专利名称：用于衬底的升降机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于衬底的升降机。
背景技术：
一般来说，用于半导体装置的半导体衬底或用于平板显示器；诸如液晶显示器(LCD)和有机发光显示器(OLED)；的玻璃衬底，在半导体装置或显示面板的制造期间由输送系统进行传输。输送系统包括安装衬底的输送机、移动输送机的驱动辊、以及用于驱动驱动辊的驱动电动机。
LCD通常包括由玻璃衬底制成的两块面板和液晶层，而OLED包括由玻璃衬底制成的信号面板。LCD通过向设置在面板上的场产生电极施加电压以产生电场来显示图象，其中在液晶层中确定液晶分子的取向。OLED通过向发光二极管施加电流或电压来显示图象，该发光二极管根据电流或电压发光。
用于LCD的常规衬底传输系统将玻璃衬底传输到几个处理设备上。尤其是，当衬底装在盒子里时被向上和向下传输，该盒子顺序放进起重机的罐笼里。
由于这样的成批升降系统不适合于大的玻璃衬底和直列(in-line)系统，因此提出了在升降机的提升循环中只提升一块玻璃衬底的单衬底提升系统。然而，单衬底提升系统增加了升降机的生产流程时间。
发明内容
提供了一种用于衬底的升降机，其包括用于安装衬底并且具有第一和第二边缘的多个托板；与托板的第一边缘连接的第一对电缆；与托板的第二边缘连接的第二对电缆；以及移动第一和第二对电缆以向上和向下移动托板的驱动单元。
托板可以是挠性的，并且每一个托板可包括平行系扎的多个辊。
驱动单元可包括驱动电动机和连接到驱动电动机的多个滑轮。
滑轮可包括直接与驱动电动机连接以便由驱动电动机驱动的驱动滑轮，以及与第一和第二对电缆连接的多个空转轮。
空转轮可包括与驱动滑轮基本上水平排列的第一滑轮、与驱动滑轮基本上垂直排列的第二和第三滑轮、以及与第一滑轮基本上垂直并且与第二和第三滑轮基本上水平排列的第四和第五滑轮。
(a)第一滑轮、(b)第二和第三滑轮之一以及(c)第四和第五滑轮之一中的每一个可包括成直线设置的一对分离体。
滑轮中的至少一个可包括单体。
托板可以随着接触滑轮中至少一个的圆周而弯曲。
托板可以随着被调准水平而向上移动，并且它可以随着被调准垂直而向下移动。
此外，托板可以随着被调准水平而向下移动，并且它可以随着被调准(aligned)垂直而向上移动。
升降机还可包括容纳托板的机架、配备在机架壁上的风扇过滤器、或者设置在机架底部的排气装置。
升降机还可包括用于将衬底供给托板以及用于将衬底从托板上取下的一对输送机。
通过参照附图详细地描述相关的实施例，本发明将变得更加明显，附图中图1是根据本发明实施例的用于衬底的升降系统；图2和3是说明在图1示出的升降系统中托板运动的示意性透视图。
具体实施例方式
现在将在下文中参照附图对本发明进行更加充分的描述，其中在附图中示出了本发明的优选实施例。然而，本发明可以以很多不同的方式实施，并且本发明不应该限制在这里阐述的实施例中。
现在，将参照图1-3对根据本发明实施例的升降系统进行详细描述。
图1是根据本发明实施例的用于衬底的升降系统，图2和3是说明在图1示出的升降系统中托板运动的示意性透视图。
参照图1，根据这个实施例的升降系统包括用于提升/下降衬底1的升降机100，以及用于供给/取下衬底1的一对下和上输送机200和300。
如图1-3所示，升降机100包括立方形的机架10、设置在机架10中的多个挠性托板40、与托板40连接的第一和第二对电缆51和52、以及用于驱动第一对和第二对电缆51和52的驱动单元60和70。
机架10具有分别设置在其底部和顶部附近、用来接收和卸下衬底1的一对下和上入口/出口11和12。用于将洁净的空气引入机架10内部的多个风扇过滤器单元(FFU)80设置在机架10的侧壁上，并且用于排放机架10内的空气的排气装置13设置在机架10的底部。
驱动单元60和70包括驱动电动机70和与驱动电动机70连接的多个滑轮60。电动机70设置在机架10的外面，用于防止污染衬底1。
滑轮60包括优选地通过由驱动电动机70驱动的链条或皮带(未示出)直接与驱动电动机70连接的驱动滑轮61，以及与电缆51和52连接的多个空转轮62-66。滑轮60位于电缆51和52或托板40运动方向的转换处。驱动滑轮61设置在机架10的左上侧，并且空转轮62-66包括右上滑轮66、第一和第二左下滑轮64和62、以及第一和第二右下滑轮65和63。右上滑轮66、第二左下滑轮62以及第一右下滑轮65中的每一个包括单体，而右上滑轮66、第一左下滑轮64以及第二右下滑轮63中的每一个，包括成直线设置并以大于托板40宽度的距离彼此隔离的一对轮体66a和66b、64a和64b、或者63a和63b。
电缆51和52接触驱动滑轮61，以便依照驱动滑轮61的旋转来移动。第一对电缆51接触空转轮62、64和65，并且第二对电缆52接触空转轮62、63和66。当如图1中所示从滑轮61-66的轴向观察时，第一对电缆51近似地形成双线字母“L”，而第二对电缆52形成矩形。具体地，电缆51和52在驱动滑轮61和空转轮62之间的垂直方向上、和在第二左下空转轮62和右下空转轮63和65之间的水平方向上近似地相互符合。第一和第二对电缆51和52于是彼此离开。详细地说，第一对电缆51绕着第一右下滑轮65折转以到达第一左下滑轮64，并且绕着第一左下滑轮64折转以向上运行到驱动滑轮61，同时第二对电缆52绕着第二右下滑轮65折转以向上达到右上滑轮66，并且绕着右上滑轮66折转以运行到驱动滑轮61。
每一个托板40包括平行系扎的具有挠性的多个辊41。此外，每一个托板40有两个相对的边缘42和43，该两个相对的边缘42和43垂直于其移动方向延伸，并且分别与第一对电缆51和第二对电缆52连接。两个相对的边缘42和43包括各自的辊，并且边缘辊42和43中的每一个具有通过连接部件与各自的电缆51或52连接的两个端部42a和42b或43a和43b。
第一对电缆51之间和第二对电缆52之间的距离大于边缘辊42和43的长度，第二对电缆52之间的距离大于第一对电缆51之间的距离。
下面的供给/取下输送机200设置在机架10的下入口/出口11附近，并且包括支架210和多个辊220。同样地，上面的供给/取下输送机300设置在机架10的上入口/出口12附近，并且包括支架310和多个辊320。
升降机100能够通过调整驱动滑轮61的旋转方向来提升或下降衬底。例如，当驱动滑轮61沿着图2中字母D表示的逆时针方向旋转时，托板40向上提升衬底1。相反，当驱动滑轮61顺时针方向旋转时，托板40向下降下衬底1。
在升降机100的提升期间，通过将托板40调准为基本上水平并且使每一个托板40的一个边缘42在另一个边缘43前面，驱动单元60和70在水平方向上移动位于升降机100底部的托板40远离下传送机200。下传送机200在其表面上携带衬底1并且通过下入口/出口11将衬底1装载在水平移动的托板40上，并且下传送机200的供给过程是以连续的方式进行的。在装载衬底1后，通过使托板40保持水平以及同时移动每一个托板40的边缘42和43，驱动单元60和70沿着从底部到顶部的向上的方向A移动安装有衬底1的托板40。在到达顶部后，通过使托板40保持水平、使托板40的边缘42绕着驱动滑轮61向下折转、以及使托板40的边缘43跟随着在前的边缘42，驱动单元60和70在朝着上传送机300沿水平方向移动托板40，以通过上出口/入口12将衬底1卸给上传送机300。上传送机300在其表面上装载衬底1并且将衬底1从升降机100中取下。
在取下衬底1后，通过使托板40垂直以及使托板40的边缘42在托板40的边缘43前面，驱动单元60和70沿着从顶部到底部的垂直方向B向下移动托板40。通过调准托板40基本上水平并且使托板40的边缘42在另一边缘43前面，驱动单元60和70使托板40绕着位于底部的第二左下滑轮62折转，以在朝着下传送机200沿水平方向C上移动。
挠性托板40能够在其移动方向的转换处随着接触滑轮61-66的圆周而发生弯曲。参照图1，当托板40从向上的方向A向向下的方向B、从向下的方向B向机架10底部的水平方向C、以及从水平的方向C向向上的方向A改变其移动方向时，托板40沿着驱动滑轮60的圆周发生弯曲。
传送机200和300、滑轮61-66和托板40的下降的操作，以与其提升操作相反的方式进行。
在上述的升降机100中，由于调准为与地面平行以便安装衬底1的几个托板40设置在机架10的一定高度处，因此用于提升/下降衬底1的操作时间短。此外，由于平行调准的托板40的数量可以不考虑机架10的高度确定，因此用于提升/下降衬底1的操作时间可以几乎不受机架10的高度的影响。
此外，衬底1的顺序的提升/下降能够适合于直列系统。
虽然已经参考优选实施例对本发明进行了详细的描述，但是本领域技术人员将预计到，只要没有偏离在如附加的权利要求中阐述的本发明的构思和范围，可以做出各种修改和替代。
权利要求
1.用于衬底的升降机，该升降机包括用于安装衬底并且具有第一和第二边缘的多个托板；一与托板的第一边缘连接的第一对电缆；一与托板的第二边缘连接的第二对电缆；以及一移动第一和第二对电缆以向上和向下移动托板的驱动单元。
2.根据权利要求1的升降机，其中托板是挠性的。
3.根据权利要求2的升降机，其中每一个托板包括平行系扎的多个辊。
4.根据权利要求1的升降机，其中驱动单元包括驱动电动机和与驱动电动机连接的多个滑轮。
5. 根据权利要求4的升降机，其中滑轮包括直接连接到驱动电动机，以由驱动电动机驱动的驱动滑轮，和连接到第一和第二对电缆的多个空转轮。
6.根据权利要求5的升降机，其中该空转轮包括与驱动滑轮基本上水平排列的第一滑轮、与驱动滑轮基本上垂直排列的第二和第三滑轮、以及与第一滑轮基本上垂直并且与第二和第三滑轮基本上水平排列的第四和第五滑轮。
7.根据权利要求6的升降机，其中(a)第一滑轮、(b)第二和第三滑轮之一、以及(c)第四和第五滑轮之一中的每一个，包括成直线设置的一对分离体。
8.根据权利要求7的升降机，其中滑轮中的至少一个包括单体。
9.根据权利要求8的升降机，其中驱动滑轮包括单体。
10.根据权利要求8的升降机，其中空转轮中的至少一个包括单体。
11.根据权利要求8的升降机，其中托板随着接触滑轮中至少一个的圆周而弯曲。
12.根据权利要求11的升降机，其中托板随着被水平调准而向上移动并且随着被垂直调准而向下移动。
13.根据权利要求11的升降机，其中托板随着被水平调准而向下移动并且随着被垂直调准而向上移动。
14.根据权利要求1的升降机，还包括容纳托板的机架。
15.根据权利要求14的升降机，还包括配备在机架壁上的风扇过滤器。
16.根据权利要求14的升降机，还包括设置在机架底部的排气装置。
17.根据权利要求1的升降机，还包括用于将衬底供给到托板以及用于将衬底从托板取下的一对输送机。
全文摘要
提供了一种用于衬底的升降机，其包括用于安装衬底并且具有第一和第二边缘的多个托板；与托板的第一边缘连接的第一对电缆；与托板的第二边缘连接的第二对电缆；以及移动第一和第二对电缆以向上和向下移动托板的驱动单元。
文档编号H01L21/677GK1612005SQ20041009818
公开日2005年5月4日 申请日期2004年10月27日 优先权日2003年10月27日
发明者赵在男, 安根洙 申请人:三星电子株式会社