专利名称：具有除湿功能的与非闪存用热/冷测试装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及与非闪存(Nand Flash Memory)的测试装置,特别涉及不仅能执行热测试，还能够执行冷测试，且具有除湿功能的与非闪存用热/冷测试装置。
背景技术：
在半导体生产工艺中，最难的问题在于，需要准确且快速地进行温度实验，因此当前迫切需要用于实现生产性最大化的温度实验检查装置。但是，在这样的实验设备中，高效率的问题突显，在最近的各种研究中，在纳米技术的发展上加大力度，对能够实现清洁能源的热电元件领域发明的研究正活跃进行。随之，也需要开发出成本低且效率高的热电元件的温度实验检查装置。而且，现有的温度实验检查主要执行高温测试，而不进行低温测试。因此，在开发利用热电元件的温度实验检查装置，除了高温测试之外，还希望能够执行低温测试。
发明内容
本发明是根据上述需要而提出的，其目的在于，提供一种利用了热电元件的热/冷测试装置，进一步提供一种能够抑制在冷测试时产生湿气的检查装置。为了解决上述课题，本发明的与非闪存用热/冷测试装置，包括:安装器，其装有插座和存储器，以检查与非闪存是否为良品；箱，其在安装器的上侧进行升降，与插座接触，以提供目标温度；以及温度显示器，其显示目标温度，箱构成为包括:插入到插座的模块；设置在模块上部的热电元件；安装在热电元件的上部而循环冷却水的水套；以及内置在水套中而向下吹风的冷却扇，在模块的下部面形成有使氮气喷出的排出孔。另外，本发明还涉及一种与非闪存用热/冷测试装置，包括:安装器，其装有插座和存储器，以检查与非闪存是否为良品；箱，其在安装器的上侧进行升降，与插座接触，以提供目标温度；以及温度显示器，其显示目标温度，箱构成为包括:插入到插座中的模块；安装在模块上部的热电元件；安装在热电元件上部的热管；安装在热管上部的散热器；以及配置在散热器的上侧而向下侧吹风的散热扇。此时，模块被弹性支承在箱内。而且，插座包括与模块的下端部接触的适配体，在适配体的底面上形成有销孔，当模块按下适配体时，各销向模块侧突出，与模块按下的与非闪存的接口面接触后提供各种电特性。另外，本发明的热/冷测试装置还包括氮气生成器，其被设置在安装器的下方，能够向排出孔供给氮气。而且，优选模块由上部模块和下部模块构成，上部模块与热电元件的下侧接触，下部模块与上部模块的下部结合而插入到插座中，在上部模块与下部模块之间内置有热管，在下部模块的与底面临近的内部内置有与温度显示器连接的温度传感器。而且，模块和热电元件的外周由断热材包围。
而且，在热管的内部内置有芯，该芯由铜制作，从蒸发部延伸至中间部。发明效果如上所述，基于本发明的检查装置能够在高温和低温下对与非闪存(Nand FlashMemory)进彳丁检查，能够确认在各种环境下的适应力，能够提闻良品和不良品的选别可罪性。基于本发明的检查装置，能够抑制在低温检查时产生湿气。
图1是示出本发明的检查装置的立体图。图2是从正面观看图1的检查装置时的图。图3是详细示出图1所示的插座的图。图4是示出冷测试用箱的内部的图。 图5是示出热测试用箱的内部的图。图6是示出在本发明的测试装置中还包括氮气生成器的情况的图。图7是示出在本发明中使用的热管的内部结构的图。图8是示出图7中内置有芯的部分的剖面的图。
标记说明100测试装置；110安装器；115插座；116适配体；117销孔；120导向件;130，140箱；131，141 模块；132，142 热电元件；132a，146 断热材；133 水套(water jacket) ;134 冷却扇；136温度传感器孔；137温度传感器；138排出孔；139垂直棒；143散热器；144散热扇；150齿条；160温度显示器；170氮气生成器；180热管；181蒸发部帽；182凝缩部帽；185
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具体实施例方式下面，参照附图，说明基于本发明的优选实施例的具有除湿功能的与非闪存用热/冷测试装置。参照图1和图2，本发明的热/冷测试装置100构成为从下侧起依次包括安装器110、箱130及温度显示器160。在安装器110中收纳要测试的与非闪存(Nand Flash Memory)，在该安装器110上，对存储器施加电特性，就能够知道存储器是良品还是不良品。在该安装器110的上部面上安装有多个插座115，在这些插座115中内置存储器。位于安装器110上侧的箱130沿着垂直的导向件120向安装器110侧下降而与之密合，或上升而与安装器110分开，箱130对存储器施温，提供高温状态或低温状态。为了使箱130升降，如图2所示，在箱130的后侧贯通设置有垂直的齿条150，在箱130的内部具备与该齿条150啮合而进行驱动的齿轮(未图示)。像这样使存储器处于高温状态或低温状态的理由是，确认存储器能否在极限状况下正常启动，提高检查的可信度。温度显示器160能够将要执行检查的多个存储器按照个数份独立显示，显示提供给各存储器的温度。如图3所示，在设置于安装器110上的插座115上形成有凹陷的适配体(adapter) 116，在该适配体116的底面上形成有多个销孔117，插座115内部的销从销孔117突出。S卩，适配体116以下部具有弹性的方式安装，向该适配体116侧轻轻按压时，适配体116向下降，各销通过销孔117突出。使销通过销孔117向适配体116内突出的理由是因为具有这样的优点，用于测试的存储器通过销与模块连接，能够实现热的直接传递，而进行精密的测试。在现有的方式中，模块与存储器通过周边空气而间接进行热传递，本发明不同于此。本发明的箱130能够兼用于热测试和冷测试，也可以只用于热测试。首先，无能是热测试用箱或是冷测试用箱，均要使用共同的热电元件，下面说明该热电元件。热电元件是一种第二代冷却基板，利用导热材料形成，仅通过直流电源的供给，就能够同时进行冷却、加热、恒温及发电，能够简便且可靠地实现热和电的交换。这替代现有的压缩机冷却方式，能够在任何时候、任何地点简便地同时进行冷却和散热，根据技术的应用，为最高式样的情况下，能够使产品的温度在_75°C到最高+300°C的范围内，以±0.030C的精度保持恒温。而且，作为能够以最少横0.SCmX纵0.SCm的局部到宽范围附着的状态下进行冷却和加热的元件，是一种摆脱了氟利昂气体的环保型产品，比其他公司产品简便、精密，且质量上也由质的提闻。 在利用这种热电元件制造系统的情况下，采用on-off控制方式时，会给热电元件的寿命造成致命性的打击，所以要使用能够应用“GM附着技术”的产品。即，在实际构成系统的情况下，很难只选择冷却或加热的一种来使用，所以在本发明中，热电元件采用应用了特殊的“GM附着技术”的产品，能够大幅度地提高耐久性。另外，热电元件由陶瓷材料构成，在组装冷却单元时，若施加过大的力，或对4个角部施加不均匀的力时，会发生损坏。而且，在组装热电元件时，需要很多注意，在使用途中，使用了薄陶瓷的产品中，在受到外部冲击时，容易被破坏，而且，在产品组装时，也会因外部的冲击而破损。最常见的热电元件的机械破坏是在组装冷却单元时产生，在本发明中，为了解决这种问题，对传热材料实施“GM附着技术”，从而得到了刚度有大幅度提高的材料。实验测试结果如下面的表I所示。〈表1>
权利要求
1.一种与非闪存用热/冷测试装置，其包括:安装器，其装有插座和存储器，以检查与非闪存是否为良品；箱，其在上述安装器的上侧进行升降，与上述插座接触，以提供目标温度；以及温度显示器，其显示上述目标温度，该与非闪存用热/冷测试装置的特征在于， 上述箱构成为包括:插入到上述插座的模块；设置在上述模块上部的热电元件；安装在上述热电元件的上部而循环冷却水的水套；以及内置在上述水套中而向下吹风的冷却扇，在上述模块的下部面形成有使氮气喷出的排出孔。
2.一种与非闪存用热/冷测试装置，其包括:安装器，其装有插座和存储器，以检查与非闪存是否为良品；箱，其在上述安装器的上侧进行升降，与上述插座接触，以提供目标温度；以及温度显示器，其显示上述目标温度，该与非闪存用热/冷测试装置的特征在于， 上述箱构成为包括:插入到上述插座中的模块；安装在上述模块上部的热电元件；安装在上述热电元件上部的热管；安装在上述热管上部的散热器；以及配置在上述散热器的上侧而向下侧吹风的散热扇。
3.根据权利要求1或2所述的与非闪存用热/冷测试装置，其特征在于， 上述模块被弹性支承在箱内。
4.根据权利要求3所述的与非闪存用热/冷测试装置，其特征在于， 上述插座包括适配体，上述模块的下端部插入到该适配体中，在上述适配体的底面上形成有销孔，当上述模块按下适配体时，与上述存储器接触的各销向上述模块侧突出。
5.根据权利要求1所述的与非闪存用热/冷测试装置，其特征在于， 该与非闪存用热/冷测试装置还包括氮气生成器，该氮气生成器设置在上述安装器的下方，能够向上述排出孔供给氮气。
6.根据权利要求1或2所述的与非闪存用热/冷测试装置，其特征在于， 上述模块由上部模块和下部模块构成，该上部模块与上述热电元件的下侧接触，该下部模块与上述上部模块的下部结合而插入到上述插座中，在上述上部模块与下部模块之间内置有热管，在上述下部模块的与底面临近的内部内置有与上述温度显示器连接的温度传感器。
7.根据权利要求6所述的与非闪存用热/冷测试装置，其特征在于， 上述模块和热电元件的外周由断热材包围。
8.根据权利要求6所述的与非闪存用热/冷测试装置，其特征在于， 在上述热管的内部内置有芯，该芯由铜制作而成，从蒸发部延伸至中间部。
全文摘要
本发明的具有除湿功能的与非闪存用热/冷测试装置，包括安装器，其装有插座和存储器，以检查与非闪存是否为良品；箱，其在安装器的上侧进行升降，与插座接触，以提供目标温度；以及温度显示器，其显示目标温度。箱构成为包括插入到插座的模块；设置在模块上部的热电元件；安装在热电元件的上部而循环冷却水的水套；以及内置在水套中而向下吹风的冷却扇，在模块的下部面形成有使氮气喷出的排出孔。而且，箱作为热测试用，构成为包括插入到插座中的模块；安装在模块上部的热电元件；安装在热电元件上部的热管；安装在热管上部的散热器；以及配置在散热器的上侧而向下侧吹风的散热扇。
文档编号G11C29/00GK103137208SQ20121000599
公开日2013年6月5日 申请日期2012年1月10日 优先权日2011年11月28日
发明者金斗汉 申请人:电磁回路网通信技术株式会社