专利名称：真空层压设备的制作方法
本申请为一分案申请，原案的申请日是1997年8月13日，申请号是97117638.8，发明名称是《连续真空层压处理系统和真空层压设备》。
近年来，地球环境污染已成为世界性问题，与此同时，公众对地球环保的关心也已日渐普及到整个世界。特别是由于大气中CO2的增加带来的所谓温室效应，对地球变暖的担心已成了严重的问题。为此，社会各界越益要求早日实现一种动力源系统，它能提供清洁的能量而不会像火力发电情形造成CO2增长。
在上述背景下，大众的注意力集中到采用太阳电池的动力供应系统上，因为太阳电池安全、便于处理和能够用作提供清洁能源而不造成CO2的增加。同时已开展了种种研究，以便按合理的生产费用制造出高度可靠的太阳电池。在这种太阳电池的生产中，前述真空层压设备起着重要作用。
顺便指出，业已提出了不同类型与不同结构的各种太阳电池。这类太阳电池代表性的具体例子有单晶硅太阳电池、多晶硅太阳电池、无定性硅太阳电池、铜铟硒化物太阳电池与化合物半导体太阳电池。在这些太阳电池中，对所谓薄膜晶体硅太阳电池、化合物半导体太阳电池与无定形硅太阳电池进行了种种探讨与开发性研究，这时因为它们较易以相对低的生产费用生产成具有大面积的形式。
为了具体地把这些太阳电池用作例如户外的动力源，把它们设计成具有能用作动力源的所需构型的太阳电池组件。
图13(a)与13(b)示意表明了这种太阳电池组件的构型例子。具体地说，图13(a)是示意性横剖面图，表明层压件的构成例子，此层压件包括太阳电池组件给定的组成件，后者经受热压处理来生产太阳电池组件。图13(b)是示意性剖面图，表明的是图13(a)所示层压件经受热压处理而制得的作为太阳能组件的堆积体。在图13(a)与13(b)中，标号1001指表面侧盖件，标号1002指填充件，标号1003指太阳电池(或光生伏打元件)，标号1004指背侧盖件。
上述太阳电池组件例如可按以下所述制造。首先层压太阳电池的前述组成件以获得图13(a)所示的层压件。将这样制得的层压件引入真空层压设备中，在此将层压件定位好同时进行密封，继对此层压件内抽真空以将层压件内的空气外抽。然后，在继续抽真空的同时对层压件作热处理，将层压件加热到使填充件交联化或固化的预定温度。这样的热处理在上述温度下继续到直至填充件充分固化的一段固定时间，随后使这样处理过的层压件冷却。这以后，终止真空作业，使层压件周围的大气返回到大气压力，继而取出此层压件。由此就制成了具有图13(b)所示构型的太阳电池组件。
图14(a)至14(c)概示了用于生产太阳电池组件的常规的真空层压设备。具体地说，图14(a)概示了此真空层压设备的整体，图14(b)是沿图14(a)中F-F线截取的示意性横剖图，而图14(c)的示意性横剖图则示明了为生产太阳能电池组件而提出的一种结构的实施形式。
在图14(a)至14(c)中，标号1101指安装台，它的安装区A上设有太阳电池组件用的堆积体(或层压件)1108。标号1102指一抽真空管，它设有一批通风孔1105并布置成围绕着此安装台1101的安装区A。标号1103指设在排风管1110上的阀，此排风管的一端与抽真空管1102通连，另一端则与真空泵1104连接。标号1106指固定装置，用来将抽真空管1105固定到安装台1101上。标号1107指一挠性盖件，标号1109指一网件。
用图14(a)至图14(c)所示的真空层压设备例如能依下述方式进行太阳电池组件的制备。网件1109铺放于安装台1101的安装区A的表面上。用于生产作为堆积体1108(参看图14(c))的太阳电池组件的堆积体(或层压件)定位于铺放在安装区A上的网件1109上。上述挠性盖件叠置于安装台1101的堆积体1108之上，并在安装台与挠性盖件间密封。起动真空泵1104，通过抽真空管的通风孔1105将挠性盖件1107与抽真空管1105所围定的安装区A之间的包含着堆积体1108的空间之内抽空，由此使挠性盖件1107弯沉向安装台一侧来对堆积体1108加压。在真空泵1104工作的同时，将层压设备引入到保持在预定温度下的炉子(未示明)中。在此使堆积体于令其中所含填料固化的温度下接受热处理。这种热处理继续到堆积体中的填料充分固化。然后在真空泵继续工作的同时，从炉中取出此设备，继而冷却堆积体。此时，关停真空泵使上述空间内的大气返回至大气压。这样便完成了太阳电池组件的制备。
上述常规的真空层压设备具有这样的优点，即由于其结构较为简单，可以根据太阳电池组件的尺寸来调节此设备的比例，例如在制备具有大面积的太阳电池组件时，可迅速将设备放大；由于这种设备的热容小，太阳电池组件的堆积体的组份材料就能在短时间内加热到所需温度；从而可以缩短制备太阳电池的工时。
尽管常规的真空层压设备具有上述种种优点，但如下述，在大规模生产大面积的太阳电池组件中都有种种不足之处，因而它不适于大规模生产大面积太阳电池的情形。
对于大规模生产大面积太阳电池组件的生产系统，要求具有能容纳大尺寸真空层压装置(或大尺寸真空层压设备)的大尺寸加热炉，这从设备与装配的投资来说都是极大的。
具体说来，在生产太阳电池组件的真空层压处理中包括(1)层压用来生产太阳电池组件的组成件、(2)对步骤(1)中获得的堆积体抽真空、(3)加热此已抽真空的堆积体、(4)冷却此经过热处理的堆积体以及(5)取出在步骤(4)中已冷却的堆积体。加热炉则仅用于这五个步骤之一即加热步骤(3)中。为使加热炉最有效地用于大规模生产太阳电池组件的生产系统中，必须提供一批真空层压装置(或真空层压设备)，每台层压装置要设计成能快速和有效地通过各个上述步骤，并要使此系统的整体最优化。当拟大规模生产的太阳电池组件是大面积型时，便要求各层压装置具备适合于此种太阳电池组件的大尺寸。大尺寸的层压装置则是笨重而难于处置的。
于是，在前面图14(a)至14(c)所示的真空层压设备中，采用了固定装置1106将抽真空管1102固定到安装台1101上，使得抽真空管与安装台之间不存在间隙。此真空层压设备暴露在高温的大气氛中，而其内部在太阳电池组件的生产过程中则抽成真空。为此要求固定装置1106应有充分的热稳定性。在现有技术中在把抽真空管固定到安装台上时，是通过焊接或采用密封剂例如RTV(室温固化)的硬化型硅酮密封剂，此时抽真空管与安装台之间的空隙加以填充以使此管固定于台上。在这种固定方式下，只要此台与管的尺寸小，具体地说，它们的长边小于1m时，不会引起问题。
但是近年来，日益增长地要求有能高效地以合理生产费用大规模生产大面积太阳电池的生产系统，其中真空层在设备需要用到大尺寸的安装台与抽真空管。
前述常规的真空层压设备难于满足这种要求。也就是说，在安装台与抽真空管是大尺寸的情形，当用任何前述方式将此大尺寸的抽真空管固定到大尺寸的安装台时，都会产生下述种种问题。
当采用焊接固定方式时，由于焊接导致的热变形，就会使得真空层压设备也因此而变形。
当由密封剂固定时，尽管不会发生焊接固定方式中出现的那种问题，但却常会有下述一些问题。通常，此真空层压设备的安装台在真空处理过程中要运送一定行程，将它装载到专门的器械或容器上，因而不会有问题。但当为了设备的保养将安装台从此专门机械上卸下时，由于安装台的尺寸大，就会有使其易有某种程序变形的问题。这种情形下，对于固定装置包含有密封剂时又易引起另一个问题，即密封剂较焊接的固定装置软，有时会开裂。当此固定装置开裂时，真空层压设备中的空间就不能如愿地抽空，结果也就不能如愿地对生产太阳电池组件用的堆积体进行层压处理。
本发明的另一目的在于实现一种大尺寸的真空层压设备。其中的安装台与抽真空管是大尺寸的，但不存在常规真空层压设备中当安装台与抽真空管大尺寸化时带来的前述问题。
本发明的一个方面是针对一种连续的真空层压处理系统，它能连续地进行至少是(1)层压(或堆积)步骤，将背侧盖件、第一填充件、拟密封的部件(例如太阳电池)、第二填充件以及表面层盖件，按照指出的秩序叠层成一堆积体；(2)抽真空步骤，对由表面侧盖件与背侧盖件夹层的上述堆积体的区域进行减压；以及(3)加热步骤将在抽真空步骤(2)中已处理过的堆积体按指定的顺序在所需温度下进行热处理。
特征在于，上述层压步骤(1)是在一批真空层压装置上进行的，此种装置具有能由装载与卸载设备沿垂向依几个阶段装载或卸载的结构；一批工区，包括至少是(a)用于层压步骤(1)中的层压工区、(b)具有装载设备的装载工区，(c)具有用于抽真空步骤(2)的真空泵的抽真空工区、(d)具有用于加热步骤(3)中的加热炉的加热工区以及(e)具有取相互毗邻依圆圈形式布置的一批卸载设备的卸载工区；每个层压装置都能有选择地进到各个工区以及装载与卸载设备之间；其中在真空层压装置上对堆积体连续地进行真空层压处理，同时将这些层压装置相继地按规定秩序移过工区(a)至(e)。
本发明的另一方面是针对能用作上述连续真空层压处理系统中真空层压装置的真空层压设备，此真空层压设备包括(i)抽真空管，它由环形的空心管道组成，管道的内周上相间隔地开有一批通风孔；(ii)安装台，上面固定着前述的抽真空管；以及(iii)板状盖件，其中此盖件(iii)叠置于上述安装台(ii)的前表面之上，同时覆盖住前述抽真空管(i)，而形成由此盖件、抽真空管以及其中装有物件的上述安装台的前表面限定出的空间，特征在于所述抽真空管是由设在安装台与抽真空管之间接触区处的间断式焊接部以及配置于此整个接触区上的密封剂固定到安装台上。
对附图的简要说明图1概略地例示了一种真空层压装置(或真空层压设备)，它能有选择地装载或卸载，用于本发明的连续真空层压处理系统中。
图2概略地例示了能在本发明的连续真空层压处理系统中进行真空层压装置装卸作业的装载与卸载设备。
图3示意地说明了图2所示装载与卸载设备在装卸真空层压装置时的性能。
图4为示意性布置平面图，表明用于实践本发明的连续真空层压处理系统的各个工区取类圆圈排列的一种实施形式。
图5为示意性布置平面图，阐明图4所示实施形式的一种改型。
图6为示意图，说明制备本发明的真空层压设备的第一步骤。
图7为示意图，说明制备本发明的真空层压设备的第二步骤。
图8为示意图，说明制备本发明的真空层压设备的第三步骤。
图9是沿图中F-F线截取的示意性横剖图。
图10(a)与10(b)是示意图，用来说明制备本发明的真空层压设备的另一种实施形式。
图11示意地表明在本发明的连续真空层压处理系统中进行叠置组成件的实施形式。
图12示意地表明应用本发明的真空层压设备于太阳电池组件生产中的实施形式。
图13(a)与13(b)概要地例示了太阳电池组件的构型。
图14(a)～14(c)概示了用于太阳电池组件生产中的常规的真空层压设备。
对推荐实施例的详细说明下面结合附图详述本发明。
图1概要地例示了用于本发明的连续真空层压处理系统中的，能有选择地装载或卸载的真空层压装置(或真空层压设备)。
图1中，标号101指将于上面堆积待层压的组成件的安装台(相当于前述现有技术中已阐明的安装台。标号102指一硅橡胶板1相当于前述现有技术中所说明的盖件)。标号103指位于盖件102之下的抽真空管或待堆积的组成件。标号104指抽真空管或连接装置。
标号111指设有梯架112的容器，可用来在其上纳置下安装台101并由此梯架来支承此安装台。标号113指定位导销，标号114指导销接纳槽。
各个容器111可由后面将说明的装载与卸载设备有选择地装载或卸载。在此装载与卸载设备中，当相应容器的位置大致确定后，即开始装载工作，可以通过导销113的作用使容器自动地装载到精确位置上，当容器一旦装载于其上时，就能由导销113和导销接纳装置114防止其位移。
标号115指用在容器111为支承钩接合于装载与卸载设备情形中的突起。有关情形将详述于后。
现在来更详细地说明图1所示的真空层压装置。
安装台101最好由具有充分结构强度和低热容的材料构成。在一种最佳实施形式中，安装台101包括一块在表面上涂有抗侵蚀涂层的钢板，厚度最好为0.3～3.0mm而更好为1.5～2.0mm。重要的是安装台应具有低的热容，以使此安装台能在加热炉中快速地加热并能在此炉中完成热处理后迅速冷却。梯架112是用来将安装台101保持于半通风的大气氛中，以使此安装台在加热或冷却时能迅速地适应环境温度。梯架112设计成具有低热容和充分的结构强度。
导销接纳槽114设计成具有这样的高度，使得盖件102(硅橡胶板)与抽真空管及类似部件能在两个容器111中之一安装到另一个容器之上时，理想地落定于相邻的两个容器之间。容器111最好由具有充分结构强度的轻量钢件构成。
抽真空管103用来抽空由安装台前表面、抽真空管和盖件所限定的空间。此抽真空管由环形空心管组成，在其内周上相间隔开地设有一批通风孔。此抽真空管需具有充分的热稳定性和刚性与轻量。为此，这种环形空心管通常是由不锈钢构成。上述各通风孔最好是在制造真空层压装置之前开设于用作抽真空管的空心管上。能够把此用作抽真空管的空心管结合到安装台上。这时，空心管最好在结合到安装台上之前进行脱脂处理。用作抽真空管的空心管的尺寸要能使它落入到安装台的前表面内。这一用作抽真空管的空心管设有一个口以及一个用来将此空心管与真空泵连接的阀。为了将此空心管固定到安装台上，可以用焊接方法，或者可以用例如RTV硬化型硅橡胶之类密封胶填充到此管与台之间的间隙中。
作为盖件的硅橡胶板102是用来协同构成一个为安装台的前表面、抽真空管与此硅橡胶板所限定出的抽真空空间。此硅橡胶板也用来对包括作为太阳电池组件的组成件的堆积体进行加压以排出其中气体，而此电池组件是在抽真空状态下封装于真空空间中的。
硅橡胶板102的尺寸设计成大于抽真空管103的外框。硅橡胶板要求为韧性、热稳定与轻量的，并在抽真空时具有不透气密封性质。在此，硅橡胶板102主要由硅树脂组成，取板片形式。
如同前面在现有技术中所述，在安装台101的前表面上铺有网件。此网件用在给太阳能电池组件所用组成件构成的堆积体进行抽真空除气时便于空气流动。具体地说，网件位于前述抽真空空间中的安装台101的前表面与硅橡胶板102之间，用以阻止硅橡胶板102在非所希望地接触上安装台101的前表面时，防止发生抑制空气平滑流动的问题，网件设计成使其尺寸对应于由抽真空管103所确定的圆形件的内部尺寸。此网状件要求为挠性、热稳定与轻量的。在此，作为网件，采用金属丝网或由聚酯之类的耐热树脂纤维制成的网件。
图2概略地例示了能在本发明的连续真空层压处理系统中进行真空层压装置装卸作业的装载与卸载设备。
图2中，标号201指真空层压装置(或真空层压设备)，它的结构与图1所示的真空层压装置相同。标号202指一圆辊。真空层压装置201通常沿图2的垂直方向于辊202上移动。标号211指升降机，标号212指气缸。升降机211依照气缸212的膨胀或收缩而上升或下降。当真空层压装置201位于升降机211上而升降机上升时，升降机211的前面便与真空层压装置201的后面接触，借此可使真空层压装置上升。标号221指可于图2中横向滑动的钩。当钩221处于封装的状态下时，真空层压装置201可以自由地升降。真空层压装置201的运动在此对应于升降机211的升降。另一方面，当钩221处于工作状态下时，此钩即与图1的突起115相钩合而制止真空层压装置下降。标号231指在轨道232上运动的小脚轮。取决于小脚轮231在轨道232上的运动，整个装载与卸载设备可沿图2中箭头标出的任一个方向运动。
下面参照图3描述应用此装载与卸载设备来装卸前述真空层压装置的作业。
图3中，标号301指前述真空层压装置，标号302指前述升降机，标号303指前述钩。
下面描述图3所示的各个步骤(1)至(6)的状态。
步骤(1)表明初始阶段，其中有两个真空层压装置301业已保持于钩303之上，同时有下一个待装载的真空层压装置位于业已移动到所述辊(图2中的202)上的升降机302之上。
步骤(2)表明第二阶段，在此阶段，升降机一直上升到上述定位好的真空层压装置同位于钩上的真空层压装置的下端接触为止。
步骤(3)表明第三阶段，在此阶段，钩收纳起，装载的所有真空层压装置转移到升降机上。
步骤(4)表明第四阶段，在此阶段，升降机下降相当于一台真空层压装置高度的高度。
步骤(5)表明第五阶段，在此阶段，钩被取出处于工作状态下，由此使装载的所有真空层压设备转运到钩上。
步骤(6)表明第六阶段，在此阶段，升降机下降。
至此完成了装载作业。这里省除了对卸载作业的描述，因为它可以按照与上述相反的步骤进行。
图4为示意性的布置平面图，表明了本发明的连续真空层压处理系统的一种典型实施形式，其中用来进行连续真空层压处理过程的各个工区按类圆周的形式布置。具体地说，将材料叠层工区、临时抽真空工区、加热工区、冷却工区与取出工区按类圆圈的形式布置。
图4中，标号401指材料叠层工区，标号402指结构与图1所示真空层压装置相同的真空层压装置。在此材料叠层工区中堆积了一批待层压的组成件403，以在真空层压装置402上形成一堆积体。
标号411指结构与图2所示装载与卸载设备相同的装载与卸载设备。标号421指临时性抽真空工区。装载与卸载设备421能沿轨道412移动到与材料叠层工区401与真空工区421两者相邻。
在真空工区421中设有真空泵422与可分离的挠性的真空软管423。
标号431指加热工区，它实际上包括一加热炉。加热炉的空隙能够容纳下包括必要个数的将装置于其中的真空层压装置组成的体部。此加热炉在各相对端上设有门434。标号432指真空泵。真空泵432连接一挠性真空软管433，后者穿透加热炉的壁部而进入到炉内，并能有选择地连接或脱离开真空层压装置。
标号441指设有真空泵442的冷却工区。标号451指结构与图2中所示装载与卸载设备相同的装载与卸载设备。标号461指取出工区。
装载与卸载设备451可沿轨道452移动到邻近冷却工区和取出工区。
标号463指作为真空层压处理的结果得到的太阳电池组件，它是在取出工区461中从真空层压设备中取出的。
标号471指具有圆辊的输送机，它设在各个相邻的工区之间，使得每个单一的真空层压装置或一批真空层压装置能在相邻工区间自由移动。
标号481指一种容器，用来运送待堆积到材料叠层区401的组成件，或用来装纳作为真空层压处理结果而自取出工区461中取出的太阳电池组件463。容器481沿轨道482运动。轨道482伸至一用于制备待堆积的组成件的预备区(未示明)。
下面根据图4描述本发明的连续真空层压处理系统。
作为此真空层压处理结果而制得的太阳电池组件463是位于从取出工区取出的第一真空层压装置上，然后将此空载的真空层压装置运至材料叠层工区401中，于此同时，将堆积好用来生产太阳电池组件的组成件，例如背侧盖件、第一填充件、太阳电池、第二填充件、表面侧盖件、填料防脱散件以及用作前述盖件以形成真空空间的硅橡胶板，由容器481运至这一工区中，这样，上述部件便依前述状态在此空载的真空层压装置的前表面上叠层成一堆积体。
在初始阶段，装载与卸载设备411位于材料叠层工区401相邻处。上述的具有由叠置前述组成件形成的堆积体的第一真空层压装置于输送机471上滑动，到达装载与卸载设备411。然后，一旦开始装载工作，第一真空层压装置便位于装载与卸载设备的钩上。接着将上面具有如同前述第一真空层压装置情形由叠置前述组成件而形成的堆积体移动到装载与卸载设备上，在此再次进行装载工作，此第二真空层压装置码垛到先已定位于钩上的第一真空层压装置上。这样就装置上预定个数的真空层压装置，它们各有由叠置起为生产太阳电池组件所需组成件而形成的堆积体，获得了具有若干个相对于真空层压装置的阶段形成的堆垛体。至于用来装载起(堆垛起)的真空层压装置的阶段数，则应根据有关的情况适当确定，同时要适当地考虑到最终堆垛的最大高度以使此堆垛能合乎需要地置入加热炉内。此外，应该这样地来确定拟装载的真空层压装置的阶段数，使其能与最佳过程设计相匹配，而这种设计则是根据包括热处理中的加热时间、使用中的真空层压装置的总数、以及用来堆积起为生产太阳电池组件所需组成件而涉及到的节拍时间等这样一些相关因素推导出的。
将其中已如上述方式把若干真空层压装置装载成具有所需阶段的堆垛的整个装载与卸载设备移动到真空工区421的邻近。
然后用升降机将所有的真空层压装置下降到输送机471的高度、随即把它们运送入真空工区421，在此有挠性真空软管423连接真空层压装置，然后起动真空泵422，将安装台的前表面与各真空层压装置的硅橡胶板之间的空间抽空，以除去此真空空间中所含堆积体中的气体。
然后，在用阀(图中未示明)将各真空层压装置保持于被抽真空的状态下时，分离开挠性真空软管423，打开加热工区431中加热炉的门434，而把真空层压装置移到加热工区431中。在此加热工区中，挠性真空软管433连接到各个真空层压装置上，同时起动真空泵432并将阀(图中未示明)打开，由此继续对各个真空层压装置的真空空间中所含堆积体进行除气。将门434关闭，给加热炉的加热器(图中未示明)通电，将各真空层压装置加热一段预定时间，这样便完成了对各个真空层压装置中的堆积体的热层压处理。这以后，中止加热器工作，将门434打开。闭合上阀，同时保持各真空层压装置于抽真空的状态，分离开挠性真空软管433。
这以后将所有真空层压装置移送到冷却工区441。在此冷却工区，当继续由真空泵442对各真空层压装置的真空之间进行抽空的同时，冷却各真空层压装置。此时最好采用吹风机或类似装置，使冷风强制流过各相邻真空层压装置之间以缩短冷却时间。
在真空层压装置已冷却到能在冷却工区441中处置的温度时，便将此装载与卸载设备451移到冷却工区441的邻近位置，同时将真空层压装置送入装载与卸载设备中。然后将此装载与卸载设备运送到取出工区461附近，在此将各个真空层压装置相续地从装载与卸载设备上卸下，随后运送到取出工区461。在取出工区，各真空层压装置的抽真空空间回到大气压力，接着撤除硅橡胶板。从各真空层压装置中取出业已经受热压结合处理而成为太阳电池组件的堆积体，同时取出内部填充件，这样便在同时制得了一批太阳能组件。至此便完成了真空层压处理的全部过程。
重复以上步骤，就能通过集中真空层压处理来大规模生产太阳电池组件。
为了能有效地应用图4所示的真空层压处理系统来进行真空层压处理，下面说明必须注意的几点。
第一点是所用的真空层压装置数。当把一垛使用中的真空层压装置视作为一组时，则最好设置四组，一组用于取出工区和材料叠层工区，一组用于临时抽真空工区，一组用于加热工区，一组用于冷却工区。这样，真空层压装置中的每一组便在各工区受到相应的处理，因而不会有工区处于等待状态。
第二点是使各工区的处理时间均匀。例如，以加热工区所要求的处理时间为基础，而使临时抽真空工区的以及冷却工区的处理时间一致，则整个过程可在同一时刻完成，这样便能节省劳力和防止复杂化。为此，必须适当地调节冷风扇的和/或抽真空装置的性能。至于取出工区与材料叠层工区，则可适当调整参与的工人数就能使这些工区的处理时间与其它工区的处理时间相当。
顺便指出，材料叠层工区中的工作可由机械方式、手工方式或结合这两者来完成。但应根据自动化状况与费用平衡来确定满足上述节拍时间的最优方式。
在此应知本发明不局限于上述实施形式，而这种实施形式是可以适当修正的。例如在以图4为据的上述实施形式中，曾描述到用来运送待叠层或堆积的部件的容器，但它并非总是必须采用的。
图5示明了本发明的连续真空层压处理系统的另一典型的实施形式。图5所示的实施形式是图4所示的改型，其中将图4所示单列式的取出工区与材料叠层工区，变换为双列式的而各列包括取出工区与材料叠层工区，以适应大大增多用来生产太阳电池组件的待层压的组成件的组数。
图5中，标号501指材料叠层工区，标号502指结构与图1所示真空层压装置相同的真空层压装置。在此材料叠层工区中，将一批待层压的组成件堆积起以在真空层压装置502上形成堆积体。
标号511指结构与图2所示装载与卸载设备相同的装载与卸载设备。标号521指临时抽真空工区。装载与卸载设备511能沿轨道512移至材料叠层工区501与抽真空工区521两者的邻近。
抽真空工区521中设有真空泵522和可撤下的挠性真空软管523。
标号531指实质上由加热炉组成的加热工区。加热炉内的空间可以容纳装置于其中的由所需台数的真空层压装置组成的体部。加热炉的各相对端设有门534。标号532指真空泵。真空泵532连接挠性真空软管523，后者穿过加热炉的壁部进到炉内，可以有选择地连接或脱开真空层压装置。
标号541指设有真空泵542的冷却工区。标号551指结构与图2所示装载与卸载设备相同的装载与卸载设备。标号461指取出工区。
装载与卸载设备551能沿轨道552移至冷却工区541和取出工区561两者的邻近。
标号563指真空层压处理结果得到的太阳电池组件，后者是在取出工区561内从真空层压装置中取出。
标号571指具有圆辊的输送机，它设在各相邻的工区内，能使单个真空层压装置或堆垛的一批真空层压装置在相邻工区之间自由移动。
图5所示的系统经设计成，能使装载与卸载设备511与551分别沿轨道512的延伸部与轨道552的延伸部移动，以接近一批各有取出工区561和材料叠层工区501这样两个单列组成的双列。
其它未于上面述及的则与图4中所示系统的情形中相同，于是省除其说明。
作为上述任一系统中所用的装载与卸载设备并不总是图2所示的类型。它可以替换为一种从上面堆垛成所述真空层压设备的升降机。
如上所述，本发明包括能用作依据本发明提出的连续真空层压处理系统中真空层压装置的真空层压设备。
这种真空层压设备的典型实施形式包括(i)抽真空管，它由环形空心管构成，上面有一批沿其内周分开设置的通风口；(ii)安装台，上面固定着前述抽真空管；以及(iii)板状盖件，其中所述板状盖件(iii)叠置于安装台(ii)的前表面上，同时覆盖抽真空管(i)，形成为上述盖件、抽真空管以及安装台的前表面所限定的抽真空空间，特征在于，上述抽真空管是由设在安装台与此抽真空管之间的接触区中间断式的焊接部和配备在此整个接触区上的密封剂而固定到安装台上的。
图6至9概示了在制造本发明的真空层压设备过程中，将抽真空管固定到安装台上的步骤。
在图6至9中，标号601指抽真空管；标号602指用作安装台的基板，它具有一中心线处平均高度为0.2～1.5μm的前表面的金属板。标号603指部分式的焊接部(由点焊焊成)。标号604指用作固定材料的密封剂，标号605指通风孔，标号606指凸缘，而抽真空管601即经此凸缘连接真空泵(未示明)。
下面参照图6至9说明此种真空层压设备的例子。
首先，如图6所示，抽真空管601设在用作安装台的基板602的前表面中预定位置处。然后在抽真空管601和用作安装台的基板602之间进行点焊，通过间断式的部分焊接部603将抽真空管固定到安装台的前表面上。
随后如图8所示，涂布上包括密封剂的固定材料604，以填充抽真空管601和基板602的前表面之间的空隙，这些空隙是由图7中点焊的结果而形成的。这样涂布的固定材料604不仅起到固定抽真空管601到安装台602上的作用，还对抽真空管601、安装台602的前表面与前述的板状盖件(未示明)限定出的空间起到密封件作用。为此，需将此密封剂涂布到抽真空管与基板前表面间的整个接触区上，使得为点焊而形成的在抽真空管601与基板602之间的间隙能为此密封剂充分地充填。
图8中步骤所述到的结果保持在室温下大气氛中约24小时以固化所涂布的密封剂。这样便完成了一台真空层压设备。
图9是沿图8中F-F线截取的所得真空层压设备的示意性横剖图。
至于图7步骤中的上述间断式的部分焊接部，最好是使它们之间形成1至100cm或更好是5至50cm的间隔。当焊接间隔过小，就会出现基本上同于抽真空管601与基板602的前表面间的整个接触区都被焊合的情形，结果就易发生焊接变形而使最终的真空层压设备变形。另一方面，当焊接间隔过大，特别是在用作安装台的基板602升高时，此基板常会变形而导致基板与抽真空管601之间形成间隙，造成包括密封剂的固定材料604开裂，致使所制得的真空层压设备实际上不能使用。
在任何情形下，当抽真空管601点焊到用作安装台的基板602上时，至少要使接受焊接的基板的一定表面区成为在进行焊接之前没有涂料的可焊接状态。
如上所述，作为安装台的基板602采用具有中心线处平均高度为0.2～1.5μm的前表面的金属板，而在上面固定着抽真空管601。理由如下。
当上述中心线平均高度小于0.2μm，金属板的表面便成为平滑的，不能在基板表面与密封剂间取得充分的粘合。当基板表面与密封剂间粘合不充分，即使在基板表面事先已与抽真空管点焊接时，包含有这种密封剂的接合部分在真空层压设备有大的变形时便容易脱离。
当此中心线平均高度超过1.5μm，就难以用密封剂填充基板表面存在的不规则凹坑来充分地密封基板表面与抽真空管之间的空隙。当这两者之间的密封不充分，就不能制成实际可用的真空层压设备。
用作基板602的具体例子包括铁板、钢板(包括不锈钢板)、铝板，等等。其中以镀锌钢板最为适用，因为它有优良的耐气候性，能够容易地形成具有0.2至1.5μm中心线平均高度的表面，能够制成具有很大表面形式的板件，且能够以合理的价格购到。此外，镀锌钢板还具有能易经磷酸表面处理而使其表面获得良好粘合性的优点。
至于用作安装台的基板206的厚度，最好较薄以使其轻量化。但当此厚度过份小时，基板的刚度就变差。为使其重量与刚度平衡，基板的厚度最好为0.3～3mm而更好为1.5～2.0mm。
对于抽真空管601，要求它是热稳定的、刚性与轻量的。为此，抽真空管通常主要用不锈钢构成。抽真空管601沿其内周侧分间隔地开有一批通风孔605。这些通风孔最好在制造真空层压设备之前加工成。
至于抽真空管601的尺寸，要使其外框安装到用作安装台的基板602的前表面之内。此外，抽真空管601设有与真空泵(未示明)通连的孔口。
下面参照图10(a)与10(b)说明本发明的真空层压设备的另一例子。
图10(a)与10(b)，概示了在制造本发明的真空层压设备过程中，将抽真空管固定到安装台上的步骤。
在图10(a)与10(b)中，标号701指抽真空管，标号702指用作安装台的基板，标号703指待连接的连接件，标号704指焊接部，标号705指作为固定材料的密封剂。
图10(a)与10(b)所示真空层压设备的制法是以与图6至9所示情形中的相同方式进行的。具体地说，将真空管701布置于作为安装台的基板702的前表面中预定的位置上(参看图10(a))。然后如图10(a)所示，将一批连接件703相分开地焊接到抽真空管701与基板702两者之上，由此使抽真空管通过连接件固定到基板的表面上。这里将焊接部用图10(b)中的标号704标明。然后将包括密封剂的固定材料705涂布到填充抽真空管701与用作安装台的基板702的表面之间的间隙，如图10(b)所示。
将上面制得的设备于室温下在大气气氛中保持24小时以固化所涂布的密封剂。这样，便制成了真空层压设备。
现在参考下面的例子更详细地说明本发明，这些例子并不限制本例1(连续真空层压处理系统)本例中，是按下述方式实施本发明的连续真空层压处理系统的作业。
本例中用到的是图1、2与4中所示设备。
依据图11所示的堆积方式形成生产太阳电池组件所需组成件的堆积体。
图11中，标号801指用作安装台的基板。基板801包括1.6mm厚，1450mm×600mm大小的，表面经磷酸处理过的耐风化的钢板(商品名BONDE钢板，新日本钢铁公司生产)。
在用作基板801的钢板的经磷酸处理过的表面(以后称作前表面)上，设置一外部尺寸为1400mm×5950mm的环形抽真空管，管的内周相分开地开有一批通风孔，管子由RTV型硅酮密封剂(商品名硅酮密封剂KE346，Shin-Etsu硅酮株式会社生产)806固定。
在由抽真空管802所围定的基板801的前表面的表面区中铺设有丝网809，它是不锈钢丝网，所用不锈钢丝直径为0.6mm，大小为1350mm×5900mm(Taiyo Kana-Ami株式会社生产)，用以形成除气通道。在丝网809上，给用于太阳电池组件中的背侧填料件(未示明)铺设一下部填料防脱散件810a。这种防脱散件810a包括大小为1300mm×5800mm的PTPE膜(旭硝子公司生产)。
用作安装台的基板801设于图1中的容器111上。这里的容器111的大小为1600mm×6100mm而高为200m。
安装台801、抽真空管802、丝网809与下部填料防脱散件的组合件以后即称之为“真空层压装置”。这一组合体(即真空层压装置)可重复利用若干次而不会解体。
现在于此真空层压装置的下部填料防脱散件810a上叠置生产太阳电池组件所需的组成件来形成堆积体808。这些必须的组成件与图13中所示的相同，对它已进行过说明。具体地说，下面的组成件(1)至(5)是依给定的秩序堆积。
(1)背侧盖件，包括0.4mm厚和500mm×1400mm大小的经抗风化预涂层的钢板(商品名Taima Color GL，Daido Kohan株式会社生产)，(2)背侧填充件，包括50μm厚和500mm×1400mm大小的EVA板片(商品名抗风化级，Haisheet株式会社生产)，(3)太阳电池，(4)表面侧填充件，包括50μm厚和500mm×1400mm大小的EVA板片(商品名抗风化级，Haisheet株式会社生产)，以及(5)表面侧盖件，包括50μm厚和500mm×1400mm大小的氟树脂膜(商品名Tefzel，E.I.杜邦公司生产)。
这样，在一台真空层压装置上形成了8个堆积体，每个堆积体具有500mm×1400mm的大小，相当于待生产的太阳电池组件的大小。这8个堆积体排成两行，各行有4个排成直线的堆积体。这8个堆积体以后合称为“堆积体”。
在完成上述堆积步骤后，将1300mm×5800mm大小的上部填料防脱散件810b(包括旭硝子产的PTFE膜)叠置到此堆积体的表面盖件上，再在其上叠置2mm厚和1550mm×6100mm大小的硅橡胶板(Tigerspolymer公司生产)。
上述堆积过程是在图4所示的材料叠置工区401中进行。
紧接上述堆积过程对一台真空层压装置完成之后，便将此装置移到图4所示的装载与卸载设备411中，装载到此装载与卸载设备上。
本例中是将六台真空层压装置(各有依前述方式形成的由8个堆积体合成的堆积体)装放到上述装载与卸载设备上。在此六台真空层压装置上形成上述堆积体的时间为45分钟。
这六台真空层压装置所成的垛被运送到图4所示的临时抽真空工区421中，以同于图4所示系统前述方式进行抽真空。
这里所用的真空泵是D-330型真空泵(ULVAC公司生产)，进行了40分钟抽真空。经40分钟抽真空后，各真空层压装置中的真空度在真空泵右上方处约为1 Torr。
经过上述的抽真空处理后，这六台真空层压装置所成的垛即运送到图4所示加热工区的加热炉中，在此，于继续进行抽真空的同时，将这六台真空层压装置上的所有的堆积体在160℃下作50分钟的热压结合处理。
在加热工区431中进行了热压结合处理后，将这六台真空层压装置堆成的垛运送到图4所示的冷却工区441内，在此，于继续抽真空的同时，用风扇(未示明)将冷风强制吹送到此六台真空层压装置的所有堆积体上共30分钟，而将全部堆积体冷却到操作人员可以用手自由接触的温度。
然后将这垛共六个真空层压装置送到装载与卸载设备451内，在此将六个真空层压装置分别卸下，随后运送到取出工区461，在此根据下述步骤，从六个真空层压装置中的每一个中，将经过真空层压处理的堆积体(即8个堆积体的集合体)取出(i)撤除硅橡胶板；(ii)随后撤除上部填料防脱散件；以及(iii)最后将经过真空层压处理的堆积体取出。
由此即可制得48个太阳电池组件[8(在一个真空层压装置上的8个堆积体)×6(6个真空层压装置)]。
下部填料防脱散件与丝网件则不必除去，因为它们能再次利用到下一次真空层压处理中。
对于这样制得的太阳电池组件，相对于外观与剥层现象进行了评价。结果证明外观满意且无剥层现象。此外，对于这种太阳电池组件，也就太阳电池的特性进行了评价，结果表明，这些太阳电池组件都具有令人满意的太阳电池特性。
现在说明本例中各步骤所费时间。
堆积步骤45分钟，临时抽真空步骤40分钟，热处理步骤50分钟，冷却处理步骤30分钟，与取出步骤10分钟。
由以上可知，取出步骤与堆积步骤两者所用的时间和为55分钟。而将挠性真空软管连接和撤下中所费时间增加到热处理步骤中所费的50分钟之上所得的有效时间也约为55分钟。
于是在本例中可知，真空层压装置对于上述相应步骤是以约55分钟的节拍时间进行。此外，假定一天的劳动工时为8小时，则可以考虑每天进行8批真空层压处理。在此情况下，每天能生产出8×6×8＝384个太阳电池组件。当采用三名工人倒班的工作制时，则每天可生产约1100个太阳电池组件，能够实现三倍于前述的太阳电池组件产量。
例2(连续真空层压处理系统)本例中是以下述的类似于例1中的方式来实际应用本发明的连续真空层压处理系统。
本例中采用图1、2与3所示设备。特别是，本例中所用步骤与例1中采用的相同，例外的是将例1中用到的图4所示设备改变为它的变型即图5中所示的双列形式，每一列包括取出工区和材料叠层工区，以取代图4中由取出工区和材料叠层工区组成的单列形式。
至于与这种真空层压装置有关的组成件、容器、抽真空管，等等，则与例1中所示的相同。
本例中重复例1的用来生产太阳电池组件的步骤，只是改变了在形成例1中太阳电池组件的堆积体时所用密封件的尺寸，以便获得这样的堆积体，由其能生产出大小为300mm×650mm的即为例1中生产出的太阳电池组件大小约1/2的太阳电池组件。具体地说，是按给定秩序堆积起以下的组成件(1)至(5)。
(1)背侧盖件，包括0.4mm厚和300mm×650mm大小的经抗风化预涂层的钢板(商品名Timer Color GL，Daido Kohan株式会社生产)，(2)背侧填充件，包括50μm厚和300mm×650mm大小的EVA板片(商品名抗风化级，Haisheet株式会社生产)，(3)太阳电池，(4)表面侧填充件，包括50μm厚和300mm×650mm大小的EVA板片(商品名抗风化级，Haisheet株式会社生产)，以及(5)表面侧盖件，包括50μm厚和300mm×650mm的氟树脂膜(商品名Tefzel，E.I.杜邦公司生产)。
这样，在一台真空层压装置上形成了16个堆积体，每个堆积体的大小为300mm×650mm，与待生产的太阳电池组件的大小相当。
在一台真空层压装置上形成堆积体所费的时间约相当于例1的两倍，这是因为在此真空层压装置上形成的堆积体(各对应于一个太阳电池组件)数是例1中的两倍。但由于本例中用到了双列结构，每一列包括着取出工区与材料叠置工区，这样就能用合理的堆积时间为大量生产太阳电池组件形成大量的堆积体。在装载的三台真空层压装置上来形成堆积体所费的时间为45分钟。
本例中，装载与卸载设备在此双列结构中的两个材料叠层工区之间往复运动，同时装载上六台真空层压装置。
除以上所述各点外，整个真空层压处理过程是以同于例1所示的方式进行。
对于制得的太阳电池组件，对于其外观与有无剥层现象进行了评价。结果表明它们的外观令人满意并无剥层现象。此外对于这些太阳电池组件还评价了太阳电池特性。结果证明这些电池特性是令人满意的。
从例1与例2的结果可知，根据本发明的连续真空层压处理设备，可以在充分利用加热炉的效益的同时，以高的生产率有效地大量生产合乎要求的太阳电池组件。
例3(真空层压设备)
本例中依图6至9所示方式制备了真空层压设备。其中用到了前面参照图6至9所述的材料。
本例中，抽真空管601设在用作安装台的基板602的前表面内一预定位置上。然后按15cm的间隔在真空管601与基板602之间进行点焊，借此形成的间断式的部分焊接部603将抽真空管固定到基板的前表面上。然后从外面将密封剂604注入抽真空管与基板的前表面之间以充填其间因前述点焊形成的间隙。
基板602采用镀锌钢板，厚1.6mm，大小为1450mm×6000mm，且具有约0.8μm中心线平均高度的前表面。抽真空管601采用不锈钢316BA(商品名)制的环形抽真空管，外部尺寸为1450mm×5950mm，内径为1/2英寸。环形抽真空管上沿其内周按50mm间隔开有一批空隙大小为3mm直径的通风孔。密封剂604采用的是RTV型硅酮密封剂(商品名硅酮密封剂KE346，Shin-Etsu Silicone株式会社生产)。
在硅酮密封剂已如上述注入后，将形成的制品在大气氛中于室温下保持24小时以固化此硅酮密封剂。依此制得了真空层压设备。
将这样制成的真空层压设备操纵它的四个角隅部搬运若干次。涂布于抽真空管与基板间的这种密封剂从未有开裂一类问题。
比较例1(真空层压设备)在此比较例中，制备了下述的真空层压设备。
抽真空管601设在用作安装台的基板602的前表面中一预定位置上。在抽真空管601与基板602之间未进行焊接，从外面将密封剂604注入抽真空管与基板的前表面之间以填充其间的间隙。
基板602采用镀锌钢板，厚1.6mm，大小为1450mm×6000mm，具有中心线平均高度约0.9μm的前表面。抽真空管601采用不锈钢316BA(商品名)制的环形抽真空管，外部尺寸为1450mm×5950mm，内径为1/2英寸。环形抽真空管上沿其内周按50mm间隔开有一批空隙大小为3mm直径的通风孔。密封剂604采用的是RTV型硅酮密封剂(商品名硅酮密封剂KE 346，Shin-Etsu Silicone株式会社生产)。
在硅酮密封剂已如上述注入后，将形成的制品在大气氛中于室温下保持24小时以固化此硅酮密封剂。依此制得了真空层压设备。
将这样制成的真空层压设备操纵它的四个角隅部搬运若干次。结果，涂布于抽真空管与基板间的这种密封剂明显地开裂，这时的基板有约15cm的变形。
比较例2(真空层压设备)在此比较例中制备了下述的真空层压设备。
抽真空管601设在用作安装台的基板602的前表面中一预定位置上。然后按15cm间隔在抽真空管601与基板602之间进行点焊，通过形成的间断式部分焊接部603使抽真空管601固定到基板的前表面上。然后将密封剂604从外面注入抽真空管601与基板602的前表面之间填充其间为上述点焊形成的间隙。
基板602采用镀锌钢板，厚1.6mm，大小为1450mm×6000mm，具有中心线平均高度约0.1mm的前表面。抽真空管601则采用不锈钢316BA(商品名)制的环形抽真空管。具有1450mm×5950mm的外部大小和1/2英寸的内径。此环形抽真空管沿其内周侧按50mm间隔开有孔隙大小为3mm直径的通风孔。密封剂604采用RTV型硅酮树脂密封剂(商品名硅酮密封剂KE346，Shin-Etsu Silicone株式会社生产)。
在如上述注入此硅酮密封剂后，将所得制品于大气气氛中室温下保持24小时以固化此密封剂。由此制成了真空层压设备。
将这样制得的真空层压设备操纵其四个角隅部搬运若干次，在密封剂与基板间发生有可察觉的剥层现象。
例4(用例1制的真空层压设备进行的真空层压处理)。
本例中用例1制的真空层压设备来生产太阳电池组件。
图12概示了将例1中所制真空层压设备用于生产太阳电池组件的情形。
具体地说，图12以示意性横剖图表明这样的构型，其中用来生产太阳电池组件所需的组成件则堆积于用作此真空层压设备的安装台的基板上。
图12中，标号901指用作安装台的基板(包括图6至9所示的真空管601)；标号906指固定装置(包括图9所示的点焊部603与密封剂604)，用来将抽真空管902固定到基板901的前表面上；标号907指挠性盖板；标号908指堆积用来生产太阳电池组件所需组成件而形成的堆积体；标号909指丝网；而标号910指填料防脱散件(包括下部与上部的填料防脱散件)。
上述挠性盖板907是2mm厚的硅橡胶板，主要由硅树脂构成，硬度为50(Tigers polymer公司生产)。丝网909为不锈钢丝网，丝径0.6mm(Taiyo Kana-Ami株式会社生产)。下部与上部填料防脱散件是两片PTFE膜(旭硝子公司生产)。
太阳电池组件依下述方式生产。
丝网(不锈钢丝网)909铺放于为抽真空管902所围定的安装台901的前表面区中，用以形成除气通道。丝网909上铺设有用作太阳电池组件的背衬填充件(将于以后说明)的下部填料防脱散件(PTEE膜)910。
然后，在下部填料防脱散件910上按给定秩序堆积下述部件(1)至(5)来形成堆积体908(1)背侧盖件，包括0.4mm厚的预涂有抗风化层的钢板(商品名Taima Color G1，Daido Kohan株式会社生产)，(2)背侧填充件，包括460μm厚的EVA板片(商品名抗风化级，Haisheef株式会社生产)；(3)太阳电池；(4)表面侧填料件，包括460μm厚EVA板片(商品名抗风化级，Haisheet株式会社生产)；以及(5)表面侧盖件，包括50μm厚的氟树脂膜(商品名Tefzel，E.I.杜邦公司生产)。
堆积体908上铺叠着上部填料防脱散件(PTFE膜)910用作背侧填充件。然后，在安装台901上的堆积体908之上叠置上挠性盖板(硅橡胶板)907的同时，在此安装台与挠性盖板之间进行气密封接。
此时起动真空泵(图中未示明)，通过抽真空管上的通风孔，抽出挠性盖板907与抽真空管902所围定的安装台的前表面区之间空隙中的空气，使挠性盖板907弯沉向安装台一侧以对堆积体908加压。在真空泵工作的同时，将层压设备引入保持在预定温度下的加热炉(未示明)中，于约150℃的温度下热处理30分钟，使堆积体中包含的背侧填充件与表面侧填充件固化。然后在真空泵继续工作的同时，从炉中取出层压设备，继而冷却此堆积体。至此停止真空泵工作，使前述空隙内的气氛返回大气压力状态。由此制得了太阳电池组件。
对于这样制得的太阳电池组件的外观及有无剥层现象进行了评价。结果表明外观令人满意且无剥层现象。另外就太阳电池组件的太阳电池特性进行了评价，结果证明令人满意。
从上述结果可知，本发明的真空层压设备具有下述优点。在本发明的真空层压设备中，抽真空管是以挠性状态牢牢地固定于用作安装台的基板上，从而在处置或搬运此设备时不会出现例如开裂之类问题。于是可以方便地搬运此设备而不必特加注意。此外可以在改进了的工效下操作此设备，能够对用于生产太阳电池组件的堆积体高效地进行真空层压处理。
权利要求
1.一种真空层压设备，它适用于对堆积体进行真空层压，此真空层压设备包括具有前表面的安装台，上面设有所述堆积体；由环形空心管组成的抽真空管，沿其内周相间隔开地开有一批通风孔，此抽真空管布设并固定于安装台的前表面上，特征在于上述安装台包括一钢板，此钢板具有中心线平均高度为0.2至1.5μm的前表面，所述抽真空管由设在钢板前表面与抽真空管之间接触区上的间断式焊接部固定到此钢板的前表面上，同时将密封剂布设到这一整个的接触区上，由此使抽真空管与钢板成为整体。
2.如权利要求1所述的真空层压设备，特征在于它是用于生产太阳电池组件的。
3.一种对堆积体进行真空层压的真空层压设备的制造方法，此真空层压设备包括具有前表面的安装台，而所述堆积体则将定位于其上；由环形空心管组成的抽真空管，沿其内周相间隔开地开有一批通风孔，此抽真空管布设并固定于安装台的前表面上，而此方法则包括下述步骤提供具有中心线平均高度为0.2至1.5μm的前表面的钢板作为上述安装台，在使此抽真空管与钢板的前表面相接触的同时，将此抽真空管点焊到钢板的前表面上，然后将密封剂涂布到抽真空管与钢板前表面间的整个接触区上，使抽真空管与钢板成为整体。
全文摘要
一种真空层压设备，它适用于对堆积体进行真空层压，此真空层压设备包括具有前表面的安装台，上面设有所述堆积体；由环形空心管组成的抽真空管，沿其内周相间隔开地开有一批通风孔，此抽真空管布设并固定于安装台的前表面上，特征在于上述安装台包括一钢板，此钢板具有中心线平均高度为0.2至1.5μm的前表面，所述抽真空管由设在钢板前表面与抽真空管之间接触区上的间断式焊接部固定到此钢板的前表面上，同时将密封剂布设到这一整个的接触区上，由此使抽真空管与钢板成为整体。本发明实现了一种大尺寸的真空层压设备。安装台与抽真空管是大尺寸的，不存在常规真空层压设备中当安装台与抽真空管大尺寸化时带来的问题。
文档编号H01L31/18GK1434520SQ0211995
公开日2003年8月6日 申请日期2002年5月17日 优先权日1996年8月13日
发明者吉野豪人, 深江公俊, 井上裕二, 丝山诚纪 申请人:佳能株式会社