专利名称：特种气体失效预警方法
技术领域：
本发明涉及一种特种气体失效预警方法。
背景技术：
半导体产业发展迅速，半导体制程日益复杂，在半导体工厂中所使用的特种气体是工艺过程必不可少的一部分。特种气体的供应具有两个特征一方面，半导体制造工艺对于特种气体的质量要求极高，因此过期失效的特种气体必须进行切换，以避免影响工艺质量，造成巨大经济损失；另一方面，半导体生产过程要求特种气体保证不间断供应，高效准确的失效预警有利于更加精确地预测特种气体的有效库存量，从而保证生产正常运营。总而言之，特种气体供应必须保证持续不断地供应有效期限以内的特种气体。因此，保持特种气体供应系统的稳定运行，确保特种气体失效预警的准确性对于确定正确的特种气体库存水平，进一步保证半导体工厂的正常运营有着非常重要的意义，并且对工厂产能目标的实现具有重大影响。半导体工厂特种气体的供应方式，目前应用最为广泛的是采用钢瓶进行输送供气。这种方式在具有使用灵活等优点的同时，也增加了特种气体失效监测的难度。目前的特种气体失效预警方法存在以下不足1)采用人工方式对特种气体的失效情况进行检查，难以准确地判断潜在的气体过期失效风险，容易造成失效漏报；2)只是针对气柜中的钢瓶(“一用一备”即存放“使用”和“备份”两种类别钢瓶)进行检查，对暂存区和仓库里的钢瓶不进行检查；3)失效判断方法相对落后，将钢瓶的有效日期与当前日期进行比较，如果相差小于一定天数(如90天)，则认定特种气体钢瓶存在失效风险。上述不足会存在一定的特种气体供应风险，严重的会影响生产线的正常运转。因此，有必要对现有的特种气体失效预警方法进行改进，以期能够在保证特种气体稳定、可靠供应的同时，提升特种气体库存管理水平，降低库存成本。
发明内容
本发明的目的在于提供特种气体失效预警方法，以解决现有预警方法存在的难以全面而准确的判断潜在的特有气体过期失效风险的问题。为解决上述问题，本发明提出一种特种气体失效预警的方法，该方法包括如下步骤采集特种气体历史使用量指标数据和特种气体钢瓶指标数据，其中所述特种气体钢瓶指标数据包括特种气体钢瓶的有效日期；根据特种气体钢瓶的指标数据对特种气体钢瓶进行排序并依次对特种气体钢瓶进行编号；根据历史使用量指标数据计算动态日平均使用量；
按照特种气体钢瓶的排序，根据特种气体钢瓶剩余量和日平均使用量数据依次计算每个特种气体钢瓶的耗尽日期和切换日期；将计算所得的每个特种气体钢瓶的切换日期与其有效日期进行比较，如果两者相等则对该特种气体钢瓶进行失效预警。可选的，所述特种气体钢瓶指标数据还包括特种气体钢瓶的类别数据；以及特种气体钢瓶剩余量数据。可选的，所述特种气体钢瓶的类别数据包括如下类别“使用”目前正在为工厂供应气体的钢瓶；“备份”为“使用”钢瓶的备份钢瓶，发生异常时或需要更换时，必须切换至“备份” 钢瓶进行供气；“暂存”存放于暂存区的钢瓶；“仓库”存放于仓库的钢瓶。可选的，所述根据特种气体钢瓶的指标数据对特种气体钢瓶进行排序并依次对特种气体钢瓶进行编号具体包括如下步骤依次将钢瓶按照“使用”、“备份”、“暂存”、“仓库”等4个钢瓶类别进行排序；如果同类别的钢瓶数量大于1，则按照有效日期先后进行二次排序；将上述排序后的特种气体钢瓶依次进行编号。可选的，所述动态日平均使用量的计算公式为其中，U为特种气体的动态日平均使用量，M为统计历史平均用量的时间段天数，um 为M天时间段内第m天的气体使用量(1彡m彡M)。可选的，所述计算钢瓶耗尽日期的公式为Ei = Ci-^RiZU其中，Ei为第i个钢瓶的耗尽日期，Ci为第i个钢瓶的切换日期，Ctl为实施失效预警方法的当前日期，Ri为第i个钢瓶的剩余量，U为特种气体的动态日平均使用量，i ^ 1。可选的，所述计算钢瓶切换日期的公式为Ci = HiinlDi, Ej其中，Ci为第i个钢瓶的切换日期，Di为第i个钢瓶的有效日期，Ei为第i个钢瓶的耗尽日期。本发明由于采用了以上的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果本发明所提出的特种气体失效预警方法充分考虑了实际应用中的动态性，每次方法的实施执行，皆根据最新的数据对钢瓶的失效预警指标进行更新，以做出最新及更为精确的判断，最大程度的保证特种气体供应的稳定性和特种气体库存的合理性。在有效保持特种气体库存水平的基础上，能够更好地保证特种气体供应，从而确保生产线稳定运转。
图1为本发明实施例提供的特种气体失效预警方法的步骤流程图。
具体实施例方式以下结合附图和具体实施例对本发明提出的特种气体失效预警方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。本发明的核心思想在于，提供一种特种气体失效的方法，该方法根据历史使用量指标数据动态计算特种气体的日平均使用量、通过特种气体钢瓶指标数据，对特种气体钢瓶进行排序，并依照该序列依次计算每个特种气体钢瓶的耗尽日期和切换日期，最后通过比较特种气体钢瓶的切换日期和有效日期来对钢瓶气体的失效风险进行判别，对于存在过期失效的钢瓶气体进行报警。请参考图1，图1为本发明实施例提供的特种气体失效预警的方法步骤流程图，如图1所示，本发明实施例提供的特种气体失效预警的方法包括如下步骤SlOl 采集特种气体历史使用量指标数据和特种气体钢瓶指标数据；具体地，所述特种气体钢瓶指标数据包括特种气体钢瓶的有效日期；特种气体钢瓶的类别数据；特种气体钢瓶剩余量数据。其中，所述特种气体钢瓶的类别数据包括如下类别“使用”目前正在为工厂供应气体的钢瓶；“备份”为“使用”钢瓶的备份钢瓶，发生异常时或需要更换时，必须切换至“备份”钢瓶进行供气；“暂存”存放于暂存区的钢瓶；“仓库”存放于仓库的钢瓶。S102:根据特种气体钢瓶的指标数据对特种气体钢瓶进行排序并依次对特种气体钢瓶进行编号；具体地，包括如下步骤依次将钢瓶按照“使用”、“备份”、“暂存”、“仓库”等4个钢瓶类别进行排序；如果同类别的钢瓶数量大于1，则按照有效日期先后进行二次排序；将上述排序后的特种气体钢瓶依次进行编号。以总数为N个钢瓶为例，首先根据钢瓶的上述4个类别将钢瓶进行分类，如果每类中的钢瓶数量大于1，则按照有效日期先后进行排序；之后再根据上述排序对钢瓶进行
编号，以编号i :1、2........M为例，其中，i为钢瓶类别号，代表上述4个钢瓶类别之一，
1彡i彡4，M为每一类别下钢瓶的数量，1彡M彡N。S103 根据历史使用量指标数据计算动态日平均使用量；具体地，所述动态日平均使用量的计算公式为
权利要求
1.一种特种气体失效预警方法，其特征在于，包括如下步骤采集特种气体历史使用量指标数据和特种气体钢瓶指标数据，其中所述特种气体钢瓶指标数据包括特种气体钢瓶的有效日期；根据特种气体钢瓶的指标数据对特种气体钢瓶进行排序并依次对特种气体钢瓶进行编号；根据历史使用量指标数据计算动态日平均使用量；按照特种气体钢瓶的排序，根据特种气体钢瓶剩余量和日平均使用量数据依次计算每个特种气体钢瓶的耗尽日期和切换日期；将计算所得的每个特种气体钢瓶的切换日期与其有效日期进行比较，如果两者相等则对该特种气体钢瓶进行失效预警。
2.如权利要求1所述的特种气体失效预警方法，其特征在于，所述特种气体钢瓶指标数据还包括特种气体钢瓶的类别数据；以及特种气体钢瓶剩余量数据。
3.根据权利要求2所述的特种气体失效预警方法，其特征在于，所述特种气体钢瓶的类别数据包括如下类别“使用”目前正在为工厂供应气体的钢瓶；“备份”为“使用”钢瓶的备份钢瓶，发生异常时或需要更换时，必须切换至“备份”钢瓶进行供气；“暂存”存放于暂存区的钢瓶；“仓库”:存放于仓库的钢瓶。
4.根据权利要求3所述的特种气体失效预警方法，其特征在于，所述根据特种气体钢瓶的指标数据对特种气体钢瓶进行排序并依次对特种气体钢瓶进行编号具体包括如下步骤依次将钢瓶按照“使用”、“备份”、“暂存”、“仓库”等4个钢瓶类别进行排序；如果同类别的钢瓶数量大于1，则按照有效日期先后进行二次排序；将上述排序后的特种气体钢瓶依次进行编号。
5.根据权利要求1所述的特种气体失效预警方法，其特征在于，所述动态日平均使用量的计算公式为
6.根据权利要求5所述的特种气体失效预警方法，其特征在于，所述计算钢瓶耗尽日期的公式为Ei = CH+Ri/U其中，Ei为第i个钢瓶的耗尽日期，Ci为第i个钢瓶的切换日期，Ctl为实施失效预警方法的当前日期，Ri为第i个钢瓶的剩余量，U为特种气体的动态日平均使用量，i ^ 1。
7.根据权利要求6所述的特种气体失效预警方法，其特征在于，所述计算钢瓶切换日期的公式为Ci = min (Di, Ej其中，Ci为第i个钢瓶的切换日期，Di为第i个钢瓶的有效日期，Ei为第i个钢瓶的耗尽日期。
全文摘要
本发明公开了一种特种气体失效预警方法。该方法通过采集特种气体供应的历史数据和特种气体钢瓶指标数据，并根据钢瓶类别和有效日期对特种气体钢瓶排序并编号，根据特种气体供应的历史数据动态计算特种气体日平均使用量，再结合特种气体钢瓶的剩余量数据，依照排序计算特种气体钢瓶的耗尽日期和切换日期，并将钢瓶切换日期与钢瓶有效日期进行比较，如果钢瓶切换日期与钢瓶有效日期相等，钢瓶气体存在过期失效风险，进行失效预警。该方法主要用于防止特种气体过期失效，不仅可以有效保持特种气体库存合理水平，而且能够更好地保证特种气体供应，确保生产线安全稳定运营，且简单可靠。
文档编号G06F19/00GK102495954SQ20111038878
公开日2012年6月13日 申请日期2011年11月30日 优先权日2011年11月30日
发明者刘惠然, 张怀, 柯陈宾, 胡秀梅 申请人:上海华力微电子有限公司