方式
[0012]请参见图1。本实用新型PECVD设备中央计算机集成控制系统利用计算机局域网技术，将PECVD设备的各工控机组成一个局域网，另外配置一台计算机作为服务器或用其中任一台工控机兼作服务器，以实现工艺文件的上传下载及石墨舟使用次数的统计工作。 本实用新型PECVD设备中央计算机集成控制系统包括PECVD设备、设于PECVD设备内的若干台工控机、通过网线与所述各工控机相连的交换机和通过网线与所述交换机相连且与所述各工控机构成局域网的服务器。[0013]当多台PECVD设备组网时，在PECVD设备之外用一计算机作服务器，通过交换机和网线，用TCP/IP协议组成局域网；只有一台PECVD设备时，可利用PECVD设备上的工艺控制用工控机兼做服务器，通过交换机和网线，用TCP/IP协议组成局域网。[0014]请参见图2。该实施例中，PECVD设备中央计算机集成控制系统只包括一台PECVD 设备和若干台工控机，工控机包括工控机1、工控机2、……、工控机N，其中N为大于2的整数。服务器为若干台工控机中的一台，在本具体实施例中，工控机1兼服务器。[0015]请参见图2。该实施例中，PECVD设备为至少两台，分别为PECVD设备1、……、 PECVD设备L，L为大于1的整数，PECVD设备1对应连接工控机1、工控机2、……、工控机 N，其中N为大于2的整数，PECVD设备L对应连接工控机1、工控机2、……、工控机M，其中 M为大于2的整数。所述交换机包括若干与所述PECVD设备一一对应的子交换机和与所述子交换机分别相连的主交换机，即子交换机1、……、子交换机L，L为大于1的整数。所述各PECVD设备对应的工控机分别与所述PECVD设备对应的子交换机相连，所述服务器为计算机，所述主交换机与所述计算机相连。[0016]本实用新型通过将PECVD设备的各工控机通过交换机和网线组成局域网，以通过局域网实现工艺文件的上传下载及石墨舟使用次数的统计工作，方便工艺人员调整工艺数据，使用非常方便。同时，还可对石墨舟清洗时机的判断起到良好的辅助作用。[0017]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种PECVD设备中央计算机集成控制系统，包括PECVD设备和设于PECVD设备内的若干台工控机，其特征在于所述PECVD设备中央计算机集成控制系统还包括通过网线与所述各工控机相连的交换机和通过网线与所述交换机相连且与所述各工控机构成局域网的服务器。
2.根据权利要求1所述的PECVD设备中央计算机集成控制系统，其特征在于所述 PECVD设备为一台，所述服务器为所述若干台工控机中的一台。
3.根据权利要求1所述的PECVD设备中央计算机集成控制系统，其特征在于所述 PECVD设备为至少两台，所述交换机包括若干与所述PECVD设备一一对应的子交换机和与所述子交换机分别相连的主交换机，所述各PECVD设备对应的工控机分别与所述PECVD设备对应的子交换机相连，所述服务器为计算机，所述主交换机与所述计算机相连。
专利摘要本实用新型公开了一种PECVD设备中央计算机集成控制系统，旨在提供一种使用方便的PECVD设备中央计算机集成控制系统，其包括PECVD设备和设于PECVD设备内的若干台工控机，所述PECVD设备中央计算机集成控制系统还包括通过网线与所述各工控机相连的交换机和通过网线与所述交换机相连且与所述各工控机构成局域网的服务器。本实用新型可用于PECVD设备。
文档编号G05B19/418GK202331179SQ20112048719
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月30日 优先权日2011年11月30日
发明者易定方, 李时仲 申请人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司