生产支援系统以及生产支援方法

生产支援系统以及生产支援方法
【专利摘要】实施方式涉及生产支援系统及生产支援方法。生产支援系统具备生产信息保存部、制造装置信息保存部、检查·计测装置信息保存部、预定批量数运算部、第一控制方式运算部。所述第一控制方式运算部根据成为最终品质的控制对象的产品的数量、预先求出的进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系、进行了所述前馈型的APC时的最终品质的偏差、以及未进行组合所述反馈型和前馈型的APC时的最终品质的偏差，运算恰当的控制方式。
【专利说明】生产支援系统以及生产支援方法
[0001]相关申请的参照:本申请享有2013年9月19日申请的日本专利申请号2013 —194715的优先权利益，在本申请中援引该日本专利申请全部内容。

【技术领域】
[0002]在此说明的实施方式普遍涉及生产支援系统以及生产支援方法。

【背景技术】
[0003]近年来，对产品的最终品质(final quality)的管理越来越严格。例如，在半导体装置等电子器件的制造中，伴随着微小化的进展，对工序加工后的尺寸的管理也变得非常严格。
[0004]在此，作为控制量产阶段中的产品的最终品质的技术，已知有APC(AdvancedProcess Control:先进过程控制)。
[0005]如果通过APC调整制造装置的作业条件，则能够使产品的最终品质均匀控制在一定的水准内。
[0006]然而，APC —般在生产数量很多的情况下(例如，满负荷生产(full product1n)时)其效果(尺寸偏差的抑制或工序能力提高等)才最大。
[0007]因此，在生产数量较少的情况下(例如产品的更新换代所伴随的新产品的量产开始时、产品的更新换代所伴随的旧产品的减产时等)，产品的最终品质的偏差可能反而会变大。


【发明内容】

[0008]本发明的实施方式提供一种能够抑制产品的最终品质的偏差的生产支援系统以及生产支援方法。
[0009]实施方式所涉及的生产支援系统具备:生产信息保存部，保存与生产数有关的数据；制造装置信息保存部，保存与制造装置有关的数据；检查.计测装置信息保存部，保存与检查装置或者计测装置有关的数据；预定批量数运算部，根据所述与生产数有关的数据和所述与制造装置有关的数据，运算每个制造装置的预定生产数，根据所述与生产数有关的数据和所述与检查装置或者计测装置有关的数据，运算检查.计测比例，根据所述每个制造装置的预定生产数和所述检查.计测比例，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量；以及第一控制方式运算部，根据所述成为最终品质的控制对象的产品的数量、预先求出的进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系、进行了所述前馈型的APC时的最终品质的偏差、以及未进行组合所述反馈型和前馈型的APC时的最终品质的偏差，运算恰当的控制方式。
[0010]根据上述的结构，能够抑制品的最终品质的偏差。

【专利附图】

【附图说明】
[0011]图1是用于示例第一实施方式所涉及的生产支援系统的框图。
[0012]图2是用于示例控制方式运算部5对控制方式的选择的示意图表图。
[0013]图3是用于示例第二实施方式所涉及的生产支援系统的框图。

【具体实施方式】
[0014]以下，参照附图对多个实施方式进行说明。附图中，相同的附图标记表示相同或者类似的部分。
[0015][第一实施方式]
[0016]图1是用于示例第一实施方式所涉及的生产支援系统的框图。
[0017]如图1所示，生产支援系统100中设有:输入部1、生产信息保存部2a、制造装置信息保存部2b、检查?计测装置信息保存部2c、预定批量数运算部3、最终品质信息保存部4、控制方式运算部5 (相当于第一控制方式运算部的一例)、管理信息运算部6、输出部7。
[0018]输入部I用于输入用于确定成为对象的产品的数据、以及与制约条件有关的数据。
[0019]用于确定成为对象的产品的数据例如为品种、工序、对象期间、工序条件等。
[0020]关于与制约条件有关的数据，留待后述。
[0021]输入部I可以输入数据，也可以通过选择被显示的数据名等来进行输入。
[0022]例如，输入部I能够为键盘或条形码读取器等各种数据输入设备、具备显示部和选择开关的设备等。
[0023]输入部I将被输入的数据提供给预定批量数运算部3。
[0024]生产信息保存部2a按照各个产品保存与过去的生产业绩有关的数据、以及生产计划中的数据。
[0025]与过去的生产业绩有关的数据例如能够设为过去的每个产品的生产数等。
[0026]生产计划中的数据例如能够设为当前生产中或新开始生产的每个产品的生产数坐寸ο
[0027]生产信息保存部2a将所保存的数据提供给预定批量数运算部3。
[0028]制造装置信息保存部2b保存与制造装置有关的数据。
[0029]与制造装置有关的数据例如能够设为:生产线中设置的制造装置的台数(例如，台数、处理室(腔室)的数量等)、制造装置的种类(例如，蚀刻装置或成膜装置等)、各制造装置中的处理能力(例如，处理所需时间等)等。
[0030]制造装置信息保存部2b将所保存的数据提供给预定批量数运算部3。
[0031]检查.计测装置信息保存部2c保存与检查装置或者计测装置有关的数据。
[0032]与检查装置或者计测装置有关的数据例如能够设为:生产线中设置的检查装置或者计测装置的台数、检查装置或者计测装置的种类、检查装置的检查能力或者计测装置的计测能力(例如，检查或者计测所需时间等)等。
[0033]检查装置或者计测装置例如能够设为:产品的尺寸、形状、重量、反射光强度以及发光强度等、用于进行产品的最终品质的检查或者计测的参数。
[0034]检查.计测装置信息保存部2c将所保存的数据提供给预定批量数运算部3。
[0035]预定批量数运算部3如以下那样求出成为最终品质的控制对象的产品的数量。
[0036]首先，预定批量数运算部3基于从输入部I输入的数据，从生产信息保存部2a所保存的数据中抽取所希望的产品的生产数。
[0037]该情况下，在生产信息保存部2a中保存有生产计划中的数据的情况下，预定批量数运算部3从生产计划中的数据抽取所希望的产品的预定生产数。
[0038]在生产信息保存部2a中未保存有生产计划中的数据的情况下，预定批量数运算部3从与过去的生产业绩有关的数据抽取所希望的产品的预定生产数。
[0039]接下来，预定批量数运算部3基于从输入部I输入的数据，从制造装置信息保存部2b所保存的数据抽取制造装置的台数、制造装置中的处理能力。
[0040]然后，预定批量数运算部3根据所抽取到的产品的预定生产数、制造装置的台数(处理室的数量)以及制造装置中的处理能力，求出各个制造装置(各处理室)的预定生产数。
[0041]接下来，预定批量数运算部3基于从输入部I输入的数据，从检查?计测装置信息保存部2c所保存的数据，抽取检查装置或者计测装置的台数以及检查装置的检查能力或者计测装置的计测能力。
[0042]然后，预定批量数运算部3根据所抽取到的产品的预定生产数、检查装置或者计测装置的台数以及检查装置的检查能力或者计测装置的计测能力，求出检查.计测比例(检查.计测频率)。
[0043]该情况下，在检查装置、计测装置的台数很多、或者检查装置的检查能力、计测装置的计测能力很高的情况下，进行全部产品的检查及计测。然后，全部产品成为最终品质的控制对象。
[0044]另一方面，在检查装置、计测装置的台数很少、或者检查装置的检查能力、计测装置的计测能力很低的情况下，进行一部分产品的检查及计测。然后，进行了检查及计测的产品成为最终品质的控制对象。
[0045]因此，预定批量数运算部3基于以下的式(I)，求出成为最终品质的控制对象的产品的数量N。
[0046]N = nXS...(I)
[0047]在此，N为成为最终品质的控制对象的产品的数量。N为每个制造装置(各处理室)的预定生产数。S为检查.计测比例。
[0048]另外，在本说明书的实施方式中，例如，成为最终品质的控制对象的产品的数量N设为:进行了 APC时的产品的数量、或者每一个制造装置(处理室)的生产数(某一定期间内在各制造装置(各处理室)中处理的产品的数量)。预定批量数运算部3将所求出的成为最终品质的控制对象的产品的数量N提供给控制方式运算部5。
[0049]最终品质信息保存部4按照每个产品保存与最终品质有关的数据。
[0050]与最终品质有关的数据例如能够设为:在各制造装置(各处理室)中进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系。
[0051]此外，与最终品质有关的数据例如设为包含:进行了前馈型的APC时的最终品质的偏差C1、未进行组合反馈型和前馈型的APC时的最终品质的偏差C2。
[0052]最终品质信息保存部4将所保存的数据提供给控制方式运算部5以及管理信息运算部6。
[0053]控制方式运算部5根据成为最终品质的控制对象的产品的数量N、在各制造装置(各处理室)中进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系、进行了前馈型的APC时的最终品质的偏差C1、未进行组合反馈型和前馈型的APC时的最终品质的偏差C2，运算恰当的控制方式。
[0054]图2是用于示例控制方式运算部5对控制方式的选择的示意图表图。
[0055]图中的Y = f(X)是表示在各制造装置(各处理室)中进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系的关系式。
[0056]Y = f (X)例如能够通过使用相同产品或者类似产品的业绩数据等进行模拟而进行求解。
[0057]另外，在图2中，示例了成为线性的Y = f (X)，但是不限于此。
[0058]此外，进行了前馈型的APC时的最终品质的偏差C1和未进行组合反馈型和前馈型的APC时的最终品质的偏差C2,能够根据过去的业绩来求出。
[0059]首先，控制方式运算部5根据Y = f (X)和最终品质的偏差C1，求出产品的数量％。
[0060]此外，控制方式运算部5根据Y = f (X)和最终品质的偏差C2，求出产品的数量N2。
[0061]另外，产品的数量N1和产品的数量N2也可以是将预先求出的值保存在最终品质信息保存部4中。
[0062]在此，在O?N2的区间，最终品质的偏差比C2大。即，在O?N2的区间，若进行组合反馈型和前馈型的APC，则最终品质的偏差反而变大。因此，在O?N2的区间，不进行组合反馈型和前馈型的APC更恰当。该情况下，按照根据业绩数据等求出的各制造装置(各处理室)的作业条件来进行生产即可。
[0063]此外，在N2?N1的区间，最终品质的偏差比C1大。即，在N2?N1的区间，若进行组合反馈型和前馈型的APC则最终品质的偏差反而变大。
[0064]S卩，在N2?N1的区间进行前馈型的APC是恰当的。
[0065]此外，在超过N1的情况下，进行组合反馈型和前馈型的APC是恰当的。
[0066]因此，控制方式运算部5通过判定成为最终品质的控制对象的产品的数量N是位于O?N2的范围、N2?N1的范围、超过N1的范围中的哪个，能够选择恰当的控制方式。
[0067]管理信息运算部6根据在各制造装置(各处理室)中进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系(例如，Y = f (X))、以及成为最终品质的控制对象的产品的数量N，求出APC的效果、例如最终品质的偏差或工序能力。
[0068]工序能力例如能够设为:制造装置的台数、每I台制造装置的生产数、检查装置的台数、检查比例、成为最终品质的控制对象的产品的数量N、APC的方式(反馈型的APC、前馈型的APC)、工序能力预见等。
[0069]工序能力是表示相对于标准值的幅度而言，现状的偏差相对地成为什么程度的大小，数值越大则越是优秀的制造工序。
[0070]输出部7输出在预定批量数运算部3、控制方式运算部5、以及管理信息运算部6中使用过的各种数据、所求出的结果。
[0071]输出部7例如输出制造装置的台数、每I台制造装置的生产数、检查装置的台数、计测装置的台数、检查.计测比例、成为最终品质的控制对象的产品的数量N、APC的方式(反馈型的APC、前馈型的APC)、工序能力预见等。
[0072]输出目的地例如能够设为作业者所使用的显示装置、HDD (Hard DiskDrive)、闪存、软盘等各种数据存储介质等。
[0073]此外，也可以设为，参照由输出部7输出的数据等，向输入部I输入与制约条件有关的数据，再次进行前述的运算。
[0074]与制约条件有关的数据例如能够设为:制造装置的台数的范围、每I台制造装置的处理量的范围、检查装置或者计测装置的台数的范围、检查.计测比例的范围等。
[0075]若从输入部I输入了与制约条件有关的数据，则代替由制造装置信息保存部2b以及检查.计测装置信息保存部2c保存的数据及由预定批量数运算部3求出的检查.计测比例等，优先地使用所输入的数据。
[0076]该情况下，能够从输入部I输入具有规定的范围的数据。若从输入部I输入了具有规定的范围的数据，则能够在该范围内自动地进行条件赋予，对前述的运算反复进行多次(循环处理)。然后，还能够由输出部7输出所得到的多个结果中的上位的N件。
[0077]如以上例示的那样，本实施方式所涉及的生产支援方法能够包含以下的工序。
[0078]根据与生产数有关的数据、与制造装置有关的数据，运算每个制造装置的预定生产数。
[0079]根据与生产数有关的数据、与检查装置或者计测装置有关的数据，运算检查?计测比例的工序。
[0080]根据每个制造装置的预定生产数、检查?计测比例，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量。
[0081]根据成为最终品质的控制对象的产品的数量、预先求出的进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系、进行了前馈型的APC时的最终品质的偏差、未进行组合反馈型和前馈型的APC时的最终品质的偏差，运算恰当的控制方式的工序。
[0082]另外，各工序中的内容能够设为与前述相同。因此，省略各工序中的内容的说明。
[0083][第二实施方式]
[0084]图3是用于示例第二实施方式所涉及的生产支援系统的框图。
[0085]如图3所示，生产支援系统101中设有:输入部11、生产信息保存部2a、制造装置信息保存部2b、检查.计测装置信息保存部2c、预定批量数运算部3、检查.计测信息保存部12a、APC信息保存部12b、控制方式运算部14 (相当于第二控制方式运算部的一例)、输出部7、第一辅助部15a、第二辅助部15b、第三辅助部15c、以及第四辅助部15d。
[0086]输入部11能够设为与前述的输入部I同样。
[0087]但是，输入部11还具有用于选择后述的第一辅助部15a、第二辅助部15b、第三辅助部15c及第四辅助部15d中的任意一个的开关。
[0088]检查?计测信息保存部12a保存与检查结果或者计测结果有关的数据。与检查结果或者计测结果有关的数据例如为产品的尺寸、形状、重量、反射光强度以及发光强度等。
[0089]检查.计测信息保存部12a将所保存的数据提供给控制方式运算部14。
[0090]APC信息保存部12b保存与APC计算式有关的数据。
[0091]APC信息保存部12b将所保存的数据提供给控制方式运算部14。
[0092]控制方式运算部14根据从检查.计测信息保存部12a抽取到的与检查结果或者计测结果有关的数据(例如，产品的尺寸)、从APC信息保存部12b抽取到的与APC计算式有关的数据、由预定批量数运算部3求出的各制造装置(各处理室)中的成为最终品质的控制对象的产品的数量N，分别求出进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差。
[0093]控制方式运算部14能够每错开一个月地反复运算例如12个月的数据。另外，期间等也能够适当地变更。
[0094]接下来，控制方式运算部14运算进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下与未进行组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差相等的产品的数量。
[0095]最终品质的偏差相等的产品的数量被提供给输出部7。
[0096]输出部7将最终品质的偏差相等的产品的数量，作为未进行组合反馈型和前馈型的APC为恰当的时期来进行显示。S卩，控制方式运算部14使用实际的数据来进行模拟，启示进行恰当的控制方式的选择。
[0097]此外，作业者能够从输入部11选择以下的辅助功能。
[0098]第一辅助部15a基于从制造装置信息保存部2b、检查.计测装置信息保存部2c、以及检查.计测信息保存部12a抽取到的数据，运算按照各制造装置(各处理室)的统计值(例如，平均值、偏差、最大值、最小值等)。运算结果例如作为记载有各制造装置(各处理室)、检查.计测比例和成为最终品质的控制对象的产品的数量N的矩阵表、将以统计值为基础的制造装置(处理室)的性能按照排名形式进行了表示的表等，显示在输出部7等。
[0099]作业者从与各制造装置(各处理室)有关的统计值的数据，选择适于进行APC的制造装置(处理室)，从输入部11输入与所选择的制造装置(处理室)有关的数据(例如，制造装置(处理室)的名称)。
[0100]预定批量数运算部3运算在使用了基于求出的统计值而输入的制造装置(处理室)的情况下成为最终品质的控制对象的产品的数量N。
[0101]控制方式运算部14分别计算在使用了所输入的制造装置(处理室)的情况下进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行的情况下的最终品质的偏差。
[0102]控制方式运算部14能够每错开一个月地反复运算例如12个月的数据。另外，期间等能够适当变更。
[0103]接下来，控制方式运算部14运算进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下与未进行组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差相等的产品的数量。
[0104]最终品质的偏差相等的产品的数量被提供给输出部7。
[0105]输出部7将最终品质的偏差相等的产品的数量，作为不进行组合反馈型和前馈型的APC为恰当的时期进行显示。
[0106]第二辅助部15b基于从制造装置信息保存部2b、检查.计测装置信息保存部2c、以及检查.计测信息保存部12a抽取到的数据，运算每个制造装置(各处理室)的产品的移动平均数。
[0107]然后，第二辅助部15b使产品的移动平均数变化。
[0108]预定批量数运算部3按照变化了的产品的每个移动平均数，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量N。
[0109]控制方式运算部14按照变化了的产品的每个移动平均数，运算进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差，运算最终品质的偏差最小的产品的移动平均数。
[0110]控制方式运算部14能够每错开一个月地反复运算例如12个月的数据。另外，期间等能够适当变更。
[0111]运算结果被显示于输出部7等。
[0112]输出部7显示最终品质的偏差最小的产品的移动平均数。
[0113]第三辅助部15c使APC信息保存部12b所保存的APC计算式中的校正系数(例如，反馈型的APC的校正系数)变化。
[0114]控制方式运算部14按照变化了的每个校正系数，运算进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差，运算最终品质的偏差最小的校正系数。
[0115]控制方式运算部14能够每错开一个月地反复运算例如12个月的数据。另外，期间等能够适当变更。
[0116]运算结果被显示于输出部7等。
[0117]输出部7显示最终品质的偏差最小的APC计算式中的校正系数。
[0118]第四辅助部15d将与组产品有关的数据提供给输出部7等。
[0119]与组产品有关的数据例如为与对象产品类似的他产品。
[0120]与组产品有关的数据例如能够从生产信息保存部2a所保存的数据中抽取。
[0121]作业者能够从输入部11输入与组产品有关的数据(例如，产品名等)。
[0122]预定批量数运算部3针对所输入的组产品，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量N。
[0123]控制方式运算部14针对所输入的组产品，分别运算进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差。
[0124]运算结果被显示于输出部7等。
[0125]输出部7针对所输入的组产品，分别显示进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差。
[0126]如以上所例示的那样，本实施方式所涉及的生产支援方法能够包含以下的工序。
[0127]根据与生产数有关的数据、与制造装置有关的数据，运算每个制造装置的预定生产数的工序。
[0128]根据与生产数有关的数据、与检查装置或者计测装置有关的数据，运算检查?计测比例的工序。
[0129]根据每个制造装置的预定生产数、检查?计测比例，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量的工序。
[0130]根据与检查结果或者计测结果有关的数据、与APC计算式有关的数据、成为最终品质的控制对象的产品的数量，分别运算进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差的工序。
[0131]另外，各工序中的内容能够与前述同样。因此，省略各工序中的内容的说明。
[0132][第三实施方式]
[0133]接下来，对上述的实施方式中使用的生产支援程序进行说明。
[0134]该生产支援程序能够使计算机执行所述的生产支援方法。
[0135]为了执行一系列的生产支援，上述生产支援程序例如被保存于在生产支援系统100、101中设置的未图示的程序保存单元中。生产支援程序例如能够经由未图示的记录介质保存在未图示的程序保存单元中，或者经由MES(Manufacturing Execut1n System)系LAN (Local Area Network)等保存在未图示的程序保存单元中。
[0136]然后，通过执行该程序，执行前述的预定批量数运算部3、控制方式运算部5、控制方式运算部14等中的抽取、运算。
[0137]上述生产支援程序能够执行以下的步骤。
[0138]根据与生产数有关的数据、与制造装置有关的数据，运算每个制造装置的预定生产数。
[0139]根据与生产数有关的数据、与检查装置或者计测装置有关的数据，运算检查?计测比例。
[0140]根据每个制造装置的预定生产数、检查?计测比例，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量。
[0141]根据成为最终品质的控制对象的产品的数量、预先求出的进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系、进行了前馈型的APC时的最终品质的偏差、未进行组合反馈型和前馈型的APC时的最终品质的偏差，运算恰当的控制方式。
[0142]此外，上述生产支援程序能够使得执行以下步骤。
[0143]根据与生产数有关的数据、与制造装置有关的数据，运算每个制造装置的预定生产数。
[0144]根据与生产数有关的数据、与检查装置或者计测装置有关的数据，运算检查?计测比例。
[0145]根据每个制造装置的预定生产数、检查?计测比例，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量。
[0146]根据与检查结果或者计测结果有关的数据、与APC计算式有关的数据、成为最终品质的控制对象的产品的数量，分别运算进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差。
[0147]另外，基于上述生产支援程序执行的步骤，可以按照所述的顺序以时间序列来执行，也可以不必按照时间序列来执行，而是并列地或有选择地来执行。
[0148]以上说明了本发明的若干实施方式，但是这些实施方式只是作为例子提出，不意欲限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种方式来实施，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种省略、置换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围和主旨内，也包含在权利要求所记载的发明及其等同范围内。
【权利要求】
1.如权利要求1记载的生产支援系统，其中，具备: 生产信息保存部，保存与生产数有关的数据； 制造装置信息保存部，保存与制造装置有关的数据； 检查.计测装置信息保存部，保存与检查装置或者计测装置有关的数据； 预定批量数运算部，根据所述与生产数有关的数据和所述与制造装置有关的数据，运算每个制造装置的预定生产数，根据所述与生产数有关的数据和所述与检查装置或者计测装置有关的数据，运算检查.计测比例，根据所述每个制造装置的预定生产数和所述检查.计测比例，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量；以及第一控制方式运算部，根据所述成为最终品质的控制对象的产品的数量、 预先求出的进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系、 进行了所述前馈型的APC时的最终品质的偏差、以及 未进行组合所述反馈型和前馈型的APC时的最终品质的偏差， 运算恰当的控制方式。
2.如权利要求1记载的生产支援系统,其中， 还具备: 管理信息运算部，根据 所述成为最终品质的控制对象的产品的数量、以及 所述预先求出的进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系， 求出所述APC的效果。
3.—种生产支援系统,其中，具备: 生产信息保存部，保存与生产数有关的数据； 制造装置信息保存部，保存与制造装置有关的数据； 检查.计测装置信息保存部，保存与检查装置或者计测装置有关的数据； 预定批量数运算部，根据所述与生产数有关的数据和所述与制造装置有关的数据，运算每个制造装置的预定生产数，根据所述与生产数有关的数据和所述与检查装置或者计测装置有关的数据，运算检查.计测比例，根据所述每个制造装置的预定生产数和所述检查.计测比例，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量； 检查.计测信息保存部，保存与检查结果或者计测结果有关的数据； APC信息保存部，保存与APC计算式有关的数据；以及 第二控制方式运算部，根据所述与检查结果或者计测结果有关的数据、所述与APC计算式有关的数据、以及所述成为最终品质的控制对象的产品的数量，分别运算进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差。
4.如权利要求3记载的生产支援系统，其中， 还具备: 第一辅助部，运算多个所述制造装置中的统计值； 所述预定批量数运算部运算在使用了基于所述统计值而选择的所述制造装置的情况下所述成为最终品质的控制对象的产品的数量。
5.如权利要求3记载的生产支援系统，其中， 还具备: 第二辅助部，使所述产品的移动平均数变化； 所述预定批量数运算部按照所述变化了的产品的每个移动平均数，运算所述成为最终品质的控制对象的产品的数量， 所述第二控制方式运算部按照所述变化了的产品的每个移动平均数，运算进行了组合所述反馈型和所述前馈型的APC的情况下的所述最终品质的偏差，运算所述最终品质的偏差最小的所述产品的移动平均数。
6.如权利要求3记载的生产支援系统，其中， 还具备: 第三辅助部，使所述APC计算式中的校正系数变化； 所述第二控制方式运算部按照所述变化了的每个所述校正系数，运算进行了组合所述反馈型和所述前馈型的APC的情况下的所述最终品质的偏差，运算所述最终品质的偏差最小的所述校正系数。
7.如权利要求3记载的生产支援系统，其中， 还具备: 第四辅助部，提供与组产品有关的数据； 所述预定批量数运算部针对所选择的所述组产品，运算所述成为最终品质的控制对象的产品的数量， 所述第二控制方式运算部针对所述选择的所述组产品，分别运算进行了组合所述反馈型和所述前馈型的APC的情况和未进行组合所述反馈型和所述前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差。
8.—种生产支援方法,其中，具备: 根据与生产数有关的数据、与制造装置有关的数据，运算每个制造装置的预定生产数的工序； 根据所述与生产数有关的数据、与检查装置或者计测装置有关的数据，运算检查?计测比例的工序； 根据所述每个制造装置的预定生产数、所述检查?计测比例，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量的工序；以及根据 所述成为最终品质的控制对象的产品的数量、 预先求出的进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系、 进行了所述前馈型的APC时的最终品质的偏差、以及 未进行组合所述反馈型和前馈型的APC时的最终品质的偏差， 运算恰当的控制方式的工序。
9.如权利要求8记载的生产支援方法，其中， 还具备: 根据 所述成为最终品质的控制对象的产品的数量、以及 所述预先求出的进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系， 运算所述APC的效果的工序。
10.—种生产支援方法,其中，具备: 根据与生产数有关的数据、与制造装置有关的数据，运算每个制造装置的预定生产数的工序； 根据所述与生产数有关的数据、与检查装置或者计测装置有关的数据，运算检查?计测比例的工序； 根据所述每个制造装置的预定生产数、所述检查?计测比例，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量的工序；以及 根据与检查结果或者计测结果有关的数据、与APC计算式有关的数据、所述成为最终品质的控制对象的产品的数量，分别运算进行了组合反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行组合反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差的工序。
11.如权利要求10记载的生产支援方法，其中， 还具备运算多个所述制造装置中的统计值的工序； 在运算所述成为最终品质的控制对象的产品的数量的工序中，运算在使用了基于所述统计值而选择的所述制造装置的情况下所述成为最终品质的控制对象的产品的数量。
12.如权利要求10记载的生产支援方法，其中， 还具备使所述产品的移动平均数变化的工序； 在运算所述成为最终品质的控制对象的产品的数量的工序中，按照所述变化了的产品的每个移动平均数，运算所述成为最终品质的控制对象的产品的数量， 在分别运算进行了组合所述反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行组合所述反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差的工序中，按照所述变化了的产品的每个移动平均数，运算进行了组合所述反馈型和所述前馈型的APC的情况下的所述最终品质的偏差，运算所述最终品质的偏差最小的所述产品的移动平均数。
13.如权利要求10记载的生产支援方法，其中， 还具备使所述APC计算式中的校正系数变化的工序， 在分别运算进行了组合所述反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行组合所述反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差的工序中，按照所述变化了的每个所述校正系数，运算进行了组合所述反馈型和所述前馈型的APC的情况下的所述最终品质的偏差，运算所述最终品质的偏差最小的所述校正系数。
14.如权利要求10记载的生产支援方法，其中， 还具备抽取与组产品有关的数据的工序， 在运算所述成为最终品质的控制对象的产品的数量的工序中，针对所选择的所述组产品，运算所述成为最终品质的控制对象的产品的数量， 在分别运算进行了组合所述反馈型和前馈型的APC的情况下和未进行组合所述反馈型和前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差的工序中，针对所述选择的所述组产品，分别运算进行了组合所述反馈型和所述前馈型的APC的情况和未进行组合所述反馈型和所述前馈型的APC的情况下的最终品质的偏差。
【文档编号】G06Q10/06GK104463405SQ201410429758
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年8月28日 优先权日:2013年9月19日
【发明者】山田宗良, 曾我朗, 伊藤敦史, 藤田祐司 申请人:株式会社东芝