专利名称：一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法。
背景技术：
目前，在工厂实现大规模量产后，其产品的生产周期均是由人工控制，即当发现某lot的准时交货时间有问题时，只能通过人工方式改变该lot的优先权，以使得该lot能够准时交货；但由于是人工控制，而且都是当lot的交货时间可能滞后才对lot的优先级进行调控，很容易由于调控不当或时间紧迫，需要付出成倍的人力和产能才能准时交货，甚至有些lot的生产周期失控根本就无法赶上交货时间，从而严重影响准时交货率。 图I是本发明背景技术中由于生产周期失控造成不良影响的示意图；如图I所示，当客户将大量订单交付给工厂后，由于线上产品多且复杂，人工调控不当易造成生产周期的失控，进而影响产品的准时交货率，最终造成客户满意度的降低而丧失订单，使得工厂蒙受巨大的损失；如某一 lot的优先级是4，但由于在某个站点进程(process)问题被耽搁(hold)两天,当恢复进程(release)后没有被注意到,势必会影响该lot的准时交货率。图2是本发明背景技术中采用人工控制的产品生产周期的正态分布图，纵轴表示lot数量比例，横轴表示生产周期(单位为天/光罩层)；如图2所示，方框a中的曲线表示生产周期超速部分，会造成产能的浪费，而方框b中的曲线则表示生产周期较差，即生产周期失控部分，失控的异常值会大大影响产品的准时交货率；所以，要想控制生产周期的失控及产能的浪费，要将方框a和b中的曲线想中间部分收敛才行。
发明内容
针对上述存在的问题，本发明揭示了一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法(A effective Fab cycle time control method),主要是通过自动设定并及时更新每个lot的紧迫系数，自动调控站点上每个lot的优先级。
本发明的目的是通过下述技术方案实现的
本发明一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，
于一站点上，对已送达的所有lot进行组别划分；
确认每个lot的交货期；
计算每个lot的紧迫性系数；
根据所述紧迫性系数重新赋予上述每个lot的优先级；
根据优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺。上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，进行所述组别划分时去除紧急批次的lot和异常的lot，紧急批次的lot先于设定有优先级的lot进行该站点的制程工艺。上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，所述异常的lot包括缓存批次lot，有划痕的lot和刻意减缓进度的lot。上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，所述每个lot的交货期采用公式D=Di+Z+N进行确定，D为lot的交货期，D1为lot的下线日期，Z为lot承诺的生产周期，N为缓存天数。上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，采用公式C= (D-D2)/ (S-X)计算每个lot的紧迫性系数，C为lot的紧迫性系数，D为lot的交货期，D2为当前日期，S为lot的制程总站点数，X为lot已完成站点数。上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，lot的优先级级别数与该lot的紧迫性系数成反比。上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，每隔一定时间后，重复上述步骤以重新确定该站点送达的每个lot的优先级。 上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，每隔12个小时，重复重新确定该站点送达的每个lot的优先级一次。上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，根据所述紧迫性系数可赋予上述lot为紧急批次。上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，根据所述紧迫性系数赋予上述lot为紧急批次时，交货期小于或等于当前日期的值。上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，通过如计算机等自动控制装置实现每个站点上各个lot优先级的重新赋予及更新，以实现对产品生产周期自动优化处理的目的。综上所述，本发明一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，通过采用紧迫性系数对已送达至某一站点的所有lot重新赋予优先级，并根据该重新赋予的优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺，在提高产能效率的基础，有效控制产品生产周期的失控，进而提升产品的准时交货率。
图I是本发明背景技术中由于生产周期失控造成不良影响的示意 图2是本发明背景技术中采用人工控制的产品生产周期的正态分布图，纵轴表示lot数量比例，横轴表示生产周期(单位为天/光罩层)；
图3是本发明有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法的流程示意 图4是本发明有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法中的优化优先级的表格；图5是经过本发明有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法控制后的生产周期正态分布图，纵轴表示lot数量比例，横轴表示生产周期(单位为天/光罩层)。
具体实施例方式 下面结合附图对本发明的具体实施方式
作进一步的说明
如图3-4所示，本发明一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，适用于半导体晶圆生产的各个过程
首先，在一工艺站点上，对已经送达至该站点的所有批次的产品(lot)进行组别划分，如去除已承诺客户的紧急批次(Bullet/Hot)的lot和异常的lot，且该紧急批次的lot的派工优先权先于设定有优先级的lot ;其中，异常的lot包括如缓存批次(Future Bank)lot、有划痕(Scrap)的lot和刻意减缓进度(Slow Down)的lot等。其次，根据lot的下线日期D1、承诺的生产周期Z和该lot的缓存(Bank)天数N，并利用公式D=Di+Z+N，来确定每该站点此时每个lot的交货期D的具体日期。然后，根据确定的交货期D的值，利用公式C= (D-D2)/ (S-X)来计算每个lot的紧迫性系数(Critical Ratio), C为lot的紧迫性系数，D为lot的交货期，D2为当前日期，S为lot的制程总站点数(工艺总Stage数目)，X为lot已完成站点数(已完成Stage数目)，且S大于等于X。之后，根据每个lot的紧迫系数对所有的lot重新进行优先级赋值，由于紧迫系数与优先级成反比，即紧迫系数越小，说明该lot的交货紧急度越高，其派工的优先级别也就越闻。 最后，根据各个lot的优先级级别，该站点依次对各个lot进行制程工艺。优选的，每隔一段时间后，针对已到达该站点的所有lot重复进行优先级的赋值，如可以每隔12个小时进行一次lot优先级别的更新，并更加更新后的优先级对该站点的lot进行派工顺序。如图4所示，Lot ID为A000001的lot，其交货期D为2011年10月I日，剩余站点数(S-X)的值为59，设定的当前日期D2为2011年10月15日，则该lot的紧迫系数C=14/59=0. 2372881,保留小数点后两位有效数据，四舍五入后,该lot的紧迫系数的值C为
0.24。重复上述针对Lot ID为A000001的lot的紧迫系数计算的步骤,得出此时该站点所有的lot的紧迫系数Lot ID为A000002的lot的紧迫系数为0. 56,Lot ID为A000002的lot的紧迫系数为O. 33、Lot ID为A000002的lot的紧迫系数为I. 15、Lot ID为A000002的lot的紧迫系数为O. 41和Lot ID为A000002的lot的紧迫系数为O. 81 ;根据上述的各个lot的紧迫性系数确定Lot ID为A000001的lot的优先级为1，同样其余lot对应紧迫系数的优先级依次为4、2、6、3和5 ;最后，根据各个lot的优先级进行该站点的派工顺序。如图5所示，采用本发明有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法后，使得产品的生产周期得到合理的优化，使得产能较低的小生产周期和严重影响准时交货率的大生产周期的产品数量比值大大降低，从而在提高产能效率的同时，提升了产品的准时交货率。进一步的，由于耽搁的时间过长，可能造成lot的交货期已经过期货，造成交货期D的值小于或等于当前日期D2的值，此时，则设定该lot为紧急批次以先于目前所有交货期还没到的lot进行工艺，以最大程度的提升产品的准时交货率。上述的各个工艺步骤，是基于如计算机等自动控制设备的基础上对每个站点上各个lot优先级的重新赋予及更新，以实现对产品生产周期自动优化处理的目的。综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明实施例提出一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，通过采用紧迫性系数对已送达至某一站点的所有lot重新赋予优先级，并根据该重新赋予的优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺，在提高产能效率的基础，有效控制产品生产周期的失控，进而提升产品的准时交货率。通过说明和附图，给出了具体实施方式
的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。
对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
权利要求
1.一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于， 于一站点上，对已送达的所有lot进行组别划分； 确认每个lot的交货期； 计算每个lot的紧迫性系数； 根据所述紧迫性系数重新赋予上述每个lot的优先级； 根据优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺。
2.根据权利要求I所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，进行所述组别划分时去除紧急批次的lot和异常的lot，紧急批次的lot先于设定有优先级的lot进行该站点的制程工艺。
3.根据权利要求2所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，所述异常的lot包括缓存批次lot,有划痕的lot和刻意减缓进度的lot。
4.根据权利要求I所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，所述每个lot的交货期采用公式D=Di+Z+N进行确定，D为lot的交货期，D1为lot的下线日期，Z为lot承诺的生产周期，N为缓存天数。
5.根据权利要求I所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，采用公式C= (D-D2) / (S-X)计算每个lot的紧迫性系数，C为lot的紧迫性系数，D为lot的交货期，D2为当前日期，S为lot的制程总站点数，X为lot已完成站点数。
6.根据权利要求I所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，lot的优先级级别数与该lot的紧迫性系数成反比。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，每隔一定时间后，重复上述步骤以重新确定该站点送达的每个lot的优先级。
8.根据权利要求7所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，每隔12个小时，重复重新确定该站点送达的每个lot的优先级一次。
9.根据权利要求7所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，根据所述紧迫性系数可赋予上述lot为紧急批次。
10.根据权利要求8所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，根据所述紧迫性系数赋予上述lot为紧急批次时，交货期小于或等于当前日期值。
全文摘要
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法。本发明提出一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，通过采用紧迫性系数对已送达至某一站点的所有lot重新赋予优先级，并根据该重新赋予的优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺，在提高产能效率的基础，有效控制产品生产周期的失控，进而提升产品的准时交货率。
文档编号G05B19/418GK102945030SQ20121043520
公开日2013年2月27日 申请日期2012年11月2日 优先权日2012年11月2日
发明者严丽辉, 赵伟, 柯陈宾 申请人:上海华力微电子有限公司