专利名称：转换阀装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于真空吸附半导体芯片等构件的转换阀装置。
背景技术：
以往，在半导体制造领域中，安装装置或装卸装置等装置被大量使用于半导体芯片等构件的组装和传送。
这样的安装装置或装卸装置等装置将作为制品的半导体芯片等传送到预定的加工机械或测量机械的预定位置进行准确的定位，作为保持该制品的方法大多使用真空吸附。
图31表示这样的用于真空吸附的转换阀装置，该转换阀装置具有真空吸附用转换阀1和真空破坏用转换阀3。
真空吸附用转换阀1由双端口双位置电磁转换阀构成、真空端口V与图中没有示出的真空源相连。
真空破坏用转换阀3由双端口双位置电磁转换阀构成、加压端口P与图中没有示出的加压源相连。
这样的转换阀装置在例如装卸装置中通过接通真空吸附用转换阀1的螺线管5(以下称为真空用螺线管)，进行将制品吸附到与输出端口A相连的图中没有示出的真空吸附单元上的吸附。
并且，在将制品传送到预定的位置、进行制品的脱离时，断开真空用螺线管5，打开真空破坏用转换阀3的螺线管7(以下称为真空破坏用螺线管)。
由此，从真空破坏用转换阀3的加压端口P供给压缩空气，制品确实地从与输出端口A相连的真空吸附单元脱离。
但是，由于这样的转换阀装置在打开真空破坏用螺线管7时从真空破坏用转换阀3的加压端口P提供的压缩空气急剧地从输出端口A提供给真空吸附单元，因此存在制品吸附部的内压急剧上升产生过冲击(overshoot)，被吸附在真空吸附单元上的制品难以顺畅地脱离的问题。
即，由于吸附在真空吸附单元上的制品急剧地从制品吸附部脱离，制品的载置位置等偏离预定的位置，有可能妨碍下一步作业。
并且，这一位置偏离又有影响周围的制品，再产生制品的位置偏离的可能。
并且，真空吸附力——即真空压力也存在偏差，即使暂时设定的破坏气流量到达大气压的时间或过压的量也有变化，因此吸附在真空吸附单元上的制品要一直顺畅地脱离是非常困难的。
图32表示图31所示的转换阀装置的一般使用方法中压力变化的特性，提供给真空用螺线管5的电气信号断开后，经过时间t1后提供给真空破坏用螺线管7的电气信号接通。并且，提供给真空破坏用螺线管7的电气信号在时间t2后被断开。
于是，这期间压力变化如下在提供给真空用螺线管5的电气信号断开后，具有响应延迟时间T1的真空用螺线管5处于断开状态，不提供真空压力。由此，被保持的真空压力开始慢慢下降。
在提供给真空用螺线管5的电气信号断开后的t1时间后，提供给真空破坏用螺线管7的电气信号接通。接通后具有响应延迟时间T2的真空破坏用螺线管7处于接通状态，提供作为真空破坏压力的正压力。由此，输出端口A的压力急剧上升。
提供给真空破坏用螺线管7的电气信号在输出端口A的压力接近大气压的时间t2内处于接通状态，然后断开。在提供给真空破坏用螺线管7的电气信号断开后，具有响应延迟时间T3的真空破坏用螺线管7处于断开状态，不提供真空破坏压力，输出端口A收敛于大气压。
但是，这样的已有技术的转换阀装置存在以下问题。
例如，如果将真空压力设定为V，则根据真空压力的使用量，设定的真空压力可能下降到VL，也可能反过来升高到VH，因此真空破坏压流入时的开始时刻的压力变动，或者为VL′或者为VH′。
因此，由于真空破坏用螺线管7的接通时间为一定，因此在真空破坏从VL′开始时，由于接近大气压就会超过大气压过冲击，把吸附着的工件吹掉，而且把周围的工件吹掉。
如果反之真空破坏从VH′开始的话，则在到达大气压之前真空破坏工序就已结束，在没有完全放下工件的情况下就进入下一道工序。
另外，为了解决工件被吹掉的问题，可以缩短时间t2，提前断开真空破坏压的供给，抑制输出端口A内压力的上升，但此时工件不被放下的现象会增加。
反之，为了解决不放下工件的问题，可以通过延长时间t2，推迟断开真空破坏压的供给的时间来抑制不放下工件的现象。但是，此时吹掉工件的现象会增加。
为了解决这样的问题，以往我们知道如图33所示的在真空破坏用转换阀3的出口一侧设置了调整流量用的节流阀9的转换阀装置。
该转换阀装置的一般的使用方法中压力的变化与图31所示的转换阀装置大致相同。
但是，该转换阀装置在连续的压力变化中通过调整设置在真空破坏用转换阀3的出口侧的流量调整用节流阀9，如图34所示与未利用节流阀9时相比压力上升比较缓慢，在收敛于大气压力时吹掉工件这样的过冲击现象减轻了。
并且，在将真空压力设定为V时，即使真空压力变化为VL或VH也能够获得相同的效果。
但是，该转换阀装置由于压力上升缓慢，相应地压力上升需要时间，而对于安装装置等之类的将大量半导体芯片安装到基板上的装置来说对生产节拍时间影响非常大，成为左右装置性能的大的负面因素。
发明内容
本发明就是为了解决以往的这些问题，其目的是要提供一种能够迅速并且顺畅地进行真空破坏的转换阀装置。
本发明的转换阀装置具备真空吸附用的真空吸附用转换阀功能单元；真空破坏用的真空破坏用转换阀功能单元；与真空吸附用转换阀功能单元的动作联动、在真空吸附用转换阀功能单元断开时开放通往大气侧的通道，在接通时闭锁通往大气侧的通道的大气开放用转换阀功能单元。并且，将真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和大气开放用转换阀功能单元一体地组装到本体中。
本发明的转换阀装置使大气开放用转换阀功能单元与真空吸附用转换阀功能单元联动，在真空吸附用转换阀功能单元断开时开放通往大气侧的通道，在接通时闭锁通往大气侧的通道。
并且，将真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和大气开放用转换阀功能单元一体地组装到本体中。
本发明的转换阀装置可以在真空破坏用转换阀功能单元的出口侧设置节流阀功能单元。该转换阀装置在真空破坏时将经节流阀功能单元节流后的压缩空气提供给输出端口。
本发明的转换阀装置可以在节流阀功能单元中附加溢流阀功能单元。该转换阀装置在节流阀功能单元中附加了溢流阀功能单元，在真空破坏时首先给输出端口提供通过了节流阀功能单元和溢流阀功能单元的压缩空气，然后仅给输出端口提供通过节流阀功能单元的压缩空气。
本发明的转换阀装置可以使真空吸附用转换阀功能单元与大气开放用转换阀功能单元机械地联动。该转换阀装置使真空吸附用转换阀功能单元与大气开放用转换阀功能单元机械地联动。
本发明的转换阀装置可以将构成真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和大气开放用转换阀功能单元的流体通道形成在单体的阀本体中。该转换阀装置将构成真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和大气开放用转换阀功能单元的流体通道形成在单体的阀本体中。
本发明的转换阀装置可以在大气开放用转换阀功能单元的大气开放通道中设置有过滤机构。该转换阀装置在大气开放用转换阀功能单元的大气开放用通道上设置有过滤机构，能够防止尘埃从大气侧流入。
本发明的转换阀装置可以用在真空吸附用转换阀功能单元接通时闭锁通往真空一侧的通道，在真空破坏用转换阀功能单元接通时闭锁通往大气一侧的通道的单向阀作为大气开放用转换阀功能单元的一个形态。该转换阀装置用单向阀构成大气开放用转换阀功能单元，在真空吸附用转换阀功能单元接通时闭锁通往真空一侧的通道，在真空破坏用转换阀功能单元接通时闭锁通往大气一侧的通道。
本发明的转换阀装置具备真空吸附用的真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用的真空破坏用转换阀功能单元、设置在真空破坏用转换阀功能单元的出口侧的带溢流功能的节流阀功能单元，将真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和带溢流功能的节流阀功能单元一体地组装到本体内。
该转换阀装置在真空破坏用转换阀功能单元的出口侧设置带溢流功能的节流阀功能单元，在真空破坏时首先给输出端口提供通过了节流阀功能单元和溢流阀功能单元的压缩空气，然后仅给输出端口提供通过了节流阀功能单元的压缩空气。
并且，将真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和带溢流功能的节流阀功能单元一体地组装到本体内。
本发明的转换阀装置将本体安装在底盘座或歧管座上。该转换阀装置将转换阀装置的本体安装在底盘座或歧管座上。
本发明的转换阀装置可以在底盘座或歧管座上形成与真空吸附用转换阀功能单元的真空端口连通的容器部。该转换阀装置在底盘座或歧管座上形成与真空吸附用转换阀功能单元的真空端口连通的容器部，因此能够通过容器部防止真空度的降低。
图1是表示本发明的转换阀装置的第1实施方式的沿图4的C-C线的剖视图。
图2是表示本发明的转换阀装置的第1实施方式的沿图3的B-B线的剖视图。
图3是表示本发明的转换阀装置的第1实施方式的俯视图。
图4是表示本发明的转换阀装置的第1实施方式的侧视图。
图5是表示本发明的转换阀装置的第1实施方式的功能回路的说明图。
图6是放大表示本发明的转换阀装置的第1实施方式的大气开放用转换阀功能单元的说明图。
图7是表示图6的大气开放用转换阀功能单元的大气开放用柱塞的说明图。
图8是表示图6的大气开放用转换阀功能单元的真空用螺线管接通、真空破坏用螺线管断开状态的说明图。
图9是表示图6的大气开放用转换阀功能单元的真空用螺线管断开、真空破坏用螺线管接通状态的说明图。
图10是表示本发明的转换阀装置的第1实施方式的压力变化特性的说明图。
图11是表示本发明的转换阀装置的第2实施方式的剖视图。
图12是表示本发明的转换阀装置的第2实施方式的剖视图。
图13是表示本发明的转换阀装置的第2实施方式的功能回路的说明图。
图14是放大表示本发明的转换阀装置的第2实施方式的节流阀功能单元的说明图。
图15是表示本发明的转换阀装置的第2实施方式的压力变化特性的说明图。
图16是表示本发明的转换阀装置的第3实施方式的主要部分的剖视图。
图17是表示本发明的转换阀装置的第3实施方式的功能回路的说明图。
图18是表示图16中溢流阀座打开状态的说明图。
图19是表示本发明的转换阀装置的第3实施方式的压力变化特性的说明图。
图20是表示本发明的转换阀装置的第4实施方式的剖视图。
图21是表示本发明的转换阀装置的第4实施方式的剖视图。
图22是表示本发明的转换阀装置的第4实施方式的功能回路的说明图。
图23是表示本发明的转换阀装置的第4实施方式的压力变化特性的说明图。
图24是表示将本发明的转换阀装置的第3实施方式安装到底盘座上的状态的俯视图。
图25是表示将本发明的转换阀装置的第3实施方式安装到底盘座上的状态的侧视图。
图26是图25的底盘座的沿X-X线的剖视图。
图27是表示将本发明的转换阀装置的第3实施方式安装到歧管座上的状态的俯视图。
图28是图27的侧视图。
图29是图27的侧视图。
图30是表示图27的歧管座的俯视图。
图31是表示已有技术的转换阀装置的说明图。
图32是表示图31的转换阀装置的压力变化特性的说明图。
图33是表示已有技术的转换阀装置的其他例的说明图。
图34是表示图33的转换阀装置的压力变化特性的说明图。
具体实施例方式
下面就附图所示的实施方式说明本发明。
(第1实施方式)图1～图4表示本发明的转换阀装置的第1实施方式，图5为表示第1实施方式的转换阀装置的基本结构的功能回路图。
首先，根据图5所示的功能回路图说明该实施方式的转换阀装置的基本结构。
该实施方式的转换阀装置具有真空吸附用的真空吸附用转换阀功能单元11和真空破坏用的真空破坏用转换阀功能单元13。
真空吸附用转换阀功能单元11由双端口双位置电磁转换阀构成、真空端口V与图中没有示出的真空源相连。
真空破坏用转换阀功能单元13由双端口双位置电磁转换阀构成、加压端口P与图中没有示出的加压源相连。
并且，与真空吸附用转换阀功能单元11相邻地设置有大气开放用转换阀功能单元17。
该大气开放用转换阀功能单元17由双端口电磁转换阀构成，共用真空吸附用转换阀功能单元11的真空用螺线管19。
大气开放用转换阀功能单元17具有单向阀15和单向阀15′。
在共用的真空吸附用转换阀功能单元11的真空用螺线管19接通，并且真空破坏用转换阀功能单元13的真空破坏用螺线管21断开时，该大气开放用转换阀功能单元17通过单向阀15闭锁从大气开放端口R到真空一侧的通道。
并且，在真空用螺线管19断开、真空破坏用螺线管21接通时，用单向阀15′闭锁通往大气开放端口R一侧的通道。
下面用图1～图4详细说明该第1实施方式的转换阀装置的具体结构。
该第1实施方式的转换阀装置具有长方体状的阀本体23。
在阀本体23的一个侧面配置真空吸附用转换阀功能单元11的真空用螺线管19，在另一个侧面上配置真空破坏用转换阀功能单元13的真空破坏用螺线管21。
在阀本体23的底面中央如图2所示开有输出端口A。
并且，在阀本体23的底面靠真空用螺线管19一侧开有真空吸附用转换阀功能单元11的真空端口V。
而且，在阀本体23的底面靠真空破坏用螺线管21一侧开有真空破坏用转换阀功能单元13的加压端口P。
而且，在阀本体23的上面靠真空用螺线管19一侧如图3所示开有大气开放用转换阀功能单元17的大气开放端口R。
并且，在阀本体23的上面形成有从上到下贯通阀本体23的安装孔23a、23b。
在阀本体23的靠真空用螺线管19一侧如图2所示形成有真空侧阀腔25。
该真空侧阀腔25通过通道234c向真空端口V开口。
并且，该真空侧阀腔25如图1所示通过通道23d向输出端口A开口。
如图2所示，真空用螺线管19的柱塞27的顶端位于真空侧阀腔25。
柱塞27受螺旋弹簧29的向阀本体23一侧的弹力的作用。
在阀本体23的真空侧阀腔25的上部配置有手动转换阀31。
在阀本体23的真空破坏用螺线管21一侧形成有加压侧阀腔33。
该加压侧阀腔33通过通道23e开口于加压端口P。
并且，如图1所示，该加压侧阀腔33通过通道23f开口于输出端口A。
如图2所示，真空破坏用螺线管21的柱塞35的顶端位于加压侧阀腔33。
柱塞35受螺旋弹簧37的向阀本体23一侧的弹力的作用。
在阀本体23的加压侧阀腔33的上部配置有手动转换阀39。
并且，在本实施方式中，如图1所示在阀本体23的真空用螺线管19一侧配置有大气开放用转换阀功能单元17。
该大气开放用转换阀功能单元17采用与真空用螺线管19的柱塞27机械联动的结构。
即，如放大表示图1的D部的图6所示的那样，在真空侧阀腔25上与真空用螺线管19的柱塞27的轴线平行地开口形成大气侧阀腔41。
该大气侧阀腔41的顶端通过通道23h开口于大气开放端口R。
筒状阀座部件43固定在大气侧阀腔41。
大气开放用柱塞45可以移动地插入到阀座部件43中。
该大气开放用柱塞45的后端面45a与真空用螺线管19的柱塞27的顶端面27a相抵接。
在大气开放用柱塞45的外周如图7所示形成凹部45b，在阀座部件43与大气开放用柱塞45之间形成有间隙47。
在大气开放用柱塞45的大气开放端口R一侧配置有橡胶等弹性体构成的球体阀49。
该球体阀49可以密封阀座部件43的顶端形成的阀座43a以及大气侧阀腔41的大气开放端口R一侧形成的阀座41a。
下面说明上述转换阀装置的动作。
上述转换阀装置在真空用螺线管19及真空破坏用螺线管21断开时，如图6所示那样真空用螺线管19一侧的真空侧阀腔25与大气开放端口R相连通。
即，在此状态下，真空用螺线管19的柱塞27被螺旋弹簧29挤压在真空侧阀腔25的阀座25a上，柱塞27的顶端面27a将大气开放用柱塞45的后端面45a挤压在球体阀49一侧。
通过该挤压在阀座部件43的阀座43a与球体阀49之间形成间隙51，真空侧阀腔25内通过阀座部件43与大气开放用柱塞45之间的间隙47和阀座部件43的阀座43a与球体阀49之间的间隙51而与大气开放端口R连通。
在此状态下，当吸附信号被施加到真空用螺线管19上时，如图8所示真空用螺线管19的柱塞27克服螺旋弹簧29的弹力被电磁力吸引到图的左侧。
由此，柱塞27的顶端面27a与真空侧阀腔25的阀座25a之间形成间隙G，真空侧阀腔25与真空端口V连通。
当该连通使真空侧阀腔25成为真空时，球体阀49被吸附在阀座部件43的阀座43a上，球体阀49阻断与大气开放端口R的连通。
并且，由于如图1所示真空侧阀腔25通过通道23d与输出端口A连通，因此输出端口A的空气处于真空状态，在该状态下进行工件的传送等。
在该状态下，如果真空用螺线管19断开，则如图6所示真空用螺线管19的柱塞27被螺旋弹簧29挤压到真空侧阀腔25的阀座25a上，柱塞27的顶端面27a将大气开放用柱塞45的后端面45a挤压到球体阀49一侧。
通过该挤压在阀座部件43的阀座43a与球体阀49之间形成间隙51，真空侧阀腔25内通过阀座部件43与大气开放用柱塞45之间的间隙47和阀座部件43的阀座43a与球体阀49之间的间隙51与大气开放端口R连通。
并且，通过该连通破坏真空侧阀腔25内的真空，真空侧阀腔25和输出端口A内的压力向大气压变化。
当在经过预定的时间后真空破坏用螺线管21处于接通时，图1及图2所示的真空破坏用螺线管21的柱塞35克服螺旋弹簧37的弹力被电磁力吸引到图示的右侧。
由此，在柱塞35的顶端面与加压侧阀腔33的阀座33a之间形成间隙，加压侧阀腔33通过通道23f与输出端口A连通，输出端口A内急剧地接近大气压力。
并且，由于输出端口A通过通道23d与真空用螺线管19侧的真空侧阀腔25连通，因此真空侧阀腔25内被供给压缩空气。
当该供给给真空侧阀腔25加压时，如图9所示那样球体阀49被挤压到大气侧阀腔41的阀座41a上，由球体阀49阻挡与大气开放端口R的连通。
图10表示上述转换阀装置的压力变化特性。
该转换阀装置在提供给真空用螺线管19的电气信号断开后，具有响应延迟时间T1的真空用螺线管19处于断开状态，不提供真空压力。此时，机械联动的大气开放用转换阀功能单元17同时处于接通状态，从大气开放端口R导入大气，输出端口A内的压力上升。
由于导入的压力为大气压力，因此初期压力急剧上升，但随着接近大气压力，该压力上升变得缓慢，为了使输出端口A内的压力成为大气压，在提供给真空用螺线管19的电气信号断开后需要时间t3。
但是，期间如果在真空用螺线管19断开后的时间t1后给真空破坏用螺线管21施加电气信号，则再提供真空破坏用的正压力，输出端口A内的压力一口气收敛于大气压。
在真空用螺线管19断开后，给真空破坏用螺线管21施加电气信号，强制地施加真空破坏用正压，这一点与已有技术没有变化。
但是，在断开真空用螺线管19后，越在接近大气压力时用一般的使用方法提供通过导入大气压施加真空破坏压时的输出端口A的内压力，给真空破坏用螺线管21通电的时间——即使真空破坏用螺线管21接通的时间就可以越短。
并且，这样还可以带来减轻大气压附近的过冲击(オ一バ一シユ一ト)。
由于上述转换阀装置使大气开放用转换阀功能单元17与真空吸附用转换阀功能单元11联动，因此在压缩空气从真空吸附用转换阀功能单元11流入之前真空一侧自动地与大气一侧联动，在接近大气压时压力比大气压高的压缩空气从真空破坏用转换阀功能单元13流入，因此能够将过冲击量控制在很小，能够迅速并且顺畅地进行真空破坏。
并且，由于使大气开放用转换阀功能单元17与真空吸附用转换阀功能单元11联动，因此真空破坏用转换阀功能单元13开始破坏真空时的真空压力上升，并且真空压力的偏差小，因此能够稳定地进行制品的传送和脱开。
而且，由于将真空吸附用转换阀功能单元11、真空破坏用转换阀功能单元13和大气开放用转换阀功能单元17组装成一体，因此能够结构紧凑地构成转换阀装置，使装置小型化，并且能够廉价地提供转换阀装置。
并且，由于上述转换阀装置使真空吸附用转换阀功能单元11与大气开放用转换阀功能单元17机械地联动，因此能够提高可靠性。
并且，由于上述转换阀装置将构成真空吸附用转换阀功能单元11、真空破坏用转换阀功能单元13和大气开放用转换阀功能单元17的流体通道形成在单体的阀本体23中，因此能够减少零部件的数量，能够获得紧凑、小型的转换阀装置。
而且，由于上述转换阀装置用单向阀15构成大气开放用转换阀功能单元17，在真空吸附用转换阀功能单元11接通时闭锁通往真空一侧的通道，在真空破坏用转换阀功能单元13接通时闭锁通往大气一侧的通道，因此能够使大气开放用转换阀功能单元17结构简单、可靠性高。
(第2实施方式)图11和图12表示本发明的转换装置的第2实施方式，图13为表示该第2实施方式的转换阀装置的基本结构的功能回路图。
另外，在该实施方式中，与第1实施方式相同的部件添加相同的附图标记，省略详细的说明。
该实施方式的转换阀装置如图13所示在真空破坏用转换阀功能单元13的输出端口A一侧设置节流阀功能单元53。
该节流阀功能单元53如图11和图12所示形成在阀本体23的真空破坏用螺线管21一侧。
即，在阀本体23的上面形成节流阀腔55。
顶端尖细的节流阀57收容在节流阀腔55内。
节流阀57由操作部59支持，通过手动操作操作部59可以设定节流量。
在节流阀腔55的底面开有节流孔57a。
该节流孔57a与加压侧阀腔33的阀座33a上开口的通道23i相连。
并且，节流阀腔55通过通道23j与输出端口A相连。
在本实施方式的转换阀装置中，当真空破坏用螺线管21接通时，真空破坏用螺线管21的柱塞35克服螺旋弹簧37的弹力被电磁力吸引到图的右侧。
由此，在柱塞35的顶端面与加压侧阀腔33的阀座33a之间形成间隙，加压侧阀腔33通过通道23i与节流阀腔55连通。
并且，如详细表示图11的E部分的图14所示，从通道23i、57a来的压缩空气被节流阀57节流后通过通道23j被提供给输出端口A。
图15表示该实施方式的转换阀装置的压力变化特性。
该转换阀装置在真空破坏用螺线管21接通之前的连续变化大致与第1实施方式相同。
电气信号提供给真空破坏用螺线管21，真空破坏压力在延迟时间T2后流入输出端口A内。
此时流入的真空破坏压经流量调整用的节流阀57调整流入流量后，呈现更理想的压力上升特性。
本实施方式的转换阀装置在真空破坏用转换阀功能单元13的出口一侧设置节流阀功能单元53，由于在真空破坏时被节流阀功能单元53节流后的压缩空气提供给输出端口A，因此能够更确实地降低过冲击。
(第3实施方式)图16表示本发明的转换阀装置的第3实施方式的主要部分，图17为表示本第3实施方式的转换阀装置的基本结构的功能回路图。
另外，在本实施方式中，与第1和第2实施方式相同的部件添加相同的附图标记，省略详细说明。
本实施方式的转换阀装置如图17所示在真空破坏用转换阀功能单元13的输出端口A一侧设置节流阀功能单元53，在该节流阀功能单元53中附加了溢流阀功能单元61。
如图16所示，节流阀功能单元53的结构与第2实施方式的节流阀功能单元53的相同。
在节流阀腔55的底部配置有由螺旋弹簧63和溢流阀座65构成的溢流阀功能单元61。
螺旋弹簧63配置在节流阀功能单元53的安装部67与溢流阀座65之间，溢流阀座65被弹压在节流阀腔55的底面上。
在溢流阀座65的中心形成有让节流阀57的顶端穿插的通孔65a。
并且，在节流阀腔55的底面形成有多个在溢流阀座65的底面开口的通道55b。
该通道55b与加压侧阀腔33的阀座33a上开口的通道23i相连。
并且，节流阀腔55通过通道23j与输出端口A相连。
本实施方式的转换阀装置如图18所示从通道55b来的压缩空气使溢流阀座65克服螺旋弹簧63的弹力上升，压缩空气通过溢流阀座65的底面与节流阀腔55的底面之间的间隙和节流阀57与溢流阀座65的通孔65a之间的间隙，通过通道23j被提供给输出端口A。
该提供使输出端口A急剧地接近大气压缩小与节流阀腔55内的压差，如图16所示溢流阀座65在螺旋弹簧63的弹力的作用下阻断通道55b，仅有被节流阀57节流过的压缩空气通过节流阀57与溢流阀座65的通孔65a之间的间隙而被提供给输出端口A。
图19表示本实施方式的转换阀装置的压力变化的特性。
该转换阀装置当提供给真空破坏压时溢流阀座65动作，流过输出端口A的真空破坏压流过通过溢流阀座65的开口部分的Q2与通过节流阀57的Q1的合计流量。设定为变闭锁的压力的溢流阀座65在达到该压力时关闭，此后仅流过通过节流阀57的Q1。
Q1被适当调整，由此压力上升变缓。
即，在导入大气后Q1+Q2的大流量的真空破坏压流入，直至溢流阀座65的闭锁设定压力，然后仅为节流阀功能单元53的流量Q1，压力缓慢上升直至大气压力。
本实施方式的转换阀装置在第2实施方式的节流阀功能单元53上附加溢流阀功能单元61，由于真空破坏时首先给输出端口A提供通过节流阀功能单元53和溢流阀功能单元61的压缩空气，然后仅给输出端口A提供通过节流阀功能单元53的压缩空气，因此能够更确实地降低过冲击。
(第4实施方式)图20和图21表示本发明的转换阀装置的第4实施方式，图22为表示本第4实施方式的转换阀装置的基本结构的功能回路图。
另外，在本实施方式中与第1至第3实施方式相同的部件添加相同的附图标记，省略详细的说明。
本实施方式的转换阀装置如图22所示在真空破坏用转换阀功能单元13的输出端口A一侧设置有带溢流功能的节流阀功能单元69。
该带溢流功能的节流阀功能单元69的结构与第3实施方式中将溢流阀功能单元61附加到节流阀功能单元53上的结构相同。
并且，本实施方式中除去了第3实施方式中的大气开放用转换阀功能单元17。
本实施方式的转换阀装置当真空破坏用螺线管21接通时，真空破坏用螺线管21的柱塞35克服螺旋弹簧37的弹力被电磁力吸引到图的右侧。
由此，在柱塞35的顶端面与加压侧阀腔33的阀座33a之间形成间隙，加压侧阀腔33通过通道23i与节流阀腔55连通。
于是如图18所示从通道23i来的压缩空气使溢流阀座65克服螺旋弹簧63的弹力上升，压缩空气通过溢流阀座65的底面与节流阀腔55的底面之间的间隙和节流阀57与溢流阀座65的通孔65a之间的间隙，通过通道23j而被提供给输出端口A。
该提供使输出端口A急剧地接近大气压，与节流阀腔55内的压差变小，如图16所示溢流阀座65在螺旋弹簧63的弹力的作用下阻挡通道55b，仅有被节流阀57节流后的压缩空气通过节流阀57与溢流阀座65的通孔65a之间的间隙而提供给输出端口A。
图23表示本实施方式的转换阀装置的压力变化特性。
本实施方式在提供给真空用螺线管19的电气信号断开后，具有响应延迟时间T1的真空用螺线管19处于断开状态，不提供真空压力。由此，保持的真空压力开始慢慢下降。
而且，在提供给真空用螺线管19的电气信号断开时间t1后，提供给真空破坏用螺线管21的电气信号接通。接通后具有响应延迟时间T2的真空破坏用螺线管21处于接通状态，提供作为真空破坏压的正压力。由此，输出端口A内的压力急剧上升。
提供给真空破坏用螺线管21的电气信号在输出端口A内的压力接近大气压力的时间t2内处于接通状态，然后断开。在提供给真空破坏用螺线管21的电气信号断开后，具有响应延迟时间T3的真空破坏用螺线管21处于断开状态，不提供真空破坏压力，输出端口A内收敛于大气压力。该过程与没有设置带溢流功能的节流阀功能单元69时相同。
但是，在设置有带溢流功能的节流阀功能单元69的情况下，当提供真空破坏压时溢流阀座65动作，流经输出端口A的真空破坏压流过通过溢流阀座65的开口部分的Q2与通过节流阀57的Q1的合计流量。设定为闭锁压力的溢流阀座65在达到该压力时闭锁，此后仅流过通过节流阀57的Q1。
Q1被适当调整，由此压力上升减缓。
因此能够解决上述一般的使用方法中的“吹掉工件”和“不能释放工件”这样的问题、以及仅设置节流阀时的“生产节拍时间延长”的问题。
由于本实施方式的转换阀装置在真空破坏时首先给输出端口A提供通过节流阀功能单元53和溢流阀功能单元61的压缩空气，然后仅给输出端口A提供通过节流阀功能单元53的压缩空气，因此能够更确实地降低过冲击。
并且，由于将真空吸附用转换阀功能单元11、真空破坏用转换阀功能单元13和带溢流功能的节流阀功能单元69组装成一体，因此能够结构0紧凑地构成转换阀装置，能够使装置小型化，能够廉价地提供转换阀装置。
(第5实施方式)图24和图25表示本发明的转换阀装置的第5实施方式。
本实施方式在第3实施方式的转换阀装置的阀本体23上安装底盘座71。
另外，在本实施方式中，与第1至第3实施方式相同的部件添加相同的附图标记，省略详细说明。
本实施方式的转换阀装置如图24及图25所示在阀本体23的下面安装有长方体状的底盘座71。
该底盘座71如图24所示通过插入阀本体23的安装孔23a、23b中的螺钉73连接在阀本体23上。
在底盘座71的上面形成有通孔构成的安装孔75。
图26为沿图25的X-X线剖切底盘座71的剖视图，在底盘座71的一侧形成与阀本体23的输出端口A连通的输出端口部71a。
并且，在底盘座71的另一侧形成与阀本体23的真空端口V连通的真空端口71b和与加压端口连通的加压端口71c。
并且，在连接底盘座71的真空端口71b和阀本体23的真空端口V的通道71d上形成具有比通道71d大的间隙的容器部71e。
在本实施方式中，容器部71e形成为长方体形状。
由于本实施方式的转换阀装置在底盘座71上形成与真空吸附用转换阀功能单元11的真空端口V连通的容器部71e，因此能够有效地防止真空度的降低。
即，即使在例如真空吸附时真空度降低，也能够通过容器部71e抑制真空度的降低，能够维持真空保持性能。
(第6实施方式)图27至图29表示本发明的转换阀装置的第6实施方式。
在该实施方式中，在歧管座79上安装有多个第3实施方式的转换阀装置77。
另外，在本实施方式中与第1至第3实施方式相同的部件添加相同的附图标记，省略详细说明。
本实施方式的转换阀装置如图27所示在歧管座79的上面隔开预定的间隔平行地安装多个转换阀装置77。
转换阀装置77通过插入阀本体23的安装孔23a、23b中的螺钉73被连接在歧管座79上。
图30为表示歧管座79的俯视图，在歧管座79的一侧隔开预定的间隔形成与阀本体23的输出端口A连通的输出端口79a。
并且，在歧管座79的另一侧隔开预定的间隔形成与阀本体23的真空端口V连通的真空端口部79b。
而且在歧管座79的另一侧的两端形成与阀本体23的加压端口P连通的加压端口部79c。
并且，在连接歧管座79的真空端口部79b和阀本体23的真空端口V的通道79d上形成具有比通道79d大的间隙的容器部79e。
本实施方式中容器部79e被形成为圆柱状。
本实施方式的转换阀装置由于在歧管座79上形成与真空吸附用转换阀功能单元11的真空端口V连通的容器部79e，因此能够有效地防止真空度的降低。
即，即使在例如真空吸附时真空度降低，也能够通过容器部79e抑制真空度的降低，能够维持真空保持性能。
另外，虽然上述实施方式说明的是使真空吸附用转换阀功能单元11与大气开放用转换阀功能单元17机械地联动的例子，但本发明并不局限于上述实施方式，也可以例如使真空吸附用转换阀功能单元11与大气开放用转换阀功能单元17电气地联动。
并且，在上述实施方式中，通过在大气开放用转换阀功能单元17的大气开放通道上设置过滤机构，能够确实地阻止尘埃从大气一侧流入。
产业上的可利用性如上所述，本发明的转换阀装置由于使大气开放用转换阀功能单元与真空吸附用转换阀功能单元联动，因此在压缩空气从真空吸附用转换阀功能单元流入之前，真空一侧自动地与大气一侧联动，在接近大气压力时，压力比大气压大的高压空气从真空破坏用转换阀功能单元流入，因此能够将过冲击量控制在很小，能够迅速且顺畅地进行真空破坏。
并且，由于使大气开放用转换阀功能单元与真空吸附用转换阀功能单元联动，因此真空破坏用转换阀开始真空破坏时的真空压上升，并且真空压的偏差小，因此能够进行稳定的制品传送和脱离。
而且，由于将真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和大气开放用转换阀功能单元组装成一体，因此能够结构紧凑地构成转换阀装置使装置小型化，并且能够廉价地提供转换阀装置。
并且，由于本发明2的转换阀装置在真空破坏用转换阀功能单元的出口侧设置节流阀功能单元，在真空破坏时将经节流阀功能单元节流后的压缩空气提供给输出端口，因此能够更确实地降低过冲击。
而且，由于本发明的转换阀装置在节流阀功能单元上附加了溢流阀功能单元，在真空破坏时首先给输出端口提供通过节流阀功能单元和溢流阀功能单元的压缩空气，然后仅给输出端口提供通过节流阀功能单元的压缩空气，因此能够更确实地降低过冲击。
并且，由于本发明的转换阀装置使真空吸附用转换阀功能单元与大气开放用转换阀功能单元机械地联动，因此能够提高可靠性。
并且，由于本发明的转换阀装置将构成真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和大气开放用转换阀功能单元的流体通道形成在单体的阀本体中，因此能够减少零部件的数量，能够获得结构紧凑、小型的转换阀装置。
由于本发明的转换阀装置在大气开放用转换阀功能单元的大气开放用通道上设置有过滤机构，因此能够确实地防止尘埃从大气侧流入。
由于本发明的转换阀装置用单向阀构成大气开放用转换阀功能单元，在真空吸附用转换阀功能单元接通时闭锁通往真空一侧的通道，在真空破坏用转换阀功能单元接通时闭锁通往大气一侧的通道，因此能够使大气开放用转换阀功能单元结构简单、可靠性高。
由于本发明的转换阀装置在真空破坏时首先给输出端口提供通过节流阀功能单元和溢流阀功能单元的压缩空气，然后仅给输出端口提供通过节流阀功能单元的压缩空气，因此能够确实地降低过冲击。
并且，由于将真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和带溢流功能的节流阀功能单元组装成一体，因此能够结构紧凑地构成转换阀装置使装置小型化，并且能够廉价地提供转换阀装置。
本发明的转换阀装置能够容易并且确实地将转换阀装置安装到底盘座或歧管座上。
由于本发明的转换阀装置在底盘座或歧管座上形成与真空吸附用转换阀功能单元的真空端口连通的容器部，因此能够有效地防止真空度的降低。
权利要求
1.一种转换阀装置，其特征在于，具备真空吸附用的真空吸附用转换阀功能单元；真空破坏用的真空破坏用转换阀功能单元；与上述真空吸附用转换阀功能单元的动作联动、在上述真空吸附用转换阀功能单元断开时开放通往大气侧的通道，在接通时闭锁通往大气侧的通道的大气开放用转换阀功能单元；将上述真空吸附用转换阀功能单元、上述真空破坏用转换阀功能单元和上述大气开放用转换阀功能单元一体地组装到本体上。
2.如权利要求1所述的转换阀装置，其特征在于，在上述真空破坏用转换阀功能单元的出口侧设置有节流阀功能单元。
3.如权利要求2所述的转换阀装置，其特征在于，在上述节流阀功能单元中附加有溢流阀功能单元。
4.如权利要求1至3中的任一项所述的转换阀装置，其特征在于，上述真空吸附用转换阀功能单元与上述大气开放用转换阀功能单元机械地联动。
5.如权利要求1至4中的任一项所述的转换阀装置，其特征在于，构成上述真空吸附用转换阀功能单元、上述真空破坏用转换阀功能单元和上述大气开放用转换阀功能单元的流体通道形成在单体的阀本体中。
6.如权利要求1至5中的任一项所述的转换阀装置，其特征在于，在上述大气开放用转换阀功能单元的大气开放通道中设置有过滤机构。
7.如权利要求1至6中的任一项所述的转换阀装置，其特征在于，上述大气开放用转换阀功能单元由在上述真空吸附用转换阀功能单元接通时闭锁通往真空一侧的通道，并在上述真空破坏用转换阀功能单元接通时闭锁通往大气一侧的通道的单向阀构成。
8.一种转换阀装置，其特征在于，具备真空吸附用的真空吸附用转换阀功能单元；真空破坏用的真空破坏用转换阀功能单元；以及，设置在上述真空破坏用转换阀功能单元的出口侧的带溢流功能的节流阀功能单元；将上述真空吸附用转换阀功能单元、上述真空破坏用转换阀功能单元和上述带溢流功能的节流阀功能单元一体地组装到本体中。
9.如权利要求1至8中的任一项所述的转换阀装置，其特征在于，上述本体被安装在底盘座或歧管座上。
10.如权利要求9所述的转换阀装置，其特征在于，在上述底盘座或歧管座上形成有与上述真空吸附用转换阀功能单元的真空端口连通的容器部。
全文摘要
本发明涉及用于真空吸附半导体芯片等构件的转换阀装置，目的是迅速并顺畅地进行真空破坏。具备真空吸附用的真空吸附用转换阀功能单元；真空破坏用的真空破坏用转换阀功能单元；以及，与真空吸附用转换阀功能单元的动作联动，在真空吸附用转换阀功能单元断开时开放通往大气侧的通道，在接通时闭锁通往大气侧的通道的大气开放用转换阀功能单元。将真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和大气开放用转换阀功能单元一体地组装到本体中。
文档编号H01L21/68GK1816425SQ03826799
公开日2006年8月9日 申请日期2003年7月14日 优先权日2003年7月14日
发明者玉木茂男, 梅田浩辅 申请人:黑田精工株式会社