专利名称：掩模交易系统及方法
技术领域：
本发明涉及一种通过网络进行制造半导体装置用的光掩模(plotomask)的交易的掩模交易系统及方法。
伴随着半导体回路的高度集成化及微小化，在上述的掩模交易中产生了几个问题。首先，由于掩模购买者要求的规格非常严格，掩模制造的成品率降低，价格升高。另外，伴随微小化的发展，曝光过程随着光邻近效应(OPE)的增大而发生变化，用以往的掩模制造工厂的完成检查，判断掩模制品是否满足掩模购买者的要求很难。
具体的说，例如，掩模上的图案拐角部分的二维形状对晶片上的图案形成影响很大，该影响程度依赖于在曝光过程中使用的曝光装置及保护层材料。因此，在掩模制造工厂中判断掩模购买者可以容许完成到哪一程度是非常困难的。
另外，即使涉及多方面的掩模的全部规格项目(尺寸、缺陷、渗透率及相位差等)都不满足时，在特定的限制下掩模购买者也可以使用掩模。例如，即使掩模上有缺陷，但若晶片上的图案形状的完成已经确认，掩模购买者依然可以充分使用该掩模。此时，预期等待完美的掩模的完成，不如边使用不完美的掩模边开始晶片处理，这样合计的成本有可能产生价值。
本发明鉴于以往技术的问题点，目的在于提供一种根据掩模购买者与掩模销售者之间密切的信息交换，可以更正确地判断掩模制品可否的掩模交易系统及其方法。
本发明的第2方面为用于交易制造半导体装置用的光掩模，利用具有通过网络与掩模购买者进行信息交换的购买中介部、与掩模销售者进行信息交换的销售中介部的系统进行的掩模交易方法，其特征在于，该方法包括存储通过上述购买中介部输入的包含掩模规格的掩模制作订购信息的步骤；存储通过上述销售中介部输入的形状图像的步骤，该形状图像为，显示根据上述掩模规格在掩模制造工厂制作的掩模制品中，图案拐角部分的二维形状的形状图像；以及通过上述购买中介部向上述掩模购买者提供上述形状图像的步骤。
本发明的第3方面为用于交易制造半导体装置用的光掩模，利用具有通过网络与掩模购买者进行信息交换的购买中介部、与掩模销售者进行信息交换的销售中介部的系统进行的掩模交易方法，其特征在于，该方法包括将通过上述购买中介部输入的包含掩模规格的掩模制作订购信息存储于上述系统的步骤；通过上述购买中介部从上述系统向掩模制造工厂传送上述掩模制作订购信息的步骤；在掩模制造工厂中根据上述掩模的规格制作掩模制品的步骤；形成显示上述掩模制品中图案拐角部分的二维形状的形状图像的步骤；存储通过销售中介部向系统中输入的上述形状图像的步骤；通过上述购买中介部从上述系统向上述掩模购买者提供上述形状图像的步骤；向上述掩模购买者提供上述形状图像后，通过上述购买中介部让掩模购买者选择是购买上述掩模制品还是根据上述掩规格重新制作的选择步骤。
而且，本发明的实施方式中包括各种阶段的发明，在被公开的多个构成要件中根据适当的组合提取得到各项发明。例如，实施方式中所示的，从全构成要件中省略几个构成要件而将发明提取的情况下，在实施该被提取的发明时可以用众所周知的惯用技术适当地补充省略部分。
图2表示的是使用
图1所示的系统进行的掩模交易方法的业务流程的流程图。
图3表示的是输入掩模制作订购时，向掩模购买者显示的画面。
图4表示的是选择是否让掩模进行制作时，对掩模购买者显示的画面。
图5表示的是向掩模购买者显示检查数据及形状图像的画面。
图6表示的是在图5所示的画面中，选择了「转印模拟」时，向掩模购买者显示的画面。
图7表示的是向掩模购买者询问如何进行掩模交易时的显示画面。
图8表示的是计算出掩模制品的再设定价格后向掩模购买者显示的画面。符号说明12网络14使用者终端20掩模交易系统的主机装置22购买代理(购买中介部)24销售代理(销售中介部)26接受订购部28计算部30进行选择部32制作指示部34检查数据提供部36图像提供部38模拟部40数据库42制作订购文件44缴纳期限信息文件46价格信息文件48检查数据文件50图像数据文件
52转印信息文件60掩模制造工厂在本实施方式中，掩模交易系统的主机装置(掩模工厂，マスクハウス)20被设置在通过网络12，特别是互联网(公众通信线路网)的传送线路，由个人电脑等构成的使用者终端14可以访问的场合。因此，主机装置20，即主计算机(Web服务器、应用服务器、数据库服务器)，具有作为对掩模购买者(顾客用户或代理其的营业员)进行信息交换的窗口的购买代理(购买中介部)22，其与网络12连接。另外，主机装置20还具有，作为对掩模制造销售者的掩模制造工厂60进行信息交换的窗口的销售代理(销售中介部)24，将其与通向掩模制造工厂60专用线路62连接。而且，图中符号16、18分别表示调制解调器、连接服务器。
主机装置20中附设数据库40，在数据库40中则形成制作订购文件42、缴纳期限信息文件44、价格信息文件46、检查数据文件48、图像数据文件50和转印信息文件52等。在制作订购文件42中存储通过购买代理输入的包括掩模规格(在本实施方式中包括检查说明)、数量及希望缴纳期限等信息的掩模制作订购信息。而且，掩模购买者与销售者之间，预先设定掩模制品名称及制品号码的情况下，可以用掩模制品的名称及制品号码代替掩模的规格。缴纳期限信息文件44中存储包括掩模制作状态与掩模的缴纳期限之间关系的缴纳期限信息。价格信息文件46中，存储包含掩模制作状态与掩模价格之间关系及掩模制品所产生问题的程度与掩模再设定价格之间关系的价格信息。
检查数据文件48中，存储通过销售代理24输入的，在掩模制造工厂60所制作的掩模制品的检查数据。检查数据中包括形成掩模制品的布线范围的面内均一性、掩模上所产生的缺陷相关的数据，还包括在移相掩模(plase shift mask)的情况下穿透率、相位差相关的数据。图像数据文件50存储根据掩模规格在掩模制造工厂60制作的掩模制品中的图案拐角部，例如显示开口部的拐角部的二维形状的形状图像，例如扫描型电子显微镜(SEM)照片上的数据。检查数据及形状图像在掩模制造工厂60或另设的检查部门制作成，通过销售代理输入。而且，检查数据等的内容依赖于掩模购买者输入的掩模制作订购中的检查说明等，可以进行适当的变更。转印信息文件52中存储包括使用掩模的曝光装置的规格，例如曝光的光波长及NA(开口数)，和用各种方式进行图案曝光时得到的转印图像(転写イメ一ジ)之间关系的转印信息。
利用数据库40中所存储的上述信息，为实现掩模购买者与掩模销售者之间的第1阶段的中介，主机装置20设有接受订购部26、计算部28、制造指示部32等。接受订购部26通过购买代理22接受掩模购买者输入的上述掩模制作订购。计算部28则参照上述价格信息及缴纳期限信息，响应掩模制作订购，算出掩模制品的预定缴纳期限及预定价格。计算出的预定缴纳期限及预定价格由接受订购部26通过购买代理22，向购买者传送，用于选择是否进行掩模的制作。制作指示部32在接受订购部26中选择让掩模的制作进行时，通过销售代理24向掩模制造工厂60传送掩模制作订购的信息。
然后，利用数据库40中所存储的上述信息，为实现掩模购买者与掩模制造工厂60之间的第2阶段的中介，主机装置20设有检查数据提供部34、图像提供部36、模拟部38及进行选择部30等。检查数据提供部34及图像提供部36通过购买代理22，分别向掩模购买者提供上述检查数据及形状图像。模拟部38根据掩模购买者的希望，制作出在制作的掩模制品中利用上述形状图像曝光时的转印图像。为此，模拟部38通过购买代理22，使掩模购买者输入预定使用的曝光装置的规格，例如曝光装置名称或曝光光波长及NA(开口数)，并响应这些信息，参照上述转印信息制作成转印图像。转印图像通过购买代理22由图像提供部36提供给掩模购买者。
模拟部38向掩模购买者提供形状图像，以及根据希望提供转印图像后，进行选择部30通过购买代理22，使得掩模购买者选择是购买掩模制品、还是重新设定掩模制品的价格、还是根据掩模规格重新制作掩模。进行选择部30还具有输入重新设定掩模制品价格的理由的装置，这些理由例如掩模规格中图案拐角部或缺陷相关的条件不合适等的理由。重新设定掩模制品价格，例如在存在掩模制品与规格不符合问题可以接受等情况下有效。在进行选择部30中选择了重新进行掩模制作时，制作指示部32通过销售代理24向掩模制造工厂60指示掩模重新制作。
在掩模制造工厂60中，掩模的制造流水线由计算机等构成的制造流水线管理部64进行管理。对于掩模交易系统的主机装置20，掩模制造工厂60仅由计算机等构成的数据管理部66连接。制造流水线管理部64及数据管理部66连接到共同的工厂数据库68上。在工厂数据库68中，存储与掩模交易系统的主机装置20间交换的信息，即上述掩模购买者输入的掩模制作订购、制造流水线的流水线信息、掩模制品的检查数据和图案拐角部的形状图像等。
图2是表示使用图1所示的系统进行的掩模交易方法的业务流程的流程图。以下参照图2对本发明的实施方式相关的掩模交易方法进行说明。
首先，掩模购买者通过网络12将使用者终端14与掩模交易系统的主机装置20连接。在此，若连接中设定必须的ID及通行口令，可以只允许存在合同关系的特定使用者访问主机装置。其次，掩模购买者将包含掩模规格(本实施方式中包括检查说明)、数量及希望缴纳期限等信息的掩模制作订购，通过购买代理22输入到接受订购部26(步骤G1)。
图3表示的是输入掩模制作订购信息时，向掩模购买者显示的画面。由于其中进行交易的光掩模为移相掩模，掩模规格中包括「尺寸(形成掩模制品的布线范围的面内均一性)」及「缺陷(掩模制品上所发生的缺陷)」的其他、「穿透率」以及「相位差」。「制品名称」在掩模购买者与掩模制造工厂60之间预先设定掩模制品名称及制品号码的情况下可以使用。即，根据情况，可以用掩模制品名称和制品号码代替掩模规格的信息。
一旦输入掩模制作订购，接受订购部26则判断是否能够制作订购的掩模。不能制作掩模时，将该意思向掩模购买者传送，交易不成立。由于这一点不是本实施方式的特征点，在此省略说明。可以制作掩模时，接受订购部26将掩模制作订购信息向计算部28传送。计算部28参照价格信息文件46及缴纳期限信息文件44内的价格信息及缴纳期限信息，计算出掩模制品的预定缴纳期限及预定价格(步骤G2)。接受订购部26通过购买代理22，向掩模购买者传送(显示)计算出的预定缴纳期限及预定价格(步骤G2)，使其选择是否进行掩模的制作(步骤G3)。
图4表示选择是否进行掩模制作时，对掩模购买者显示的画面。图4所示的画面中，选择了「不知道(不进行制作)」时，交易不成立。另外，在图4所示的画面中选择了「知道(进行制作)」时，主机装置20将确认的掩模制作订购信息与预定缴纳期限和预定价格共同存储于制作订购文件42中。制作指示部32通过销售代理24，向掩模制造工厂60的数据管理部66传送掩模制作订购信息(步骤G4)。
数据管理部66一旦接收掩模制作订购信息，就向制造流水线管理部64发出制作指示。制造流水线管理部64基于此，在制造流水线中进行掩模制品的制作(步骤G5)。掩模制品完成后，在掩模制造工厂60中进行同一制品的检查，制作成检查数据及形状图像(步骤G6)。检查数据依据掩模的规格，例如由布线范围的面内均一性、缺陷、穿透率及相位差相关的数据构成。形状图像则由显示掩模制品中图案拐角部的二维形状的扫描型电子显微镜(SEM)照片的数据构成。
掩模制造工厂60的数据管理部66，在与该掩模制作订购之间的对应关系明确的情况下，通过销售代理24将检查数据及形状图像输入主机装置20中。主机装置20将输入的检查数据及形状图像存储于数据库40的检查数据文件48及图像数据文件50中。并且检查数据提供部34及图像提供部36通过购买代理22，将这些等的数据传送(显示)给掩模购买者(步骤G7)。掩模购买者看检查数据及形状图像，判断该掩模制品是否可以使用(步骤G8)。
图5为向掩模购买者显示检查数据及形状图像的画面。图5中「平均值」表示掩模制品的布线范围，「max-min」表示布线范围的最大值与最小值之差。而且，图5中作为形状图像显示多个长方形开口部，即，其中各开口部的4个角为图案拐角部。图案拐角部并不仅限于开口部的角，也可以是布线的折曲部分和开口部包围的实心部分的角。
掩模购买者用图5所示的SEM照片，不能判断掩模是否可以使用时，掩模购买者在图5所示的画面中选择「转印模拟」，可以要求利用该形状图像曝光的情形的转印图像(步骤G9)。接受该要求时，模拟部38通过购买代理22，向掩模购买者询问预定使用的曝光装置的规格。一旦输入预定使用的曝光装置的规格，模拟部38参照转印信息文件52内的转印信息，制作成转印图像(步骤G10)。转印图像通过购买代理22由图像提供部36提供给掩模购买者。
图6表示的是在图5所示的画面中，选择了「转印模拟」时，向掩模购买者显示的画面。图6所示的画面的左侧显示的形状图像的下面所设的曝光装置规格的栏内(在这里指曝光装置的名称，或曝光光波长及NA(开口数))输入信息，图6所示的画面右侧显示转印图像。图6中，用转印图像可以一目了然地了解开口部的角很圆。根据这些信息，掩模购买者可以简单准确地判断掩模制品是否可以使用。
掩模购买者根据图5所示的检查数据及形状图像，并且必要时参考图6所示的转印图像，选择该掩模交易如何进行(步骤G11)。具体的讲，进行选择部30通过购买代理，向掩模购买者询问并使其选择是购买掩模、重新设定掩模价格还是根据掩模规格重新制作。此时，掩模购买者可以将掩模制品价格重新设定的理由，例如掩模规格内、图案拐角部或与缺陷相关的条件不符合的理由，合并输入。掩模制品的价格重新设定如前所述，虽然掩模制品存在与规格不符合的问题，但在希望购入掩模制品时有效。因此，可以避免掩模制品的浪费。
图7表示的是向掩模购买者询问如何使掩模交易进行时的显示画面。图7所示的画面中选择(A)时(步骤G12)，进行选择部30将其作为掩模购买请求接收，并向掩模制造工厂60传送。之后，在掩模制造工厂60中经过掩模制品发货(步骤G15)，掩模购买者进行领取掩模制品及支付掩模货款。
在图7所示的画面中选择(B)时(步骤G13)，进行选择部30将其移交给制作指示部32。制作指示部32通过销售代理24，向掩模制造工厂60的数据管理部66传送掩模重新制作的指示。数据管理部66一旦接受掩模制作订购，就向制造流水线管理部64发出重新制作的指示。制造流水线管理部64根据此，在制造流水线上进行掩模制品的重新制作(G16)。而且，重复上述检查步骤(步骤G6)以后的步骤。
图7所示的画面中选择(C)时(步骤G14)，进行选择部30将其交给计算部28移管。计算部28参照价格信息文件46中的价格信息，计算出掩模制品的重新设定价格(步骤G17)。进行选择部30通过购买代理22，将计算出的再设定价格向掩模购买者传送(显示)(步骤G17)，使其选择是否确认(步骤G18)。而且，在图7所示的画面的(C)的「项目」一栏的事项，对应不符合条件的理由，掩模购买者可以任意选择。代替地，主机装置20一侧，根据掩模制作订购信息中包含的掩模规格，也可以自动设定使其仅反回显示该事项。
图8表示的是计算出掩模制品的再设定价格后向掩模购买者显示的画面。图8所示的画面中选择「知道」时(步骤G19)，进行选择部30将其作为掩模购买请求接收，向掩模制造工厂60传送。之后，在掩模制造工厂60中经过掩模制品发货(步骤G15)，掩模购买者进行领取掩模制品及支付掩模货款。另一方面，图8所示的画面中选择「不知道」时(步骤G20)，进行选择部30将其作为掩模重新制作请求接收，交到再制作指示部32移管。制作指示部32通过销售代理24，将掩模重新制作指示传送给掩模制造工厂60的数据管理部66。
而且，在上述本发明的实施方式中，要求进行转印图像的模拟后，输入预定使用的曝光装置的规格。但是，在输入掩模制作订购信息时，将曝光装置的规格合并输入也可以。在主机装置20中未配置转印图像的模拟部30时，在掩模购买者一侧进行转印图像的模拟也可以。此时，掩模购买者通过购买代理22，可以将作为图5所示的SEM照片的形状图像输入终端14中。
在上述实施方式中，虽然掩模交易系统的主机装置20仅与1个掩模制造工厂60连接，但也可以将多个掩模制造工厂并联或串联地与主机装置20连接。还有，掩模交易系统的主机装置20仅与1个掩模制造工厂60连接时，掩模制造工厂60的数据管理部66与掩模交易系统的主机装置20可以一体化。
另外，在本发明的思想范畴中，本领域技术人员可以想到的各种变化及修改，这些变化及修改均属于本发明的范围。
如上所述，如果采用本发明，可以提供一种依据掩模购买者与掩模贩卖者之间密切的信息交换，更准确地判断掩模制品的可否的掩模交易系统及方法。
权利要求
1.一种用于交易制造半导体装置用的光掩模的系统，其特征在于，该系统包括购买中介部，用于通过网络与掩模购买者进行信息交换；销售中介部，与掩模销售者进行信息交换；制作订购存储部，用于存储包括通过上述购买中介部输入的掩模规格的掩模订购；图像存储部，用于存储通过上述销售中介部输入的形状图像，该形状图像为依据上述掩模规格在掩模制造工厂制作的掩模制品中，显示图案拐角部分的二维形状的形状图像；以及图像提供部，用于通过上述购买中介部向上述掩模购买者提供上述形状图像。
2.如权利要求1中所述的掩模交易系统，其特征在于，该系统还设有根据曝光装置的规格，制作成利用上述具有形状图像的图案拐角部曝光时的转印图像的模拟部；上述图像提供部通过购买代理向上述掩模购买者提供上述转印图像。
3.如权利要求2中所述的掩模交易系统，其特征在于，上述模拟部通过上述购买代理使得掩模购买者输入上述曝光装置的规格。
4.如权利要求1至3中任意一项所述的掩模交易系统，其特征在于，该系统还具有检查数据存储部，用于存储通过上述销售代理输入的上述掩模制品中缺陷的检查数据；以及检查数据提供部，用于通过上述购买代理向上述掩模购买者提供上述检查数据。
5.如权利要求1至3中任意一项所述的掩模交易系统，其特征在于，该系统还具有，向上述掩模购买者提供上述形状图像后，通过上述购买代理部让掩模购买者选择是购买上述掩模制品，还是根据上述掩模的规格重新制作掩模的进行选择部。
6.如权利要求5中所述的掩模交易系统，其特征在于，上述进行选择部还让掩模购买者选择是否重新设定上述掩模制品的价格。
7.如权利要求6中所述的掩模交易系统，其特征在于，上述进行选择部具有输入重新设定上述掩模制品价格的理由的装置。
8.一种用于交易制造半导体装置用的光掩模的掩模交易方法，该方法是利用具有通过网络与掩模购买者进行信息交换的购买中介部、和与掩模销售者进行信息交换的销售中介部的系统进行的，其特征在于，该方法包括存储通过上述购买中介部输入的包含掩模规格的掩模制作订购的步骤；存储通过上述销售中介部输入的形状图像的步骤，该形状图像为，显示根据上述掩模规格在掩模制造工厂制作的掩模制品中，图案拐角部的二维形状的形状图像；以及通过上述购买中介部向上述掩模购买者提供上述形状图像的步骤。
9.如权利要求8中所述的掩模交易方法，其特征在于，该交易方法还包括根据曝光装置的规格，由上述系统制作成利用上述具有形状图像的图案拐角部曝光时的转印图像的步骤；以及通过上述购买中介部向上述掩模购买者提供上述转印图像的步骤。
10.如权利要求9中所述的掩模交易方法，其特征在于，该方法还包括通过上述购买中介部让上述掩模购买者输入上述曝光装置规格的步骤。
11.如权利要求8至10中任意一项所述的掩模交易方法，其特征在于，该方法还包括存储通过上述销售中介部输入的上述掩模制品中缺陷的检查数据的步骤；以及通过上述购买中介部向上述掩模购买者提供上述检查数据的步骤。
12.如权利要求8至10中任意一项所述的掩模交易方法，其特征在于，该方法还包括，向上述掩模购买者提供形状图像后，通过上述购买中介部让掩模购买者选择是购入上述掩模制品，还是根据上述掩模的规格重新制作掩模的选择的选择步骤。
13.如权利要求12中所述的掩模交易方法，其特征在于，上述选择步骤还让上述掩模购买者选择是否重新设定上述掩模制品的价格。
14.如权利要求13中所述的掩模交易系统，其特征在于，上述选择步骤包括输入重新设定上述掩模制品价格的理由的步骤。
15.一种用于交易制造半导体装置用的光掩模的掩模交易方法，该方法是利用具有通过网络与掩模购买者进行信息交换的购买中介部、和与掩模销售者进行信息交换的销售中介部的系统进行的，其特征在于，该方法包括将通过上述购买中介部输入的包含掩模规格的掩模制作订购存储于上述系统的步骤；通过上述购买中介部从上述系统向掩模制造工厂传送上述掩模制作订购的步骤；在掩模制造工厂中根据上述掩模的规格制作掩模制品的步骤；形成显示上述掩模制品中图案拐角部的二维形状的形状图像的步骤；存储通过销售中介部在系统中输入的上述形状图像的步骤；通过购买中介部从所述系统向上述掩模购买者提供上述形状图像的步骤；以及向掩模购买者提供形状图像后，通过上述购买中介部让掩模购买者选择是购买上述掩模制品，还是根据上述掩模规格重新制作掩模的选择步骤。
16.如权利要求15中所述的掩模交易方法，其特征在于，上述选择步骤还让上述掩模购买者选择是否重新设定上述掩模制品的价格。
17.如权利要求8中所述的掩模交易方法，其特征在于，该交易方法还包括根据曝光装置的规格，由上述系统制作成利用上述具有上述形状图像的图案拐角部曝光时的转印图像的步骤；以及通过上述购买中介部向上述掩模购买者提供上述转印图像的步骤。
全文摘要
本发明的掩模交易系统和方法通过掩模购买者与掩模销售者之间密切的信息交换，可以更正确地判断掩模可否。掩模交易系统的主机装置20，具有通过网络与购买者进行信息交换的购买代理22、和与销售者进行信息交换的销售代理24。将通过购买代理22输入的包括掩模规格的掩模制作订购，存储于制作订购文件42中。主机装置20还具有存储显示掩模制品中图案拐角部的二维形状的形状图像的图像数据文件50。形状图像通过销售代理24输入。形状图像通过销售代理22，由图像提供部36提供给掩模购买者。
文档编号G06Q30/06GK1410926SQ0214275
公开日2003年4月16日 申请日期2002年9月20日 优先权日2001年9月21日
发明者野昌史, 奥村勝弥, 小谷敏也, 池田隆洋 申请人:株式会社东芝