专利名称：用于工艺舱套件的净化室运输封装的制作方法
技术领域：
本实用新型的一方面涉及将具有不同元件的工艺舱套件(processchamber kit)运输到净化室中的便携式封装。
背景技术：
有许多不同类型的封装用于将工艺舱元件运输到净化室环境中，这种环境的室中环境粒子含量是受控的以使集成电路芯片和显示器的处理免于污染。在一种类型的封装中，单个舱元件被密封的塑料袋所环绕，这些塑料袋嵌在泡沫材料基块(foam block matrix)的开口中。在运送容器中，泡沫材料基块固定在元件盒中并被运送到分发地点或顾客处。净化室的泡沫材料是一种高度压缩、海绵状的、聚乙烯泡沫材料，例如来自加利福尼亚Ventura城FP Technologies的Zotefoam牌“Plastazote LD-24”。泡沫材料基块包括相互粘接以形成所需开口形状的多个单独的净化室泡沫材料块。元件盒一般具有用金属边连接并填充泡沫材料基块的、由塑料或其他材料构成的侧壁。元件盒具有把手以方便将已包装的元件运输到净化室环境。
传统的封装有很多问题是与运输和在净化室环境中打开这种封装相关联的。例如，传统的封装通常在净化室环境中生成污染物和不合需要地释放气体。一般地，运送容器是在净化室外开封，并取出内部的元件盒。当使用净化室泡沫材料时，泡沫材料基块通常在净化室环境中开封。但是在这样开封并从泡沫材料块中取出元件盒的时候，可能会磨下一粒一粒或小块的泡沫材料而产生污染粒子。另外，净化室泡沫材料一般具有开口的蜂窝状结构，这种多孔状的结构具有例如大小约10到100微米的小孔。封闭在这些小孔中的气体可释放到净化室环境中。在不同的泡沫材料块之间用来构建三维基块的粘接层也能释放气体或产生聚合污染粒子。
在某些情况下，泡沫材料块本身并不能带入净化室，这样必须将单个的密封元件袋开封并运入净化室。在这种运输期间，用来在单个元部件周围形成可密封的封装的软塑料可能裂开而使得内部部件被外部环境污染。将软塑料袋存储在净化室环境中以供最后使用也是困难的，因为它们不太好堆放并可能被刺破。而且，仅仅是将单个元部件运送一定距离的行为就会增大掉落和损伤部件的危险。
另一个问题出现了，因为泡沫材料和外部盒子不允许对其内部所容之物的目测检查。例如，如果一个舱元件在封闭的盒中断裂或碎裂了，通常直到在净化室环境中打开盒子时才会发现这种破损。而且，在一个中间运输点中，例如部件分发仓库，不打开容器并污染元部件就无法在运送到顾客之前检查封装元件的状况。此外，国际运输中涉及的严格的海关检查要求打开这种容器以允许海关人员检验内部所容之物，这种检查需要在可能不利的环境中打开密封，并可能使得部件一运达就随之被废弃。
还有另一个问题，因为很难将标签贴到传统的泡沫材料封装上。一般地，通过镂铣而在泡沫材料容器中加工一个凹入区域，并在凹入处抹上厚的环氧树脂层。然后将标签粘贴到厚环氧树脂层上。但是，这种环氧材料在低压环境中或者当加热到甚至室温时可能释放气体。此外，在镂铣过程中泡沫材料可能裂开，由此产生有缺陷的封装。
当将具有许多相互关联的不同舱元件的工艺舱套件运输或运送时出现了另一个问题。例如，套件可能包括衬垫的不同部分来做工艺舱壁面的衬里。在舱的操作期间这些衬垫被例行地清洗、重新磨光、或更换，所以通常需要同时运送一套相关的衬垫部件。当该套件单独包装并运送时，就需要在分发中心或顾客处重新装配套件，这浪费了资源并且有时会导致不正确的部件装配。当将传统的封装开封并将套件的多个单独元件运输到净化室中时这个问题进一步恶化了，其中它们立刻与其他元件错放或混杂了，尤其如果它们在使用前已存放了一段时间。存储在净化室中是减少舱的停工时间所期望的，这通过当元部件失效或需要清洗时立即将其更换来实现。未密封或松动的部件套件也可能丢失或被盗。
因此，这样的封装是所期望的，即其允许敏感的舱元部件从制造商处安全地运输到净化室环境。所述封装保持对外部环境的气密性密封也是所期望的。另外期望所述封装可容易地贴标签。还期望所具有的封装允许对内部部件的目测检查而不拆开密封或打开封装。还期望运输及存放一套相关的部件并按需要识别它们。而且期望所述封装能够适合防拆带、密封、锁或其他工具。
发明内容
一种净化室运输封装对将具有多个不同形状舱元件的工艺舱套件直接运输到净化室环境中是有用的。所述封装包括第一刚性盘，第一刚性盘具有第一壁架和从第一壁架向外延伸的多个第一槽，第一壁架具有第一边。第二刚性盘可从第一盘拆卸。第二盘具有第二壁架，第二壁架具有第二边，第二边和第一盘的第一边耦合而在其间形成密封。第二盘还具有从第二壁架向外延伸的多个第二槽。当这两个盘装配到一起时，由相面对的成对第一和第二槽形成具有不同内表面轮廓的多个适形单元。每个适形单元的内表面轮廓匹配于舱元件的外表面轮廓，使得在运输期间舱元件在其适形单元中的移动最小。第一或第二盘的至少一部分是基本透明的，使得可通过所述基本透明部分来观察工艺舱套件的每个舱元件的状态。
从以下附图、说明和权利要求将更好地理解本实用新型的这些和其他特征、方面和优点，提供这些附图来图示本实用新型的示例特征而不应用来限制本实用新型，其中图1是运输封装的分解透视图，示出了具有界定一组适形单元的槽的相面对的第一和第二盘，所述适形单元用于固定具有不同舱元件的工艺舱套件；图2是具有侧壁的盘的分解透视图，所述侧壁包括可拆卸面板；图3A是包括一对匹配盘的运输封装的分解横截面示意图，所述盘界定了多个适形单元，其中每个所具有的内表面轮廓都适形于工艺舱套件的特定舱元件的外表面轮廓；图3B示出了图3A的运输封装在围绕舱元件装配好盘、将内部的空气通过阀出口排出、以及通过阀入口输入洁净干燥的空气或惰性气体之后的示意图；图4是具有槽壁的槽的横截面示意图，所述槽壁具有相对的弹性微凹，当被压缩时所述微凹施加将舱元件定位的向里的力；和图5是示出了相互配合的堆积接头和相应凹口的堆积运输封装的横截面示意图。
具体实施方式
便携式运输封装20有助于运输和存储工艺舱套件22，该套件具有许多不同的舱元件24a-f。封装20允许舱元件24a-f直接运输到净化室环境中而不会暴露到外界并且不会拆开密封。舱元件24a-f是作为工艺舱、平台和气体供应的部分的部件，这些元件在制造例如半导体晶片的集成电路和平板显示器中使用。舱元件24a-f对由于灰尘粒子的污染敏感，当暴露到外部环境时有时可能被轻易损坏，例如被空气氧化或被水蒸气腐蚀。
一般地，封装20包括成对的第一和第二盘50、60，它们在装配到一起时如图3B和图5所示地相互面对。这里图示的封装20仅是根据本实用新型的示例实施例，而不应用来限制本实用新型的范围。盘50、60由足够坚硬以承受运输期间的外部冲击的材料构成，并具有光滑、有弹性和非粒状的表面，这种表面不像泡沫材料封装，当与舱元件24a-f的表面相磨损时不会释放单个颗粒。优选地，盘50、60的表面是连续、完整和无孔的，并且没有当接收舱元件24a-f时或者将安放于盘50、60中的舱元件24a-f开封时可剥落的单个颗粒。例如在一种形式中，盘50、60光滑而有弹性的表面可以具有小于约10微英寸的均方根粗糙度。装配好的成对盘50、60用作自立的容器来接收工艺舱套件22的舱元件24a-f，甚至可具有内置的操纵柄来将舱元件24a-f直接运输到净化室中。装配好的成对盘50、60还可在净化室的密封而稳定的环境中保存一段时间，并仅仅当需要立即使用工艺舱中的舱元件24a-f时才拆开，由此进一步减少了对盘50、60中舱元件24a-f的任何污染。
一般而言，第一盘50包括具有第一边54的第一壁架(ledge)52，第一边54可耦合到第二盘60的第二壁架62的相应第二边64。壁架52、62可以是相互平行的平的或成角度的条状刚性材料。壁架52、62还可成型为具有圆形、方形或矩形形状的框架。边54、64是平的并大体上相互平行，而且绕着盘50、60的外围一体成型。每个边54、64具有足够的宽度以允许边54、64相互结合而形成表面密封。一般地，边54、64是光滑连续的，但是如下所述它们也可具有从其延伸出的密封突起。也可使用边54、64的其他形式，例如相对盘50、60中所带的舱元件24a-f的中心轴或中心平面，边54、64可倾斜成匹配的锐角和钝角。
如图2所示，在第一盘50中，多个第一槽56a-f从第一壁架52向外向下伸出。在此形式中，第一壁架52是矩形的开口框架，其绕着第一槽56a-f延伸或甚至可环绕第一槽56a-f。第一槽56a-f每个都成型和定尺寸成具有适形地容纳一部分工艺舱元件24a-f的内部空间。当不同的槽56a-f成型和定尺寸成容纳不同的工艺舱元件24a-f时，凹陷在纵向上用分隔区120a-e来分隔。例如，槽56a可成型为具有适形于在槽56a中容纳的工艺舱元件24a一部分的外轮廓的单个凹陷。槽56a-f也可成型为具有多个凹陷，例如具有不同半径或宽度的凹入，使这些凹陷成为相互连续连接的一体以容纳舱元件24a-f的不同环形直径。
类似地，第二盘60也具有从第二壁架62向外伸出的第二槽66a-f。当两个盘50、60装配好时，如图3B和图5所示，特定的第二槽66a相对地面对特定的第一槽56a而界定了独特的单元92a，其具有适形于特定的舱元件24a的外表面轮廓94a的内表面轮廓93a。这样，每个独特的适形单元92a-f都具有的内容量轮廓成型为牢固地固定预定的一个舱元件24a-f，以使在运输期间该舱元件24a-f在单元92a-f中的侧向或垂直移动最小，因为单元92a-f的轮廓紧密地匹配该舱元件24a-f的轮廓。照这样，具有不同内表面轮廓93a-f的多个适形单元92a-f由相对的成对的第一和第二槽56a-f、66a-f来成型。每个适形单元92a-f的内表面轮廓93a-f紧密地匹配舱元件24a-f的外表面轮廓94a-f。例如，一个特定单元92a的内表面轮廓93a可成型为紧密地跟随舱元件24a的外表面轮廓94a的轮廓，在这两个表面93a、94a之间有约5到约30毫米的间隙。但是，其他间隙大小也是可以的，该间隙的大小取决于需要将该特定舱元件24a固定在单元92a中的紧密程度。
例如，成对的第一和第二槽56a-f、66a-f可成型、定尺寸并隔开以容纳组成工艺舱相关部分的套件22的一组舱元件24a-f，这些相关部分具有共同的功能或共同的组件目的。例如，槽56a-f、66a-f可构造成用于固定都是工艺舱套装组件22一部分的不同舱元件24a-f。一种类型的工艺舱套件22包含例如壁面衬垫的不同分段部分以覆盖部分的内舱壁或分气器(gas distributor)的不同部分。套件22的另一个例子是绕工艺舱中的衬底而布置的同心环组件，例如屏蔽环(shadow ring)、外环(outer ring)、和抽吸板(pumping plate)。另一种套件22可包括聚焦环(focus ring)、舱侧壁衬垫、和衬底夹持环(substrate clamping ring)。套件22的每个舱元件24a-f配合进入由成对的第一和第二槽56a-f、66a-f形成的匹配的适形单元92a-f。
由匹配的成对第一和第二槽56a-f、66a-f形成的单个单元92a-f可由分隔区120a-e分隔，将这些分隔区定尺寸成在相邻单元间维持足够的间隙以使得每个单元92a-f中的舱元件24a-f在运输期间不会相互接触。分隔区120a-e可成型和定尺寸以使得当盘50、60耦合时，单元92a-f相互隔离。但是，为了方便从单元92a-f排出和净化气体，分隔区120a-e也可成型和定尺寸来允许单元92a-f间的气体连通，以使得单元92a-f中的气体可以从接通整个单元组件的单个输出排出，并类似地从单个输入来更换。合适的间隙大小取决于相邻舱元件24a-f的大小，例如可以从约5毫米到约40毫米。但是，也可使用其他间隙大小，这取决于需要将一个舱元件24a-f固定在单元92a-f中的紧密程度。
在一种形式中，第二盘60的第二槽66a-f具有和第一盘50的第一槽56a-f大体相同的形状，并且当这两个盘50、60结合到一起时将第二槽66a-f以与第一槽56a-f成镜像的关系来并置。因为它们具有大体相同的形状，此形式的两个盘50、60都可使用如下所述具有相同横截面轮廓的单个模子来更经济地制造。而且，此形式对携带径向对称的舱元件24a-f尤其有用，例如圆柱体或轴对称的舱元件24a-f。大体相同的形状指相同的横截面轮廓，但是轮廓中的一个可有用于其他目的的另外的特征，例如突出的把手或其他特征。
在另一种形式中，第一和第二槽56a-f、66a-f中的一个或多个具有槽壁178a-b，其成型以当舱元件24b置于槽56b中时，施加向里的机械偏置力来在单个或多个接触点处固定舱元件24b。槽壁178a-b可具有向里伸展的微凹180，如图4所示，当舱元件24b置于槽56b中时微凹180被压缩。结果，微凹180在与舱元件24b的接触点处施加向里的弹性偏置力，这个力将舱元件24b牢固地固定在槽56b中，同时使与舱元件24b直接接触的表面最小。相对的槽壁178a-b也可具有相对的微凹180a-b来对置于槽56b中的舱元件24b施加相反力。也可使用其他方法来施加这种向里的力，例如安装在槽56b的外表面上来将其轻微压缩的柔性环结构、金属弹簧、弹簧夹(均未示出)，以及在合适的点加到槽56b内部的兼容于净化室的柔性材料垫。这样一种形式对固定舱元件24a-f或舱元件24a-f的表面是有好处的，此表面是易碎的或在运输期间在槽壁178a-b的内表面上磨损时容易损坏。
在一种形式中，刚性侧壁96a-d设置来支持第一或第二盘50、60的至少一个。侧壁96a-d绕着盘50、60伸展并具有足够大的高度来伸展到槽56a-f、66a-f中任何一个的深度之外。侧壁96a-d还可构造成具有在运输期间维持刚性的垂直的或倾斜的轮廓。在一种形式中，侧壁96a-d包括垂直于壁架52、62的平面的大体平整的壁面。该平整壁面具有沿着壁面的所有四侧向里伸展的四周环绕的凸缘以提高侧壁结构的剪切强度。也可使用其他提高刚性的结构来提高侧壁96a-d的强度，例如交叉梁或六角形单元的图案。侧壁96a-d也可由复合材料制成，例如有其他嵌入材料以提高结构刚性的环氧树脂。
在一种形式中，侧壁96a-d包括一组可拆卸的面板100a-d。每个可拆卸面板100a-d可具有大体相同的形状，使得可用单个模子来制造面板100a-d。在图2中图示了具有相同形状的合适的一组四个面板100a-d。每个面板100a-d包括直角的凸缘101a-d，其从面板100a-d的主侧壁表面凹入，并配合进入盘50周界之下的相应匹配的狭槽102a-d。带向外伸展的槽56的盘50的壁架52置于四个相邻的侧壁面板100a-d之上以使侧壁面板100a-d的每个凸缘101a-d配合进入壁架52下表面之下相应的狭槽102a-d中。一组螺钉103a-1和连接夹105a-h可用来将面板100a-d连接到壁架52或相互连接。
第一或第二盘50、60的边部分54、64可耦合到一起以在盘之间形成气密性密封107。两个盘50、60之间的气密性密封107允许其中的舱元件24a-f进行无污染运输。例如在一种形式中，如图3B所示，盘50、60的一个或多个的边54、64具有可容纳垫圈112a-b的凹槽108a-b，垫圈112a-b例如是O型环或其他软聚合物密封。安装到第一盘50的锁扣82a-d和安装到第二盘60的锁扣接头84a-d允许两个盘50、60在两个盘50、60之间的垫圈112a-b处被密封，以维持两个盘之间的气密性密封107，如图3B和图5所示。锁扣82a-d可以是例如塑料条的传统锁扣，其具有安装到第一盘50的面板100a-d的有波纹的柔性枢轴部分122a-d，并具有从枢轴部分122a-d外伸的爪状部分123a-d。使用时，爪状部分123a-d绕枢轴外转并对安装到第二盘60的面板100a-d上的锁扣接头84a-d的末端加力。在另一种形式中，第二盘60的边64中一系列凸起的U形球状柱耦合到第一盘50的边54的相应钟形凹口以在其间形成密封(未示出)。在另一种形式中，第二边64具有环绕的凸缘，其咬合入第一边54中的相应狭槽来形成密封(也未示出)，并且在盘50、60啮合之后，通过拉开两个边54、64可使它们从啮合状态分开。
封装20的气密密封形式还可包括使密封的适形单元组92排气的第一阀140，以及将气体引入已排气的单元92的第二阀144。例如，第一和第二阀140、144可以是Schrader阀，当移动阀140、144中心的弹簧加载销148时其允许引入或排出气体。第一阀140可连接到使密封单元排气的泵156，而第二阀144可连接到将洁净干燥的空气(CDA)或惰性气体引入被密封单元中的气体供应器160。或者，也可将单个阀用于排气和气体净化或填充功能(未示出)。
侧壁96a-d的相对部分或可拆卸面板100a-d，还可具有相互面对的一对或多对内置的把手开口98a-d。把手开口98a-d允许操作者举起并轻松地将封装20运输到净化室环境中。这种把手开口98a-d是有优势的，因为它们并不伸出已装配的封装20，从而占用更少的净化室存储空间。在运输期间把手开口98a-d还更不易断裂。把手开口98a-d还可轻易制造到侧壁96a-d或可拆卸面板100a-d中，而不必向盘50、60连接额外的部件。但是，也可在侧壁96a-d或可拆卸面板100a-d上或盘50、60的其他表面固定外把手(未示出)。
在使用中，选择盘50、60中的一个作为下盘或基盘，例如第一盘50，并将其置于工作表面上。每个舱元件24a-f竖直插入下盘50的开口槽56a-f的一个中。在填充盘50之后，另一个盘60用作上盘或覆盖盘并配合盖在舱元件24a-f伸出下盘50的槽56a-f的部分之上。随后锁扣82a-d与锁扣接头84a-d啮合以将上盘60锁在下盘50上。现在每个舱元件24a-f都被定位在定制成适形配合特定舱元件24a-f的单元92a-f中，并与其他舱元件24a-f隔离。而且，因为舱元件24a-f全都包含在单个封装20中，所以分销商或顾客更容易放置整个部件套件。另外，当刚性盘50、60至少部分由基本透明的聚合物材料构成时，更容易识别封装20中的舱元件24a-f，即对应于特定套件22的那些舱元件。
刚性盘50、60可用提供运输所需刚度的许多不同材料来制造，即当形成盘50、60并将舱元件24a-f置于盘50、60中时材料足够刚硬以吸收震动而不会破裂。当在ISO 527下例如1毫米/分钟下测量时盘50、60应该具有至少约1800Mpa的拉伸弹性模量。
优选地，盘50、60至少一部分或整个盘50、60由一种还基本透明的刚性材料构成以允许对固定在盘50、60中舱元件24a-f的目测检查。基本透明指对可见光半透明或透明。例如，一种合适的透明材料可具有至少约80％的可见光透射比例。已装配盘50、60的第一或第二槽56a-f、66a-f还可表面抛光以提高透射光和观察的清楚度。透明部分允许净化室操作者可视地检测或检查盘50-60的内容而不破裂打开密封。例如，在一种形式中，只有第一或第二槽56a-f、66a-f中的一个或多个由基本透明的材料构成，但是也可是两个盘50、60的全部都由基本透明的材料构成。
基本透明的部分还允许识别标签或元件条形码贴在盘的内部而仍可从外面看到。这防止在运输或存储期间损坏标签。而且，盘的刚性表面允许传统的标签更容易地贴在盘上，而不用象净化室泡沫产品中所需要的那样加工凹口或要特殊的环氧树脂胶。
一种合适的基本透明刚性材料是诸如高密度聚乙烯的热定型(heatsetting)热塑性聚合物，例如基于聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、二醇类改性PET(PETG)、定向PET(O-PET)、或聚萘二酸乙二醇酯(PEN)、或其相互的或与其他树脂的混合物的聚合物。优选地，透明刚性材料是当加热时软化而成型为模具形状的可模制的热塑性塑料，例如二醇类改性PET(PETG)，例如由以色列Ramat Yohanan的Palram制造的PAL_G片枋。刚性盘50、60可用传统的塑料模制技术从单张热塑性材料毛坯板(blank sheet)模制成单个集成件。可利用传统的热成型方法和设备，例如真空辅助、空气辅助、机械塞辅助(mechanical plug assist)或合模模制，来将毛坯板热成型为热定型薄壁盘。
在制造盘50、60的一种方法中，将热塑板置于盘的阳模或阴模上并加热，直到其软化到模具中。通过使用相对的匹配模具的形状来施加压力或通过从模具下抽出板材，而将预热的热塑板拉进也可加热的模具中。例如，如果板材被加热并允许软化到阴模中，那么可用阳模来从被加热板的另一侧施加适形的相对压力，并且阳模可逐渐冷却到室温而用作辅助冷却模具。热塑板通过以下步骤而热定型与被加热的模具表面在足够的一段时间内保持接触以完全适形于模具的轮廓，将成型的板逐渐冷却到室温，随后将盘的预型件移出模具腔。还可在模具中使用真空以抽出任何受限的空气。随后可将盘的预型件裁剪或以其他方式成型来加上把手开口98a-d和其他突起，并成型来形成锁扣接头和其他特征。板材必须加热到其Tg(玻璃态转变温度)之上和在定位在模具腔上时会过度下垂的温度点之下。在热成型过程中，在约120℃到约240℃的范围内的板材温度是合适的。模具可用木头、树脂、或例如铝甚至钢的金属制成。制造少量的盘50、60时，可使用例如木头的软材料。
也可使用多层板来代替单层板。多层板还可包括由例如PETG的热塑聚合物构成的第一层，和由例如玻璃纤维环氧树脂板的复合材料构成的第二层。而且，可以制造盘50、60使得例如槽56、66的一部分是用基本透明的材料制造的，而例如侧壁96a-d或可拆卸面板100a-d的其他部分用更刚硬或更坚固的材料制造，例如嵌入环氧树脂中的玻璃纤维束板。
在另一个实施例中，盘50、60或盘50、60的一部分用例如铝或钢的金属制造。但是，此实施例不允许看清舱元件24a-f在运送后的状态，或检查位于盘50、60中的标签。这样，盘50、60可制造成都具有非透明部分，例如连接到基本透明的槽56a-f、66a-f的非透明壁架52、62，以使通过槽56a-f、66a-f的透明壁仍可看到槽56a-f、66a-f的中的舱元件24a-f。
在又一个实施例中，盘50、60的一部分按照从颜色编码表中选出的颜色来染色，该表列出了不同的颜色和相应的套件22或舱元件24a-f的部件号。例如，可将盘50、60的基本透明部分染色，或将盘50、60的另一部分例如不透明部分染色。颜色可包括来自颜色光谱的任何可见波长并包括白色或黑色。颜色编码表列出与相应的工艺舱套件22、舱元件24a-f、或工艺应用相关联的单个颜色。例如，此表可列出蓝色与铝刻蚀舱工艺套件相关联，而黄色或橙黄色用于铜的舱套件。这种颜色编码允许净化室操作者轻松地分辨并正确地识别用于特定舱或应用的备件。结果，不必打开封装20的密封来检查舱元件24a-f以确定它们的功能，而可更长时间地保持舱元件24a-f的完整性。
颜色编码表的列表还可将具有相同舱元件24a-f但用在不同的工艺应用中的工艺舱套件22与不同的颜色关联，这些不同的工艺应用例如是相互不兼容的。例如，铝和铜互连制造工艺都使用包括基本相同舱元件24a-f的工艺舱套件22。但是，一旦这样一个工艺舱套件22已经在完成第一工艺应用的第一类型的工艺舱中使用了，则其再也不能在服务于另一个工艺应用的第二类型的工艺舱中使用了，因为它可能污染第二工艺舱。这种情形通常在此时出现，即已经在一个工艺舱中使用了的舱元件24a-f的套件22，例如用于铝沉积或刻蚀的舱，被送到制造商处清洗或重新磨光。在舱元件24a-f已被清洗或重新磨光后，它们被送回顾客处。在那时，将用于舱元件24a-f的封装20颜色编码以表明以前的铝应用，使得舱元件24a-f不会意外地用于铜沉积或刻蚀舱或工艺中。
封装20还可具有相互配合的堆积接头170和相应的凹口174，以使多于一个的封装20可在净化室中堆积成一列。例如，如图5所示，第一封装20的第一盘50的顶面可具有位于表面的四个角的四个接头170，以及在第二盘60的底面处的相应凹口174。当第一封装20堆积在第二封装21之上时，第二封装21的四个接头170配合进入第一封装20的底面中的相应凹口174中。接头和凹口的这种配合允许堆积的封装20、21相互配合进入，使得它们当存储在净化室中时不会不稳。
因此，本实用新型提供了一种运输封装20，其允许将例如元件套件22的工艺舱元件24a-f从制造商或分发中心直接运输到顾客的净化室中。封装20是可重用的，因为刚性的不渗透的盘表面可被容易地清洗。盘50、60由于具有光滑表面，其没有可轻易被磨掉的颗粒状粒子，而使污染最小。而且，适形封装20的每个适形单元92a-f可用来保持工艺舱套件22的特定舱元件24a-f，并适形于舱元件24a-f的形状以使运输期间的破裂最少。此外，单元92a-f的透明部分允许对封装20内容的目测检查，以及对每个舱元件24a-f的检查，而不打开密封和污染物品。
虽然对于其优选形式相当详细地描述了本实用新型，但其他形式也是可以的。例如，单元92a-f可合并到一起而形成具有不同半径区的连续容积，以能够运输具有复杂外表面形貌的单个舱元件。此外，可为其他目的而定制单个单元92a-f的形状，例如它们不与元部件相接触的外轮廓可成型为与运送容器中相应成型的凹入相匹配。因此，权利要求不应限于这里所包含的对优选形式的说明。
权利要求1.一种用于工艺舱套件的净化室运输封装，所述工艺舱套件具有多个不同形状的舱元件，其特征在于，所述封装包括(a)第一刚性盘，具有具有第一边的第一壁架；和从所述第一壁架向外延伸的多个第一槽；(b)第二刚性盘，可从所述第一盘拆卸，所述第二盘具有具有第二边的第二壁架，所述第二边和所述第一壁架的所述第一边耦合而在其间形成密封；和从所述第二壁架向外延伸的多个第二槽，其中具有不同内表面轮廓的多个适形单元由相面对的成对第一和第二槽形成，每个适形单元的内表面轮廓匹配于舱元件的外表面轮廓，使得在运输期间所述舱元件在其适形单元中的移动最小，并且其中所述第一或第二盘的至少一部分是基本透明的，使得可通过所述基本透明部分来观察所述工艺舱套件的每个舱元件的状态。
2.如权利要求1所述的运输封装，其中所述相面对的第一和第二槽具有基本相同的内表面轮廓并以相互镜像的关系来并置。
3.如权利要求1所述的运输封装，其中所述第一或第二盘中的至少一个包括刚性侧壁，所述侧壁具有大于任何一个所述适形单元的深度的高度。
4.如权利要求3所述的运输封装，其中侧壁的相对部分每个都包括一个把手开口。
5.如权利要求4所述的运输封装，其中所述侧壁包括可耦合到一起的一组可拆卸面板。
6.如权利要求1所述的运输封装，其中所述第一或第二槽中的至少一个具有成型为施加向里的机械偏置力的槽壁，当所述舱元件位于所述槽中时来将所述元件固定在接触点处。
7.如权利要求1所述的运输封装，包括在所述第一或第二盘中至少一个的所述边中的凹槽，以及在所述凹槽中的垫圈密封，以在所述第一和第二盘之间形成气密性密封。
8.如权利要求1所述的运输封装，包括锁扣和锁扣接头以将所述第一和第二盘锁到一起。
9.如权利要求1所述的运输封装，其中所述基本透明部分被染色。
10.一种用于工艺舱套件的净化室运输封装，所述工艺舱套件具有多个不同形状的舱元件，其特征在于，所述封装包括(a)第一刚性和基本透明的盘，具有具有第一边的第一框架；和从所述第一框架向外延伸的多个第一槽；(b)第二刚性和基本透明的盘，可从所述第一盘拆卸，所述第二盘具有具有第二边的第二框架；和从所述第二框架向外延伸的多个第二槽，所述第二槽具有和所述第一槽基本相同的内表面轮廓；(c)垫圈密封，在所述第一或第二框架中的凹槽中；和(d)所述第一盘上的锁扣以及所述第二盘上的锁扣接头，其中当所述第一和第二盘耦合到一起并且所述锁扣在所述锁扣接头上闭合时，在所述两个盘之间形成气密性密封；其中具有不同内表面轮廓的多个适形单元由相面对的成对第一和第二槽形成，每个适形单元的内表面轮廓匹配于舱元件的外表面轮廓，使得在运输期间所述舱元件在其适形单元中的移动最小，并且其中所述基本透明的第一或第二盘允许通过其来观察所述工艺舱套件的每个舱元件的状态。
11.如权利要求10所述的运输封装，其中所述第一或第二盘中的至少一个包括刚性侧壁，所述侧壁具有大于任何一个所述适形单元的深度的高度，所述侧壁包括耦合到一起的一组可拆卸面板。
12.如权利要求11所述的运输封装，其中侧壁的相对部分每个都包括一个把手开口。
13.如权利要求10所述的运输封装，其中所述第一或第二槽中的至少一个具有成型为施加向里的机械偏置力的槽壁，当舱元件位于所述槽中时来将所述元件固定在接触点处。
专利摘要本实用新型提供了一种净化室运输封装，对运输具有许多有不同形状的舱元件的工艺舱套件是有用的。所述封装包括具有第一壁架和从第一壁架向外延伸的多个第一槽的第一刚性盘，第一壁架具有第一边，第一刚性盘可拆卸地装配到第二刚性盘，第二盘具有从第二壁架向外延伸的多个第二槽。第二盘具有第二边，其和第一盘的第一边耦合而在其间形成密封。具有不同内表面轮廓的多个适形单元由相面对的成对第一和第二槽形成，这样每个适形单元的内表面轮廓适形于套件的不同舱元件之一的外表面轮廓，使得在运输期间所述舱元件在其适形单元中的移动最小。还可通过盘的基本透明部分来观察所述工艺舱套件的每个舱元件的状态。
文档编号H01L21/00GK2719769SQ20042004925
公开日2005年8月24日 申请日期2004年4月20日 优先权日2003年6月26日
发明者罗纳尔·维恩·肖尔 申请人:应用材料公司