利用脚本剖析工具自动生成和/或处理光掩模订单的系统和方法

专利名称：利用脚本剖析工具自动生成和/或处理光掩模订单的系统和方法
技术领域：
本发明主要涉及利用脚本剖析工具生成和/或处理光掩模订单的系统和 方法。特别地，本发明涉及可生成光掩模订单的软件化应用，其中该光掩模 订单可转换为光掩模制造商的处理系统以制造光掩模。
背景技术：
光掩模为包含精微电子电路图像的高精度板。光掩模通常由一侧具有铬层的石英或玻璃的极平片制成。在铬中蚀刻为电子电路设计的一部分。掩模上的电路设计也称为"几何构型"。在半导体器件制造中使用的典型光掩模由"空白的"或"未显影的"光掩模形成。如图1所示，典型的空白光掩模10包含3或4层。第一层ll为 石英或其它全透明材料层， 一般被称作衬底。下一层通常为例如Cr之类不 透明材料12的层，其常常包括例如CrO之类为抗反射材料13的第三层。在 任何给定的光掩模中，可包括也可不包括抗反射层。顶层通常为光敏抗蚀剂 材料14的层。已知且常用的其它类型光掩模包括但不限于相移掩模、嵌入 式衰卩咸相移掩丰莫(embedded attenuated phase shift mask， "EAPSM")、以 及交替孔径相移掩模(alternating aperture phase shift mask, "AAPSM")。 制造光掩模的过程包括很多步骤，并可能是耗费时间的。关于这点，为 了制造光掩模，待产生在光掩模10上的不透明材料12的期望图案通常由载 入到曝光系统的电子数据文件来定义，该曝光系统通常扫描以光栅或矢量方 式穿过空白光掩模的电子束(E-beam)或激光束。在Collier的美国专利No. 3，卯0,737中，介绍了这种光栅扫描曝光系统的一个实例。独特的曝光系统均 具有自身特有的用于处理数据的软件和格式，以在曝光空白光掩模时指示设 备。当电子束或激光束被扫描穿过空白光掩模10时，曝光系统将电子束或 激光束指向由电子数据文件所定义的光掩模上的可寻址位置。曝光于电子束 或激光束的光敏抗蚀剂材料区域变成可溶的，而未曝光部分保持为不可溶的。为了确定电子束或激光束应该曝光空白光掩模IO上的光致抗蚀剂14的 哪一部分以及不应该曝光哪一部分，需要为处理设备提供作业卡片组(jobdeck)形式的适当指示。如图2所示，在曝光系统己将期望图像扫描在光敏抗蚀剂材料14上之 后，通过现有技术中已知的手段来去除可溶的光敏抗蚀剂材料，而未曝光的、 不可溶的光敏抗蚀剂材料14'仍然粘附于不透明材料13和12。这样，待形 成在光掩模IO上的图案通过剩余的光敏抗蚀剂材料14'形成。该图案随后经由已知的蚀刻工艺从剩余的光致抗蚀剂材料14'转移到 光掩模10，以移除没被剩余光致抗蚀剂14'覆盖的区域中的抗反射材料 13和不透明材料12。现有技术中已知有品种繁多的蚀刻工艺，包括干蚀 刻和湿蚀刻，并因此有品种繁多的设备被用来执行这些蚀刻。在完成蚀 刻之后，剥去或移除剩余光致抗蚀剂材料14'，从而完成了光掩模，如图 3所示。在完成的光掩模中，由剩余的抗反射材料13'和不透明材料12' 先前所反射的图案，位于在前面的步骤中在移除可溶材料之后保留有剩 余光致抗蚀剂14'的区域内。为了确定在特定光掩模中是否存在任何无法接受的缺陷，有必要检 査该光掩模。缺陷为任何影响几何构型的裂纹。这包括不合需要的铬区 (铬点，铬延伸，几何形状之间的铬桥)或不想要的漏光区(针孔，漏 光点延伸，漏光点分裂)。缺陷可引发客户的电路不能运行。客户将在 光掩模缺陷说明书中指出会影响他们工艺的缺陷尺寸。所有具有等于或 大于该尺寸的缺陷必须被修复；或者如果它们不能被修复，则掩模须被 丢弃或重写。典型地，例如由KLA-Tencor或应用材料公司制造的自动掩模检查系 统被用来检测缺陷。这种自动系统将照明光束指向光掩模，并检测通过 光掩模传输并从光掩模反射回的光束部分的强度。随后，将所检测的光 强度与期望光强度进行比较，并且任何偏差都将记录为缺陷。可在 KLA-Tencor的美国专利No. 5,563,702中找到一个相关系统的细节。通过检査之后，为完成的光掩模清除污染物。接下来，可对完成的 光掩模涂覆薄膜，以保护光掩模的关键图案区免受空气污染。随后可执 行穿过薄膜的缺陷检査。在一些情况下，光掩模可在涂覆薄膜之前或之后被切割。在完成了上述制造步骤之后，完成的光掩模被发送给客户以用来制 造半导体及其它产品。具体地，光掩模通常应用在半导体产业中，以将 定义半导体电路的微型图像转移到硅或砷化镓衬底或晶片上。用于从光 掩模转移图像至硅衬底或晶片的过程通常被称为光刻或微光刻。典型地， 如图4所示，半导体制造过程包括沉积步骤、光刻步骤、以及蚀刻步骤。 在沉积步骤中，在硅晶片的表面上沉积电绝缘层或导电材料层(如金属、 多晶硅或氧化物)。这个材料接着被涂覆一层光敏抗蚀剂。随后，与利 用照相底片大致相同的方式，利用光掩模来制造照片。光刻包括将光掩 模上的图像投射到晶片上。如果光掩模上的图像被并排地投射到晶片上多次，这就是已知的步进(stepping)，且该光掩模被称为分划板(reticle)。 如图5所示，为了在半导体晶片20上产生图像21，光掩模10插入 在半导体晶片20与光学系统22之间，其中半导体晶片20包括光敏材料 层。由通常被称为步进器(Stepper)的能量源23产生的能量被禁止通过 光掩模10中不透明材料所在的区域。来自步进器23的能量通过石英衬 底11的透明部分，该透明部分未被不透明材料12以及抗反射材料13所 覆盖。光学系统22将不透明材料12和13的图案的标度图像(scaled image) 24投射到半导体晶片20上，并在半导体晶片上引起光敏材料中 的反应。在曝光于能量的区域中，光敏材料的可溶性发生改变。在正性 光刻工艺的情况下，被曝光的光敏材料变成可溶的，并且能被移除。在 负性光刻工艺的情况下，被曝光的光敏材料变成不可溶的，而未曝光的 光敏材料被移除。在移除可溶的光敏材料之后，通过现有技术中通常被称为蚀刻的已 知工艺，将形成在不可溶的光敏材料中的图像或图案转移到衬底。 一旦 将图案蚀刻在衬底材料上，就移除剩余的抗蚀剂，结果得到完成的产品。 随后，新的材料和抗蚀剂层被沉积在晶片上，并且下一光掩模上的图像 被投射在其上。再次对晶片进行显影和蚀刻。重复这个过程，直至完成 电路。为了执行上述的各制造步骤，半导体制造商(例如，客户)必须先 向光掩模制造商提供与待制造的光掩模有关的不同类型的数据。关于这点，客户通常提供光掩模订单，该光掩模订单包括制造和处理光掩模所 需的各种类型的信息和数据，例如，包括涉及光掩模设计的数据、待 使用的材料、交付日期、计费信息、以及其它处理该订单和制造该光掩 模所需的信息。在光掩模制造中长期存在的问题是，从客户处接收到光掩模订单到 制造光掩模要耗费一定的时间。因此处理光掩模订单以及制造光掩模所 耗费的总时间可能很长，由此导致光掩模的总产量没有最大化。这个问 题部分可归因于这样一个事实，即定购光掩模的很多客户经常以各种不 同的格式发出他们的订单，而这些格式经常与光掩模制造商的计算机系 统和/或生产设备互不兼容。相应地，光掩模制造商经常需要重新格式化 订单数据和条件，将订单数据和条件转换为和/或补充到与其计算机系统 和/或生产设备兼容的不同格式，这可能耗费大量的时间，并因此延迟制 造光掩模所需的时间。在解决这些问题的尝试中，光掩模产业已开发了可放置光掩模订单 的各种标准光掩模订单格式。例如，SEMIP-10标准是一种用在光掩模制 造中的标准格式。此外，少数半导体制造商已研发他们自己专有的放置 光掩模订单的光掩模订单格式，而不采用标准格式。创建这些标准和专 有光掩模订单格式，使得可从客户处接收到统一格式的光掩模订单，从 而减少制造光掩模所需的总时间。尽管使用这些标准和/或专有光掩模订单格式对减少制造光掩模所需 的时间有帮助，然而，由于各种原因，很多半导体制造商并不愿意以这些标准和/或专有格式发出他们的订单。例如，SEMI P-10标准订单格式非常复杂，并要求放置订单的客户熟知与这个标准相关的必备工作知识。 既然很多半导体制造商不制造光掩模，所以这些制造商可能没有资源、 时间、或能力来学习这种复杂的标准格式。这样，半导体制造商经常以 没有条理的且常常不完整的形式向光掩模制造商提供光掩模订单数据。 作为结果，光掩模制造商需要解析这些数据并将其整理为有用的格式(例如，为SEMI P-10格式)。而且，这些标准和专有格式通常要求提交完 整的订单。对于没有足够资源投入研发有效光掩模订单系统的小客户， 这个问题尤其严重。因此，在光掩模制造领域， 一直需要一种用于自动生成标准和/或专有格式的光掩模订单的客户端系统和方法，该标准和/ 或专有格式可通过在客户部分的极少努力就能适应特定客户。在过去，AlignRite公司(Photronics公司的前身组织)试图通过利用 基于因特网的配送系统来加速电子数据的传送。然而，尽管AlignRite系 统能够将光掩模数据从客户快速地传送到光掩模制造商的计算机系统并 能够实时确认数据的正确性，但是这种现有系统不能提供自动生成的单 一标准和/或专有格式的光掩模订单数据。因此， 一旦从客户处接收到数 据，还必须由操作员手动输入对数据的标准修改。每当必须手段输入修 改时，增加了人为错误的风险，同时也延长了这个工作的总时长。此外， AlignRite系统不允许订单生成过程的定制，其中订单生成过程决定于正 在输入哪个客户的数据。其后，在公开的其它系统中，制造和计费数据是通过因特网下载并 进行在线自动验证。在2002年1月10日公布的DuPont Photomask公司 的PCT公布02/03141中介绍了一个这样的系统，其同时也是美国专利 No. 6,622,295的主题。更具体地，DuPont的PCT公布公开了一种系统， 其中光掩模订单数据由客户在线输入并传输至光掩模制造商以用于处 理。在这个系统中，提示客户输入光掩模订单数据。该数据被传输到光 掩模制造商，其依次执行该数据的诊断评估。如果任何数据是不完整或 不准确的，则这个系统向客户发送消息以通知他这个错误。之后，用户 必须更正这个错误。在制造商验证了数据有效(必要时更正了)之后， 制造商处理该数据并将其译为标准(或专有)格式，例如SEMI P-10标 准格式。尽管诊断用途是有帮助的，DuPont的PCT公布的系统是非常烦琐的， 并在整理决定于正在输入哪个客户的数据的光掩模订单时给用户提供了 极少的灵活性。DuPont系统没有基于通用信息的输入提供客户信息的剖 析。DuPont系统的另一缺点是，每当客户使用该系统时均要求客户重新 输入关于订单的特定信息，而不能利用在先前订单中输入的信息。因此 尤其对于重复客户来说利用DuPont系统生成光掩模订单是费时的，所以 对所谓的"瘦客户端(thin client)"应用不是很有用。类似地，本申请的受让人Photronic s在过去已开发了自己的光掩模订单生成系统和方法。Photronics的光掩模订单生成系统被称为MaskPilot 系统，其已验证了极大的商业成功。这个系统是转让给Photronics的美 国专利申请(包括2002年7月30日提交的No. 10/209,254、 2004年6 月25日提交的No. 10/877,011、以及2004年10月27日提交的No. 10/974,449)的主题。这些申请的内容均以完整引用的方式合并于此。 MaskPilot⑧系统包括提示用户以模板或订单形式输入光掩模订单信息的 图形用户界面。尽管能有效生成各种专有和/或标准光掩模订单格式的订 单，但是MaskPilot⑧系统并不基于由用户输入的一些通用信息执行剖析 (profiling)。
对于目前的光掩模制造商来说，可通过光掩模处理系统来处理光掩 模订单。现有技术中己知的光掩模订单处理系统有例如Cybermask 。例 如，Photronics公司的美国专利No. 6，760，640介绍了这种系统，并通过 参考援引与此，如同其全文在此提出。然而，这些光掩模处理系统目前 并不能基于用户提供的信息自动进行设置。
虽然现有技术具有其重要性，但是现有技术中的已知方法和系统存 在一些局限性，这些局限性是本发明所要克服的。
具体地，本发明的一个目的是提供一种用于生成光掩模订单的至少 一部分的系统和方法，其中光掩模订单可被传送至光掩模制造商的处理 系统以制造至少一个光掩模。
本发明的另一目的是提供一种光掩模订单生成系统和方法，该系统 和方法对于"瘦客户端"应用是有用的。
本发明的另一目的是提供一种光掩模订单生成系统和方法，该系统 和方法可利用来自同一客户的先前订单的信息生成光掩模订单。
本发明的另一目的是提供一种自动光掩模订单生成系统，用于减少 与订单数据的手动输入相关的转写错误。
本发明的另一目的是提供一种光掩模订单生成系统，该系统可用来 增加制造光掩模的总产量。
本发明的另一目的是提供一种用于处理光掩模订单的系统和方法， 该系统和方法可基于用户提供的信息自动进行设置。
本发明的另一目的是提供一种用于跟踪光掩模订单的系统和方法，该系统和方法允许用户输入关于制造变量的信息。 本发明的另一 目的是解决现有技术的不足。 通过前面的介绍，其它目的将变得明显。

发明内容
根据本发明示例性实施例的生成光掩模订单的方法包括生成通用信息 用户界面，该通用信息用户界面提示用户输入关于发出该光掩模订单的客户 的通用数据；以及生成定制订单用户界面，该定制订单用户界面提示用户基 于该通用数据和/或由该用户先前输入的确定数据，来输入完成该光掩模订单 所需的确定数据。基于该确定数据生成属性文件，并基于该属性文件访问命 令脚本文件。利用该命令脚本文件生成光掩模订单。
在至少一个实施例中，该通用数据包括识别该客户的信息。 在至少一个实施例中，该通用数据包括登录名和密码。
在至少一个实施例中，该确定数据包括下列各项中的至少一个计费信 息、货运信息、产品类型信息、步进器设备信息、最终产品信息、器件名称、 掩模标题、到期日、CD数、数字化数据品质信息、工具规格(tooling specification)。
在至少一个实施例中，该确定数据包括预先填入的数据。 在至少一个实施例中，该预先填入的数据包括由该用户可编辑的数据。 在至少一个实施例中，由该定制订单用户界面提示的该确定数据包括与 标准光掩模订单中的数据不同的数据。
在至少一个实施例中，该属性文件与多种光掩模订单生成系统中的至少 一个兼容使用。
在至少一个实施例中，以多种专有和标准光掩模订单格式中的至少一种 格式生成该光掩模订单。
在至少一个实施例中，该光掩模订单为标准光掩模订单格式或专有光掩 模订单格式的完整订单。
在至少一个实施例中，该光掩模订单为标准光掩模订单格式或专有光掩 模订单格式的非完整订单。
在至少一个实施例中，验证由该用户输入的该确定数据。在至少一个实施例中，当该验证步骤显示在该确定数据的输入中存在错 误时，提示该用户输入正确的数据。在至少一个实施例中，将该光掩模订单提交给光掩模制造商计算机系 统，以用于进一步处理。在至少一个实施例中，从该光掩模制造商计算机系统接收确认该光掩模 订单的状态的消息。在至少一个实施例中，从该光掩模制造商计算机系统接收识别该光掩模 订单中的至少一个错误的消息。在至少一个实施例中，从该光掩模制造商计算机系统接收确认该光掩模 订单已被正确且完整地提交的消息。在至少一个实施例中，利用下列协议之一来提交该光掩模订单FTP、HTTP、 SMTP以及任何应用程序支持的传输协议。在至少一个实施例中，校验该光掩模订单的有效性、可行性以及合意性中的至少一个。在至少一个实施例中，基于校验步骤的结果来修改所述确定数据。 在至少一个实施例中，该通用信息用户界面为由计算机生成的通用信息 输入屏幕。在至少一个实施例中，该定制订单用户界面为由计算机生成的定制订单 输入屏幕。在至少一个实施例中，该通用信息输入屏幕和该定制订单输入屏幕是在 本地计算机上生成的。在至少一个实施例中，该通用信息输入屏幕和该定制订单输入屏幕由与 该用户所使用计算机相隔远程距离的位置上的计算机生成。根据本发明的示例性实施例的光掩模订单生成系统包括通用数据用户界面生成器，其生成并格式化通用数据用户界面，该通用数据用户界面提示用户输入关于发出光掩模订单的客户的通用数据；以及定制订单用户界面生 成器，其生成并格式化定制订单用户界面，该定制订单用户界面提示该用户 基于该通用数据和/或先前由该用户输入的确定数据来输入关于该光掩模订 单的确定数据。基于输入到该定制订单屏幕的确定数据，脚本生成器访问待 运行的适当脚本集。脚本引擎运行由该脚本生成器访问的脚本集，以将该确定数据转换为该光掩模订单的组件。光掩模订单生成器基于该光掩模订单的组件生成完整或非完整的光掩模订单。在至少一个实施例中，属性文件将该确定数据存储为兼容于该光掩模订单生成器的格式。在至少一个实施例中，该通用数据用户界面为网页。 在至少一个实施例中，该通用数据用户界面包括一系列链接网页。 在至少一个实施例中，该定制订单用户界面为网页。 在至少一个实施例中，该定制订单用户界面包括一系列链接网页。 在至少一个实施例中，该脚本引擎将该属性文件转换为光掩模订单目标模式。在至少一个实施例中，验证系统验证由该用户输入的该确定数据。 在至少一个实施例中，当验证处理显示在该确定数据的输入中存在错误时，该验证系统提示该用户输入正确的数据。在至少一个实施例中，该验证系统包括光掩模订单发送器，该光掩模订单发送器将该光掩模订单提交给光掩模制造商计算机系统，以用于进一步处理。在至少一个实施例中，该验证系统还包括消息系统，该消息系统从该光 掩模制造商计算机系统向该用户发送确认该光掩模订单的状态的消息。在至少一个实施例中，该消息系统从该光掩模制造商计算机系统向该用 户发送识别该光掩模订单中的至少一个错误的消息。在至少-一个实施例中，该消息系统从该光掩模制造商计算机系统向该用 户发送指示该光掩模订单已被完整且正确地提交的消息。在至少一个实施例中，该光掩模订单发送器利用下列协议之一来提交该光掩模订单FTP、 HTTP、 SMTP以及任何应用程序支持的传输协议。根据本发明示例性实施例的用于生成光掩模订单的系统包括含有计算 机可读指令的计算机可读介质，其中该计算机可读指令可运行在处理器上以 执行包括下列步骤的方法生成通用信息用户界面，该通用信息用户界面提 示用户输入关于发出该光掩模订单的客户的通用数据；以及生成定制订单用 户界面，该定制订单用户界面提示该用户基于该通用数据和/或先前由该用户 输入的确定数据，来输入完成该光掩模订单所需的确定数据；基于该确定数据生成属性文件；基于该属性文件访问用于生成光掩模订单的命令脚本文 件；以及利用该命令脚本文件生成光掩模订单。根据本发明的示例性实施例的处理光掩模订单的方法包括生成通用信 息用户界面，该通用信息用户界面提示用户输入关于发出光掩模订单的客户 的通用数据。生成定制订单用户界面，该定制订单用户界面提示该用户基于 该通用数据和/或先前输入的确定数据，来输入处理该光掩模订单所需的确定 数据。基于该确定数据生成属性文件。通过基于该属性文件访问命令脚本文 件，生成光掩模订单处理系统的配置文件。利用该配置文件设置该光掩模订 单处理系统，以及利用该光掩模订单处理系统处理光掩模订单。根据本发明示例性实施例的跟踪光掩模订单的方法包括生成通用信息 用户界面，该通用信息用户界面提示用户输入关于光掩模订单制造环境的通 用数据。生成定制订单用户界面，该定制订单用户界面提示该用户基于该通 用数据和/或先前输入的确定数据，来输入关于该制造环境的确定数据。基于 该确定数据生成属性文件，以及通过基于该属性文件访问命令脚本文件来生 成消息。通过下列本发明示例性实施例的详细描述来介绍本发明的这些及其它 特征，或使这些及其它特征变得明显。


当结合附图参考以下例证性的本发明优选实施例的详细描述时，本发明的上述及相关目的、特征、和优点将得到充分理解，其中图1示出了现有技术中空白或未显影的光掩模；图2示出了已被部分处理的图l所示的光掩模；图3示出了已被完全处理的图1和图2所示的光掩模；图4为示出利用已处理的光掩模制造或处理半导体晶片的方法的流程图；图5示出了利用晶片步进器制造半导体的工艺； 图6为根据本发明示例性实施例的光掩模订单生成系统的框图； 图7示出了根据本发明示例性实施例的光掩模订单生成系统可用的决策 图表(decisiontree);图8为示出根据本发明实施例的光掩模订单生成方法的流程图； 图9-图11示出了用于本发明以指导用户输入通用光掩模订单信息的示 例性图形用户界面的各种屏幕；图12和图13示出了用于本发明以指导用户输入特定光掩模订单信息的 示例性图形用户界面的各种屏幕；图14为示出根据本发明实施例生成用于光掩模订单处理系统的配置文 件的方法的流程图；图15为示出根据本发明示例性实施例生成用于光掩模订单处理系统的 配置文件所输入的请求信息的流程图；图16-图18为由本发明各种示例性实施例所使用的光掩模订单跟踪系统 生成的各种网页的屏幕捕捉(screen shot);图19示出了根据本发明示例性实施例，响应作为光掩模跟踪系统部分 的气候控制变量进出(inout)生成自动输出的方法的流程图；以及图20示出了根据本发明示例性实施例的放置在光掩模跟踪系统之内的 结点。
具体实施方式
本发明涉及计算机化的规则型系统和方法，用于收集光掩模相关信息以 及自动生成包含指令的文件，以基于该信息通过确定和运行适当的脚本文件 来执行一个或多个自动化任务。本发明的实施例提供一种利用脚本剖析工具(profiler)自动生成光掩模订单的系统和方法，其中基于客户所提供的信息 按照指定订单格式的要求，通过以完整且正确的方式输入该订单的过程来指 导欲发送光掩模订单的光掩模客户。本发明的光掩模订单生成系统被具体设 计为对所谓"瘦客户端用户"尤其有帮助，虽然其原理可应用于其它类型的 用户。本发明的系统和方法被设计为向用户提供生成光掩模订单的能力(ability)和/或向光掩模制造商提供必要信息以通过简单且有效的方式生成 光掩模订单。尽管在此描述的本发明的各种示例性实施例使用了 Photronics 公司的MaskPilot⑧脚本技术，但这种使用仅是示例性的，本发明还可利用任 何其它已知或以后发现的系统，而该系统能将有关所需的光掩模的特定信息 转换为适当格式化的光掩模订单。正如将在此处进一步详细描述的，本发明的系统和方法还可应用于其它的光掩模相关系统，例如，诸如Photronics公 司的Cybermask⑧系统之类的光掩模订单处理系统以及诸如Photronics公司 的MaskTrac⑧系统之类的光掩模订单跟踪系统。图6为根据本发明示例性实施例的光掩模订单生成系统200的框图。光 掩模订单生成系统200可使用软件模块、固件、或任何其它存储器编程技术， 并且具体地，可通过在处理器上运行程序来实施，以执行各种系统任务。光 掩模订单生成系统200包括通用信息输入界面生成器210、特定信息输入界 面生成器220、数据解析器215、数据剖析(profiling)系统225、脚本生成 器230、脚本剖析系统240、脚本引擎250以及光掩模订单生成器260。通用 信息输入界面生成器210生成并格式化输入界面，该输入界面提示用户输入 关于发出光掩模订单的客户的通用信息217。特定信息输入界面生成器220 生成并格式化输入界面，该输入界面提示用户基于通用信息217输入有关光 掩模订单的特定信息222。在此提及的输入界面可包括任何允许用户输入信 息的适当装置，例如网页或一系列链接网页、或语音识别系统，在此仅举几 个例子。依赖于所提供的特定信息222，特定信息输入界面生成器220可生 成并格式化附加的输入界面，以提示用户输入与光掩模订单有关的附加特定 信息222。在这点上，特定信息222的输入界面的生成和格式化优选为可重 复的过程，其可利用先前输入的特定信息222，并利用规则型决策树确定用 于输入附加特定信息222的适当提示。决策树可完全或部分地由用户修改， 从而使得可定制系统200要求输入的信息类型和数量。特定信息222可被组织并存储在脚本属性文件227中。通过从存储在脚 本剖析系统240中的预定义脚本进行选择，脚本生成器230确定将基于特定 信息222运行的适当脚本237。在本发明的其它实施例中，脚本生成器230 还可选择脚本属性文件227中的脚本，该脚本是在特定信息222的输入过程 中生成的并存储在脚本属性文件227中。 一旦识别了适当的脚本237，脚本 生成器230向脚本引擎250发送关于待运行的适当脚本的信息。通过访问脚 本剖析系统240中的脚本237、属性文件227中的脚本(如果适当的话)、 以及存储在属性文件227中的特定信息222，脚本引擎250然后运行由脚本 生成器230识别的脚本237。通过脚本引擎250运行脚本文件237中的脚本 命令，优选地以目标模式(例如MaskPilot⑧目标模式)的形式生成光掩模订单的订单组件245。订单组件245或目标模式随后可用来生成光掩模订单。 下面将进一步详细解释光掩模订单生成系统200的各单元。通用信息输入界面生成器210可生成例如请求用户输入有关光掩模客户 的通用信息217的通用信息输入屏幕。通用信息输入屏幕可请求诸如登录名 和密码、联系信息、计费/货运信息、最终产品类型、以及步进器类型等信息， 在此仅举几个例子。通用信息输入屏幕可为例如单个网页或一系列随着必要 信息输入依次出现的链接页面。用户无需在每次使用光掩模订单生成系统 200时手动输入所有请求的通用信息217，因为一旦识别出客户，例如通过 输入客户先前建立的登录名和密码，就可基于该客户先前的订单自动输入一 些或全部的通用信息217。一旦输入了属于光掩模客户的通用信息217，数据解析器215将通用信 息217转换为可由特定信息输入界面生成器220读取的格式。基于所解析的 信息，特定信息输入界面生成器220确定产生有效的光掩模订单需要哪些特 定信息222。特定信息输入界面生成器220可确定所需的特定信息包括，例 如计费信息、货运信息、产品类型信息、步进器设备信息、最终产品信息、 器件名称、掩模标题、到期日、CD数、数字化数据品质信息、和/或工具规 格，在此仅举几个例子。 一旦确定了所需的特定信息，特定信息输入界面生 成器220自动生成并格式化定制订单输入界面，例如定制订单输入屏幕，其 请求用户输入与光掩模客户订单相关的特定信息。在这点上，数据剖析系统 225确定在用户输入特定信息222时需要哪些附加特定信息提示，如果需要 的话。换句话说，基于已由用户输入的特定信息，数据剖析系统225向特定 信息输入界面生成器220提供有关所需的附加特定信息的反馈。对此，基于先前由用户输入的特定信息222，数据剖析系统225可利用 规则型决策树来确定对于附加特定信息的适当提示。图7示出了根据本发明 示例性实施例的系统200可使用的决策树50的一部分。如上所述，提示用 户在分支1处输入一些通用信息217，例如用户名和密码。每个用户名和密 码被设置为与企业ID相对应，从而使得系统200可基于输入的用户名和密 码确定用户的企业(用户的公司)。在分支2，根据企业情况请求附加信息。 例如，在分支2.1，由于企业被确定为"A"，因此请求有关"Stepper (步进 器)"的进一步信息。类似地，在分支2.2，企业被确定为"B"，并因此请求有关"Design (设计)"和"Product (产品)"的信息；以及在分支2.3， 企业被确定为"C"，并因此请求有关"Fab (设备)"和"Product (产品)" 的信息。在分支3，基于分支2的数据条目请求进一步的特定信息222。例 如，在分支3.1，如果产品在分支2.2输入为"MLR"，则请求有关"Title (标题)"和"Device (器件)"的进一步信息；以及如果产品输入为"STD"， 在分支3.2则请求有关层的进一步信息。如果需要且希望，则提供附加分支， 例如分支4.1，其请求有关层的进一步信息。定制订单屏幕可为例如网页或一系列随着必要信息输入依次出现的链 接页面。可选地，特定信息输入界面生成器220可为向导型应用程序，其被 操纵为与诸如MaskPilot⑧之类的光掩模订单生成系统一起运行。在示例性实 施例中，特定信息输入界面生成器220可为规则型生成器，其利用一套预先 确定的规则提示特定信息和/或检查输入值。这些规则可被用户和/或光掩模 制造商修改。优选地，特定信息输入界面生成器220具有基于客户的先前订 单在定制订单输入屏幕中预先填入一些或全部特定信息222的能力。在这点 上， 一些或全部预先填入的条目可以是可修改的和/或可删除的。在一些情况 下，除了一些小偏差之外，订单可为标准订单，在这种情况下定制订单屏幕 可生成为仅请求与标准订单偏离的可能偏差相关的特定信息。这样，用户不 需要花费大量时间来输入数据。一旦通过特定信息输入界面生成器220收集了特定信息222，可将特定 信息222存储在属性文件227中。属性文件227可为数据库形式，例如，其 可包括特定信息222和/或在特定信息222输入过程中生成的脚本命令行。属 性文件227以特定格式存储特定信息222，从而使得特定信息222可被光掩 模订单生成器用来生成光掩模订单。例如，在本发明的至少一个实施例中， 特定信息222被转换为MaskPilot⑧属性文件，从而使得这种信息可被 Photronics公司的MaskPilot⑧光掩模订单生成系统用来生成模板或订单。属 性文件227可为任何格式，从而使得其可用于任何其它已知或后来发现的光 掩模订单生成系统。属性文件227的组成单元可随着特定信息222的输入在 各种步骤中被存储，其中每个存储步骤均可定义或执行一个动作，例如向用 户发送消息或向制造装置发送指令集。利用作为输入的特定信息222，脚本生成器230确定运行哪一个脚本集。例如，在MaskPilot⑧的情况下，脚本生成器230可确定需要被运行以生成正 确且完整的光掩模订单组件的适当脚本文件237。在这点上，脚本生成器230 也可基于光掩模订单的期望专有和/或标准格式来确定适当的脚本文件237。 脚本文件237可为纯文本文件(plain text file)的形式，该纯文本文件包含一个或多个脚本命令。脚本引擎250运行由脚本生成器230选择的脚本文件237，以将存储在 属性文件227中的数据转换为光掩模订单的组件245。例如，脚本引擎250 可生成MaskPilot⑧目标模式，该MaskPilot目标模式包括光掩模订单模板的 组件和子组件。基于由脚本引擎250生成的组件245，光掩模订单生成器260生成完整 或非完整的光掩模订单255。例如，当脚本引擎250生成MaskPilot⑧目标模 式时，光掩模订单模板可用来生成光掩模订单。关于这点，光掩模订单生成 器2650可生成各种标准和/或专有格式的光掩模订单。可存储由光掩模订单 生成器260生成的部分光掩模订单，用于后续的完成和/或用户修改。光掩模订单生成系统200可进一步包括验证系统270，验证系统270用 于验证光掩模订单255。验证系统260可确定在光掩模订单255中是否存在 任何错误和/或光掩模订单255是否完整。关于这点，验证系统270可包括向 用户发送消息的消息系统280，这些消息指示例如已生成光掩模订单255、 光掩模订单255中存在错误、或光掩模订单255已被发送至光掩模制造商用 于进一步处理。这些消息可为电子邮件、日志文件、文本消息、和/或数据库 条目的形式。在一个实施例中，消息机制的特征在于自动生成发送至人员名 称分布列表的消息，所述人员为涉及光掩模预订的人员。可通过任何预定准 则来建立该分布列表。 一旦生成了消息，分布列表上的每个人可被自动通知 到已生成了光掩模订单。这种通知可包括电子邮件、寻呼机、即时消息、移 动电话等。这个自动消息处理可设置在客户网络甚或制造商网络上的任何地 方，并通过客户希望的任何步骤来触发。该实例不应视为限制本发明，而其 仅为可结合于本发明的消息系统类型的举例。光掩模订单生成系统200也可包括光掩模订单发送器265，光掩模订单 发送器265向光掩模制造商计算机系统发送完整或非完整的光掩模订单255， 以确定最终的光掩模设计的有效性、可行性、和/或合意性，正如2004年12月7日提交的、转让给Photronics的名称为"利用可用于生成光掩模订单的 逻辑操作效用(Logical Operations Utility)自动生成工具规格的系统和方法 (System and Method for Automatically Generating a Tooling Specification Using a Logical Operations Utility That Can Be Used To Generate A Photomask Order)"的美国申请号No. 11/006,525 (代理案号No. 67493/125)所公开， 且该申请的内容通过全文引用合并于此。例如，可将包括破碎指令(fracture instruction)的部分光掩模订单发送至光掩模制造商，以分析所提出的设计的 有效性、可行性、和/或合意性。根据该信息的提交，光掩模制造商也可随后 提出替代设计，该替代设计就制造商方面或其它方面来说可能更可行或合 意。然后可将光掩模制造商的分析结果发送至客户，由客户进一步考虑是继 续该订单还是修改所提出的订单。例如，可在客户的计算机上显示具有修改 条目的定制订单输入屏幕，这些修改条目可被用户接受或者拒绝。图8为示出根据本发明示例性实施例的生成光掩模订单的方法的流程 图。在步骤S102中，光掩模客户或其它用户将关于光掩模客户的通用信息 217输入到输入页面或其它类型的输入界面中。例如，可通过在因特网浏览 器中输入URL地址来访问输入页面。关于这点，用户可在用户界面100中 访问输入页面，用户界面100可为例如个人计算机、黑莓(BlackBerry )、 或任何其它类型的通信装置。用户可简单地只需登录用户名和密码，之后附 加的通用信息217将被自动地填入到通用信息输入屏幕中。例如，图9-图11 示出了可用于本发明示例性实施例的图形化用户界面(GUI)的各种链接页 面。GUI的第一页面300要求输入用户ID和密码。 一旦输入了有效的用户 ID和密码，就出现要求输入用户公司名称的第二页面310，如图10所示。 关于这点，可基于用户的用户ID和密码自动地填入公司名称，且可通过从 下拉菜单中选择正确信息来修改该信息。图11示出了 GUI的第三页面320， 其要求输入货运信息和产品类型。通用信息输入屏幕可包括任意数量并变化的页面，其要求输入通用信息和/或显示关于光掩模客户的可修改的通用信 自在步骤S104中，数据解析器215取回并格式化通用信息217，以使这种 信息可被数据剖析系统225读取。在步骤S106中，数据解析器215将解析 后的数据发送至数据剖析系统225。在步骤S107中，数据剖析系统225确定是否需要附加信息以生成光掩模订单。关于这点，剖析系统225检查是否已 输入了所有必要信息和/或输入的信息是否有效。如果还需要更多信息和/或己输入的信息无效，则处理前进至步骤S108，在步骤S108，数据界面生成 器在用户界面IOO处生成输入屏幕或某种其它类型的输入界面，其提示用户 输入关于光掩模订单的特定信息222。在优选实施例中，数据界面生成器可 包括之前描述的通用信息输入界面生成器210和特定信息输入界面生成器 220，尽管在其它实施例中，应能理解的是，数据界面生成器可为单个的界 面生成器或任何数量的界面生成器的组合。可基于通用信息自动填入关于光 掩模订单的特定信息222的一些或全部，在这种情况下，客户可具有修改和 /或删除信息的能力。图12和图13示出了可用于本发明示例性实施例的GUI 的附加链接页面。图12中所示的定制订单输入屏幕的页面330要求选择利 用所完成的光掩模要形成的特征类型。 一旦选定了特征，就会出现如图13 所示的页面，其要求关于该特征的更多特定信息，例如，数字化数据秘密 (Digitized Data Dark)(涉及数字化数据的信息)、CD数(涉及临界尺寸 的信息)、条形码Rev弁(待条形码化的信息)、以及产地(涉及制造地点的 信息)。可通过在空白的条目框中手动填入或从下拉菜单中选择来输入这些 信息中的任何信息或全部。定制订单输入屏幕可包括任意数量并变化的页 面，其要求输入特定信息和/或显示关于光掩模订单的可修改的特定信息。应能理解的是，正如预定决策树所提出的，这个处理重复步骤S104-S108 多次，且这个次数与接收全部必需或期望信息所需的次数相同。例如，在步 骤S108，输入特定信息之后，可重新显示、重新生成定制订单输入页面，和 /或可将附加提示填加到现有页面中，以请求缺失的信息和/或更正无效的信 息。对此，如先前所讨论的，数据剖析系统225利用规则型决策树确定需要 哪些信息。因此，该处理重复这些步骤，以在用户输入所要求的信息时依照 决策树的适当分支指导用户。在步骤S114中，将定制订单输入屏幕中输入的特定信息222存储在属 性文件227中，属性文件227可为数据库形式。关于这点，可基于输入到定 制订单输入屏幕的特定信息来更新和/或删除属性文件227中的信息。在本发 明的可选实施例中，属性文件227可包含脚本命令行，该脚本命令行被预编 程为在客户输入某些确定数据时自动生成。一旦正确输入了所有关于光掩模订单的必要特定信息，则处理前进至步 骤SllO，在步骤SllO，脚本生成器230基于由客户输入的光掩模订单信息 确定一个或多个适当的脚本命令行，必须运行所述适当的脚本命令行以生成光掩模订单。关于这点，在步骤S112,脚本生成器230访问脚本剖析系统 240，其本质上为脚本命令行的数据库。在步骤S114，脚本剖析系统240可 遵从属性文件227，以获得在光掩模订单信息输入过程中生成的必要属性和/ 或附加脚本。在优选实施例中，脚本生成器230确定应该运行存储在脚本剖 析系统240和/或属性文件227中的一个或多个脚本命令行中的哪一个，以得 到期望格式的一个或多个脚本文件。作为举例，在步骤S116中，脚本生成 器230可选择将导致MaskPilot⑧脚本的脚本命令行。然而，本发明的各种示 例性实施例可用来生成任何类型的脚本命令行。在步骤S118中，脚本引擎250集合并运行在由脚本生成器230识别的 一个或多个脚本文件237中存储的脚本命令行。关于这点，依赖于脚本生成 器230提供的信息，脚本引擎250可从脚本剖析系统240以及属性文件227 中的任何脚本中取回脚本命令行。运行这些脚本命令行会导致光掩模订单组 件245的生成。例如，在本实施例中，脚本引擎250生成MaskPilot⑧目标模 式，其可包括光掩模订单模板的组件和子组件。然后，使用光掩模订单组件 来生成各种专有和/或标准光掩模订单格式(例如，标准SEMIP-10格式)的 完整或非完整的光掩模订单。例如，在步骤S122， MaskPilot⑧目标模式用来 生成完整的P-10文件；而在步骤S124中，MaskPilot⑧目标模式用来生成非 完整的P-10文件。在步骤S125中，确定是否要处理光掩模订单。如果是，则在步骤S126 中，可将光掩模订单发送至光掩模制造商以进行处理并被用来制造光掩模。 可在用户界面100处向客户发送消息以指示，例如已生成了光掩模订单、光 掩模订单中存在错误、或光掩模订单已被发送至光掩模制造商以用于处理。 这些消息可为电子邮件、即时消息、日志文件、或数据库条目的形式。在一 个实施例中，该消息机制的特征在于自动生成发送至人员名称分布列表的消 息，该人员为光掩模预订中涉及的人员。可通过任何预定准则来创建该分布 列表。 一旦生成了该消息，分布列表上的每个人可被自动通知到已生成了光 掩模的订单。这种通知可包括电子邮件、寻呼机、即时消息、移动电话，在此仅举几个例子。这个自动消息处理可设置在客户网络甚或制造商网络上的 任何地方，并通过客户希望的任何步骤来触发。该实例不应视为限制本发明， 而其仅为可合并于本发明的消息系统的类型举例。如果不存在错误，光掩模订单可自动发送至光掩模制造商，或者可仅在 客户系统的用户认可后发送至光掩模制造商。如果识别出错误，可要求客户 输入附加信息，从而使得所生成的光掩模订单中没有错误。可对先前描述的光掩模订单生成系统200可适合为光掩模制造商提供这 样的能力，即取回关于潜在客户或新客户的信息以及为这些新客户或潜在客户自动生成Cybermask⑧配置文件(setup file)的能力。图14为示出根据本 发明示例性实施例的生成Cybermask⑧配置文件的方法的流程图。步骤S102 到S108实质上与在前面实施例相同，除了数据剖析系统225被配置为提供 决策树之外，该决策树请求有关潜在客户或新客户的信息和/或允许管理人员 决定是否批准客户进行进一步的光掩模订单处理。如图15所示，在歩骤 S300，光掩模制造商识别出潜在客户之后，所述处理继续给光掩模制造商提 供输入关于该潜在客户或新客户的信息的能力。例如，在步骤S302中，可 提示光掩模制造商将关于潜在光掩模客户的通用信息输入到通用信息输入 屏幕或某种其它类型的输入界面。在该步骤中，可提示用户输入潜在光掩模 客户的名称以及该潜在客户的制造设备("fab")，例如通过从已知的光掩 模客户的下拉列表中选择所述名称。还可提示光掩模制造商输入更多的特定 信息，例如，潜在客户的金融信息(步骤S304)(比如，可用市场总量(TAM)、 现行收入、和潜在收入增益)、关于潜在客户的量的信息(步骤306)、以 及其它的评价主题(步骤S308)。可基于通用信息自动填入一些或所有关于 潜在客户的特定信息，在这种情况下，用户能够修改和/或删除这些信息。在 输入关于潜在客户的特定信息期间的任一点，可生成批准子程序，在该批准 子程序中光掩模制造厂商的管理人员有机会检査关于潜在客户的信息以及 批准或不批准进一步处理潜在客户的订单。例如，在步骤S310，确定对于 MaskPilot⑧实施或其它一些自动光掩模生成系统来说客户是否为良好的候选 人。如果是，则处理前进至步骤S316，在步骤S316，可向高级管理人员发 送打印输出、电子邮件、或一些其它类型的消息，以请求该客户对MaskPilot⑧ 实施的同意。如果客户不是MaskPilot⑧实施的良好候选人，则处理可继续至步骤S312，在步骤S312，确定该客户是否为"第一级(Tierl)客户"，意思是基于先前收集的信息该客户为尊贵的客户。如果该客户不是"第一级客 户"，则处理继续至步骤S314，在步骤S314，要求用于处理该客户的光掩 模订单的局部操作批准。被要求输入的其它特定信息可为输入从客户处接收到的光掩模订单的 适当手段选择(步骤S318)，尤其是在经过管理人员最终同意和/或确定该 客户为"第一级客户"之后。例如，所提出的输入光掩模订单的方法包括使 用MaskPilot ,或通过简单接收Semi P10文件。定制订单输入屏幕还可要 求关于订单模式的信息(步骤S320)，并可要求用户定义所提出的待自动化 的任务(步骤S322)。在步骤S126A中，利用存储在属性文件227中的信息以及由脚本引擎 250运行的脚本自动生成Cybermask⑧配置文件。因此，这个配置文件无需由 光掩模制造商手动获得，从而提高了整个光掩模制造过程的速度并较低了成 本。具体地， 一旦正确输入了所有关于光掩模订单的必要特定信息，则处理 在步骤S110到S125中继续，以确定并运行适当的脚本命令行，这将导致 Cybermask⑧配置文件的自动生成。然后，Cybermask⑧系统能够自动处理客 户的订单，并将有关订单状态的消息返回给用户。系统200还可被修改为用来在诸如Photronics公司的MaskTrac⑧系统的 光掩模订单跟踪系统中插入节点。光掩模跟踪系统优选地为客户或其它用户 提供入口，以从最初处理到最终出货监控光掩模订单。图16-图18示出了可 用于本发明各种示例性实施例的、由光掩模订单跟踪系统生成的网页的各种 屏幕捕捉。应能理解的是，光掩模订单跟踪系统并不局限于经由因特网可访 问的网页实现，而可通过任何其它合适的用户界面访问这个系统。图16为 客户入口 400的屏幕捕捉，其中可通过输入用户名和用户ID进入客户入口 400。客户入口 400提供了从客户处接收到的光掩模订单的状态，并且在优 选实施例中，其基于当前正在处理的光掩模("活性板(active plate)") 以及已经完成的光掩模("完成板")来组织这些状态结果。对于活性板， 客户入口 400可提供诸如下列之类的信息，例如，当前位置、板状态、拥有 类型(如果可用的话)、以及板的当前状态，在此仅举几个例子。对于完成 板，客户入口可提供诸如下列之类的信息，例如，出货日期以及运货单编号，在此仅举几个例子。图17为包装跟踪页面410的屏幕捕捉，其示出了光掩模订单的货运状态。可通过在客户入口 400中选择光掩模订单的运货单编号 来访问特定光掩模订单的包装跟踪页面410。包装跟踪页面410提供诸如下 列的出货信息，例如，出货的跟踪编号、发货地点、出货日期、以及交货日 期/时间，在此仅举几个例子。通过选择客户入口 400中"结果(Result)"类别下的"查看(view)"， 可查看有关光掩模订单的更详细信息，这将导致显示掩模结果页面420，且 在图18中示出了掩模结果页面420的屏幕捕捉。掩模结果页面420提供关 于完成的或部分完成的光掩模的诸如下列的详细信息，例如，图案公差、相 移、所用的缺陷和微粒检查方法、以及机器敏感度，在此仅举几个例子。在光掩模的加工过程中，经常需要跟踪制造变量，例如，可对完成的光 掩模产生影响的环境条件。掩模跟踪系统，例如MaskTrac⑧，可配置为允许 光掩模制造商通过在掩模跟踪系统内放置节点来监控这些变量，其中掩模跟 踪系统要求制造商输入一定信息。这种节点可要求关于一个或多个制造变量 的信息，然后利用这些信息来确定并运行适当的脚本，所述脚本用于生成电 子邮件或某种其它类型的消息和/或中断光掩模制造过程。例如，如图20所 示，节点500可放置在MaskTrac⑧系统中，MaskTrac⑧系统允许用户输入气 候控制信息。如图19所示，通过决策树指导用户，节点500可允许用户将 气候控制信息输入到数据界面，与之前关于步骤S102至S108的描述一样。 这样，节点500可首先要求产品设计尺度是否大于0.13 (步骤S502)。如果 是，可将工程气候控制调查报告呈现给用户(步骤S504)，该工程气候控制 调查报告可要求用户选择漂移数量(shiftnumber)(步骤S506)、湿度范围 (步骤S508)、以及温度范围(步骤S516)。在节点500中的数据剖析系 统225可被配置为，在任何气候范围超出可接受的限度时生成脚本文件。例 如，如果湿度范围大于77% (步骤S510)，则处理将前进至步骤S126B，在 步骤S126B，生成关于气候控制信息的警告。该警告可为如下形式，例如生 成并显示在数据输入屏幕上的"请联系工程师"消息(步骤S512)，或发送 至生产控制器的电子邮件(步骤S514)。该实施例中的步骤S510对应于前 面实施例中的步骤S107，因为该步骤可"触发"脚本生成器230来确定待运 行的适当脚本文件，从而执行必要功能。在这个实施例中，脚本生成器230査阅脚本文件，该脚本文件作为湿度范围超出可接受限度的生成结果；以及脚本引擎250运行这些脚本，以生成停止光掩模订单的警告消息和/或命令。现已示出并详细描述了本发明的优选实施例，对本领域技术人员来说， 对其进行各种修改和改进将变得很明显。因此，本发明的精神和范围可被广 泛解释，且仅以所附权利要求而并非以前述说明书为限。
权利要求
1.一种生成光掩模订单的方法，包括下列步骤生成通用信息用户界面，该通用信息用户界面提示用户输入关于发出该光掩模订单的客户的通用数据；生成定制订单用户界面，该定制订单用户界面提示该用户基于所述通用数据和/或先前输入的确定数据，来输入完成该光掩模订单所需的确定数据；基于所述确定数据生成属性文件；基于该属性文件访问用于生成光掩模订单的命令脚本文件；以及利用该命令脚本文件生成光掩模订单。
2. 如权利要求l所述的方法，其中，所述通用数据包括用于识别该客户 的信息。
3. 如权利要求2所述的方法，其中，所述通用数据包括登录名和密码。
4. 如权利要求l所述的方法，其中，所述确定数据包括下列各项中的至 少一个计费信息、货运信息、产品类型信息、步进器设备信息、最终产品 信息、器件名称、掩模标题、到期日、CD数、数字化数据品质信息、工具 规格。
5. 如权利要求1所述的方法，其中，所述确定数据包括预先填入的数据。
6. 如权利要求5所述的方法，其中，该预先填入的数据包括由该用户可 编辑的数据。
7. 如权利要求l所述的方法，其中，由该定制订单用户界面提示的确定 数据包括与标准光掩模订单的数据不同的数据。
8. 如权利要求l所述的方法，其中，该属性文件与多种光掩模订单生成 系统中的至少一种兼容使用。
9. 如权利要求l所述的方法，其中，以多种专有和标准光掩模订单格式 中的至少一种格式生成该光掩模订单。
10. 如权利要求1所述的方法，其中，该光掩模订单为标准光掩模订单 格式或专有光掩模订单格式的完整订单。
11. 如权利要求1所述的方法，其中，该光掩模订单为标准光掩模订单 格式或专有光掩模订单格式的非完整订单。
12. 如权利要求1所述的方法，还包括步骤验证由该用户输入的确定数据。
13. 如权利要求12所述的方法，还包括步骤当验证步骤表明在所述确定数据的输入中存在错误时，提示该用户输入 正确的数据。
14. 如权利要求1所述的方法，还包括步骤将该光掩模订单提交至光掩模制造商计算机系统，以用于进一步处理。
15. 如权利要求14所述的方法，还包括步骤从该光掩模制造商计算机接收用以确认该光掩模订单的状态的消息。
16. 如权利要求14所述的方法，还包括步骤从该光掩模制造商计算机接收用以识别该光掩模订单中的至少一个错 误的消息。
17. 如权利要求14所述的方法，还包括步骤从该光掩模制造商计算机接收用以确认该光掩模订单己被正确且完整 地提交的消息。
18. 如权利要求14所述的方法，其中，利用下列协议之一来提交该光掩 模订单FTP、 HTTP、 SMTP以及任何应用程序支持的传输协议。
19. 如权利要求14所述的方法，还包括步骤 校验该光掩模订单的有效性、可行性、以及合意性中的至少之一。
20. 如权利要求19所述的方法，还包括步骤基于校验步骤的结果修改所述确定数据。
21. 如权利要求20所述的方法，其中，自动修改所述确定数据。
22. 如权利要求20所述的方法，其中，由该用户手动修改所述确定数据。
23. 如权利要求1所述的方法，其中，该通用信息用户界面为在计算机 上生成的通用信息输入屏幕。
24. 如权利要求23所述的方法，其中，该定制订单用户界面为在计算机 上生成的定制订单输入屏幕。
25. 如权利要求24所述的方法，其中，在本地计算机上生成该通用信息 输入屏幕和该定制订单输入屏幕。
26. 如权利要求l所述的方法，其中，该通用信息输入屏幕和该定制订 单输入屏幕由与该用户所使用的计算机相隔远程距离的位置上的计算机生成。
27. 如权利要求24所述的方法，其中，该通用信息输入屏幕和该定制订 单输入屏幕由与该用户所使用的计算机一起位于内联网上的计算机生成。
28. 如权利要求24所述的方法，其中，该通用信息输入屏幕和该定制订单输入屏幕由与该用户所使用的计算机一起位于外联网上的计算机生成。
29. —种光掩模订单生成系统，包括通用数据用户界面生成器，其生成并格式化通用数据用户界面，该通用 数据用户界面提示用户输入关于发出光掩模订单的客户的通用数据；定制订单用户界面生成器，其生成并格式化定制订单用户界面，该定制 订单用户界面提示该用户基于所述通用数据和/或先前输入的确定数据，来输 入关于该光掩模订单的确定数据；脚本生成器，其基于输入到该定制订单输入屏幕的确定数据来访问将运 行的适当脚本集；脚本引擎，其运行由该脚本引擎确定的脚本集，以将所述确定数据转换 为该光掩模订单的组件；以及光掩模订单生成器，其基于该光掩模订单的组件生成完整或非完整的光 掩模订单。
30. 如权利要求29所述的系统，其中，所述通用数据包括用于识别该客 户的信息。
31. 如权利要求31所述的系统，其中，所述通用数据包括登录名和密码。
32. 如权利要求29所述的系统，其中，所述确定数据包括下列各项中的 至少一个计费信息、货运信息、产品类型信息、步进器设备信息、最终产 品信息、器件名称、掩模标题、到期日，CD数、数字化数据品质信息、工 具规格。
33. 如权利要求29所述的系统，其中，作为确定数据要被输入的至少一 个数据是预先填入的。
34. 如权利要求33所述的系统，其中，所述至少一个数据是由该用户可编辑的。
35. 如权利要求29所述的系统，其中，该定制订单输入页面提示该用户 仅输入与标准光掩模订单中的数据不同的数据。4
36. 如权利要求29所述的系统，还包括属性文件，该属性文件将所述确定数据存储为兼容于该光掩模订单生成器的格式。
37. 如权利要求35所述的系统，其中，该属性文件为数据库形式。
38. 如权利要求36所述的系统，其中，该属性文件与多种光掩模订单生 成器中的至少一种兼容使用。
39. 如权利要求29所述的系统，其中，该通用数据用户界面为网页。
40. 如权利要求29所述的系统，其中，该通用数据用户界面包括一系列 链接网页。
41. 如权利要求29所述的系统，其中，该定制订单用户界面为网页。
42. 如权利要求29所述的系统，其中，该定制订单用户界面包括一系列 链接网页。
43. 如权利要求36所述的系统，其中，该脚本引擎将该属性文件转换为 光掩模订单目标模式。
44. 如权利要求29所述的系统，其中，该光掩模订单被生成为各种专有 和标准光掩模订单格式中的至少一种格式。
45. 如权利要求29所述的系统，其中，该光掩模订单为标准光掩模订单 格式或专有光掩模订单格式的完整订单。
46. 如权利要求29所述的系统，其中，该光掩模订单为标准光掩模订单 格式或专有光掩模订单格式的非完整订单。
47. 如权利要求29所述的系统，还包括验证系统，其验证由该用户输入 的确定数据。
48. 如权利要求47所述的系统，其中，当验证处理表明在所述确定数据 的输入中存在错误时，该验证系统提示该用户输入正确的数据。
49. 如权利要求47所述的系统，其中，该验证系统包括 光掩模订单发送器，其将该光掩模订单提交给光掩模制造商计算机系统，以用于进一步处理。
50. 如权利要求49所述的系统，其中，该验证系统还包括 消息系统，其从该光掩模制造商计算机系统向该用户发送用以确认该光掩模订单的状态的消息。
51. 如权利要求50所述的系统，其中，以下列方式中的至少一种发送该消息电子邮件、寻呼机以及移动电话。
52. 如权利要求50所述的系统，其中，该消息系统从该光掩模制造商计算机系统向该用户发送用以识别该光掩模订单中的至少一个错误的消息。
53. 如权利要求50所述的系统，其中，该消息系统从该光掩模制造商计 算机系统向该用户发送用以指示该光掩模订单已被完整且正确地提交的消 息。
54. 如权利要求49所述的系统，其中，该光掩模订单发送器利用下列协 议之一来发送该光掩模订单FTP、 HTTP、 SMTP以及任何应用程序支持的 传输协议。
55. —种用于生成光掩模订单的系统，包括含有计算机可读指令的计算 机可读介质，其中所述计算机可读指令可在处理器上运行以执行包括下列步 骤的方法生成通用信息用户界面，该通用信息用户界面提示用户输入关于发出该 光掩模订单的客户的通用数据；生成定制订单用户界面，该定制订单用户界面提示该用户基于所述通用 数据和/或先前输入的确定数据，来输入完成该光掩模订单所需的确定数据；基于所述确定数据生成属性文件；基于该属性文件访问用于生成光掩模订单的命令脚本文件；以及 利用该命令脚本文件生成光掩模订单。
56. 如权利要求55所述的系统，其中，所述通用数据包括用于识别该客 户的信息。
57. 如权利要求56所述的系统，其中，所述通用数据包括登录名和密码。
58. 如权利要求55所述的系统，其中，所述确定数据包括下列各项中的 至少一个计费信息、货运信息、产品类型信息、步进器设备信息、最终产 品信息、器件名称、掩模标题、到期日，CD数、数字化数据品质信息、工 具规格。
59. 如权利要求55所述的系统，其中，所述确定数据包括预先填入的数据。
60. 如权利要求59所述的系统，其中，该预先填入的数据包括由该用户 可编辑的数据。
61. 如权利要求55所述的系统，其中，由该定制订单输入页面提示的确定数据包括与标准光掩模订单中的数据不同的数据。
62. 如权利要求55所述的系统，其中，该属性文件与多种光掩模订单生 成系统中的至少一种兼容使用。
63. 如权利要求55所述的系统，其中，该光掩模订单被生成为多种专有 和标准光掩模订单格式中的至少一种。
64. 如权利要求55所述的系统，其中，该光掩模订单为标准光掩模订单 格式或专有光掩模订单格式的完整订单。
65. 如权利要求55所述的系统，其中，该光掩模订单为标准光掩模订单格式或专有光掩模订单格式的非完整订单。
66. 如权利要求55所述的系统，还包括步骤 验证由该用户输入的确定数据。
67. 如权利要求66所述的系统，还包括步骤当验证步骤表明在所述确定数据的输入中存在错误时，提示该用户输入 正确的数据。
68. 如权利要求55所述的系统，还包括步骤将该光掩模订单提交至光掩模制造商计算机系统，以用于进一步处理。
69. 如权利要求68所述的系统，还包括步骤从该光掩模制造商计算机接收用以确认该光掩模订单的状态的消息。
70. 如权利要求68所述的系统，还包括步骤从该光掩模制造商计算机接收用以识别该光掩模订单中的至少一个错 误的消息。
71. 如权利要求68所述的系统，还包括步骤从该光掩模制造商计算机接收用以确认该光掩模订单已被正确且完整 地提交的消息。
72. 如权利要求68所述的系统，其中，利用下列协议之一来提交该光掩 模订单FTP、 HTTP、 SMTP以及任何应用程序支持的传输协议。
73. 如权利要求68所述的系统，还包括步骤 校验该光掩模订单的有效性、可行性以及合意性中的至少一个。
74. 如权利要求73所述的系统，还包括步骤基于校验步骤的结果修改所述确定数据。
75. 如权利要求74所述的系统，其中，自动修改所述确定数据。
76. 如权利要求74所述的系统，其中，由该用户手动修改所述确定数据。
77. 如权利要求55所述的系统，其中，该通用信息用户界面和该定制订 单用户界面为在本地计算机上生成的屏幕。
78. 如权利要求55所述的系统，其中，该通用信息用户界面和该定制订 单用户界面为由与该用户所使用的计算机相隔远程距离的位置上的计算机 生成的屏幕。
79. 如权利要求55所述的系统，其中，该通用信息用户界面和该定制订 单用户界面为由与该用户所使用的计算机一起位于内联网上的计算机生成 的屏幕。
80. 如权利要求55所述的系统，其中，该通用信息用户界面和该定制订 单用户界面由与该用户所使用的计算机一起位于外联网上的计算机生成。
81. —种用于处理光掩模订单的方法，包括下列步骤 生成通用信息用户界面，该通用信息用户界面提示用户输入关于发出光掩模订单的客户的通用数据；生成定制订单用户界面，该定制订单用户界面提示该用户基于所述通用 数据和/或先前输入的确定数据，来输入处理该光掩模订单所需的确定数据；基于所述确定数据生成属性文件；通过基于该属性文件访问命令脚本文件，来生成光掩模订单处理系统的 配置文件；利用该配置文件来设置该光掩模订单处理系统；以及 利用该光掩模订单处理系统处理光掩模订单。
82. —种跟踪光掩模订单的方法，包括下列步骤生成通用信息用户界面，该通用信息用户界面提示用户输入关于光掩模 订单的制造环境的通用数据；生成定制订单用户界面，该定制订单用户界面提示该用户基于所述通用 数据和/或先前输入的确定数据，来输入关于该制造环境的确定数据；基于所述确定数据生成属性文件；以及通过基于该属性文件访问命令脚本文件来生成消息。
全文摘要
一种生成光掩模订单(255)的方法，包括生成通用信息用户界面(210)，其提示用户输入关于发出该订单的客户的通用数据(217)；以及生成特定订单用户界面(220)，其提示该用户基于该通用数据(217)和/或先前输入的确定数据(222)来输入完成该光掩模订单(255)所需的确定数据(222)。基于属性文件(222)访问命令脚本文件(237)，其中该属性文件(222)是基于该确定数据(222)生成的。利用命令脚本文件(237)生成光掩模订单(255)。另一实施例利用通用信息(217)和特定信息(222)输入界面来收集关于新的或潜在的光掩模客户的信息，从而为光掩模订单(255)处理系统生成配置文件(237)。另一实施例生成关于该光掩模制造过程的消息。
文档编号G06Q30/00GK101223543SQ200580051043
公开日2008年7月16日 申请日期2005年5月31日 优先权日2005年5月27日
发明者丹尼尔·J.·卡哈兰, 查尔斯·E.·克罗克, 爱德华·J.·萨蒂尔 申请人:美商福昌公司