专利名称：卡匣仓储系统及其构成方法
技术领域：
本发明涉及一种卡匣仓储系统及其构成方法，特别是涉及一种模块化的卡匣仓储系统。
背景技术：
卡匣仓储系统(Cassette Stocker)用以存放与搬送卡匣的仓储系统。如图1A所示，现有的卡匣仓储系统具有一庞大的主体框架510，其内具有基板交换器(Substrate Exchanger)等机台520，用以分别存放卡匣560。另外，主体框架510还设有搬送装置，例如设置在轨道530上的起重机(crane)540，对机台520中存放的卡匣560进行存取与搬送动作。如图1B所示，起重机540具有可旋转的平台，可将机台520中的卡匣560取出，并如图1C所示，搬运至其它机台进行处理。另外，主体框架510还设有一洁净装置550，例如一风扇过滤单元(Fan Filter Unit，FFU)，过滤主体框架510内部的空间的空气，以减少污染。
上述现有的卡匣仓储系统，由于以主体框架510包覆所有机台520及搬送装置，因此其外观具有良好的整体感。然而，由于所有机台520均设置于主体框架510内部，一旦某一机台520在操作时出现状况，即可能影响主体框架510内部的操作，此时若要对机台520进行拆卸或维修，必须将整个卡匣仓储系统停机，以避免发生危险，因此会严重降低卡匣仓储系统的操作效率。
另外，由于所有机台520均设置于主体框架510内部，而以单一的洁净装置550进行主体框架510内部空气的过滤，因此所有机台520均在同一环境下进行操作，若是单一机台520发生异常状况而产生粉尘或微粒的污染，则可能由于起重机540的搬送及存取动作，连带影响到其它机台520，使得所有机台均遭受污染，且不易分辨污染来源。
发明内容
有鉴于此，本发明的一目的在于提出一种卡匣仓储系统，采用模块化的机台安装方式，以避免现有的卡匣仓储系统所产生的问题。
本发明揭示一种卡匣仓储系统，包括一壳体、至少一机台、以及一搬送装置。壳体具有多个开口。机台是对应设置于该各开口，且具有一卡匣。搬送装置设置于壳体内，通过该各开口搬送该机台内存放的卡匣。
另外，本发明还揭示一种构成卡匣仓储系统的方法。该方法提供一壳体，具有多个开口；提供至少一机台，对应设置于该各开口，且具有一卡匣；以及提供一搬送装置，设置于该壳体内，通过该各开口搬送该机台内存放的该卡匣。
上述卡匣仓储系统及其构成方法中，机台可设置于该壳体外侧。另外，也可将机台活动设置于该壳体内侧，此时卡匣仓储系统可还包括多个挡板以及一移动装置，挡板对应设置于该各开口，活动阻挡该各开口，而移动装置则可移动该机台于该壳体内侧。
上述卡匣仓储系统及其构成方法中，搬送装置可包括一轨道以及一起重机，起重机设置于轨道上，通过该轨道移动于该些开口之间。
另外，每一机台可包括一第一洁净装置，过滤机台中存放卡匣的空间的空气。壳体也可包括一第二洁净装置，过滤壳体中的空气。第一洁净装置或第二洁净装置均可为一风扇过滤单元(Fan Filter Unit，FFU)。另外，更可将开口设置成与一外部装置连接，该外部装置可为一传输装置及/或一生产机台。
为使本发明的上述及其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举数个具体的较佳实施例，并配合所附图式做详细说明。
图1A为现有卡匣仓储系统的示意图；图1B为图1A中起重机自机台取放卡匣的示意图；图1C为图1A中起重机搬送卡匣的示意图；图2为本发明一实施例中卡匣仓储系统的示意图；图3A为本发明另一实施例中卡匣仓储系统的示意图；图3B为图3A中机台20移动卡匣仓储系统的示意图。
具体实施例方式以下请参见图2，以一实施例说明本发明的卡匣仓储系统。
如图2所示的实施例中，卡匣仓储系统包括一壳体10、设置于壳体10外侧的机台20、以及设置于壳体内侧的搬送装置。具体而言，机台20可为待储存物交换器(Pre-Stored Material Exchanger)，于此以基板交换器(Substrate Exchanger)为范例，而搬送装置包括一轨道30以及设置于轨道上的一起重机40。
本实施例中，机台20设置于壳体10外侧，因此壳体10具有多个开口15，用以提供起重机40对机台20进行存取动作。机台20对应设置于开口15，且内部具有卡匣60。卡匣60内储存有多个待储存物(如基板、面板等，且未绘示于本实施例的图形上)。未设置机台20的开口15，则可设置挡板50，以维持壳体10的封闭状态。起重机40可通过轨道30移动于各个开口15之间，经由开口15存取机台20中存放的卡匣60。再者，开口15的大小实质上大于等于机台20的大小或者开口15的大小实质上大于待储存物的大小。
另外，如图2所示，每一机台20可单独设置一第一洁净装置25，例如常见的风扇过滤单元(Fan Filter Unit，FFU)，以过滤机台20中存放卡匣60内的空气。另外，壳体10也可设置有独立的第二洁净装置70，过滤壳体10中的空气。第二洁净装置70也可为一风扇过滤单元。
本实施例的卡匣仓储系统，由于壳体10内仅设置有轨道30以及起重机40等搬送装置，而机台20均设置于壳体10外侧，因此若是某一机台20在操作时出现状况时，仅需将其连接的开口15封闭，即可在不影响其它机台20的状况下将此单一机台20进行停机，并进行拆卸或维修。如此，卡匣仓储系统可维持正常操作，可缩短维修工时，且机台20进行维修时也不会因为卡匣仓储系统继续动作而发生危险，可增进卡匣仓储系统的安全性与操作效率，不受单一机台20的影响。
另外，本实施例中，由于所有机台20均设置于壳体10外侧，且机台20分别设置有独立的第一洁净装置25，而壳体10也设置有第二洁净装置70，分别进行空气的过滤，因此每一机台20均在独立的环境下进行操作。即使单一机台20发生异常状况而产生粉尘或微粒的污染，其污染来源也容易由系统辨认而进行隔离，同时通过第一洁净装置25以及第二洁净装置70的双重过滤效果，可减少对其他机台20的影响，避免污染的扩散。
请再参见图3A以及图3B，说明另一实施例的卡匣仓储系统。
图3A以及图3B的实施例中，卡匣仓储系统同样包括一壳体10、机台20、以及设置于壳体10内侧的搬送装置，其中壳体10具有多个开口15，而搬送装置包括一轨道30以及设置于轨道上的一起重机40。图3A以及图3B的实施例与图2的实施例不同之处，在于部分机台20设置于壳体10内侧，且还设置有多个挡板50以及移动装置55。挡板50对应设置于该各开口15，可用以活动阻挡开口15；移动装置55则可移动机台20在壳体10内侧。如此即可使设置于壳体10内侧的每一机台20均可通过移动装置55经由对应的每一开口15而可移动于壳体10内侧与外侧之间。移动装置55可为滑轨、滚轮、滚珠、滚针、气浮式平台等各种移动装置，本实施例特以滑轨为例说明之。
如图3A所示，当卡匣仓储系统进行运作时，机台20位于壳体10内侧，而其对应的开口15则由挡板50封闭，以维持壳体10的密闭性。若是某一机台20在操作时出现状况时，仅需将其通过移动装置55经由对应的开口15滑出壳体10外侧，然后再将开口15以挡板50封闭，如图3B所示，如此即可在不影响其它机台20的状况下将移出壳体10外侧的此单一机台20进行停机，并进行拆卸或维修。
在此必须说明，上述实施例中的机台20之配置，可依机台特性或空间配置因素而自由组合，换言之，同一卡匣自动仓储系统中，可将部份机台20分别设置于壳体10外侧，也可将部分机台20分别设置于壳体10内侧，而在开口15分别设置有挡板50以及移动装置55，每一机台20通过移动装置经由对应的每一开口15可移动于壳体10内侧与外侧之间。再者，开口15的大小实质上大于或等于机台20的大小。
另外，上述实施例的卡匣仓储系统可依需求而通过该开口15和外部装置连接及配合，且该外部装置包括传输装置、生产机台或其它装置。举例说明可将壳体10的开口15连接于传输装置及/或生产机台，即可使得卡匣60可移动于卡匣自动仓储系统中的机台20与传输装置及/或生产机台之间。一般而言，传输装置可为机器人、运输车、机械手臂或滚动平台等装置，而生产机台则可为显影机台、薄膜沈积机台(如PVD、CVD等机台)、蚀刻机台、清洗机台、分类机台等相关性机台。
虽然结合以上具体的较佳实施例揭露了本发明，然而其并非用以限定本发明，任何熟悉此项技术者，在不脱离本发明的精神和范围内，仍可作一些的更动与润饰，因此本发明的保护范围应以权利要求所界定的为准。
权利要求
1.一种卡匣仓储系统，包括一壳体，具有多个开口；至少一机台，对应设置于该各开口，且该机台内具有一卡匣；以及一搬送装置，设置于该壳体内，通过该各开口搬送该机台内的该卡匣。
2.如权利要求1所述的卡匣仓储系统，其中该机台设置于该壳体外侧。
3.如权利要求1所述的卡匣仓储系统，其中该机台活动设置于该壳体内侧。
4.如权利要求3所述的卡匣仓储系统，还包括多个挡板，对应设置于该各开口，活动阻挡该各开口；以及一移动装置，移动该机台于该壳体内侧。
5.如权利要求1所述的卡匣仓储系统，其中该搬送装置包括一轨道；一起重机，设置在该轨道上，通过该轨道，移动于该各开口之间。
6.如权利要求1所述的卡匣仓储系统，其中该机台包括一第一洁净装置。
7.如权利要求6所述的卡匣仓储系统，其中该第一洁净装置为一风扇过滤单元(Fan Filter Unit，FFU)。
8.如权利要求1所述的卡匣仓储系统，其中该壳体包括一第二洁净装置。
9.如权利要求8所述的卡匣仓储系统，其中该第二洁净装置为一风扇过滤单元。
10.如权利要求1所述的卡匣仓储系统，其中该机台为一待储存物交换器(Pre-Stored Material Exchanger)。
11.如权利要求1所述的卡匣仓储系统，其中该各开口，还与一外部装置连接。
12.如权利要求1所述的卡匣仓储系统，其中该外部装置为传输装置或生产装置。
全文摘要
一种卡匣仓储系统及其构成方法，该卡匣仓储系统包括一壳体、至少一机台、以及一搬送装置。该壳体具有多个开口。该机台对应设置于该各开口，且具有一卡匣。该搬送装置设置于壳体内，通过该各开口搬送机台内存放的卡匣。
文档编号H01L21/67GK1631751SQ20041010372
公开日2005年6月29日 申请日期2004年12月28日 优先权日2004年12月28日
发明者张玉彦, 陈宏伟, 林谦田 申请人:友达光电股份有限公司