用于为多层图案的视觉系统检查生成合成黄金模板图像的系统和方法

文档序号:6503060阅读:184来源:国知局
用于为多层图案的视觉系统检查生成合成黄金模板图像的系统和方法
【专利摘要】本发明提供一种系统和方法,其用于在视觉系统中产生黄金模板图像以便检查具有多层印刷图案的已获取的运行时刻图像。所述系统和方法通过使用每个都在相应的标准层掩模图像上被训练的配准模型在运行时刻图像上执行训练处理并输出姿势。基于所述姿势,产生翘曲的层掩模。基于所述翘曲的层掩模的不同组合计算组合掩模。为所述组合掩模估算所述前景区域的像素的强度值。然后将所述估算强度值与所述组合掩模混合以产生黄金模板图像。该黄金模板图像可被用于与运行时刻图像相比较。该系统和方法的示例性应用是在平坦和非平坦的表面上的印刷检查。
【专利说明】用于为多层图案的视觉系统检查生成合成黄金模板图像的系统和方法
[0001]相关申请
[0002]本申请要求序列号为61/649,861的美国临时申请的权益,该美国临时申请由LowellD、Jacobson等于2012年5月21日提交,标题为用于为多层图案的视觉系统检查生成合成的黄金模板图像的系统和方法,其整个内容通过引用并入本文。
【技术领域】
[0003]本发明涉及机器视觉系统且更具体地涉及在视觉系统中用于检查物体和图案的模板。
【背景技术】
[0004]在制造处理中,常常需要通过使用各种应用技术比如移印、石版印刷等将多个印刷的或图案化的层施加至物体的表面。例如,在印刷处理中,页面可能包含多层墨水以便产生多色的图像。许多其它物体,比如印刷的虹膜接触镜片、半导体晶片,甚至高尔夫球也可在其表面的至少一部分上包含多层印刷图案。这些图案在表面的至少一些位置可能重叠或可能不重叠。在此类处理中,生产商试图最小化(例如)由于层之间的未对齐或由于在一个或多个层中额外的或丢失的墨水而可能出现的缺陷。
[0005]最小化缺陷的一个方法是使用机器视觉系统(此处简单地称为“视觉系统”)执行印刷表面的可视化检查。在单层结构中,这可通过使用所谓的“黄金模板”比较(GTC)来实现,其中,参考图像(黄金模板)从优良部件的一个或多个图像中产生。随后,从将要检查的每个部件的图像中减去黄金模板图像以产生强度或颜色“差值图像”。在黄金模板与运行时刻图像之间的总的或区域的幅度差值在相减之前可被标准化。且差值图像可以是带正负符号的或绝对值的。显著的差值经常与运行时刻部件中的缺陷相关。差值区域可通过各种技术,比如斑点分割和连贯性分析来检测和量化。如果差值超过可接受的强度或尺寸阈值,那么部件可被认为是有缺陷的。
[0006]然而,将标准GTC处理施加于多层印刷表面很明显是更有问题的。例如,从物体到物体而不同(因为不同层之间的对齐)的层之间的重叠并不是很容易地通过单个黄金模板来解决。就这点而论,需要提供用于产生黄金模板的系统和方法,所述黄金模板允许多层印刷/图案化的表面(通常每层中具有不同颜色)由视觉系统来检查。

【发明内容】

[0007]本发明通过提供用于产生黄金模板图像且使用黄金模板比较(GTC)来检查多层印刷/图案化的表面的系统和方法来克服先前技术的缺点,作为输入采用a)获取将要检查的图像(例如,灰阶或颜色)和b) —个(二进制)掩膜图像组(每个印刷层一个图像)。每个掩模图像(此处称“层掩”)描述应该由与印刷层相关的颜色占用的已获取图像的区域。然后,这些输入用于产生合成的黄金模板图像,利用所述黄金模板图像可检查第一(已获取的)图像。用于每个印刷层的二进制掩模图像可来自各种图像数据,比如原始印刷作品(移印印刷或胶版印刷板从其中产生)。该图像用于训练专用于该层的配准模型(其利用视觉系统工具操作)。考虑到将要检查的图像,层配准模型被用于独立地与运行时刻图像中的线性的、或更一般地非线性的、每个印刷层的姿势相配准。利用为该层估算的相应配准姿势,每个层掩模图像然后被翘曲进入运行时刻图像域,以至于引起运行时刻图像中该层的转移、角度、t匕例和变形。在实施例中,配准姿势可以是非线性的。然后,图示的系统和方法使用逻辑操作来组合翘曲的层掩模以至于获得描述在运行时刻图像中的区域的一个新的组合掩模组,该区域应该仅被第一印刷层、仅仅第二印刷层、或其间重叠的两层(以及有两个以上的层的地方等等)所覆盖。使用这些组合掩模以及将要检查的输入图像,接下来为每个层组合(掩模)估算参数,比如其预期的颜色(包括慢的空间变化)。这些参数然后在受组合掩模边界约束的填充处理中使用以创建黄金模板图像,其与要被检查的每个运行时刻图像相符合。因为估算的参数数量比在运行时刻、被检查图像中的像素数量小,即使用于学习模板的图像具有缺陷,图示的系统和方法也能够合成无缺陷的黄金模板图像。然后,检查以传统的图像相减过程使用合成的黄金模板图像,以允许使用已知的技术检测丢失或额外的印刷区域。
[0008]图示性地,如果运行时刻、被检查的图像具有明显的严重缺陷,然后这些缺陷通常在配准和参数估算的处理期间被检测。例如,如果印刷层被完全丢失,那么,对该层的配准步骤以及其变形将完全地失败,或具有非常低的分数。类似地,用于印刷层的颜色或强度的估算参数应该被验证在可接受的范围之内。
[0009]然而,在各种实施例中,检查包括从运行时刻图像减去黄金模板,在替换的实施例中,系统和方法可以从运行时刻图像和黄金模板图像中计算各种表现,且对这些得出的表现进行检查。这包括,例如,在比较之前,使运行时刻和黄金模板图像平滑或高通滤波,或从两个图像中计算多尺度、傅里叶或微波描述。然后,这些得出的表现可通过相减和差值阈值设定或使用本领域已知的其它比较标准来比较以检测缺陷。
[0010]在图示的实施例中,提供用于在视觉系统中产生黄金模板图像以便检查具有多层印刷图案的已获取的运行时刻图像的系统和方法。该系统和方法在每个部件的运行时刻图像上执行配准方法以便确定一个层组中的每个预期的层的姿势,其具有由一个标准层掩模图像组描述的未变形的几何形状。然后,确定了的层姿势被用于翘曲每个标准层掩模以便生成一组新的运行时刻“翘曲的层掩模”。翘曲的层掩模可从基于训练图像内的变形或当前已获取的运行时刻图像中的变形或先前已获取的运行时刻图像中产生。然后,计算一个组合掩模组,其描述翘曲的层掩模的每一个可能的组合。通过每个组合掩模的前景区域估算强度或颜色(例如,红蓝绿)。可选地,也可为“全部背景区域”(定义为所有翘曲的层掩模的背景的交集)估算强度或颜色。然后,将与每个分离的组合掩模相关的估算的强度或颜色混合在一起,以产生可在图像的运行时刻检查中使用的黄金模板图像。标准层掩模图示地限定模糊边缘,其随后提供翘曲的层掩模和具有模糊边缘(反走样掩模)的组合掩模。标准层掩模可基于在运行时刻图像的版本之内的估算的线性的或非线性变形而翘曲。图示地,标准层掩模可基于如在配准步骤中计算的当前已获取的运行时刻图像中的变形而翘曲。可替代地,可将预训练变形信息用于预翘曲所述标准层掩模,以用作为运行时刻配准模型。通过示例的方式,在检查球状物中,球形变形可被提供作为预翘曲变形信息以使标准层掩模翘曲,以至于其包括标准球形变形模型。随后的变形可在使用运行时刻图像数据或来自先前已获取的图像(或另一个变形信息组)的训练图像数据的配准期间被施加。根据实施例,在混合之前,将估算强度值填充到与每个组合掩模相关的图像区域。在图示的实施例中,混合方法还可以包括特殊处理以确定位于组合掩模之间的模糊过渡区的像素的反走样强度值。一般地,混合可以包括将与各种组合掩模区域相关的强度估算合并至单个图像。在图示的实施例中,混合可以通过使用强度的加权平均值来实现。另外,在实施例中,可采用一些或所有组合掩模,以产生在随后的检查循环或其它与全部的运行时刻处理有关的动作中使用的加权掩模。
【专利附图】

【附图说明】
[0011]本发明下文的描述参考附图,其中:
[0012]图1是根据图示的实施例的示例性视觉系统布置的示意图,其包括与计算设备(其操作包括黄金模板产生和比较工具的视觉系统)互连的视觉系统照相机,其中多层印刷表面的图像被获取并检查;
[0013]图2是图1的示例性多层印刷表面的已获取的图像的简化版本的示意图,其显示层之间的重叠;
[0014]图2A是更加实际的已获取的、示例性运行时刻图像的示意图,其图示比如印刷层的变形和可变的重叠的效果;
[0015]图2B是表现图2A的运行时刻图像的内部特征的未变形的(标准)图像;
[0016]图2C是表现图2A的运行时刻图像的外部特征的未变形图像;
[0017]图2D是与图2A类似的另一个实际的、已获取的图像的示意图,其大体地图示该系统和方法在层之间出现实质性转移和旋转情况下也能够操作;
[0018]图3是用于基于由运行时刻图像(用于翘曲标准层掩模图像以便产生翘曲的层掩模)提供的配准信息产生翘曲层掩模的图示性过程;
[0019]图4是用于基于在图3的过程中产生的翘曲的层掩模产生和使用黄金模板的图示性过程;
[0020]图5和6是与图2的已获取的图像中的示例性的层的每个的具有模糊边缘的相关的满值强度输入掩模;
[0021]图7是与图2的已获取的图像的背景相关的满值强度输入掩模;和
[0022]图8是包含用于多个层的每一个的重叠像素的示例性过渡区的示意图。
【具体实施方式】
[0023]图1示出根据图示的实施例可被使用的示例性的视觉系统布置100。系统100包括一个或多个视觉系统照相机,为了简单起见,由视觉系统照相机110代表。图示的照相机110包括照相机主体112,其包含图像传感器(或成像器,未图示)和用于通过链路114 (通常为有线的,但可以是无线的)获取和将图像帧传输至计算设备120的关联的电子装置。该照相机110包括适当的镜头116,其聚焦于包含被检查的物体130的场景118。照相机可包括依照图像获取处理操作的内部和/或外部照明器(未示出)。该计算设备可以是能够依照图示的实施例存储和操纵图像的任何可接受的基于处理器的系统。在实施例中,计算设备120可以包括运行适当的操作系统的个人计算机PC,比如由微软公司提供的Windows操作系统。计算设备120可包括适当的外围设备,比如与照相机互连的基于总线的图像采集卡。在替代实施例中,视觉处理器可被部分地或完全地包含在照相机主体自身内。计算设备120可选地包括适当的显示器122(在此显示场景118和物体130的已获取的图像140),其能支持可依照储存的视觉系统应用程序150来操作的适当的图形用户界面(GUI)。应注意,在各种实施例中,显示器可被省略和/或仅仅提供用于安装和服务功能。应用程序150可以是任何可接受的软件和/或硬件包,其在检查物体的使用中是可接受的,比如商业上可从马萨诸塞洲的康耐视(Cognex)公司获得的那些。计算设备还可以包括关联的用户界面(UI)组件,例如包括键盘124和鼠标126。
[0024]根据图示的实施例,视觉系统应用程序150与一个或多个应用程序/处理(运行在计算设备120上)交互操作,所述应用程序/处理共同地包含在检查多层印刷的/图案化表面中使用的黄金模板工具160。如下所述,工具的部分功能是基于由各种可能的来源提供的未变形的(标准)图像数据162通常在运行时刻产生多个黄金模板图像数据集。例如,在移印的物体比如印刷虹膜接触镜片的情况下,无变形图像数据可以是用于每个生成虹膜层(用于产生在生成中涂墨于印轧的油墨印版)的原始数码作品。图像数据还可以是优良印刷样品的一幅或多幅实际的已获得的图像。这些图像可被进一步修改为适当地去除在创建每层的标准图像中的小的、随机的缺陷。在其它示例中,标准图像数据可以是由用户构造的印刷层的合成图像。
[0025]注意,本文执行的各种处理和过程可通过使用电子硬件、软件(组成程序指令的非临时计算机可读取媒介)、或硬件与软件的组合来实现。
[0026]参考图2,此处将使用简化的多层印刷表面130的示例性的已获取的图像140来图示系统和方法的操作概念。在本示例中,表面提供的多色层已被照相机传感器转换成灰度强度。可替代地,颜色照相机传感器可用于提供颜色运行时刻图像,如下文进一步描述。层220和230相应地以示例方式被识别为“红色”和“绿色”,提供了两个有区别的颜色/阴影。这是层之间在颜色、色调、阴影或强度差值方面的大范围的可能的差值的示例。层220和230可以以两个方式中的任何一个重叠(B卩,红色在绿色上面,或绿色在红色上面),并显示得出的重叠区240。
[0027]为了更实际地图示可使用该系统和方法的原理检查的真实图像以及此种流程的艰巨性,参考图2A-2C。图2A特别地显示在背景252内的多层印刷图案250的运行时刻图像。该图像包括外部印刷层254,其利用第一颜色和/或灰阶强度(由X领域表示)限定圆形图案。内部图案是五角星256 (由点领域表示)。提供了一些实际的特征来渲染检查的艰巨。首先,图像包括变形,可能是由于印刷变化和/或如由五角星的弯曲的、大幅度弯曲的(例如260、262)展现的基片的形状。虽然常常期望层与层保持相对地分离,但通常层254和256可变地重叠,如所示的,例如,重叠区域有区域270、272和273,其中,点和x是混合的。同样地,区域(例如,278和280)可没有层。
[0028]参考图2B,五角星图案的未变形或标准图像280及周围的背景282被显示。一般地,该示例性的图像是更直线的,且可以与实际的运行时刻图像图案256显著地不同。该图像是下文将描述的图示的黄金模板确定程序的使用的基础之一。同样地,图2C中示出了具有相应的外部背景区域292和294的外部圆图案290的未变形的或标准图像,此外,该图像在形状上更加规则,无变形/翘曲。[0029]正如下文将进一步描述的,甚至在层展现出相对于彼此的显著的转移和/或旋转的情况下,图示性的实施例的系统和方法可以产生所需的结果。如参考图2D所示和简要描述的,运行时刻图像286 (具有类似于图2A的那些的印刷层)既变形又显著地转移和旋转。即,五角星图案288位于背景289的左上部,同时,周围的圆模型296大约旋转45度(弯曲的箭头R)且在X和Y轴(箭头XT和YT)上均转移,因此在层之间只保持有小的重叠区297。系统和方法分别对每一层(下文描述)配准,且因此即使对于完全非重叠的转移和/或旋转层,图示的系统和方法产生黄金模板图像的操作是不可知论的。
[0030]现在参考图3,且再次参考简化的示例,其根据图示的实施例显示了在全部运行时刻过程中的初始步骤300,其用于产生和使用在多层印刷模型中使用的黄金模板。这部分过程产生具有适当的配准和翘曲以在随后的黄金模板产生和检查过程(图4)中使用的翘曲的层掩模。在步骤310,标准图像数据被提供作为每一层(和背景)的一个标准掩模(即,“标准层掩模”)组。标准图像数据已通过产生模糊边缘被反走样(ant1-aliased)。利用“模糊边缘”,其总体上意味着一个边缘,该边缘包括沿着已被分配强度(大约在前景和背景的中间)的边缘的像素带,从而消除其间的强对比线。因此,如下所述,该模糊边缘改善了掩模的混合结果。基于包含在标准层掩模的每个中的图像数据,在步骤312,视觉系统学习用于每个掩模的配准模型。视觉系统可以通过使用商业上可得到的模型配准工具,比如从Cognex公司可获得的PatMax来执行学习步骤和随后的配准步骤。基于每个配准模型,然后,过程针对输入、在步骤316获取的多层印刷物体的已获取的运行时刻图像314运行配准处理。可选地,如果配准显示严重错误,比如在运行时刻图像中的层的显著的(基于可接受的预设阈值)未对齐或丢失层,然后,对该图像得出的低或无法接受的分数导致物体将被拒绝,而无需(没有)进一步分析(可选的判定步骤320和可选的步骤322),参见例如图2D的显著地未配准图像,其可能在进一步分析发生之前可能被拒绝。然而,在图示的实施例中的配准和模板确定的分枝便利甚至在这种情况下也可能形成黄金模板。输入下一个运行时刻图像(可选的步骤314),且为下一个图像重复该过程。在实施例中,由于未配准而拒绝物体是用户可选择的一个选项。如果配准在可接受的阈值之内,配准模型(步骤316)的运行结果输出多个运行时刻图像的姿势(步骤330)。在步骤332,该姿势信息在翘曲操作中被使用以对标准层掩模进行重新插值,因此,其与运行时刻图像的相关的层对齐。为了有利于下文描述的预训练变形信息,可以省略该翘曲步骤(332)。掩模中包括变形是所需的,因为每个层可以展现与标准层掩模相关的其自身独有的变形。例如,在移印处理中,存在能在转移模型中引起独有的变形的各种变量。翘曲处`理从而产生在如下所述的黄金模板的产生中使用的“翘曲的层掩模”的输出组334。
[0031]因为非直线变形的估算在计算方面的开销是很大的,可以设想(在实施例中)过程300可以替代引起翘曲步骤将仿射(B卩,线性的)翘曲施加至可选地在步骤312初始学习的预变形模型(块350),正如在给出的生成运行中从一个运行时刻图像至另一个变形通常保持相对不变。在这种情况下,在翘曲掩模上运行配准(步骤316),以允许在步骤330中在其上产生姿势。
[0032]注意,考虑到运行时刻图像中呈现的变形,在产生姿势时可以使用工具来执行非仿射翘曲,而不是产生与每个翘曲的层掩模有关的变形领域。例如,可在实施例中使用CognexPatMax工具的PaLFlex?+配准方式。可使用另一个等同的工具。[0033]现在参考图4的步骤400,现在进一步详细描述用于产生和使用黄金模板的过程。对于受到视觉系统检查的每个运行时刻图像,该处理基本上是不停地出现。提供通过配准姿势被翘曲且通过提供模糊边缘被反走样的翘曲的层掩模(步骤410)。应注意,模糊边缘的使用是可选的且高度可变的,并且大体上避免了能影响处理的硬的或阶梯式边缘的存在。通过进一步图示的方式,图5、6和7相应地显示与图像层220、230和背景210有关的三个模糊掩模的三个示意性的表现。每个都提供了以上描述的模糊边缘520、620和形成与下文进一步描述的重叠层有关的过渡区域/区720。这些模糊的、翘曲的层掩模被用来在步骤420计算组合掩模。在限定“组合掩模”中,下列描述被提供给掩模Ml和M2,产生包含Ml和M2的重叠的掩模以及包含Ml但不包含M2,包含M2但不包含Ml和既不包含Ml也不包含M2 (即,背景掩模)的组合掩模。因此,可为该层组合产生一具有四个掩模的组。应注意,掩模的一些组合可导致层之间没有交叉点,因此与该过程不相关。在该过程中可将这些组合掩模清除。其它交叉组合掩模被用来在步骤430为每个红绿蓝通道估算强度(灰阶)或颜色强度(取决于图像类型),且合成其中填满强度或颜色的图像。在估算步骤中,使用组合掩模的“满值”(即,8位图像的255强度值)强度与运行时刻图像440联合使用以便执行估算。各种统计技术,比如中值计算、滤波等被用来在运行时刻图像的区域中确定像素的强度且该技术被使用来估算掩模中的相关强度。组合掩模的满值像素定义所谓的“内掩膜”,在其中它们包括具有最大值255 (或另一个适当的极大值)的所有像素。在这种情况中,组合掩模中具有不同于255的值的剩余像素包含过渡。
[0034]在步骤440中,填充过程使用在步骤430产生的强度估算填充每个组合掩模的前景区域的每个灰阶(或颜色信路)强度。这使用了特征在于具有大于零的任何值(与只包含最大掩模值的内掩模相反)的“外掩模”。然后,在步骤450,在步骤420提供的模糊掩模被用于将用于组合掩模图像的估值与单个输出图像混合。这产生用于执行检查的输出黄金模板图像。检查步骤470使用大体如上文描述的用于GTC的已知技术利用黄金模板来检查运行时刻图像440。而且,以有用的背景信息的方式,在由Jean-PierreSchott等人的标题为用于旋转和/或缩放的图像的黄金模板比较(GOLDEN TEMPLATE COMPARISON FOR ROTATEDAND/OR SCALED IMAGES)的美国专利号5,850, 466中发现了 GTC的描述,其教导通过参考特意的并入本文。
[0035]应注意,设想在实施例中,可选地为全部的背景区域执行强度估算。此类全部的背景区域被限定为包括通常位于(所有)翘曲的层掩模的相应的背景区域的像素的区域。
[0036]应注意,本文对用于内掩模的最大强度值255和外掩模大于O的使用只是这些可替代值的宽范围数字中的一个。例如,内掩模可选择为大于235且外掩模可选择为大于10。该参数还可以由用户通过在各种实施例中的系统接口来设置。
[0037]在图示的实施例中,混合步骤可包含在过渡区内的每个给定位置(i,j)从背景至前景对过渡进行建模。参考图8中的简化示例,层内的重叠背景(BG) 820区域与前景(FG)830区域之间的过渡区810包括与位置(i,j)有关的背景掩模灰度值MBe (ij)和前景掩模灰度值MFe(u)。背景的强度值为IBe且前景的强度值为Ire。因此,对于位置(i,j),建模值是由下列等式确定的:[0038]
【权利要求】
1.一种用于在视觉系统中产生黄金模板图像以便检查具有多层印刷图案的物体的已获取的运行时刻图像的方法,包括以下步骤: 利用每个都在相应的标准层掩模上被训练的配准模型在运行时刻图像上执行配准处理,并输出姿势; 基于所述姿势产生翘曲的层掩模; 基于所述翘曲的层掩模的不同组合计算组合掩模; 为所述组合掩模估算区域强度;和 混合与所述组合掩模相关的所述估算的强度值以便产生黄金模板图像。
2.根据权利要求1的所述方法,其中,所述估算强度的步骤包括估算全部的背景区域的所述强度。
3.根据权利要求1的所述方法,其中,所述翘曲的层掩模限定模糊边缘,其反过来在所述计算步骤中提供具有模糊边缘的组合掩模。
4.根据权利要求1的所述方法,其中,所述翘曲的层掩模是基于在训练图像内的变形而产生的。
5.根据权利要求1的所述方法,其中,所述翘曲的层掩模是基于在当前已获取的所述运行时刻图像中的变形而产生的。
6.根据权利要求1的所述方法,其还包括,提供预翘曲变形信息以便翘曲在执行所述配准步骤中使用的所述标准层掩模。
7.根据权利要求1的所述方法,其还包括,基于所述估算步骤,填充与每个所述组合掩模的前景区域相关的图像区域。
8.根据权利要求1的所述方法,其还包括为位于组合掩模的过渡区的反走样像素确定强度值。
9.根据权利要求1的所述方法,其中,所述估算步骤包括对在所述组合掩模中的像素执行统计滤波,和将离散的强度值分配至每一个像素。
10.根据权利要求1的所述方法,其中,所述强度是基于(a)灰阶、(b)多个颜色通道和(c) η通道多频谱图像的其中之一。
11.根据权利要求1的所述方法,其还包括,基于来自配准处理指示所述已获取的运行时刻图像超过预定配准参数的信息,拒绝所述已获取的运行时刻图像。
12.根据权利要求1的所述方法,其还包括,基于所述黄金模板图像对所述已获取的运行时刻图像执行黄金模板比较。
13.根据权利要求1的所述方法,其还包括,基于至少一些所述组合掩模产生加权掩模,其被用于相关的检查任务。
14.根据权利要求1的所述方法,其中,为一些或所有的所述组合掩模,在一些或所有的前景区域上执行所述估算的步骤。
15.一种用于在视觉系统中产生黄金模板图像以便检查具有多层印刷图案的物体的已获取的运行时刻图像的系统,其包括: 配准工具,其使用每个都在相应的标准层掩模上被训练的配准模型在运行时刻图像上执行配准,并输出姿势; 工具,其被构造和布置来(a)基于所述姿势产生多个翘曲的层掩模和(b)基于所述翘曲的层掩模的不同组合计算多个组合掩模; 估算处理,其为所述组合掩模估算区域的强度;和 混合处理,其混合与所述组合掩模相关的所述估算强度值以产生黄金模板图像。
16.根据权 利要求15的所述系统,其中,所述估算处理估算所述全部背景区域的强度。
17.根据权利要求15的所述系统,其中,所述翘曲的层掩模限定模糊边缘,其反过来在所述计算步骤中提供具有模糊边缘的组合掩模。
18.根据权利要求15的所述系统,其中,所述翘曲的层掩模是基于在训练图像内的变形而翘曲的。
19.根据权利要求15的所述系统,其中,所述翘曲的层掩模是基于在当前已获取的所述运行时刻图像中的变形而翘曲的。
20.根据权利要求15的所述系统,其还包括,预翘曲变形信息,以翘曲在执行所述配准中使用的所述标准层掩模。
21.根据权利要求15的所述系统,其中,为所述估算处理,填充与每个所述组合掩模的前景区域相关的图像区域。
22.根据权利要求15的所述系统,其中,所述估算处理为位于组合掩模的过渡区中的反走样像素确定强度值。
23.根据权利要求15的所述系统,在组合掩模中的像素的所述强度值是利用统计滤波确定的,并且离散的强度值被分配至每一个像素。
24.根据权利要求15的所述系统,其中,所述强度是基于(a)灰阶、(b)多个颜色通道,和η通道多频谱图像的其中之一。
25.根据权利要求15的所述系统,其中,所述配准工具包括在所述标准层掩模和所述已获取的运行时刻图像之间执行仿射变换的工具。
26.根据权利要求15的所述系统,其中,所述已获取图像的多层印刷图案包括喷涂的、喷溅的、轧制的、激光印刷的、喷墨印刷的、石版印刷的、光抗蚀曝光的、干式转印的和抖动的图像。
【文档编号】G06K9/62GK103559680SQ201310188767
【公开日】2014年2月5日 申请日期:2013年5月20日 优先权日:2012年5月21日
【发明者】L·D·雅各布森, 刘刚 申请人:康耐视公司
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