一种生成截面图的方法
【技术领域】
[0001] 一种生成截面图的方法是平板显示器（FPD)设计EDA工具领域的观察液晶面板截 面结构的方法。本发明属于平板显示器设计和EDA设计工具领域。
【背景技术】
[0002] 平板显示产业简称为Fro产业，是我国的战略性新兴产业。平板显示产业是当今 蓬勃发展的平板电脑、电视、智能手机等产业的基石，生产产品主要有液晶面板、等离子面 板及OLED面板等。液晶显不面板简称LCD面板，是液晶显不屏的关键部件。其基本原理是 在两块导电玻璃基板之间填充液晶材料，利用外界电场发生变化时其中的液晶材料可以阻 挡或改变光线的特性来实现显示。上下导电玻璃基板通电时形成电场，当电压改变时，内部 的液晶分子排列状况随之发生变化，在不同角度下液晶分子表现出不同的遮光透光性；在 两导电玻璃基板上加上三元色的彩色滤光片就可显示彩色图像。
[0003] 从制造的角度来看液晶面板的话，可分为TFT阵列工序、液晶单元工序、液晶模块 工序三类。各工序使用专用制造装置及部件和材料。在这些液晶面板制造工序中，尤其是 TFT阵列工序和液晶单元工序决定液晶面板显示性能的重要工序。其中，TFT阵列工序对面 板制造成本的影响尤为突出。TFT阵列是对液晶进行驱动的电路基板。TFT和显示像素电 极被排列在玻璃基板上，用于驱动TFT的栅极布线、输送加载在像素上的电压信号的信号 布线纵横交错。TFT阵列工序与半导体的制造工序相似。与在硅晶圆上制造半导体电路一 样，通过反复实施成膜、光刻及蚀刻工序，在玻璃基板上制造出TFT阵列。制造TFT阵列的 各工序所使用的制造装置在原理上也与半导体制造装置相同。制造装置的性能会影响液晶 面板的性能。同时，制造装置的生产效率(玻璃基板的处理能力以及工艺材料的使用量)，以 及制造装置的集合体即制造生产线的整体效率也会大大影响液晶面板的成本。
[0004] 液晶面板由多层光罩曝光工艺形成。玻璃基板法向的截面结构是设计人员主要专 注的问题之一，该结构决定了TFT管是否正常工作。截面图功能可以帮助工程师准确地观 察到版图不同位置的剖面结构，检验平面版图对应的截面结构是否能够形成正确电场，是 否能够按照设计意图正常工作，有助于对设计的判断和加工的改进。
【发明内容】
[0005] 本发明提出一种生成截面图的方法，英文为SectionView，这种方法根据用户输 入的每层工艺层的参数和划线位置自动生成截面结构图。
[0006] 本发明提出了一种生成截面图的流程操作方法，在版图上通过鼠标点击两个点确 定一条线段，生成该线段位置版图的截面结构图。
[0007] 本发明提出了一种同时观察上基板、液晶层和下基板截面结构的显示方式。
[0008] 本发明提出了截面图上下基板工艺层的一系列参数，并根据这些参数绘制截面图 形。下面逐一介绍： I)Material,表示该层的材料名，如Metal、Active、Glass等。当该层材料为Metal或 Glass时，则该层无法被刻蚀。
[0009] 2)Display,表示该层的显示颜色。
[0010] 3)Thickness,表示该层的厚度。
[0011] 4)Type,表示3种类型，如图2所示： ①Deposition,表示那些标记为不允许刻蚀的层； @Deposition&Etch，表示那些标记为沉积并允许刻蚀的层； ③Etch，表示那些标记为刻蚀的层。
[0012] 5)Flat，两种沉积类型ON和OFF。ON表示沉积图形的上表面是水平的，如图3所 示；OFF表示沉积图形的上表面平行于底层图形轮廓，如图4所示。
[0013] 6)Mask，对应版图中的工艺层物体。
[0014] 7)CellGap，上下玻璃基板之间的距离值。
[0015] 参数设置完毕后，鼠标划线指定生成截面图的位置，在命令窗口的显示区域内将 显现生成的截面图。
[0016]
【附图说明】
[0017] 图I Section View的工艺层参数设置示意图 图2 Section View的Tpye类型不意图 图3 Section View参数Flat类型为ON的不意图 图4 Section View参数Flat类型为OFF的不意图 图5 Section View的实例参数设置示意图 图6Section View划线示意图 图7Section View的生成结果示意图 具体实施步骤： 结合一个具体的实例说明SectionView生成截面图的方法，操作流程步骤如下： 1) 在AetherFPD工具中启动SectionView命令，如图5所示，在窗口表格中设置相应参 数； 2) 点击Hide按钮隐藏命令窗口，用鼠标在想要关注的版图位置划线，如图6所示； 3) 生成截面图，如图7所示。
【主权项】
1. 一种生成截面图的方法，其主要特征为：提出了一种生成截面图的流程操作方法， 在版图上通过两个点确定一条线段，生成该线段位置版图的截面结构图。
2. -种生成截面图的方法，其主要特征为：特征1中的2个线段端点通过鼠标点击来 确定。
3. -种生成截面图的方法，其主要特征为：特征1中的截面图可同时显示上基板、液晶 层和下基板的截面结构。
4. 一种生成截面图的方法，其主要特征为：提出了截面图工艺层参数Material，表示 该层的材料名，如Metal、Active、Glass等；当该层材料为Metal或Glass时，则该层无法 被刻蚀。
5. -种生成截面图的方法，其主要特征为：提出了截面图工艺层参数Type，表示3种 类型，如下所示： (1) Deposition,表示那些标记为不允许刻蚀的层； (2) Deposition&Etch，表示那些标记为沉积并允许刻蚀的层； (3) Etch，表示那些标记为刻蚀的层。
6. -种生成截面图的方法，其主要特征为：提出了截面图工艺层参数Display，表示 该层的显示颜色。
7. -种生成截面图的方法，其主要特征为：提出了截面图工艺层参数Thickness，表 示该层的厚度。
8. -种生成截面图的方法，其主要特征为：提出了截面图工艺层参数Flat，表示两种 沉积类型ON和OFF;0N表示沉积图形的上表面是水平的，OFF表示沉积图形的上表面平行 于底层图形轮廓。
9. 一种生成截面图的方法，其主要特征为：提出了截面图工艺层参数Mask，表示该层 对应于版图上的工艺层物体。
【专利摘要】本发明提出一种生成截面图的方法，这种方法根据用户输入的每层工艺层的参数和划线位置自动生成截面结构图。本发明在版图上通过鼠标点击两个点确定一条线段，生成该线段位置版图的截面结构图，并且可同时观察上基板、液晶层和下基板。本发明提出了截面图上下基板工艺层的一系列参数，分别为Material、Display、Thickness、Type、Flat、Mask和CellGap，这些参数定义了每层截面图形的形状。截面图功能可以帮助工程师准确地观察到版图不同位置的剖面结构，检验平面版图对应的截面结构是否能够形成正确电场，是否能够按照设计意图正常工作，有助于对设计的判断和加工的改进。
【IPC分类】G06F17-50, G02F1-1333
【公开号】CN104765893
【申请号】CN201410003521
【发明人】张亚东, 杨祖声, 魏芳伟
【申请人】北京华大九天软件有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2014年1月6日