专利名称：微型接触器探针和电探针单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种微型接触器探针，例如导电的微型接触器，灯头钉(SCP)，或细探针(THP)，这种微型接触器探针具有一个柱塞作为适合接触接触对象如液晶显示基板、TAB或组件基板(PKG)等的针构件，通过信号传输线如引线取出有待传递到外部电路的电信号。本发明还涉及一种由多个微接触器探针构成的电探针单元。
作为这样一个例子，已有一种微型探针100，该探针示于
图13中，正如日本特许公开号10-239349所披露的那样，其中有一对连接螺旋弹簧2两端的柱塞3和4的柱塞组件5容纳并将被安装在形成于绝缘支承件6和7内的支承孔8和9内，能够使该对柱塞3和4作往复运动，同时迫使安装好的柱塞3和4向外突出，防止脱落。
在安装好的状态下，利用柱塞3和4与下支承件6和上支承件7配合的阶形部分防止容纳在支承孔8和9内的柱塞3和4脱落。螺旋弹簧2的中间部分有一个紧密缠绕部分2a。中间的紧密缠绕螺旋部分2a的长度适合柱塞3和4的杆部3a和4a在处于静态时接触(柱塞3不接触检测对象的状态)。
通过使下柱塞3的突出端与待测物体的检测对象12弹性接触，上述探针100用于检测电连接状态，其中上柱塞4的突出端与固定到放置在支承件7上的电路板10的引线导体11弹性接触。在该检测中，如图13中的实线箭头所示，电子信号的导电路径L从检测对象12通到下柱塞3，从杆部3a经过中间的紧密缠绕螺旋弹簧部分2a通到上柱塞4的阶形部分4a，经过上柱塞4引向引线导体11，从而能够检测检测对象12如形成于基板13上的印刷电路的短路或断路。
在此状态下，不得不通过单个螺旋弹簧2的导电路径L包括中间的紧密缠绕螺旋部分2a，其中电信号的有效部分沿螺旋弹簧2的轴向线性传导，从而防止高频信号进入具有附加电感和附加电阻的螺旋弹簧2的大螺距缠绕的螺旋部分内。
但是在微型探针100内，该导电路径L如图13所示包括在中间的紧密缠绕螺旋弹簧部分2a和下及上柱塞3和4的杆部3a和4a之间的导电下和上滑动部分A和B，这两个导电滑动部分A和B引起电阻分散，产生的问题是导致检测精度降低。
此外，如果由柱塞3施加在检测对象12上的接触压力没有大到一定的程度，那么该微型探针100将不能够稳定运行，因为由于例如不能够破开检测对象12的氧化外层而产生了很高的接触电阻。因此要求很大的接触压力，但是该压力也通过柱塞4同时施加在引线导体11上，这意味着在用于大规模生产时，在每次试验(达到十万到百万次)时导线11要承受很大的接触压力，由于过早断裂等导致的另一个问题是降低了基板13(或电路板10)的使用寿命。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种微型接触器探针，包括一个具有支承孔的绝缘体，该支承孔有一个敞开端和一个封闭端；一条暴露在支承孔封闭端的引线导体；以及一个安装在该支承孔内保持不脱落的弹性导电组件，该组件包括一个暴露于外侧敞开端的第一导电部分，以及一个接触该导线的第二导电部分，其中第一和第二导电部分中的一个导电部分包括一个以其一部分与第一和第二导电部分中的另一个导电部分滑动接触的管状导电部分，以及一个固定于管状导电部分的另一部分上的固定导电部分。
根据本发明的该方面，有单个滑动接触件的该管状导电部分还能够减少高频电感。
优选地，该第一导电部分可以包括一个第一柱塞，该第二导电部分可以包括一个第二柱塞和一个螺旋弹簧，该管状导电部分可以包括一个螺旋弹簧的紧密缠绕部分。
或者优选地，该第一导电部分可以包括一个第一柱塞和一个螺旋弹簧，该第二导电部分可以包括一个第二柱塞，该管状导电部分可以包括一个螺旋弹簧的紧密缠绕部分。
或者优选地，该第一导电部分可以包括一个中空的第一柱塞，该第二导电部分可以包括一个第二柱塞和一个螺旋弹簧，该管状导电部分可以包括一个确定该中孔部分的第一柱塞的管状部分。
或者优选地，该第一导电部分阔包括一个具有中空部分的第一柱塞，该第二导电部分可以宝库哟一个第二柱塞，该管状导电部分可以包括一个螺旋弹簧的紧密缠绕部分。
或者优选地，该第一导电部分可以包括一个第一柱塞，该第二导电部分可以包括一个具有中空部分的第二柱塞和一个螺旋弹簧，该管状导电部分可以包括一个螺旋弹簧的紧密缠绕部分和确定该中空部分的第二柱塞的管状部分。
此外，为了实现上述目的，根据本发明的另一方面，提供了一种具有多个微型接触器探针的电探针。
图8是本发明另一个实施例的电探针单元的微型探针的纵剖面；图9是本发明另一个实施例的电探针单元的微型探针的纵剖面；图10是本发明另一个实施例的电探针单元的微型探针的纵剖面；图11是本发明另一个实施例的电探针单元的微型探针的纵剖面；图12是本发明另一个实施例的电探针单元的微型探针的纵剖面；图13是本发明另一个实施例的电探针单元的微型探针的纵剖面；
图1表示根据本发明第一实施例的电探针单元PU。该探针单元PU构成一个探针卡，包括一个作为较大的基板的双面性能板H2，和一个作为较小的通过螺钉固定于性能板H2下侧的大体平直的中继基板H1。该基板H1至少具有一个用螺钉固定到其下面的电探针模块PM。该探针单元PU由一个称为“试验者”(未示出)的计算机辅助多轴定位机器人支持，因此该探针模块PM能够根据对象(未示出)检测最佳状态被设置在设计空间区域内的任意位置上(未示出)，例如有待通过电接触探测的印刷电路板、微小芯片或半导体晶片，用以获得电流数据或信号取样，例如电流导通或性能检测的取样。
电探针模块PM包括一个大体平直的绝缘模块壳MH，该壳固定在变压器H1上，及一个具有多个(在本例中为四个)电探针块PB的对象专用阵列，每个电探针块都分别由组合在模块壳MH内的上百或上千个电探针阵列组成，并且它们的接触下端暴露在外侧，例如在大约0.15mm的设计距离处。每个探针1都连接到放置在变压器H1内的一个电路板内的相应引线导体上。如果该单元PU用于低频，那么该引线导体可以连接外接导线。
图2表示图1中电探针单元PU的任意一个微型接触器探针1。
该探针单元PU有一个下探针支承件6作为固定在模块壳MH内的绝缘板构件，一个上探针支承件7作为叠放在下探针支承件6的绝缘构件，以及一个电路板10作为放置在上探针支承件7上并形成有引线导体11的绝缘基板。探针支承件6和7以及该电路板10紧密连接。对于每个探针1，下支承件6有一个贯通的圆柱形下支承孔8，其靠近下端部有一个朝内的台阶8a来确定一个直径减少的端部，上支承件7有一个贯通的圆柱形上支承孔9，其中在靠近上端部具有一个朝内的台阶9a，用于确定一个直径减少的端部。在台阶8a，和9a之间，下和上支承孔8和9的匹配直径比直径减小的端部的直径大。相应的引线导体11下端暴露于上支承孔9上端内侧。
探针1具有一个下柱塞3，作为中间部分3b突出的导电针构件，它可轴向滑动地安装在下支承孔8的大直径部分，上柱塞4作为中间部分4b突出的导电针构件，它可轴向滑动地安装在上支承孔9的大直径部分，螺旋弹簧2可滑动地安装支承孔8和9的大直径部分，并被压缩在下和上柱塞3和4的突缘部分3b和4b之间，以使柱塞3和4朝相反的方向正常偏移。结果，下柱塞3的在突缘部分3b处受压，并通过下支承孔8的阶形8a防止脱落，其针头部分3c的圆锥形顶部朝外突出，上柱塞4的针头部分4c的圆锥形顶部被压靠在作为引线导体11下端的垫片11a上。下柱塞3以及上柱塞4由工具钢(SK)制成，具有镍(Ni)镀层并用外径为0.1mm的金(Au)镀层精加工。该螺旋弹簧2由螺旋形琴弦(SWPA)制成，具有厚0.3mm的镍(Ni)镀层，并用厚0.3-0.5mm的金(Au)镀层精加工。
下柱塞3有一个在突缘部分3b以上的轮毂部分3d，和一个朝上延伸到该轮毂部分3d之上的杆部3a。上柱塞4有一个位于突缘部分4b之下的轮毂部分4d。螺旋弹簧2有一个紧密缠绕的螺旋簧部分15a，在上部内构成一个较长的管状部分15，另一个紧密缠绕螺旋簧部分构成一个位于下端的短管状部分，一个大螺距缠绕的螺旋簧部分在它们之间延伸。在每个管状部分中，弹簧2的相邻螺旋部分上的金(Au)镀层的较宽区域紧密接触，以使电流有效部分基本上能够线性地沿轴向传导。为了稳固地固定，该长管状部分15以整体方式压配到柱塞4的轮毂部分4d上，以便电流在其上端传导，短的管状部分也压配成能够牢牢地固定在下柱塞3的轮毂部分3d上，以便电流传导。大螺旋缠绕的螺旋簧部分松松地套在下柱塞3的杆部3a上。该杆部3a适于电连接的滑动的装配在长管状部分15的下部内。
在第一实施例中，管状部分15作为位于螺旋弹簧2一端的紧密缠绕螺旋部分15a而牢牢地固定在上柱塞4上，此时，下柱塞3所具有的能够滑动接触紧密缠绕螺旋弹簧部分15a的杆部3a紧密装配在螺旋弹簧2的另一端。
更详细地说，具有突缘部分3b的下柱塞3具有形成在其一侧上的针头部分3c，作为较长杆部的杆部3a通过轮毂部分3d整体形成在突缘部分3的另一侧。杆部3a的长度能够使其远端在处于图2所示的静态(下柱塞3b保持不接触检测对象12的状态)时达到紧密缠绕的螺旋簧部分15a，并且其直径比轮毂部分3d的直径稍小。具有突缘部分4b的上柱塞4的针头部分4c形成在突缘部分4b一侧，轮毂部分4d形成在突缘部分4b另一侧。
螺旋弹簧2一端具有紧密缠绕螺旋簧部分15a，剩下的部分是大螺距缠绕的螺旋簧部分。紧密缠绕螺旋簧部分15a通过压配轮毂部分4d而紧密装配上柱塞4，位于大螺距缠绕螺旋簧部分一端的较短紧密缠绕螺旋簧部分通过将轮毂部分3d以及杆部3a插入螺旋弹簧内而与下柱塞3紧密配合，并使螺旋端弹簧紧密缠绕在轮毂部分3d上。紧密缠绕螺旋簧部分15a的轴向长度确定为能够使杆部3a和轮毂部分4d之间的轴向距离适合于检测操作。
后面称为“柱塞组件”的那些导体的弹性膨胀和压缩导电组件(即本例中的螺旋弹簧2和下及上柱塞3和4)安装在支承件6和7内，其中上柱塞4位于支承件7的支承孔9内，下柱塞3位于支承件6的支承孔8内。在安装好的状态下，针头部分3c和4c在其远端朝支承件6和7突出的下和上柱塞3和4分别可往复运动地装配在支承孔8和9内，不管螺旋弹簧2的弹性力如何，通过毗邻支承孔8和9的的阶形部分8a和9a上的突缘部分3b和4b都能够防止脱落。
探针1包括放置在支承件7上侧的电路板10。通过这种分层放置，迫使上柱塞4抵抗螺旋弹簧2的弹性力回到支承孔9内部，并且针头部分4c以其远端的弹性地接触电路板10引线导体11的垫片11a，从而允许进行电连接。
这样构成的探针1通过使针头部分3c的圆锥形顶部与形成在基板13上的检测对象12弹性接触而进行检测。在检测中，如图2中实线箭头所示，电子信号的导电路径L1从检测对象12延伸到下柱塞3，从杆部3a经紧密缠绕螺旋簧部分15a通向上柱塞4，通过上柱塞4通向引线导体11的垫片11a，从而能够检测检测对象12如板13上的印刷电路的短路或断路。
这样，在微型接触器探针1内，利用螺旋弹簧2朝反向偏转的成对的柱塞3和4借助紧密缠绕螺旋簧部分15a(如管状部分15)使柱塞3和4相互电连接，因此防止高频信号进入有附加电感和附加电阻的螺旋弹簧2的大螺距缠绕螺旋簧部分中。这样可以减少电感和电阻。
此外，由于紧密缠绕螺旋簧部分15a(如管状部分15)处于与柱塞4电导通的集成状态，因此它们之间有相互连接部分C，能够用做导电的固定部分，而不是滑动部分。在此状态下，由该对柱塞3和4以及紧密缠绕螺旋簧部分15a(如管状部分15构成的导电路径L1有一个单个的部分作为导通滑动部分D，其中柱塞3的杆部3a滑动接触，因此允许在检测时分散和减小电阻。
图3表示根据本发明第二实施例的微型接触器探针20，其中与第一实施例中功能相同的构件用相同的附图标记表示，并不再进行详细说明。
探针20有一对下和上柱塞3和4。与检测对象12待接触的下柱塞3在比连接到电路板10的上柱塞4更大的弹簧负荷下，借助由下柱塞3和上探针支承件7之间延伸的辅助弹簧16而受到偏压。
更具体而言，下柱塞3有一个突缘部分3b，其一侧上形成有一个针头部分3c，另一侧上整体形成有一个轮毂部分3d。上柱塞4有一个突缘部分4b，其一侧形成有一个针头部分4c，另一侧通过轮毂部分4d整体形成有一个长杆部分4a。杆部4a的长度允许其一端在处于静止状态(下柱塞3保持不接触检测对象12的状态)时达到紧密缠绕螺旋部分15a，并且其直径稍微小于轮毂部分4d的直径。
在该第二实施例中，正如在第一实施例中那样，管状部分15具有形成在螺旋弹簧2一侧上的紧密缠绕螺旋簧部分15a。下柱塞3牢牢地固定有压配在紧密缠绕螺旋簧部分15a内的轮毂部分3d。上柱塞4以其杆部4a和插入到弹簧内的轮毂4d连接到大螺距缠绕的螺旋簧部分一端，螺旋弹簧端紧密缠绕在轮毂部分4d上。
采用这样构成的柱塞组件，如在第一实施例中一样，上柱塞4位于支承件7的圆柱形上支承孔9内，下柱塞3位于待安装到支承件7和6上的支承件6的圆柱形下支承孔8内，电路板10叠置在支承件7上侧，从而使上柱塞4的针头部分4c与引线导体11的垫片11a接触而提供电连接。
在该第二实施例中，辅助弹簧16由一个螺旋弹簧形成，并位于4弹性地偏移压对柱塞3和4的螺旋弹簧2外侧，从而提供具有螺旋弹簧2的同轴双螺旋弹簧结构。
更具体而言，辅助弹簧16由直径比螺旋弹簧2大的螺旋弹簧制成，并被插入直径比支承孔9大的支承孔8内，以便在支承件7的底表面7b和直径较大的突缘部分3b之间延伸。
采用这样构成的微型探针20，下柱塞3的针头部分3c的圆锥型顶部与形成在待测基板13上的待侧对象12弹性接触。如图3中实线箭头所示，检测信号的导电路径L2从对象12通过下柱塞3延伸到紧密缠绕螺旋部分15a，通过该部分15a延伸到上柱塞4，并通过柱塞4到达引线导体11(垫片11a)。
在此状态下，紧密缠绕螺旋簧部分15a(管状部分15)处于与下柱塞3整体导通的状态，其连接部分E不是一个滑动导电部分，而是一个固定导电部分。在此状态下，由该对柱塞3和4及紧密缠绕螺旋簧部分15a(管状部分15)构成的导电路径L2有一个单个部分作为导电滑动部分F，其中上柱塞4的杆部4a与紧密缠绕螺旋部分15a(管状部分15)滑动接触，从而允许分散的电阻在检测时减小。
此外，在该微型接触器探针20内，螺旋弹簧2和辅助弹簧16的总弹性负荷作用于下柱塞3上，因此下柱塞3能够以较大接触压力与检测对象12弹性接触。相反，螺旋弹簧2的弹簧负荷只作用于上柱塞4上，因此上柱塞4能够以较小的接触压力与电路板10(垫片11a)弹性接触。
因此，除了上述微型接触器探针1的功效之外，该微型接触器探针20还能够防止检测对象12的接触稳定性降低，减少对电路板10(垫片11a)的损伤，从而提高电路板10的寿命。
此外，微型接触器探针20有一个辅助弹簧16，用于提供与螺旋弹簧2的同轴双弹簧螺旋结构，能够安装在一个小空间内，不会增加设备的尺寸。
此外，该微型接触器探针20具有双螺旋弹簧结构，包括一个作为辅助弹簧16和无干扰结构螺旋弹簧2的紧密缠绕螺旋簧部分15a的螺旋弹簧，其中两个弹簧彼此不接合，保证能够进行适当检测。另一种无干扰结构可以采用两个缠绕方向相反的双螺旋弹簧结构实现。
图4表示根据本发明第三实施例的微型接触器探针21。除了在下柱塞3内具有一个阶形突缘部分3b之外，该探针21与上述微型接触器探针20结构相同。
更具体而言，根据第三实施例的柱塞3的突缘部分3b具有一个直径大于辅助弹簧16和接触辅助弹簧16一个螺旋端的大直径突缘部分3e，以及一个整体形成在该大直径突缘部分3e一侧和能够插入辅助弹簧16螺旋内的小直径突缘部分3f，其上形成一个轮毂部分3d。
因此，该微型接触器探针21与微型接触器探针20的功效相同，并且也通过把柱塞3与插入辅助弹簧16螺旋弹簧内的小直径突缘3f安装在一起而保持下柱塞3的稳定运行。
图5表示根据本发明第四实施例的微型接触器探针22。该探针22有一个由管状部分15b形成的作为下柱塞3延长段的管状部分15，上柱塞4滑动插入管状部分15b内。螺旋弹簧2插入被固定的管状部分15b内，用于朝相反的方向偏移柱塞3和4。
在该微型接触器探针22内，一个辅助弹簧16由螺旋弹簧形成，并延伸到管状部分15b外部。
更具体而言，下柱塞3由一个针头部分3c和一个形成在该针头部分3c近端外周边的突缘部分3b构成。该管状部分15b在相反的方向上从该柱塞3近端延伸到该针头部分3c。管状部分15b有一个其前端朝内的内突缘部分15c。
该上柱塞4由一个针头部分4c和一个形成在针头部分4c近端外周边上的突缘部分4b构成，并受到插入管状部分15b内的螺旋弹簧2的偏压，弹簧2滑动地安装在管状部分15b内，其中，该针头部分4c的圆锥顶部突出到内突缘部分15c之外，突缘部分4b毗邻防止外出的内突缘部分15c。这样构成的柱塞组件安装在一个支承件的支承孔内。
在该实施例中，该支承件由一个厚支承件17和一个叠放在该厚支承件17下表面上的薄支承件19构成。该厚支承件17有一个阶形支承孔18，包括一个上部小直径部分和一个以阶形18a作为边界的下部大直径部分。该薄支承件19有一个与阶形支承孔18的下部大直径部分连通的小直径部分支承孔19a。该上部小直径部分的直径能够使管状部分15b在其中滑动。
该实施例的柱塞组件安装方式为针头部分3c的圆锥形顶部朝支承孔19a外部突出，突缘部分3b毗邻薄支承件19的上表面，以防止脱落，管状部分15b的上端位于支承孔18的上部小直径部分内，针头部分4c的圆锥顶部朝上部的小直径部分突出。
该微型接触器探针22还具有一个叠放在支承件17上表面上的电路板10，以及一个沿着在阶形18a和突缘部分3b之间的管状部分15b外侧延伸的辅助弹簧16。上柱塞4克服螺旋弹簧2的弹性力被推回到管状部分15b内。该针头部分4c的圆锥顶部与电路板10的引线导体11的垫片11a接触，形成电连接。
图5中实线箭头所示，检测采用的微型接触器探针22内信号的导电路径L3如从检测对象12通过下柱塞3和与柱塞3整体形成的管状部分15b到达上柱塞4，再通过柱塞4到达引线导体11(垫片11a)。
因此在该实施例中导电路径L3由该对柱塞3和4以及管状部分15b构成，其中柱塞3和管状部分15b整体地构成连续的导电路径。在此状态下，导电路径L3有一个单个部分作为导电滑动部分G，其中柱塞4与管状部分15b接触，从而允许分散电阻在检测时减小。
此外，在该微型接触器探针22中，螺旋弹簧2产生的小接触压力允许柱塞4与垫片11a接触，螺旋弹簧2和辅助弹簧16的总弹簧负荷引起的大接触压力允许柱塞3与待测对象12接触。
因此，该微型接触器探针22与上述微型接触器探针20有相同的功效。
此外，该微型接触器探针22有一个带有管状部分15b的无干扰结构，其中辅助弹簧16和管状部分15b内的螺旋弹簧2的螺旋部分彼此不接合。这就保证能够适当进行检测，而在辅助弹簧16和螺旋弹簧2之间没有干扰。
图6表示根据本发明第五实施例的微型接触器探针23。该探针23由螺旋弹簧2和被螺旋弹簧2偏压到检测对象12侧的柱塞3构成，它们可往复移动地容纳在由绝缘材料制成的支承件6和7的支承孔内。检测时，叠放在支承件7和对象12上的电路板10通过螺旋弹簧2和柱塞3电连接。
在该实施例中，螺旋弹簧2一端有一个由紧密缠绕螺旋簧部分15a形成的管状部分15。该管状部分15一端与电路板10电连接。另一端连接柱塞3，柱塞3的杆部3a与该管状部分15滑动连接。
更具体而言，螺旋弹簧2一端由紧密缠绕螺旋簧部分15a构成，其余部分为大螺距缠绕螺旋部分。紧密缠绕螺旋簧部分15a构成管状部分15，允许线性信号通过。柱塞3有一个突缘部分3b，该突缘部分3b一侧形成有一个针头部分3c，另一侧通过轮毂部分3d整体形成有一个长杆部分3a。杆部3a的长度能够使其一端在静态下(柱塞3保持不接触检测对象12的状态)到达紧密缠绕螺旋簧部分15a，并且其直径稍微小于轮毂部分3d的直径。该紧密缠绕螺旋簧部分15a(管状部分15)归位，并位于大螺距缠绕部分一端，杆部3a和轮毂部分3d被插入螺旋弹簧中，紧密缠绕在轮毂部分3d上的螺旋弹簧端部使柱塞3与螺旋弹簧结合。
采用这样构成的柱塞组件，紧密缠绕螺旋簧部分15a(管状部分15)位于一个支承孔内，柱塞3位于用于组装的支承孔内。电路板叠放在支承件7上表面。采用这种组装方式，紧密缠绕螺旋簧部分15a(管状部分15)顶端与电路板10引线导体11的垫片11a弹性接触，柱塞3的针头部分3c的圆锥顶部朝支承件6外面突出，突缘部分3b毗邻支承孔的阶形，不会从中脱落。
此外，该微型接触器探针23具有同轴双螺旋弹簧结构，其中一个辅助弹簧16由螺旋弹簧形成，并位于螺旋弹簧2外侧，象微型接触器探针20一样，仅使柱塞3偏向检测对象12侧。
采用这样构成的微型接触器探针23，检测时信号的导电路径L4如图6中实线箭头所示从对象12延伸到柱塞3，通过杆部3a到达紧密缠绕螺旋弹簧15a，然后通过该紧密缠绕螺旋簧部分15a到达引线导体11(垫片11a)。
在此状态下，导电路径L4有作为导电滑动部分H的一个单个部分，其中柱塞3的杆部3a与紧密缠绕螺旋簧部分15a滑动接触，从而允许检测时减少分散电阻。
这样构成的微型接触器探针23与上述微型接触器探针20有相同的功效，并且还取消了在电路板10侧的柱塞，从而缩短了导电路径L4，便于组装，并改善了高频性能。
图7表示根据本发明第六实施例的一种微型接触器探针24。该探针24有一个构成形成在螺旋弹簧2一侧的紧密缠绕螺旋部分15a的管状部分15，该部分15a前端插入形成在下柱塞3内的管状部分以便固定在其上。上柱塞4有一个与该紧密缠绕螺旋簧部分15a滑动接触的杆部4a并且与螺旋弹簧2另一端侧结合。
更具体而言，该螺旋弹簧2一端具有紧密缠绕螺旋簧部分15a，其余部分为松散缠绕螺旋部分。该部分15a构成允许信号线性流动的管状部分15。
下柱塞3有一个突缘部分3b，突缘部分一侧形成有一个针头部分3c。该针头部分3c有一个中空的内侧部分，以在突缘部分3b侧形成具有开口的管状部分。在该实施例中，该管状部分形成有阶形，底侧有小直径的管状部分3h，开口侧有大直径管状部分3g。上柱塞4有一个突缘部分4b，突缘部分一侧形成有一个针头部分4c，另一侧通过轮毂部分4d整体形成有一个长杆部分4b。杆部4a的长度能够使其顶端在如图7所示的状态下(下柱塞保持不接触检测对象12的状态)达到紧密缠绕螺旋部分15a，其直径稍微小于轮毂部分4d的直径。
紧密缠绕螺旋簧部分15a(管状部分15)前端压配在小直径管状部分3h内以便固定。在松散缠绕螺旋部分一端，杆部4a和轮毂部分4d插入螺旋弹簧内，从而使紧密缠绕在轮毂部分4d上的螺旋弹簧端部将柱塞4与螺旋弹簧结合。除了压配合外，通过焊接也可以固定紧密缠绕螺旋簧部分15a顶端，以改善电性能。
在这样构成的柱塞组件内，上柱塞4位于支承件7的支承孔内，下柱塞3位于支承件6的支承孔内，将他们固定在支承件7和6上，电路板10叠放在支承件7的上表面上，从而使柱塞4的针头部分4c的圆锥顶端与电路板10的引线导体11的垫片11a接触而实现电连接。
此外，微型接触器探针24象微型接触器探针20一样具有一个同轴双螺旋结构，其中辅助弹簧16由位于螺旋弹簧2外侧的螺旋弹簧形成，只将下柱塞3偏压至检测对象12。
如图7中实线箭头所示，用微型接触器探针24检测时，信号导电路径L5从对象12通过柱塞3的针头部分3c延伸到紧密缠绕螺旋簧部分15a，从该部分15a通过柱塞4的杆部4a到达引线导体11(垫片11a)。
在该导电路径L5内，该紧密缠绕螺旋簧部分15a和针头部分3c构成导电固定部分J。路径L5有一个单个部分作为导电滑动部分K，其中柱塞4的杆部4a与紧密缠绕螺旋簧部分15a(管状部分15)滑动接触，从而允许在检测时电阻的分散减小。
在这样构成的微型接触器探针24内，紧密缠绕螺旋簧部分15a构成的管状部分15的前端装配在柱塞3的管状部分(小直径管状部分3h)内，以便牢牢固定，从而能够获得与柱塞3的稳定地电连接。此外，紧密缠绕螺旋簧部分15a的管状部分15的剩余部分在圆周方向处于自由状态，从而能够使适当的横向负荷施加柱塞4的杆部4a上，以提供稳定的电连接。
因此，该微型接触器探针24与上述微型接触器探针20的功效相同，并进一步提供了管状部分15的稳定电连接，该部分包括位于下和上柱塞3和4之间的紧密缠绕螺旋簧部分15a，保证更可靠的检测。
图8表示根据本发明第七实施例的微型接触器探针25。除了该探针25具有一个屏蔽管3f作为用做弹簧2和16的间隔件的螺旋弹簧2和辅助弹簧16之间的延伸件之外，该探针25与上述微型接触器探针具有相同的结构。
因此该微型接触器探针25与探针24的功效相同，通过用屏蔽管3f隔开辅助弹簧16和螺旋弹簧2，防止他们相互干扰，从而提供稳定运行，进一步保证了适当检测。
图9表示根据本发明第八实施例的微型接触器探针26。该探针26与其他实施例的不同在于它有一个提供信号线性流动的具有上柱塞和螺旋弹簧2的管状部分15。
更具体而言，探针26有一个由两个管状部分构成的管状部分15，一个作为柱塞4延长件的管状部分15b，一个形成在螺旋弹簧2一侧的紧密缠绕螺旋簧部分。下柱塞3具有一个滑动插入该管状部分15b内的杆部3a。
该对柱塞3和4对齐，可沿轴向滑动，其杆部3a插入管状部分15b内。螺旋弹簧2位于管状部分15b和杆部3a外侧。紧密缠绕螺旋簧部分15a与管状部分15b滑动接触，其一端与柱塞3结合。螺旋簧部分15a另一端与柱塞4结合。因此该对柱塞3和4结合在一起。
更具体而言，柱塞3有一个突缘部分3b，突缘部分一侧形成有一个针头部分3c，另一侧通过轮毂部分3d整体形成有一个长杆部3a。柱塞4有一个突缘部分4b，该突缘部分一侧形成有一个针头部分4c，另一侧整体形成有一个轮毂部分4d。
管状部分15b延伸到轮毂部分4d，以便与柱塞4整体形成。管状部分15b的中空部分4e的针头部分4c达到针头部分4c的中部，并通过形成在针头部分4c端部上的电镀孔4f与外侧连通。该电镀孔4f用于使电镀液体良好流动，并用于稳定中空部分4e的壁上的电镀层，并减少杆部3a的滑动阻力。
该螺旋弹簧2一端具有一个紧密缠绕螺旋簧部分15a，另一端具有一个大螺距缠绕的螺旋簧部分。在紧密缠绕螺旋簧部分15a内，柱塞3以插入螺旋弹簧内的杆部3a和压配于螺旋弹簧一端的轮毂部分3d定位，在大螺距缠绕螺旋弹簧部分一端，柱塞4与插入杆部3a外侧的螺旋簧的管状部分15和紧密缠绕在轮毂部分4d上的螺旋簧端结合。
这样构成的柱塞组件象第一实施例(微型接触器探针1)那样安装，柱塞4位于支承件7的支承孔9内，柱塞3位于支承件6的支承孔8内，电路板10叠放在支承件7上表面。
这种安装获得了如图9所示的处于静态(保持柱塞3不接触检测对象12的状态)的微型接触器探针26，其中柱塞4的针头部分4c与引线导体11的垫片11a弹性接触，柱塞3的针头部分3c朝外突出，防止脱落。在此状态下，在静态时管状部分15b和紧密缠绕螺旋簧部分15a在它们的端部部分重叠，它们的长度分别允许柱塞3在检测时被推回。管状部分15b和杆部3a具有各自的长度，能够在静态下将杆部3a插入管状部分15b内，允许柱塞3在检测时被推回。
借助具有柔韧性的盘簧2的作用，这样构成的微型接触器传感器26沿着垂直于中心轴线的方向向该对柱塞3和4施加横向接触压力。横向接触压力提供两个导电路径，其中之一是通过导电的滑动部分Q提供的，其中杆部3a接触管状部分15b(管状部分15)以使得该对柱塞3和4彼此接触以形成第一传导通路L6，其中之二是通过滑动部分R提供的，其中管状部分15b接触紧密缠绕螺旋簧部分15a(管状部分15)以使得该对柱塞3和4通过该紧密缠绕螺旋簧部分15a彼此接触以形成一第二传导通路L7。
更具体而言，用微型接触器探针26在探测时，信号沿着图8中实线箭头所示的第一传导通路L6和第二传导通路L7传输。第一传导通路L6从检测对象12延伸到下柱塞3，通过杆部3a到达管状部分15b和上柱塞4，通过柱塞4到达引线导体11(垫片11a)。第二导电路径L7从对象12延伸到下柱塞3，从轮毂部分3d通过紧密缠绕螺旋簧部分15a和管状部分15b到达上柱塞4，通过柱塞4到达引线导体11(垫片11a)。
该第一和第二导电路径L6和L7没有螺旋弹簧2的大螺距缠绕螺旋簧部分，能够防止由于高频信号在螺旋簧内通过而引起的电感和电阻增加，从而减少电感和电阻。
该紧密缠绕螺旋部分15a紧紧固定于柱塞上，与柱塞3成整体导电状态，以便它们的连接部分P不构成导电滑动部分而构成导电固定部分。该管状部分15b是柱塞4的延长件。因此通过该螺旋簧部分15a和该管状部分15b形成集体的连续导电通道。
在此状态下，第一导电路径L6有一个单个部分作为导电滑动Q部分，其中柱塞3的杆部3a与管状部分15b滑动接触。第二导电路径L7有一个单个部分作为导电滑动部分R，其中管状部分15b与紧密缠绕螺旋簧部分15a滑动接触。每个第一和第二导电路径L6和L7都有一个单个滑动导电部分，从而允许电阻分散，在检测时减少电阻。
因此，与上述具有一个单个导电路径的实施例相比，具有第一和第二导电路径L6和L7的微型接触器探针26在低电阻下能更稳定地传输检测信号。
图10表示根据本发明第八实施例改进的一种微型接触器探针26a。除了使用一个单个支承件50和上柱塞4形状不同之外，该探针26a与探针26的结构相同。
更具体而言，该支承件50由绝缘材料制成，其中绝缘材料的厚度允许掏出容纳由螺旋弹簧2偏移的上和下柱塞3和4的支承孔50a中空部分，这些柱塞可往复移动。该支承孔50a靠近与电路板相对的开口附近设置有防止柱塞脱落的阶形50b。
该上柱塞由一个针头部分4c和一个集体地形成在该针头部分c后侧上的轮毂部分4d构成，没有上述实施例所示的突缘部分4b。
如在探针26内一样，在该探针26a内，由连接到螺旋弹簧2上的对柱塞组件构成的柱塞组件从前部与具有柱塞3的阶形50b侧相对的开口插入支承孔50a内，在突缘部分3b处与阶形50b接合，以防止柱塞3脱落，电路板10叠放在该支承件上，使柱塞4的针头部分4c与引线导体11的垫片11a接触。
采用这样构成的探针26a，能够通过从支承件50上拆卸该电路板10容易地更换柱塞组件。因此该探针26a改善了维修工作性能以及提供了探针26的功效。
此外，该结构还能够用于微型接触器探针1，用于改善维修工作性能。
图11表示一种根据本发明第一实施例的一种改进的微型接触器探针27。该探针27对应于图2中探针1的上下倒置结构，因此螺旋弹簧2具有一个紧密缠绕螺旋簧部分15a作为形成在检测对象12侧的管状部分15，其下端被固定在下柱塞3的轮毂部分3d上，上柱塞4有一个下端与该管状部分15上端内侧滑动接触的杆部4a。这也能够获得与第一实施例相同的效果。
图12表示作为第一实施例的改进的一种变型的微型接触器探针28。该探针28对应于图11中的探针27的一种加长和/或直径减少的结构。注意，下和上支承件6和7有设置在他们中间的另一个支承件60，并具有一个直径与下和上支承件6和7的支承孔8和9匹配的支承孔61。
此外，由Paliney No.7(Pd35％，Ag30％，Pt10％，Au10％，Cu14％，Zn1％)制成的下柱塞有一个短的杆部3a，由淬火铁材料通过镀Ni和用Au抛光制成的上柱塞有导电良好的长杆部4a。该杆部4a比杆部3a长很多。上柱塞4需要比下柱塞3精度更高的加工。上柱塞4可以用另一种尺寸替代。该下柱塞3还可以有各种不同类型，能够用于待处理的短间距对象。
此外，上柱塞4有极好的可加工性。相反，Paliney No.7作为贵金属硬度大，耐磨，导电性好，耐表面氧化，电阻上升小。当表面被焊料等玷污时，能够刮去再用。因此该下柱塞3具有一个平的远端3e。
正如上述实施例中看到的那样，这里公开了一种如本发明第一实施方式的微型接触器探针，其中一对通过一个主螺旋弹簧沿相反方向偏移的柱塞以可往复移动的方式容纳在绝缘件制成的支承件的支承孔内，一个柱塞安装成朝外突出，防止其脱落，另一个柱塞安装成与叠放在支承件上的电路板电连接，其中柱塞和主螺旋弹簧中至少有一个内部形成一个允许电信号线性流动通过的管状部分，在该对柱塞脱离开后，其中一个柱塞处于与管状部分电导通的集成状态，另一个柱塞以滑动方式与该管状部分电连接。
根据第一实施例，存在三种状态其中之一是管状部简单形成在主螺旋弹簧内，另一个是它简单形成在一个柱塞内，还有一个是主螺旋弹簧和柱塞都形成有管状部分。在任何状态下，利用主螺旋弹簧朝相反方向偏移的一对柱塞通过管状部分电连接，从而防止高频信号螺旋地流过具有附加电感和附加电阻的螺旋弹簧的大螺距缠绕螺旋簧部分，因此减少了电感和电阻。
此外，由于该管状部分相对于一个柱塞处于导电的集成状态，因此中间存在一个相互连接的部分，它能够用做导电固定部分，而不是导电滑动部分。在此状态下，由该对柱塞和管状部分构成的导电路径有一个单个部分作为导电滑动部分，其中另一个柱塞滑动接触，从而允许在检测时减少分散电阻。
应该注意，短语“柱塞处于与管部部分导电的集成状态”指在主螺旋弹簧内形成管状部分的状态下，管状部分整体地通过压配、焊接、钎焊等连接柱塞，在管状部分形成在柱塞内的状态下，管状部分通过压配、焊接、钎焊等集成地连接到柱塞，或者在管状部分形成于柱塞的情况下，管状部分通过压配、焊接、钎焊等整体地连接到柱塞，或者管状部分整体地形成在柱塞内。
根据本发明的第二实施方式，在根据第一实施方式的微型接触器探针中，管状部分包括一个形成在主螺旋弹簧一端并固定于一个柱塞上的紧密缠绕螺旋弹簧部分，其他柱塞有一个与紧密缠绕螺旋弹簧部分滑动接触的杆部，以便连接到主螺旋弹簧的另一端。
根据本发明第二实施方式，这一个柱塞和该紧密缠绕螺旋弹簧部分通过一个固定导电部分相互连接，该导电路径有一个作为滑动导电部分的单个部分，其中其它柱塞为滑动接触，从而允许检测时减小分散电阻。
根据本发明的第三实施方式，在根据第一实施方式的微型接触器探针中，管状部分包括一个作为一个柱塞延伸件的管状部分，另一个柱塞滑动插入该管状部分内，主螺旋弹簧插入该管状部分内部，用于偏移相互隔开的这个和另一个柱塞。
根据该第三实施方式，导电路径包括该对柱塞和一个管状部分，其中一个柱塞集成有该管状部分，构成具有一个单个导电滑动部分的连续导电路径，另一个柱塞接触该管状部分，从而允许检测时减小分散电阻。
根据本发明的第四实施方式，在根据第一至第三实施方式中任一个的微型接触器探针中，通过安装在该柱塞和支承件之间的一个辅助弹簧使接触检测对象的该对柱塞中的一个柱塞偏移，其中弹簧负荷比与电路板电连接的柱塞的弹簧负荷大。
根据该第四实施方式，采用大接触压力时，柱塞与检测对象的电连接以及采用较小接触力时，柱塞与电路板的电连接均能得到保证。
根据本发明的第五实施方式，在根据第四实施方式的微型接触器探针中，辅助弹簧包括一个位于使该对柱塞偏移的主螺旋弹簧外侧的螺旋弹簧，因此与主螺旋弹簧共同构成了一个同轴双螺旋弹簧结构。
根据该第五实施方式，该辅助弹簧与主螺旋弹簧一起构成一个同轴双螺旋弹簧结构，能够安装在一个狭窄的空间内。
根据本发明的第六实施方式，在根据第五实施方式的微型接触器探针中，构成双螺旋结构的辅助的和主螺旋弹簧具有它们的互不自由结合或互不干扰的螺旋弹簧部分。
根据该第六实施方式，该辅助和主螺旋弹簧保持相互不干扰，保证检测正确进行。
根据本发明的第七实施方式，在根据第四实施方式的微型接触器探针中，辅助弹簧包括一个安装在管状部分外侧的螺旋弹簧。
根据该第七实施方式，借助该管状部分，该辅助弹簧适合构成一个相对于管状部分内的主螺旋弹簧的螺旋簧部分不结合的无干扰结构，从而使辅助的和主螺旋弹簧不相互干扰，保证正确检测。
此外，这里公开了一种如本发明第八实施方式的微型接触器探针，其中主螺旋弹簧和借助主螺旋弹簧朝检测对象侧偏移的柱塞以往复运动的方式容纳在一个设置在绝缘材料制成的支承件的支承孔内，一旦进行检测，叠放在该支承件和检测对象上的电路板借助主螺旋弹簧和该柱塞电连接，其中该主螺旋弹簧一端具有一个形成为紧密缠绕螺旋簧部分的管状部分，该管状部分一端与电路板电连接，另一端与有一个杆部与管状部分滑动接触的柱塞连接，其中该柱塞借助安装在柱塞和支承件之间的辅助弹簧朝检测对象侧偏移，弹簧负荷比与电路板电连接的管状部分端部的弹簧负荷大。
根据该第八实施方式，由于受主螺旋弹簧的偏压而与检测对象接触的柱塞通过构成紧密缠绕螺旋弹簧部分的管状部分与电路板电连接，从而防止高频信号流过具有附加电感和附加电阻的螺旋弹簧的大螺距缠绕螺旋弹簧部分。
在此状态下，该导电路径具有一个单个部分作为导电滑动部分，其中接触检测对象的柱塞的杆部与做构紧密缠绕螺旋弹簧部分的管状部分滑动接触，从而允许在检测时减小分散电阻。
此外，去除电路板侧的一个柱塞可以使部件数量和导电路径长度相应的减少。
此外，为了进行电连接，该柱塞适合以较大的接触压力与检测对象弹性接触，构成紧密缠绕螺旋弹簧部分的管状部分适合以较小的接触压力与电路板弹性接触。
根据本发明的第九实施方式，在根据第一、第四、第五或第六实施方式的微型接触器探针中，管状部分包括一个形成在主螺旋弹簧一端的紧密缠绕螺旋弹簧部分，并通过将其远端部分装配在一个紧密缠绕螺旋弹簧部分内而固定在一个柱塞内形成的管部内，另一个柱塞具有滑动接触紧密缠绕螺旋弹簧部分的杆部，以便连接主螺旋弹簧的另一端。
根据该第九实施方式，构成紧密缠绕螺旋弹簧部分的管状部分将其远端部装配在一个柱塞管部内来固定，以获得相对于该柱塞的稳定电连接。
此外，构成为紧密缠绕螺旋弹簧部分的管状部分的其他部分而不是该远端部在圆周方向是自由的，因此能够对其他柱塞杆部施加适当的横向负荷，从而获得稳定的电连接。
根据本发明的第十实施方式，在根据第九实施方式的微型接触器探针中，这一个柱塞有一个作为其延伸件的屏蔽管部，它位于主螺旋弹簧和辅助弹簧之间，用做两个弹簧螺旋部分的间隔件。
根据该第十实施方式，该辅助和主螺旋弹簧由屏蔽管部分分开，相互之间无干扰，保证检测操作正确。
根据本发明的第十一实施方式，在第一实施方式的微型接触器传感器中，该管状部分包括两个管状部分，作为这一个栓塞的延长件与形成于主螺旋簧的一端侧上的紧缠绕螺旋弹簧部分的管状部分的结合件。另一个柱塞具有一个可滑动地插入到该管状部分内的杆部，该对柱塞布置成能够通过将杆部插入到该管状部分而相互轴向移动，该主螺旋簧设置在该管状部分和杆部外侧，且与该对柱塞相连，同时紧缠绕螺旋部分与该管状部分可滑动地接触，且其一端与另外一个柱塞相连，其另一端与该柱塞相连。
根据本发明的第十一个实施方式，借助其自身的柔韧性，该主螺旋簧适于在该对柱塞上施加基本上垂直于中心轴的横向接触压力。通过施加横向接触压力，建立了两个传导通路第一传导通路，经由该对柱塞以彼此相连的方式而形成，其中具有一个导电滑动部分，其中杆部与管状部分相接触；第二传导通路，经由该对柱塞通过紧缠绕螺旋簧部分彼此相连的方式而形成，其中具有一个导电滑动部分，其中管状部分与紧缠绕螺旋部分相接触。该两个通路的每个具有一个单个导电滑动部分，因而，使得检测时分散电阻降低到最小。
根据本发明的第十二个实施方式，在第一、二或第十一实施方式的微型接触器传感器中，该支承孔穿入该支承件内，且具有阶形部分，用于防止位于电路板相反侧的开孔附近的构件脱落。
根据本发明的第十二个实施方式，从支持件上去掉电路板有利于柱塞从该支承中插入和拔出。
由此可见，根据第一实施方式(1)通过主螺旋弹簧的作用而沿相反方向偏移的该对柱塞通过管状部分而电连接，因而防止高频信号螺旋地流过具有附加的感应和附加的电阻的主螺旋弹簧的大螺距缠绕弹簧部分，这样，使得感应和电阻得以降低。
(2)该管状部分相对于柱塞处于整体导电状态，在管状部分和柱塞之间设有相连部分，该部分用作导电固定部件而不是一个滑动部件，这样，由该对柱塞和管状部分形成的传导通路具有作为一个单个导电的滑动部分，其中另一柱塞滑动接触，因而，在检测时将电阻离散降低到最小。
因此得到一种微型接触器传感器和电传感器装置，其中，传导通路中导电滑动部件的数量减少，而不会增大感应和电阻，从而提高了探测的精度。
根据本发明的第二个实施方式，传导通路具有一个单个导电滑动部分，其中另一柱塞滑动接触，因而，在检测时将电阻离散降低到最小，从而提高了检测精度。
根据本发明的第三个实施方式，传导通路具有一个单个导电滑动部分，其中，另一柱塞滑动接触管状部件，因而，在检测时将电阻离散降低到最小，从而提高了检测精度。
根据本发明的第四个实施方式，柱塞的电连接得以确保，对于检测对象具有较大的接触压力，以及对于电路板具有较小的接触压力，因此，除了得到第一至第三实施方式中的效果之外，还提供一种微型接触器传感器，其中对电路板侧的损伤得以减小，与检测对象上的电连接较稳定，可提高电路板的寿命。
根据本发明的第五个实施方式，辅助弹簧设置成与主盘簧一起构成同轴双盘黄结构，可被安装在较狭窄的空间内，这样，除了得到第四实施方式中的效果之外可减小整个装置的尺寸。
根据本发明的第六个实施方式，除了第五实施方式中的效果之外，辅助弹簧和主弹簧不相互干扰，确保检测的准确操作，从而保证稳定的操作。
根据本发明的第七个实施方式，除了第四实施方式中的效果之外，辅助的弹簧和主弹簧借助管状部分不相互干扰，确保检测的准确操作，从而保证稳定的操作。
根据本发明的第八个实施方式，除了第一实施方式中的效果之外，去除电路板侧的柱塞使得传导通路的部件和长度得以相应的减少，从而提高组装性能和高频性能。
此外，为了进行电连接，该柱塞适合以较大接触压力与检测对象弹性接触，构成紧密缠绕螺旋弹簧部分的管状部分适合以较小的接触压力与电路板弹性接触，从而将消除电路板侧的损伤，与检测对象的电连接稳定，提高了电路板的使用寿命。
根据该第九实施方式，构成紧密缠绕螺旋弹簧部分的管状部分在一个柱塞和另一个柱塞之间提供了一个稳定的电连接，提高了保证检测操作的可靠性。
根据该第十实施方式，辅助的和主螺旋弹簧由屏蔽管部件隔开，不会相互干扰，保证检测时操作正确，从而能够稳定操作。
根据本发明的第十一实施方式，通过施加横向接触力，建立了两条导电路径第一条导电路径通过彼此由电流连通的该对柱塞而建立起来，它具有一个导电滑动部分，其中杆部接触管状部分；第二条导电路径通过紧密缠绕螺旋弹簧部分使该对柱塞电流连通而建立起来，它具有一个导电滑动部分，其中管状部分接触紧密缠绕螺旋弹簧部分，从而能够把电阻抑制得较低，改善高频特性如电感。
根据本发明的第十二实施方式，从支承件上除去电路板，以便于替换新的柱塞组件，能够改善维修性能。
从上述描述中将可以看到，本发明已经考虑到了优选接触状态，该状态是用小接触压力实现的，例如当电路板有一层镀铜膜作为导电部分时，提供一种微型接触器探针和电探针单元也是本发明的一个目的，其中一个待接触检测对象的柱塞借助比电连接电路板上的一个柱塞更大的弹簧负荷能够使其偏移，从而能够提高电路板的使用寿命，而不会降低检测精度。
虽然已经用特定术语描述了本发明的实施例，但是这种描述仅仅是为了说明的目的，应该理解在不脱离本发明下述权利要求书的范围内可以有各种改进和改变。
本发明可用于微型接触器探针和电探针单元，其中能够减少导电路径中导电的滑动部件数量，且不会增加电感或电阻，因此能够提高检测精度。
权利要求
1.一种微型接触器探针，包括一个具有支承孔的绝缘体，该支承孔有一个敞开端和一个封闭端；一条暴露在支承孔封闭端的导线；一个安装在该支承孔内保持不脱落的弹性导电组件，该组件包括一个暴露于外侧敞开端的第一导电部分，以及一个接触该导线的第二导电部分，其中第一和第二导电部分中的一个导电部分包括一个以其一部分与第一和第二导电部分中的另一个导电部分滑动接触的管状导电部分，以及一个固定于管状导电部分的另一部分上的固定导电部分。
2.如权利要求1的微型接触器探针，其中第一导电部分包括一个第一柱塞，第二导电部分包括一个第二柱塞和一个螺旋弹簧，管状部分包括该螺旋弹簧的一个紧密缠绕部分。
3.如权利要求1的微型接触器探针，其中第一导电部分包括一个第一柱塞和一个螺旋弹簧，第二导电部分包括一个第二柱塞，管状导电部分包括该螺旋弹簧的一个紧密缠绕部分。
4.如权利要求1的微型接触器探针，其中第一导电部分包括一个带有中空部分的第一柱塞，第二导电部分包括一个第二柱塞和一个螺旋弹簧，管状导电部分包括确定该中空部分的第一柱塞的管状部分。
5.如权利要求1的微型接触器探针，其中第一导电部分包括一个带有中空部分的第一柱塞和一个螺旋弹簧，第二导电部分包括一个第二柱塞，管状导电部分包括该螺旋弹簧的一个紧密缠绕部分。
6.如权利要求1的微型接触器探针，其中第一导电部分包括一个第一柱塞，第二导电部分包括一个带有中空部分的第二柱塞和一个螺旋弹簧，管状部分包括该螺旋弹簧的一个紧密缠绕部分和确定该中空部分的该第二柱塞的一个管状部分中间的一个。
7.一种电探针包括多个如权利要求1-6中任何一项中的微型接触器探针。
全文摘要
为了提供一种能够减少用于导电的滑动部件数量，且不会增加电感和电阻，并能够提高检测精度的导电路径，一对由一个螺旋弹簧(2)在相反方向偏压以便与电路板(10)电连接的柱塞(3，4)具有电连接，其中在固定于一个柱塞(4)上的作为一个紧密缠绕螺旋弹簧部分(15a)的管状部分(15)内允许电信号线性的流过，另一个柱塞(3)能够滑动接触。
文档编号H01L21/66GK1436306SQ01811287
公开日2003年8月13日 申请日期2001年6月15日 优先权日2000年6月16日
发明者风间俊男 申请人:日本发条株式会社