专利名称：一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石英坩埚的制备技术领域，尤其是涉及ー种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统。
背景技术：
石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大規模集成电路必不可少的基础材料。其主要的エ艺流程为尤尼明高纯石英砂一高纯石墨模具一真空装料成型一真空电弧熔制一自然冷却脱模一石英坩埚初步检测一冷加工喷砂、切断、倒角一石英坩埚二次检测一超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干一石英坩埚三次检验一真空包装一成品入库。目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上ー层高纯度石英砂使其形成致密层，其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率。但是传统的人工手动加料，往往对エ人的要求很高，必须是熟练エ，否则会造成加料不均匀，生产出的坩埚不符合质量要求，而且人工加料还会造成生产效率低下，制造的坩埚重复性差，以及对人的依赖性高等缺点。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供ー种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其结构简单，设计合理，实现方便，使用操作简单，对人的依赖性低，生产效率高，分料均匀，制造的坩埚重复性好，适用于石英坩埚エ艺过程中的分料过程。为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是ー种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在干包括主控制器，与主控制器相接的触摸屏、第一变频器和第ニ变频器，与第一变频器相接并用于带动放置有石英坩埚模具的旋转台做旋转运动且使得石英砂在离心率的作用下附着在椎体侧壁上的第一电机，与第二变频器相接并用于带动分料槽做直线运动且使分料后的石英砂均匀附着在石英坩埚模具侧壁上的第二电机，以及用于检测第一电机转速的第一速度传感器和用于检测第二电机转速的第二速度传感器；所述 第一速度传感器和第二速度传感器均与主控制器的输入端相接。上述的ー种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于所述第一电机和第二电机均为步进电机。上述的ー种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于所述主控制器为可编程逻辑控制器。上述的ー种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于所述第一速度传感器和第二速度传感器均为非接触光电式速度传感器。本实用新型与现有技术相比具有以下优点I、本实用新型包括主控制器，与主控制器相接的触摸屏、第一变频器和第二变频器，与第一变频器相接并用于带动放置有石英坩埚模具的旋转台做旋转运动且使得石英砂在离心率的作用下附着在椎体侧壁上的第一电机，与第二变频器相接并用于带动分料槽做直线运动且使分料后的石英砂均匀附着在石英坩埚模具侧壁上的第二电机，以及用于检测第一电机转速的第一速度传感器和用于检测第二电机转速的第二速度传感器；本实用新型的结构简单，设计合理，实现方便。2、本实用新型通过第一电机使石英坩埚模具做高速旋转运动，保证了石英砂在离心率的作用下附着 在椎体侧壁。3、本实用新型的第二电机带动分料槽做直线运动，保证了分料后的石英砂能够均匀的附着在石英坩埚模具的侧壁。4、本实用新型能够通过触摸屏设置控制参数，使用操作简单。5、本实用新型的智能化程度高，对人的依赖性低，生产效率高，分料均匀，制造的坩埚重复性好，适用于石英坩埚工艺过程中的分料过程。综上所述，本实用新型的结构简单，设计合理，实现方便，使用操作简单，对人的依赖性低，生产效率高，分料均匀，制造的坩埚重复性好，适用于石英坩埚工艺过程中的分料过程。下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
图I为本实用新型的电路框图。附图标记说明I-主控制器；2-第一变频器； 3-第二变频器；4-第一电机；5-第二电机； 6-第一速度传感器；7-第二速度传感器；8-触摸屏。
具体实施方式
如图I所示，本实用新型包括主控制器1，与主控制器I相接的触摸屏8、第一变频器2和第二变频器3，与第一变频器2相接并用于带动放置有石英坩埚模具的旋转台做旋转运动且使得石英砂在离心率的作用下附着在椎体侧壁上的第一电机4，与第二变频器3相接并用于带动分料槽做直线运动且使分料后的石英砂均匀附着在石英坩埚模具侧壁上的第二电机5,以及用于检测第一电机4转速的第一速度传感器6和用于检测第二电机5转速的第二速度传感器7 ;所述第一速度传感器6和第二速度传感器7均与主控制器I的输入端相接。如图I所示，本实施例中，所述第一电机4和第二电机5均为步进电机。所述主控制器I为可编程逻辑控制器。所述第一速度传感器6和第二速度传感器7均为非接触光电式速度传感器。本实用新型的工作原理及工作过程是根据不同的模具侧壁周长可计算出电机的转动速度，通过操作触摸屏8设置控制参数，主控制器I根据触摸屏8上所输入的控制参数通过分析数据分别控制第一变频器2和第二变频器3，第一变频器2通过控制第一电机4使石英坩埚模具做高速旋转运动，保证石英砂在离心率的作用下附着在椎体侧壁，第二变频器3控制第二电机5带动分料槽做直线运动，使分料后的石英砂能够均匀的附着在石英坩埚模具的侧壁，完成整个分料过程。分料过程中，第一速度传感器6实时地采集第一电机4转速并将采集到数据传送给主控制器1，第二速度传感器7实时地采集第二电机5转速并将采集到数据传送给主控制器1，主控制器实时采集第一速度传感器6和第二速度传感器7所输出的数据并通过第一变频器2和第二变频器3实现了对第一电机4和第二电机5转速的闭环控制。 以上所述 ，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何限制，凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。
权利要求1.ー种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于包括主控制器(1)，与主控制器(I)相接的触摸屏(8)、第一变频器(2)和第二变频器(3)，与第一变频器(2)相接并用于带动放置有石英坩埚模具的旋转台做旋转运动且使得石英砂在离心率的作用下附着在椎体侧壁上的第一电机(4)，与第二变频器(3)相接并用于带动分料槽做直线运动且使分料后的石英砂均匀附着在石英坩埚模具侧壁上的第二电机(5)，以及用于检测第一电机(4)转速的第一速度传感器(6)和用于检测第二电机(5)转速的第二速度传感器(7);所述第一速度传感器(6)和第二速度传感器(7)均与主控制器(I)的输入端相接。
2.按照权利要求I所述的ー种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于所述第一电机⑷和第二电机(5)均为步进电机。
3.按照权利要求I或2所述的ー种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于所述主控制器(I)为可编程逻辑控制器。
4.按照权利要求I或2所述的ー种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于所述第一速度传感器(6)和第二速度传感器(7)均为非接触光电式速度传感器。
专利摘要本实用新型公开了一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，包括主控制器，与主控制器相接的触摸屏、第一变频器和第二变频器，与第一变频器相接并用于带动放置有石英坩埚模具的旋转台做旋转运动且使得石英砂在离心率的作用下附着在椎体侧壁上的第一电机，与第二变频器相接并用于带动分料槽做直线运动且使分料后的石英砂均匀附着在石英坩埚模具侧壁上的第二电机，以及用于检测第一电机转速的第一速度传感器和用于检测第二电机转速的第二速度传感器；第一速度传感器和第二速度传感器均与主控制器的输入端相接。本实用新型结构简单，使用操作简单，对人的依赖性低，生产效率高，分料均匀，制造的坩埚重复性好，适用于石英坩埚工艺过程中的分料过程。
文档编号G05B19/05GK202404408SQ201120501859
公开日2012年8月29日 申请日期2011年12月6日 优先权日2011年12月6日
发明者宋毅, 李文辉, 王 琦, 胡焕性 申请人:西安金诺光电科技有限公司